JPH0390010U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0390010U JPH0390010U JP15013689U JP15013689U JPH0390010U JP H0390010 U JPH0390010 U JP H0390010U JP 15013689 U JP15013689 U JP 15013689U JP 15013689 U JP15013689 U JP 15013689U JP H0390010 U JPH0390010 U JP H0390010U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- supported
- sliding screw
- sliding
- drive motor
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図はそのシステム図、第３図は従来例を示す斜視
図、第４図はそのＡ−Ａ線断面図である。 １……トラバース装置、２……固定台、３……
駆動モータ、４……摺動ねじ、５……摺動ガイド
、６……移動体、７……駆動モータ、８……摺動
ねじ、９……摺動ガイド、１０……変位計、１１
……支持台、１２……変換器、１３……コンピユ
ータ。
図はそのシステム図、第３図は従来例を示す斜視
図、第４図はそのＡ−Ａ線断面図である。 １……トラバース装置、２……固定台、３……
駆動モータ、４……摺動ねじ、５……摺動ガイド
、６……移動体、７……駆動モータ、８……摺動
ねじ、９……摺動ガイド、１０……変位計、１１
……支持台、１２……変換器、１３……コンピユ
ータ。
Claims (1)
- 一対の固定台間に架設される駆動モータに連動
の摺動ねじと、該摺動ねじに平行の摺動ガイド軸
とに支承されて移動する移動台と、該移動台の一
対間に架設される駆動モータに連動の摺動ねじと
該摺動ねじに平行の摺動ガイド軸とに支承される
変位計とからなるトラバース装置を、前記固定台
を介して支持台に支承させると共に前記変位計を
変換器を介してコンピユータに接続したことを特
徴とする変形量計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15013689U JPH0390010U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15013689U JPH0390010U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0390010U true JPH0390010U (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=31696502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15013689U Pending JPH0390010U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0390010U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008116354A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Nec Electronics Corp | 反り測定システム、成膜システム、及び反り測定方法 |
| JP4511132B2 (ja) * | 2003-02-07 | 2010-07-28 | 志良 平賀 | ブレーカー遮断装置 |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP15013689U patent/JPH0390010U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4511132B2 (ja) * | 2003-02-07 | 2010-07-28 | 志良 平賀 | ブレーカー遮断装置 |
| JP2008116354A (ja) * | 2006-11-06 | 2008-05-22 | Nec Electronics Corp | 反り測定システム、成膜システム、及び反り測定方法 |