JPH0373435U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0373435U JPH0373435U JP13404289U JP13404289U JPH0373435U JP H0373435 U JPH0373435 U JP H0373435U JP 13404289 U JP13404289 U JP 13404289U JP 13404289 U JP13404289 U JP 13404289U JP H0373435 U JPH0373435 U JP H0373435U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- hanger
- wafer
- cleaning
- cleaning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例であるキヤリアハ
ンガを実際に、キヤリアに取り付けた場合の斜視
図である。第2図は本考案のキヤリアハンガを取
り付けたキヤリアを超音波洗浄装置の揺動アーム
に取付け、ゆりかご式揺動を行つた場合の正面図
である。第3図は従来のキヤリアハンガにより、
超音波洗浄装置で洗浄を行う場合の正面図である
。 1……キヤリアハンガ、2……ウエーハ飛び出
し防止体、3……キヤリア、4……ウエーハ、5
……揺動アーム、6……洗浄槽、7……発振板。
ンガを実際に、キヤリアに取り付けた場合の斜視
図である。第2図は本考案のキヤリアハンガを取
り付けたキヤリアを超音波洗浄装置の揺動アーム
に取付け、ゆりかご式揺動を行つた場合の正面図
である。第3図は従来のキヤリアハンガにより、
超音波洗浄装置で洗浄を行う場合の正面図である
。 1……キヤリアハンガ、2……ウエーハ飛び出
し防止体、3……キヤリア、4……ウエーハ、5
……揺動アーム、6……洗浄槽、7……発振板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエーハをキヤリアに入れ、洗浄装置の
ゆりかご式揺動部に固定して洗浄を行う時に使用
するキヤリアハンガにおいて、 キヤリアからのウエーハの飛び出しを防ぐため
のウエーハ飛び出し防止体を設けたことを特徴と
するキヤリアハンガ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13404289U JPH0373435U (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13404289U JPH0373435U (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0373435U true JPH0373435U (ja) | 1991-07-24 |
Family
ID=31681411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13404289U Pending JPH0373435U (ja) | 1989-11-17 | 1989-11-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0373435U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005177019A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Okamura Corp | 陳列棚 |
KR20200001091A (ko) * | 2018-06-26 | 2020-01-06 | 주식회사 유니퍼 | 각도 조절형 신발용 선반 |
-
1989
- 1989-11-17 JP JP13404289U patent/JPH0373435U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005177019A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Okamura Corp | 陳列棚 |
KR20200001091A (ko) * | 2018-06-26 | 2020-01-06 | 주식회사 유니퍼 | 각도 조절형 신발용 선반 |