JPH0359363U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0359363U JPH0359363U JP1989118931U JP11893189U JPH0359363U JP H0359363 U JPH0359363 U JP H0359363U JP 1989118931 U JP1989118931 U JP 1989118931U JP 11893189 U JP11893189 U JP 11893189U JP H0359363 U JPH0359363 U JP H0359363U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- filament
- deposition apparatus
- intermediate member
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
第1図及び第2図は本考案の実施例としての蒸
着装置の要部の各々拡散分解斜視図、及び平断面
図、第3図は第2図に関する−線断面図、第
4図は第2図及び第3図に関する−矢視図、
第5図及び第6図は従来の蒸着装置の各々斜視図
及び縦断面図、第7図及び第8図は第5図及び第
6図に示した蒸着装置の要部の拡大図である。 主要部分の符号の説明、1…基台、2…ハウジ
ング、5…光デイスク基板、6…デイスクホルダ
、8…給電支柱、9…蒸着用金属、10…フイラ
メント、16…押圧ねじ、21…支持部材、23
…中間部材。
着装置の要部の各々拡散分解斜視図、及び平断面
図、第3図は第2図に関する−線断面図、第
4図は第2図及び第3図に関する−矢視図、
第5図及び第6図は従来の蒸着装置の各々斜視図
及び縦断面図、第7図及び第8図は第5図及び第
6図に示した蒸着装置の要部の拡大図である。 主要部分の符号の説明、1…基台、2…ハウジ
ング、5…光デイスク基板、6…デイスクホルダ
、8…給電支柱、9…蒸着用金属、10…フイラ
メント、16…押圧ねじ、21…支持部材、23
…中間部材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 密閉容器内において電極間に架設されて被
蒸着体に蒸着さるべき蒸着用金属を加熱するフイ
ラメントの端部を前記電極に固定する固定手段を
含み、前記固定手段は前記電極に固定されて前記
電極側に前記フイラメントが挿通され得る凹部を
有する支持部材と、前記支持部材に螺合して先端
にて前記フイラメントを押圧する押圧ねじとを有
する蒸着装置であつて、前記凹部内において前記
フイラメントと前記押圧ねじとの間に介装され且
つ前記フイラメントに外嵌する嵌合溝を有する中
間部材を有することを特徴とする蒸着装置。 (2) 前記中間部材には前記支持部材の外側面に
沿つて張出する張出部が設けられていることを特
徴とする請求項1記載の蒸着装置。 (3) 前記中間部材を前記押圧ねじの回転中心軸
に並行に案内する案内手段を有することを特徴と
する請求項1又は2記載の蒸着装置。 (4) 前記押圧ねじ及び前記中間部材が互いに枢
着されていることを特徴とする請求項1ないし3
のうちいずれか1記載の蒸着装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989118931U JPH0754285Y2 (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 | 蒸着装置 |
US07/515,016 US4986212A (en) | 1989-10-11 | 1990-04-26 | Metallizing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989118931U JPH0754285Y2 (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 | 蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0359363U true JPH0359363U (ja) | 1991-06-11 |
JPH0754285Y2 JPH0754285Y2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=14748759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989118931U Expired - Lifetime JPH0754285Y2 (ja) | 1989-10-11 | 1989-10-11 | 蒸着装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4986212A (ja) |
JP (1) | JPH0754285Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0736611A1 (en) * | 1995-04-04 | 1996-10-09 | Sony DADC Austria AG | Heater for evaporation and evaporation equipment |
CN102031485B (zh) * | 2009-09-25 | 2013-09-25 | 深圳富泰宏精密工业有限公司 | 蒸发源及使用该蒸发源的蒸镀装置 |
DE102010032591A1 (de) * | 2010-07-23 | 2012-01-26 | Leybold Optics Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Vakuumbeschichtung |
KR20120096788A (ko) * | 2011-02-23 | 2012-08-31 | 삼성전자주식회사 | 외관 기구물의 표면 코팅 방법 및 표면 코팅 장치 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5842161U (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-19 | 日東電工株式会社 | 線状ヒ−タの保持構造 |
JPS6120558U (ja) * | 1984-07-10 | 1986-02-06 | 日立マクセル株式会社 | 真空蒸着装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3274372A (en) * | 1964-07-27 | 1966-09-20 | Electro Optical Systems Inc | Solid vaporization |
US3517161A (en) * | 1967-09-13 | 1970-06-23 | Bendix Corp | Sublimation unit and system |
NL6713713A (ja) * | 1967-10-10 | 1969-04-14 |
-
1989
- 1989-10-11 JP JP1989118931U patent/JPH0754285Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-04-26 US US07/515,016 patent/US4986212A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5842161U (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-19 | 日東電工株式会社 | 線状ヒ−タの保持構造 |
JPS6120558U (ja) * | 1984-07-10 | 1986-02-06 | 日立マクセル株式会社 | 真空蒸着装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0754285Y2 (ja) | 1995-12-18 |
US4986212A (en) | 1991-01-22 |