JPH0383408A - 弾性表面波素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーダ、電波測定装置の受信部に用いられる
弾性表面波素子に係わシ、特に弾性ｆ！面波の伝搬方向
に対してすだれ状電極を傾斜させた弾性表面波素子に関
するものである。

〔従来の技術〕

電波測定装置などにおいて、周波数を実時間で測定する
方式として種々あるが、マイクロスキャン方式は、遅延
傾斜の符号の異なる弾性表面波分散形遅延線を組合せ、
時間軸上に実時間で周波数情報を表示できるものとして
極めて有用な方式である。マイクロスキャンに用いられ
る弾性表前波分散遅延線は、広帯域であること１周波数
分解能の点から比較的低遅延分散であることが要求され
る。例えば周波数帯域５００ＭＨｚ　、遅延分散１μｓ
とすると、周波数分解能は約１μＨｚとなシ、５００チ
ヤンネルフイルタバンク相当のマイクロスキャンが得ら
れることになる。このような低遅延分散な弾性表面波を
実現するには、通常の対向電極型では困難である。つｔ
、ｂ周波数の広帯域化を実現するには、中心周波数を上
げ、比帯域を下げる必要があるが、この場合、低遅延分
散の素子で実現すると、電極指対ａが少なくなシ、周波
数リッグル増大の原因となる。一方、リップルを低減す
るために遅延分散の大きな電極構造とすると、すだれ状
電極の弾性！！面波伝搬方向の長さが長くなシ、約１μ
−程度の低遅延分散が構造上実現できない。そこで第２
図に示すような傾斜電極が従来よシ提案されている。こ
れは電極指１１．１２の中心を結ぶ線が弾性表面波１３
の伝搬方向に対して傾斜し、かつ傾斜の程度が異なるす
だれ状電極１４．１５を対向させるもので、すたれ状電
極１４，１５の弾性表面波１３の伝搬方向と垂直な方向
に設けた仮想軸０１　０ｘ’に対する遅延分散は大きく
ても、すだれ状電極１４．１５の遅延分散は小さくする
ことができる。なお、１８．１７はそれぞれすだれ状電
極１４．１５の信号取出し電極である。第３図は横軸に
周波数、縦軸に遅延時間を示す図であり１２１は第２図
のすだれ状電極１４と仮想軸ｏ　ｔ　−ｏ　ｔ’との遅
延分散特性、２２は第２図のすだれ状電極１５と仮想軸
ｏｔ−Ｏｆ’との遅延分散特性、２３は遅延分散２１と
遅延分散２２との差の遅延分散である。したがってこの
ような構造では、遅延分散２１．２２を大きくシ、傾斜
を急峻にしても各々の傾斜の差を小さくすれば、前述の
ような周波数リップルの少ない、かつ低分散遅延の素子
を実現することができる。

〔発ＦＩＡが解決しようとする課題〕

しかしながら、従来提案されている傾斜すだれ状電極は
、第２図で示すように弾性表面波速度が格子状電極から
なるすだれ状電極部と、−様電極からなる信号取出し電
極部とが電極が逢い自由表面上では異なるため、点Ａで
発生した弾性表面波１３は信号取出し電極１６の点Ｂで
屈折され、さらにすだれ状電極１５の信号域や出し電極
１７の点Ｃで屈折され、電極指１２に到達する。このと
き、弾性表面波１３は電極指１２と直交していないため
、損失を受ける。傾斜電極の形状は必ずしも直線ではな
いため、この損失は弾性表面波１３０発生点、したがっ
て周波数によって異なってくる。したがって傾斜形すだ
れ状電極１４．１５にかいて、弾性表面波１３の屈折に
より１損失が増大しない構造が得られれば極めて有用で
ある。

したがって本発明は、損失発生原因となる弾性１１面波
の屈折を受けない構造の弾性表面波素子を得ることを目
的としている。

〔課題を解決するための手段〕

このような課題を解決するために本発明は、複数の電極
指と信号域シ出し電極とから成るすだれ状電極の電極指
間隔を弾性表面波の伝搬方向に沿って徐々に変化させ、
かつ各々の電極指の中心を結んで得られる中心線が弾性
表面波の伝搬方向に対して傾斜するように配置した一対
の傾斜形すだれ状電極を圧電性基板上に設けた弾性表面
波素子にかいて、弾性表面波伝搬路内に位置する前記す
だれ状電極の信号取出し電極の幅を一定とし、かつ前記
信号域シ出し電極に挾まれた部分に間隔および幅のほぼ
等し−格子状電極を有している。

〔作用〕

本発明においては、弾性表面波の伝搬の屈折によシ発生
する損失の増加を抑制する。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明による弾性表面波素子の一実施例を示す
平面図である。同図にかいて、圧電性基板１上には、電
極指間隔が徐々に変化している傾斜形すだれ状電極２．
３が設けられている。さらに信号印加シよび信号取出し
電極のアース側に相当するすだれ状電極２，３の信号取
出し電極４で囲まれてしる内部は、間隔と幅とが等しい
格子状電極５でしおわれている。この格子状電極５は、
上下のアース電極に接続されているため、すべて等電位
となっている。また、格子の間隔は傾斜形すだれ状電極
２，３の中心周波数ｆ、によって決會る間隔とほぼ等し
くするのが望喧しいが、すだれ状電極２，３部の電極指
６．７部と弾性表面波速度とを等しくするのが目的のた
め、必ずしも中心周波数ｆｏで決まる間隔とする必要は
ない。

このように構成された弾性表面波素子は、弾性表面波８
０伝搬速度が傾斜すだれ状電極２，３部に挾まれた格子
状電極５部では等しいため、信号印加取出し電極４の幅
を一定としてかけば、傾斜形すだれ状電極２内の点Ａよ
シ発生した弾性表面波８は、信号取出し電極４により屈
折は受けるが、平行に伝搬し、格子状電極５内では電極
指に直角に伝搬する。したがって損失の増加は起らない
。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、対向する傾斜形すだれ状
電極の弾性表面波伝搬路内に格子状電極部を設けること
によシ、弾性表面波の伝搬の屈折によう発生する増加を
抑えることができ、極めて低損失な弾性表面波素子を提
供することができるという極めて優れた効果が得られる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による弾性表面波素子の一実施例を示す
平面図、第２図は従来の弾性表面波素子を示す平面図、
第３図は従来の弾性表面波素子の遅延分散周波数特性を
示す図である。 １・・・・圧電性基板、２，３・・・・傾斜形すだれ状
電極、４・・・・信号取出し電極、５＃・・・格子状電
極、６．Ｔ・・・−電極指、８・・・・弾性表面波。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　複数の電極指と信号取出し電極とからなるすだれ状電
   極の電極指間隔を弾性表面波の伝搬方向に沿つて徐々に
   変化させ、かつ各電極指の中心を結んで得られる中心線
   が弾性表面波の伝搬方向に対して傾斜するように配置し
   た一対の傾斜形すだれ状電極を圧電基板上に設けた弾性
   表面波素子において、弾性表面波伝搬路内に位置する前
   記すだれ状電極の信号取出し電極の幅を一定とし、かつ
   前記信号取出し電極に挾まれた部分を間隔および幅のほ
   ぼ等しい格子状電極で構成したことを特徴とする弾性表
   面波素子。