JPH0373784B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、室内に超清浄度レベルのクリーン
ルームを形成するカーテン装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、クリーンルームなどの室内に、更に高い
清浄度レベルを有する特別クリーンルームとして
設けられるものに、例えば、クリーンブースと称
する機器があり、第７図はその移動型を、また、
第８図は懸垂型をそれぞれ示したものである。

移動型クリーンブースは、複数本の支柱２１に
より立方体を形成した枠組２２の天井板２３上面
に、プレフイルタ２４を具備したフアン２５及び
超高性能HEPAフイルタ２６とからなる超清浄
空気供給装置ｕを設置し、前記枠組２２の四周を
床面Ｆ近くまでビニールカーテン２７で囲つて形
成した特別室２８内へ前記フイルタ２６から超清
浄空気を流下させるダウンブロー形式の簡易クリ
ーンルームである。

そして、枠組２２の一側面においてのみ前記カ
ーテン２７の端部を上下方向に開閉可能に重ね合
わせて取り付け、出入口２９としてある。更に、
出入口２９のある側面以外の側面においては、支
柱２１の下部を横桁３０で連結して補強し、ま
た、各支柱２１の下端面にストツパ付きキヤスタ
３１を装着してクリーンブースの移動を可能とし
ている。なお、３２は、天井板２３の下面に付設
した照明灯、３３は、出入口２９のある一方の支
柱２１に取り付けてフアン２５を操作するスイツ
チボツクスである。

懸垂型クリーンブースは、必要部分のみを室の
天井（図外）から吊設する形式のもので、超高性
能HEPAフイルタ２６を内設した立方体状のボ
ツクス３４の一方の側面にプレフイルタ２４付き
フアン２５を付設し、前記ボツクス３４の周縁か
らビニールカーテン２７を床面近くまで垂設して
特別室２８を形成し、移動型のものとほぼ同様
に、一側面において前記カーテン２７の両端部を
重ね合わして出入口２９としたものである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来のクリーンブー
スにあつては、出入口が垂れ下がりシートの重な
り合う形式であるため、内部の超清浄空気が出入
口の全長から漏れるため空気量を多く供給しなけ
ればならず効率が悪いばかりか、ときによつては
ビニールカーテンがばたついて粉塵を発生したり
微妙な雰囲気をこわすこともあり、また、不使用
時にはクリーンルーム内の邪魔物になるという問
題点がある。また、フアンなど超清浄空気供給装
置がクリーンルームの天井下にあるため、該供給
装置による粉塵や騒音がクリーンルーム内の環境
に悪影響を及ぼすことがあり、また、クリーンブ
ース内の天井も低くなるという難点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、叙上の問題点に着目してなされた
もので、クリーンルームの天井裏にビニールカー
テンを巻回した回転ドラムを排気可能なケースに
内設し、天井面に穿設したカーテン用スリツトの
両端において、天井と床面とを結ぶように立設し
たガイドバーのガイド溝を案内させて前記カーテ
ンを垂下するカーテン装置を提供し、これらの問
題点を解決したものである。

〔作用〕

カーテン装置を室内所要箇所に連設し、超清浄
度レベル用の特別クリーンルーム、又はクリーン
トンネルを前記カーテンを床面近くまで垂下して
区画した後、天井裏に設置した超清浄空気供給装
置から超清浄空気層流を外部よりもやや高めの圧
力をもつて流下させれば、内部空気は、カーテン
の重錘下方から徐々に外部へ流出し、区画内を超
清浄度レベルに維持する。

また、特別クリーンルームやクリーントンネル
の不要時には、垂下したカーテンを回転ドラムに
巻き上げて収納し、かつ、ガイドバーを撤去する
ことにより、室内を通常使用状態に復旧させるこ
とができる。また、カーテンの昇降に伴い発生す
る粉塵は、ケースからの排気により除去する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例として特別クリーン
ルームにつき、第１図ないし第５図に基づいて説
明する。

まず、構成を述べる。

カーテン装置１は、ケース２、回転ドラム３、
カーテン４、ガイドバー５及び付属品６から主要
構成されている。

ケース２は、クリーンルームＲの天井Ｃ裏に設
置される横長の立方体をした本体２ｈの底外面片
方に、カーテン４を通過させるカーテン用スリツ
ト２ｓを設けた案内部２ｇを突設したもので、該
案内部２ｇの下端部が天井Ｃ面に穿設された長孔
Caに嵌め込まれ、天井Ｃ下面に突出している。

また、前記案内部２ｇと反対の側面ほぼ中央に
吸込みダクト２ｄが取り付けられ、ケース２内の
空気は、第４図に示すように排気フアン７によ
つて室外へ排気されるか、あるいは、同図のよ
うにボリユームダンパー８を介して空気供給装置
の吸入ダクト（図示省略）へ排気される。なお、
９は、キヤブタイヤケーブル１０を導入するよう
装着された配管である。また、カーテン用スリツ
ト２ｓのケース２の底面相当位置にカーテン４の
内外両面から挾むように、パイプ状のパツキン１
１，１１が付設されている。（第５図参照） 回転ドラム３は、前記ケース２の本体２ｈの両
端面に固定されたシヤフト３ｓに回転可能に取り
付けられ、かつ、内蔵した複数段減速型のモータ
プーリー３ｍを一体的に結合したものである。

カーテン４は、滞電防止処理を施された透明な
ビニールカーテンで、下辺全長にわたり長尺の重
錘４ｗが付設されており、一方、上辺は回転ドラ
ム３に固着され巻回される。なお、巻回されたカ
ーテン４の厚さによつて動作する、ケース２に固
定の上限用リミツトスイツチ１２ｕ、下限用リミ
ツトスイツチ１２ｄにより垂れ下がりの高さを規
制される。（第５図参照） ガイドバー５は、前記案内部２ｇのカーテン用
のスリツト２ｓの両端部と床面Ｆとの間に、両者
を結んで立設されるもので、頂部５ｔは、案内部
２ｇの端部に所望の差込み構造により着脱可能に
取り付けられ、底面５ｂに螺着された押上げ固定
金具１３のねじ戻しによつて床面Ｆから押し上げ
られて前記頂部５ｔを案内部２ｇに圧着し固定さ
れる。

なお、押上げ固定金具１３は、着脱可能な回転
用てこ棒１４を嵌入するてこ用孔１３ａを外周側
面に複数個刻設した本体１３ｈの中央上面に、ガ
イドバー５底面５ｂに螺入するねじ部１３ｎを立
設し、中央下面につば１３ｔを有する脚部１３ｋ
を形成して台座１３ｄに回転可能に載置されたも
ので、脚部１３ｋは、台座１３ｄの側面上部に螺
入された複素個の止ねじ１３ｓによりつば１３ｔ
を制せられて台座１３ｄからの離脱を阻止されて
いる。（第５図参照） また、ガイドバー５の側面に、前記案内部２ｇ
のカーテン用スリツト２ｓ端部に合わせて、カー
テン４の重錘４ｗを案内するガイド溝５ｍが、全
長にわたつて刻設してある。

付属品６としては、上端をケース２の配管９へ
導かれ、また、天井Ｃを貫通してクリーンルーム
Ｒ内へ吊り下げられたキヤブタイヤケーブル１０
の下端に、回転ドラム３の回転を操作する押ボタ
ンスイツチボツクス１５が取り付けられている。

なお、１６は、天井Ｃに設けられた点検口であ
る。

次に、作用を述べる。

最初に、クリーンルームＲ内に特別室として超
清浄度レベルの特別クリーンルームＳを形成する
には、所望の位置に前記カーテン装置１複数台を
方形状に配設しておき、カーテン４を床面Ｆ近く
まで垂下して特別室を区画する。この際、前記ス
イツチボツクス１５を操作して回転ドラム３を矢
印Ａの方向へ回転すると、カーテン４は重錘４ｗ
の重量によつて引き出され、該重錘４ｗがその両
端部を両側のガイドバー５，５のガイド溝５ｍ，
５ｍに案内されて下降し、所定の高さに到達した
ところで下限リミツトスイツチ１２ｄの動作によ
り停止する。上記動作を各カーテン装置１に行な
わせ、各ガイドバー５相互の間にカーテン４を展
張することにより特別室を作成した後、天井Ｃ裏
の複数個のケース２に囲まれた箇所に設置した超
清浄空気供給装置ｕ、つまり、フアン及び超高性
能HEPAフイルタ（図示省略）により、超清浄
度レベルの空気層流を外部のクリーンルームＲよ
りもやや高めの風圧をもつて流下させ、特別クリ
ーンルームＳとする。なお、該ルームＳ内の超清
浄空気は、展張されたカーテン４の重錘４ｗと床
面Ｆとの間から外部へ排出する。また、前記ルー
ムＳへの出入は、所望のカーテン４を適当に上昇
させて行う。

特別クリーンルームＳの不使用時には、前記ス
イツチボツクス１５を操作して回転ドラム３を、
矢印Ａの逆方向へ回転させるとカーテン４は巻き
上げられ、重錘４ｗがパツキン１１，１１に達し
た位置で、上限リミツトスイツチ１２ｕが動作し
て回転ドラム３を停止させるため、カーテン４は
天井Ｃ裏に完全に収納されたこととなる。

そこで、押し上げ固定金具１３のてこ用孔１３
ａに回転用てこ棒１４を嵌入し、該てこ棒１４の
操作によりねじ部１３ｎをガイドバー５に螺入さ
せると、該ガイドバー５は下降し頂部５ｔが案内
部２ｇから離脱するので、前記固定金具１３と一
体的に結合したままのガイドバー５を撤去する。

なお、クリーンルームＲの側壁を利用して二
方、又は、三方をカーテン装置１により仕切り、
特別クリーンルームＳを形成することもできる。

次に、他の実施例としてクリーントンネルＴを
形成する場合は、第６図に示すように、仕切り位
置１７の天井Ｃ裏にケース２を連設するようにし
てカーテン装置１を設置し、前記実施例で述べた
と同様に、カーテン４を垂下してクリーントンネ
ルＴを区画する。

なお、特別クリーンルームＳやクリーントンネ
ルＴを長期設定するような場合においては、カー
テン装置１の回転ドラム３を電動式とせず、モー
タプーリー３ｍを排してチエーン、又はハンドル
等による公知の手動手段を用い、カーテン４の昇
降を行う形式にしてもよい。

また、このカーテン装置１により特別クリーン
ルームＳやクリーントンネルＴを形成するのは、
クリーンルームＲ内のみに限らず、通常の室内に
設定してよいことは、申すまでもない。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、この発明は、室の天
井裏にカーテンを巻回した回転ドラムを内蔵し、
かつ、排気可能なケースを配設し、天井に設けた
案内部のカーテン用スリツトの両端部に、床面と
の間に取外し可能なガイドバーを立設し、該ガイ
ドバーのガイド溝に沿つてカーテンを垂下するこ
とにより、超清浄度レベルの特別クリーンルーム
やクリーントンネルを形成することのできるカー
テン装置を提供したため、仕切りとなるカーテン
は、各ルームの側面においてばたつくことがな
く、しかも下辺からのみ排気して上部からの漏気
がないので、特別室内の超清浄度レベルの雰囲気
を極めて安定した状態を維持することが効率よく
実施でき、更に、カーテンの昇降に伴ないケース
内に発生する粉塵も吸込みダクトから排除するの
で、特別室内へ粉塵を落下させることもない。

更に、出入口は、特別室の使用目的によつて随
所に自由に選択できるので、極めて便利である。

更にまた、超清浄度レベルの空気供給装置は、
天井裏に設置するので、特別室の天井が低くなら
ず室内のスペースを大きくできるため、有効な活
用を図り得るばかりか、前記空気供給装置による
粉塵や騒音の悪影響を、特別室を設定したクリー
ンルームや通常の室に与えることがないなど、数
数の効果を有している。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例の一部断面正面
図、第２図は、同じく平面図、第３図は、第２図
の−線断面図、第４図は、ケースの排気機構
を示す説明平面図で、同図は、排気フアンを用
いる場合の図、同図は、ボリユームダンパーを
用いる場合の図、第５図は、カーテン装置の要部
拡大縦断面図、第６図は、この発明の他の実施例
を示す透視図、第７図は、従来の移動型クリーン
ブースの図で、同図は正面図、同図は側面
図、第８図は、従来の懸垂型クリーンブースの図
で、同図は正面図、同図は側面図である。 １……カーテン装置、２……ケース、２ｓ……
カーテン用スリツト、３……回転ドラム、４……
カーテン、４ｗ……重錘、５……ガイドバー、５
ｍ……ガイド溝、Ｃ……天井、Ｆ……床面、Ｓ…
…特別クリーンルーム、Ｔ……クリーントンネ
ル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 天井裏に設置した排気可能なケースに回転ド
   ラムを内設し、該回転ドラムに巻回したカーテン
   の下辺全長にわたり取り付けた重錘の両端部を、
   天井面に設けたカーテン用スリツトの両端部にお
   いて天井と床面との間を結ぶガイドバーのガイド
   溝に案内させて垂下可能に構成し、順次に隣接し
   て配設することにより超清浄度レベル用のクリー
   ンルームを形成できるようにしたことを特徴とす
   るクリーンルーム用カーテン装置。