JPH0373343B2 - - Google Patents
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- JPH0373343B2 JPH0373343B2 JP28023984A JP28023984A JPH0373343B2 JP H0373343 B2 JPH0373343 B2 JP H0373343B2 JP 28023984 A JP28023984 A JP 28023984A JP 28023984 A JP28023984 A JP 28023984A JP H0373343 B2 JPH0373343 B2 JP H0373343B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、水、液体燃料、薬液等の種々の液体
を微粒化する為の噴霧装置に関し、さらに詳しく
言えば、圧電振動子等を用いた電気的振動子の超
音波振動により加圧室の液体を加振してノズルよ
り噴射する方式の超音波液体噴射装置に関するも
のである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a spraying device for atomizing various liquids such as water, liquid fuel, and chemical solutions, and more specifically, to a spraying device for atomizing various liquids such as water, liquid fuel, and chemical solutions. The present invention relates to an ultrasonic liquid ejecting device that uses ultrasonic vibrations of a target vibrator to excite liquid in a pressurizing chamber and ejects it from a nozzle.
従来の技術
このような方式の液体噴射装置に関する従来の
技術として、古くはプリンター等に利用されてい
るインクジエツト技術があり、最近ではそのイン
クジエツト技術を改良し、加圧室に臨むノズルを
有するノズル板を圧電振動子で振動させ、その振
動により生じる音圧によつて加圧室の液体をノズ
ルから噴霧するようにした技術がある。（例えば、
特開昭58−122070号公報や、電子通信学会技術研
究報告US84−４，P.23−30）
第５図は、上記従来技術の後者の例を示す噴霧
装置の断面図である。Conventional technology The conventional technology for this type of liquid ejecting device is the inkjet technology used in printers and the like.Recently, this inkjet technology has been improved to create a nozzle plate with nozzles facing the pressurizing chamber. There is a technique in which a piezoelectric vibrator is used to vibrate a liquid, and the sound pressure generated by the vibration causes liquid in a pressurized chamber to be sprayed from a nozzle. (for example,
(JP-A-58-122070, Institute of Electronics and Communication Engineers Technical Research Report US84-4, P.23-30) FIG. 5 is a sectional view of a spraying device showing the latter example of the above-mentioned prior art.
同図に於て、噴霧部１は、直径が0.08mmのノズ
ル２を複数個有し、厚さが0.05mmのノズル板３
と、外径が５−15mmで厚さが0.5−2.0mm程度の、
開口４を有する円環状圧電セラミツク５と、深さ
が数mmの円筒状加圧室６を有するボデイー７とよ
り構成され、パイプ８と９により各々タンク１０
と吸引フアン１１に接続されている。吸引フアン
１１の発生する負圧力によりパイプ８の液面はタ
ンク１０の液面１２と同一の位置から高さhsだけ
吸い上げられ図の液面１３となつてつりあう。こ
の状態では圧電セラミツク５が付勢されていない
ので、加圧室６内の静圧はノズル２の前方（外
側）の圧力より低い圧力となつている。従つてノ
ズル２から液体が流出することがなく、又、後述
するような安定な液滴噴射動作を実現することが
できる。 In the figure, the spraying section 1 has a plurality of nozzles 2 with a diameter of 0.08 mm, and a nozzle plate 3 with a thickness of 0.05 mm.
And, the outer diameter is 5-15mm and the thickness is about 0.5-2.0mm.
It is composed of an annular piezoelectric ceramic 5 having an opening 4 and a body 7 having a cylindrical pressurizing chamber 6 with a depth of several mm, and is connected to a tank 10 by pipes 8 and 9, respectively.
and is connected to the suction fan 11. Due to the negative pressure generated by the suction fan 11, the liquid level in the pipe 8 is sucked up by a height hs from the same position as the liquid level 12 in the tank 10, and is balanced to the liquid level 13 in the figure. In this state, the piezoelectric ceramic 5 is not energized, so the static pressure in the pressurizing chamber 6 is lower than the pressure in front (outside) of the nozzle 2. Therefore, the liquid does not flow out from the nozzle 2, and stable droplet jetting operation as described later can be realized.
圧電セラミツク５の図の左右の面には電極が設
けられており（図示せず）、この電極間に20−
100KHzの交流電圧が供給されるとノズル板３と
圧電セラミツク５とは図の破線のようにたわみ振
動する。この結果、加圧室６内のノズル２の近傍
には強い音圧が発生し、ノズル２からは液滴１４
が交流電圧の極性に応じて噴射され微粒化される
ものである。 Electrodes are provided on the left and right surfaces of the piezoelectric ceramic 5 (not shown), and 20-
When an AC voltage of 100 KHz is supplied, the nozzle plate 3 and the piezoelectric ceramic 5 bend and vibrate as shown by the broken line in the figure. As a result, strong sound pressure is generated in the vicinity of the nozzle 2 in the pressurizing chamber 6, and droplets 14 are emitted from the nozzle 2.
is injected and atomized according to the polarity of the AC voltage.
このような噴射機構で動作する噴霧装置は、イ
ンクジエツト装置と違つて溶存空気を多量に含む
液体であつても極めて安定に噴霧することがで
き、電力消費が著しく少く、しかも非常にコンパ
クトで簡単な構造であるという長所を有してい
る。 Unlike inkjet devices, spray devices that operate with this type of spray mechanism can spray extremely stably even liquids that contain a large amount of dissolved air, consume significantly less power, and are extremely compact and simple. It has the advantage of being structured.
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、このような従来の噴射装置は次
のような欠点があつた。Problems to be Solved by the Invention However, such conventional injection devices have the following drawbacks.
前述したように、従来の噴射装置の構造はノズ
ル板３を圧電セラミツク５によつてたわみ振動さ
せノズル板３のノズル２が設けられている部分の
近傍のみが強く励振されるようになつている。こ
のためノズル板３や圧電セラミツク５の厚さや材
質あるいは直径などが、効率の良い振動系を実現
するために制限をうけ、ノズル２の直径や数量を
自由に選ぶことが困難であつた。即ち、溶存空気
を含む一般の液体を、目的に応じて任意の噴射
量、あるいは任意の粒径で噴射するためにノズル
２を任意の直径や数にすることが困難であつた。
特に噴射される液滴の粒径を著しく小く（例え
ば、１〜10μｍ）する場合などはノズルの数を多
くし、かつ、高周波で動作させることが必要であ
り、開口４が小くなるのでその内側に十分な数の
ノズルを設ることができず、従つて満足な噴射量
を得ることが困難であつた。 As mentioned above, the structure of the conventional injection device is such that the nozzle plate 3 is flexibly vibrated by the piezoelectric ceramic 5 so that only the portion of the nozzle plate 3 near the nozzle 2 is strongly excited. . For this reason, the thickness, material, diameter, etc. of the nozzle plate 3 and piezoelectric ceramic 5 are limited in order to realize an efficient vibration system, and it has been difficult to freely select the diameter and quantity of the nozzles 2. That is, it has been difficult to make the nozzle 2 have an arbitrary diameter or number in order to inject a general liquid containing dissolved air with an arbitrary injection amount or particle size depending on the purpose.
In particular, when the particle size of the ejected droplets is to be extremely small (for example, 1 to 10 μm), it is necessary to increase the number of nozzles and operate at a high frequency, and the aperture 4 becomes small. It was not possible to provide a sufficient number of nozzles inside the nozzle, and therefore it was difficult to obtain a satisfactory injection amount.
また、噴射液滴はノズル板の中央一箇所から噴
射される構成であるため液滴の分散が難しく、特
に液滴を空気などの気体と混合させる必要のある
用途（例えば液体燃料燃焼装置）の場合は、混合
が難しく混合空間が大きくなり構成が面倒である
という不都合があつた。 In addition, since the jetted droplets are jetted from a single location in the center of the nozzle plate, it is difficult to disperse the droplets, especially in applications where the droplets need to be mixed with a gas such as air (for example, liquid fuel combustion equipment). In this case, there were disadvantages in that mixing was difficult, the mixing space became large, and the construction was troublesome.
問題点を解決するための手段
本発明はこのような従来の噴射装置の欠点を解
決するためになされたものであり、以下に述べる
手段により構成された液体噴射装置である。Means for Solving the Problems The present invention has been made to solve the drawbacks of such conventional injection devices, and is a liquid injection device constructed by the means described below.
即ち、中央部と外周部との間の中間部に複数の
ノズルを設けたノズル板と、前記ノズル板の中央
部又は外周部を付勢して前記ノズル板を振動させ
る電気的振動子と、液体が充填される加圧室を備
えたボデイーとより成り、前記ノズルが前記加圧
室に臨むように前記ノズル板の外周部又は中央部
を前記ボデイーに装着する構成とするとともに、
前記ノズル板の外周部と中央部とを節とし中間部
を腹とする振動を励起して前記ノズルより液体を
噴射するよう構成したものである。 That is, a nozzle plate provided with a plurality of nozzles in an intermediate part between a central part and an outer peripheral part, and an electric vibrator that vibrates the nozzle plate by energizing the central part or the outer peripheral part of the nozzle plate. A body comprising a pressurized chamber filled with liquid, and an outer peripheral portion or a central portion of the nozzle plate is attached to the body so that the nozzle faces the pressurized chamber, and
The liquid is ejected from the nozzle by exciting a vibration having nodes at the outer circumference and center of the nozzle plate and an antinode at the middle.
作 用
本発明は上記手段から成る構成により、ノズル
板の中間部に多くの小孔ノズルを設けることを可
能ならしめ、かつ、ノズル板の振動の腹にノズル
を位置せしめることができるものである。従つ
て、高い周波数で動作して非常に小さい粒径で、
しかも、大量の液滴を噴射せしめることを可能に
するものである。また、液滴の噴射部分、即ち、
ノズルの配置場所を分散し空気などの気体との混
合を極めて容易にするという作用を有するもので
ある。Effects The present invention is configured by the above-mentioned means, making it possible to provide many small hole nozzles in the middle part of the nozzle plate, and positioning the nozzles at the antinode of the vibration of the nozzle plate. . Therefore, operating at high frequencies and with very small particle sizes,
Furthermore, it is possible to eject a large amount of droplets. In addition, the ejection part of the droplet, that is,
This has the effect of dispersing the locations of the nozzles and making mixing with gas such as air extremely easy.
実施例
第１図は本発明の実施例を示す液体噴射装置の
断面図である。Embodiment FIG. 1 is a sectional view of a liquid ejecting device showing an embodiment of the present invention.
第１図に於て、第５図と同符号のものは相当す
る構造物であり説明を省略する。同図に於て、ノ
ズル板３はボデイー７にその外周部１５が固定さ
れ、かつ、その中央部１６は電気的振動子５のホ
ーン１７の先端１８にロウ付などにより固定され
ている。ノズル板３の中間部１９にはノズル２が
図のようにリング状に設けられている。第２図は
このノズル２の配置を示す平面図であり第１図と
同符号のものは相当する構造物である。ホーン１
７の後端には並列接続された圧電振動子２０，２
１が電極板２２を挾んでボルト２３とナツト２４
にて装着されている。図より明らかなように、電
気的振動子５はランジユバン型圧電振動子により
構成されている。ノズル板３の中央部１６及び電
気的振動子５の中央には空気孔２５及び空気通路
２６が設けられ、空気パイプ２７によりフアン１
１に接続されている。フアン１１により送風空気
は図の矢印のように空気孔２５より噴出され、液
滴１４の飛行方向を分散して空気と液滴１４との
混合を促進せしめる。 In FIG. 1, the same reference numerals as in FIG. 5 indicate corresponding structures, and their explanation will be omitted. In the figure, the nozzle plate 3 has its outer peripheral portion 15 fixed to the body 7, and its central portion 16 is fixed to the tip 18 of the horn 17 of the electric vibrator 5 by brazing or the like. The nozzle 2 is provided in the middle part 19 of the nozzle plate 3 in a ring shape as shown in the figure. FIG. 2 is a plan view showing the arrangement of the nozzle 2, and the same reference numerals as in FIG. 1 indicate corresponding structures. horn 1
At the rear end of 7 are piezoelectric vibrators 20, 2 connected in parallel.
1 holds the electrode plate 22 and bolts 23 and nuts 24
It is installed at. As is clear from the figure, the electric vibrator 5 is constituted by a Languevent type piezoelectric vibrator. An air hole 25 and an air passage 26 are provided in the center part 16 of the nozzle plate 3 and in the center of the electric vibrator 5, and an air pipe 27 connects the fan 1.
Connected to 1. Air is blown out from the air holes 25 by the fan 11 as shown by the arrows in the figure, and the flying direction of the droplets 14 is dispersed to promote mixing of the air and the droplets 14.
電気的振動子５のホーン１７の周囲にはその振
動（即ち音波）が加圧室６内の液体に伝搬してキ
ヤビテーシヨンが発生し動作不安定にならないよ
うに、音波吸収部材２８が設けられている。２
９，３０はビスであり、ホーン１７の振動の節を
ボデイー７に固定するものである。 A sound wave absorbing member 28 is provided around the horn 17 of the electric vibrator 5 to prevent vibrations (that is, sound waves) from propagating into the liquid in the pressurizing chamber 6 and causing cavitation and unstable operation. There is. 2
Numerals 9 and 30 are screws that fix the vibration nodes of the horn 17 to the body 7.
このような構成にて、圧電振動子２０，２１が
付勢されると、ホーン１７の先端１８は図中矢印
のように図の左右方向に振動する。この振動エネ
ルギーによりノズル板３は、図の破線のようにノ
ズル板３の外周部１５と中央部１６を節とし中間
部１９を腹とする振動を生じ、この振動により発
生する音圧によつてノズル２からは液滴１４が噴
射される。 With this configuration, when the piezoelectric vibrators 20 and 21 are energized, the tip 18 of the horn 17 vibrates in the left-right direction in the figure as indicated by the arrow in the figure. This vibrational energy causes the nozzle plate 3 to vibrate as shown by the broken line in the figure, with the outer peripheral part 15 and central part 16 of the nozzle plate 3 as nodes and the intermediate part 19 as an antinode. Droplets 14 are ejected from the nozzle 2.
第１図及び第２図より明かなように、ノズル２
はノズル板３の中間部１９に設けられ、外周部１
５と中央部１６をボデイー７と電気的振動子５と
に固定するようにしたのでノズル２の配置できる
面積を著しく大きくし、かつ、高い周波数でノズ
ル板３を振動し非常に小さい液滴１４を大量に噴
射せしめることができる。 As is clear from FIGS. 1 and 2, the nozzle 2
is provided in the middle part 19 of the nozzle plate 3, and the outer peripheral part 1
5 and the central part 16 are fixed to the body 7 and the electric vibrator 5, the area in which the nozzle 2 can be placed is significantly increased, and the nozzle plate 3 is vibrated at a high frequency to generate very small droplets 14. can be sprayed in large quantities.
第１図及び第２図に於て、電気的振動子５によ
りノズル板３の中央部１６を振動させる構成を示
したが、逆に外周部１５を電気的振動子５により
振動させる構成であつてもよい。 Although FIGS. 1 and 2 show a configuration in which the central portion 16 of the nozzle plate 3 is vibrated by the electric vibrator 5, a configuration in which the outer peripheral portion 15 is vibrated by the electric vibrator 5 is also shown. It's okay.
第３図は本発明の他の実施例を示す液体噴射装
置の断面図であつて、第１図と同符号のものは相
当する構造物であり説明を省略する。同図に於
て、ノズル板３の中間部１９は図の破線のように
振動して片側に２つの振動の腹を有しており、ノ
ズル２はこの腹に設けられている。このように構
成することにより、いつそう大量の、しかも、さ
らに微粒化した液滴を噴霧することができる液体
噴射装置を実現することができる。 FIG. 3 is a cross-sectional view of a liquid ejecting device showing another embodiment of the present invention, and the same reference numerals as in FIG. 1 indicate corresponding structures, and the explanation thereof will be omitted. In the figure, the intermediate portion 19 of the nozzle plate 3 vibrates as indicated by the broken line in the figure, and has two antinodes of vibration on one side, and the nozzle 2 is provided on this antinode. With this configuration, it is possible to realize a liquid ejecting device that can spray a large amount of liquid droplets that are further atomized.
第４図は本発明のさらに他の実施例を示す液体
噴射装置の断面図であつて、第１図と同符号のも
のは相当する構造物であり説明を省略する。同図
に於て、ノズル板３の中間部１９は突起部２９が
設けられている。この突起部２９が一種の剛体と
して図の破線のように振動するので、突起部２９
上に設けられたノズル２の振幅はほぼ均一となり
多くのノズル２を設けても大量で均一粒径の微粒
化した液滴を噴霧することができる液体噴射装置
を実現することができる。 FIG. 4 is a cross-sectional view of a liquid ejecting device showing still another embodiment of the present invention, and the same reference numerals as in FIG. 1 indicate corresponding structures, and the explanation thereof will be omitted. In the figure, the intermediate portion 19 of the nozzle plate 3 is provided with a protrusion 29. This protrusion 29 acts as a kind of rigid body and vibrates as shown by the broken line in the figure.
The amplitude of the nozzles 2 provided above is substantially uniform, and even if a large number of nozzles 2 are provided, it is possible to realize a liquid ejecting device that can spray a large amount of atomized droplets of uniform particle size.
このように本発明による液体噴射装置はノズル
板の中間部にノズルを設け、ノズル板の外周部と
中央部とを電気的振動子とボデイーとに装着し振
動させる構成であるのでノズルの数や振動周波数
の自由度を高め、従来の問題点を解消することが
できる。 As described above, the liquid ejecting device according to the present invention is configured such that the nozzle is provided in the middle part of the nozzle plate, and the outer periphery and center part of the nozzle plate are attached to the electric vibrator and the body to vibrate. The degree of freedom in vibration frequency can be increased and conventional problems can be solved.
発明の効果
以上に述べたように本発明によれば、以下のよ
うな効果を得ることができる。Effects of the Invention As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
(1) ノズル板の中間部にノズルを設け、中央部又
は外周部を電気的振動子又はボデイーに装着す
る構成とし、電気的振動子によりノズル板を振
動せしめるように構成したので、微小ノズルが
数多くノズル板の中間部に位置せしめることが
でき、ノズル数の限定を大幅に広げることが可
能である。(1) The nozzle is provided in the middle part of the nozzle plate, and the central part or the outer periphery is attached to an electric vibrator or body, and the nozzle plate is vibrated by the electric vibrator. A large number of nozzles can be positioned in the middle of the nozzle plate, and the number of nozzles can be greatly limited.
(2) また、上記構成により、ノズルの数などにか
かわらず任意の高周波数で動作することができ
る液体噴射装置を実現することができ、極めて
高い自由度を保証することができる。(2) Furthermore, with the above configuration, it is possible to realize a liquid ejecting device that can operate at any high frequency regardless of the number of nozzles, etc., and it is possible to guarantee an extremely high degree of freedom.
(3) 従つて、極めて微小な液滴を大量に噴射する
ことができる液体噴射装置を実現することがで
きる。(3) Therefore, it is possible to realize a liquid ejecting device that can eject a large amount of extremely small droplets.
(4) さらに又、ノズルの分布が一点に集中せず、
分散することができるので、噴射液滴を空気な
どの他の物質と混合する場合、この混合が容易
であるうえに均一な混合が可能となる。(4) Furthermore, the nozzle distribution is not concentrated at one point,
Since it can be dispersed, when the ejected droplets are mixed with other substances such as air, this mixing is easy and uniform mixing is possible.
従つて、特に液体燃料燃焼装置などに適用する
場合などはその効果が一層大きいものとなる。 Therefore, especially when applied to a liquid fuel combustion device, the effect is even greater.
第１図は本発明の一実施例を示す液体噴射装置
の断面図、第２図は同装置の平面図、第３図は本
発明の他の実施例を示す液体噴射装置の断面図、
第４図は本発明のさらに他の実施例を示す液体噴
射装置の断面図、第５図は従来の液体噴射装置の
断面図である。
２……ノズル、３……ノズル板、５……電気的
振動子、６……加圧室、７……ボデイー、１４…
…液滴、１５……外周部、１６……中央部、１９
……中間部。
FIG. 1 is a sectional view of a liquid ejecting device showing one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the same device, and FIG. 3 is a sectional view of a liquid ejecting device showing another embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a sectional view of a liquid ejecting device showing still another embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a sectional view of a conventional liquid ejecting device. 2... Nozzle, 3... Nozzle plate, 5... Electric vibrator, 6... Pressurizing chamber, 7... Body, 14...
...Droplet, 15...Outer periphery, 16...Center, 19
...Middle part.
Claims (1)
ルを設けたノズル板と、前記ノズル板の中央部ま
たは外周部を付勢して前記ノズル板を振動させる
電気的振動子と、液体が充填される加圧室を有す
るボデイーとよりなり、前記ノズルが前記加圧室
に臨むように前記ノズル板の外周部または中央部
を前記ボデイーに装着する構成とすると共に、前
記ノズル板の中央部と外周部を振動の節とし、か
つ中間部を腹とする振動を励起して前記ノズルよ
り液体を噴射するよう構成した液体噴射装置。 ２ ノズル板を円板状とし、ノズルをリング状に
配置した特許請求の範囲第１項記載の液体噴射装
置。 ３ ノズル板の中央部に空気を噴出する空気噴出
口を設け前記空気噴出口の周囲に液体を噴射する
よう構成した特許請求の範囲第１項又は第２項記
載の液体噴射装置。 ４ 電気的振動子によりノズル板の中央部を付勢
する構成とし、かつ、前記ノズル板の外周部をボ
デイーに装着する構成とすると共に、前記電気的
振動子の周囲に加圧室を設ける構成とした特許請
求の範囲第１項記載の液体噴射装置。 ５ 電気的振動子と加圧室の間に高波の伝搬量を
減少させるための吸音部材を設けた特許請求の範
囲第４項記載の液体噴射装置。 ６ 電気的振動子をランジユバン型圧電振動子で
構成した特特請求の範囲第４項記載の液体噴射装
置。 ７ ノズル板に突起部を設け、前記突起部にノズ
ルを配置せしめた特許請求の範囲第１項記載の液
体噴射装置。[Scope of Claims] 1. A nozzle plate with a plurality of nozzles provided in an intermediate part between a central part and an outer peripheral part, and electricity that vibrates the nozzle plate by energizing the central part or the outer peripheral part of the nozzle plate. a body having a pressurized chamber filled with liquid, and an outer peripheral portion or a central portion of the nozzle plate is attached to the body so that the nozzle faces the pressurized chamber; A liquid ejecting device configured to eject liquid from the nozzle by exciting vibrations in which the center and outer circumferential parts of the nozzle plate are vibration nodes and the middle part is an antinode. 2. The liquid ejecting device according to claim 1, wherein the nozzle plate is disk-shaped and the nozzles are arranged in a ring shape. 3. The liquid ejecting device according to claim 1 or 2, wherein an air ejection port for ejecting air is provided in the center of the nozzle plate, and the liquid is injected around the air ejection port. 4. A configuration in which the central part of the nozzle plate is biased by an electric vibrator, an outer peripheral part of the nozzle plate is attached to the body, and a pressurized chamber is provided around the electric vibrator. A liquid ejecting device according to claim 1. 5. The liquid ejecting device according to claim 4, further comprising a sound absorbing member for reducing the amount of propagation of high waves between the electric vibrator and the pressurizing chamber. 6. The liquid ejecting device according to claim 4, wherein the electric vibrator is a Languevent type piezoelectric vibrator. 7. The liquid ejecting device according to claim 1, wherein a projection is provided on the nozzle plate, and a nozzle is disposed on the projection.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28023984A JPS61153172A (en) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | Liquid injector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28023984A JPS61153172A (en) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | Liquid injector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61153172A JPS61153172A (en) | 1986-07-11 |
| JPH0373343B2 true JPH0373343B2 (en) | 1991-11-21 |
Family
ID=17622236
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28023984A Granted JPS61153172A (en) | 1984-12-27 | 1984-12-27 | Liquid injector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61153172A (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ATE78714T1 (en) * | 1986-10-07 | 1992-08-15 | Corning Glass Works | SPHERICAL PARTICLES GENERATED BY ULTRASONIC VIBRATION WITH NARROW SIZE DISTRIBUTION. |
| JP2615084B2 (en) * | 1987-10-24 | 1997-05-28 | 富士重工業株式会社 | Torque split control device for four-wheel drive vehicle |
| JPH0647971U (en) * | 1992-11-27 | 1994-06-28 | 株式会社大阪クリップ | Name tag |
-
1984
- 1984-12-27 JP JP28023984A patent/JPS61153172A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61153172A (en) | 1986-07-11 |
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