JPH038434U - - Google Patents
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- JPH038434U JPH038434U JP6789689U JP6789689U JPH038434U JP H038434 U JPH038434 U JP H038434U JP 6789689 U JP6789689 U JP 6789689U JP 6789689 U JP6789689 U JP 6789689U JP H038434 U JPH038434 U JP H038434U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- sealed chamber
- shielding plate
- tip
- flow rate
- Prior art date
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- Granted
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- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の構成図、第２図
はそれに用いるＭＦＣの要部縦断面図、第３図は
そのＡ−Ａ′断面図、第４図は密封室の一部切欠
断面図、第５図および第６図は従来例の構成図で
ある。 １０……原料タンク、１８……原料供給用配管
、２３……ＭＦＣ、２４……密封室、２５……底
面部、２６……ノズル部、２７……堰、２８……
遮蔽板、３３……配管、３５……処理室。
はそれに用いるＭＦＣの要部縦断面図、第３図は
そのＡ−Ａ′断面図、第４図は密封室の一部切欠
断面図、第５図および第６図は従来例の構成図で
ある。 １０……原料タンク、１８……原料供給用配管
、２３……ＭＦＣ、２４……密封室、２５……底
面部、２６……ノズル部、２７……堰、２８……
遮蔽板、３３……配管、３５……処理室。
Claims (1)
- 原料タンクから供給配管を延設してその先端を
加熱手段が備わつた密封室の下端中央に連結し、
上記原料タンクから送られてくる液体原料を上記
密封室で加熱蒸発させその気化原料を上記密封室
の上端から延びる取出配管を介して処理室に送り
込む原料ガス供給装置であつて、上記供給配管に
流量調節計を設けて上記原料タンクから密封室に
送られる液体原料の流量を調節可能にし、上記密
封室内の底面を、上記供給配管の先端が連結され
た注入口を中心として外側に向かつて徐々に低く
なつた円形の段状に形成してその各段の縁部に、
その縁部に沿つた堰を設け、上記底面の上方に、
原料飛散防止用の遮蔽板を設け、この遮蔽板と上
記密封室の内周壁および天井面との間を気化原料
取出通路に形成したことをことを特徴とする原料
ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989067896U JP2513846Y2 (ja) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | 原料ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989067896U JP2513846Y2 (ja) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | 原料ガス供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH038434U true JPH038434U (ja) | 1991-01-28 |
| JP2513846Y2 JP2513846Y2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=31601881
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989067896U Expired - Lifetime JP2513846Y2 (ja) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | 原料ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513846Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016125809A1 (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-11 | 株式会社湯山製作所 | 滅菌装置及び滅菌方法 |
-
1989
- 1989-06-10 JP JP1989067896U patent/JP2513846Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016125809A1 (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-11 | 株式会社湯山製作所 | 滅菌装置及び滅菌方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2513846Y2 (ja) | 1996-10-09 |
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