JPH0356141U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0356141U JPH0356141U JP6349989U JP6349989U JPH0356141U JP H0356141 U JPH0356141 U JP H0356141U JP 6349989 U JP6349989 U JP 6349989U JP 6349989 U JP6349989 U JP 6349989U JP H0356141 U JPH0356141 U JP H0356141U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- mounting
- rotation
- holder
- horizontal position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例による基板旋回取付
装置が適用される反応装置の一部断面図、第２図
は本考案の一実施例による装置の受け台及びこの
旋回機構を示す図、第３図は第２図の平面図、第
４図は前記実施例の基板ホルダーの側面図、第５
図は前記基板ホルダーの縦断面構成図である。 ２……受け台、３……基板ホルダー、４……旋
回機構、５，６……受け板、８……脱落防止用ピ
ン、９……旋回軸、１４……旋回部材、１５……
ピン、１６……押圧部材、２０……爪。
装置が適用される反応装置の一部断面図、第２図
は本考案の一実施例による装置の受け台及びこの
旋回機構を示す図、第３図は第２図の平面図、第
４図は前記実施例の基板ホルダーの側面図、第５
図は前記基板ホルダーの縦断面構成図である。 ２……受け台、３……基板ホルダー、４……旋
回機構、５，６……受け板、８……脱落防止用ピ
ン、９……旋回軸、１４……旋回部材、１５……
ピン、１６……押圧部材、２０……爪。
補正 平２．１１．１４
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第１２頁第１１行の「構成図である」を
、「構成図、第６図は基板ホルダのウエハ取付面
の一部断面図である。」に補正する。
、「構成図、第６図は基板ホルダのウエハ取付面
の一部断面図である。」に補正する。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 鉛直な基板取付面を有する基板ホルダーに基板
を装着するための基板旋回取付装置であつて、 基板を載置するための水平姿勢及び載置された
基板を前記基板ホルダーの基板取付面に装着する
ための鉛直姿勢を取り得るように旋回自在に設け
られるとともに、旋回時に基板が脱落するのを防
止するための基板脱落防止部材を有する受け台と
、 この受け台を旋回するための旋回機構と、 を備えた基板旋回取付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6349989U JPH0356141U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6349989U JPH0356141U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0356141U true JPH0356141U (ja) | 1991-05-30 |
Family
ID=31593603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6349989U Pending JPH0356141U (ja) | 1989-05-31 | 1989-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0356141U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009146932A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送装置、基板搬送方法及び真空処理装置 |
| KR101302485B1 (ko) * | 2010-11-05 | 2013-09-02 | 주식회사 로보스타 | 이송장비 |
-
1989
- 1989-05-31 JP JP6349989U patent/JPH0356141U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009146932A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送装置、基板搬送方法及び真空処理装置 |
| KR101302485B1 (ko) * | 2010-11-05 | 2013-09-02 | 주식회사 로보스타 | 이송장비 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0356141U (ja) | ||
| JPS5833850U (ja) | ロ−プよりもどし装置 | |
| JPS62127769U (ja) | ||
| JPH02119345U (ja) | ||
| JPH0413232U (ja) | ||
| JPS63109247U (ja) | ||
| JPS62117038U (ja) | ||
| JPH0359141U (ja) | ||
| JPH0328792U (ja) | ||
| JPS6274383U (ja) | ||
| JPS599902U (ja) | キヤスタ−装着具 | |
| JPS63158312U (ja) | ||
| JPS599903U (ja) | キヤスタ−装着具 | |
| JPS61137197U (ja) | ||
| JPS5861243U (ja) | マツサ−ジ装置 | |
| JPH0265341U (ja) | ||
| JPH0375878U (ja) | ||
| JPS58129234U (ja) | シ−ト回転装置 | |
| JPS6078230U (ja) | ねじ軸の空回り防止装置 | |
| JPH01179443U (ja) | ||
| JPS63100492U (ja) | ||
| JPS6361377U (ja) | ||
| JPS595159U (ja) | モツプ取付用台板の安定装置 | |
| JPH039903U (ja) | ||
| JPH033278U (ja) |