JPH0356081A - 静電気浮遊物体の位置制御方法 - Google Patents

静電気浮遊物体の位置制御方法

Info

Publication number
JPH0356081A
JPH0356081A JP19217689A JP19217689A JPH0356081A JP H0356081 A JPH0356081 A JP H0356081A JP 19217689 A JP19217689 A JP 19217689A JP 19217689 A JP19217689 A JP 19217689A JP H0356081 A JPH0356081 A JP H0356081A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
charged object
force
voltage
space
electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP19217689A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2701467B2 (ja
Inventor
Masaaki Ogiwara
荻原 正明
Tsumoru Fujii
藤井 積
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP19217689A priority Critical patent/JP2701467B2/ja
Publication of JPH0356081A publication Critical patent/JPH0356081A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2701467B2 publication Critical patent/JP2701467B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ この発明は、帯電物体を静電気的な力を利用して容器な
どと非接触状態に保持し、所定の位置に安定して位置決
めできるようにした静電気浮遊物体の位置制御方法に関
し、特に気体による振動減衰効果が利用できない宇宙空
間で有効なものである。
[従来の技術コ 静電浮遊の利用分野の一つとして宇宙での新素材の開発
研究があり、宇宙の微小重力環境を利用して素材を空間
の一点に非接触状態で保持し、無容器で加熱、溶融、凝
固処理を行うことで新規な材料の開発を行うことが考え
られている。
この静電浮遊方法では、対象とする物体が帯電物体であ
れば、これを複数の7111を用いて形或した静電場内
の空間の所定の泣置に浮遊させて保t,+1させること
か可能であり、具体的な静f5 lf,遊装置について
も提案されている。
[発明が解決しようとする課題] ところが、このような静電気浮遊装置によって帯電物体
を浮遊させた場合、高真空状態の宇市では、地上と異な
り空気などの気体の粘性などによる抵抗が帯電物体に作
用することが期待てきない。
このため帯電物体に振動が生じると、これを城衰するこ
とができず、振動が永久に続いてしまい、シ;ツ電物体
の静電浮上が不可能になってしまうという問題がある。
そこで、何等かの力を帯電物体に与えて振動を減衰させ
る必要から直流電圧による位置制御法が提案されている
が、上下一対の皿型の電極や空間に配置された4つの球
形の電極に直流電圧を印加して静電浮遊を行うため、静
電浮遊の制御の応答性が遅いという問題や位置制御のた
めの制御変数が電圧だけであり、安定に浮遊させること
ができる範囲が狭いという問題がある。
この発明は、かかる現状に鑑みてなされたもので、宇宙
などの高真空下であっても電気的な力で減衰力を与え、
安定した状態で静電浮遊させることができるとともに、
制御範囲も広い静電気浮遊物体の位置制御方法を提供し
ようとするものである。
[課題を解決するための手段] 上記課題を解決するためこの発明の静電気浮遊物体の位
置制御方法は、帯電物体を静電気的な力で空間に位置決
めするに際し、前記物体の振動変位に応じてその振動方
向と逆向きに振動を減衰させる力を発生する交流電圧を
加えるようにしたことを特徴とするものである。
[作 用] この静電気浮遊物体の位置制御方法によれば、帯電物体
の振動変位を位置検出器などで検出し、その検出値に応
じて、その振動方向と逆の向きに(位相が反転した)交
流電圧を加えるようにしており、この交流電圧によりク
ーロン力を発生させ、この力によって真空中で気体の粘
性力に相当する減衰力を帯電物体に与えるようにし、帯
電物体の位置を制御できるようにしている。
また、減衰力の発生のため交流電圧を印加するようにし
ているため、制御変数として電圧および周波数を用いる
ことができ、2つの変数を組合わせて安定に帯電物体の
位置を制御できる範囲の拡大を図るようにしている。
[実施例] 以下、この発明の一実施例を図面に基づき詳細に説明す
る。
第1図はこの発明の静電気浮遊物体の位置制御方法の一
実施例が適用される静電浮遊装置にかかる概略構成図で
ある。
この静電浮遊装置10では、軸方向と直交する方向の閉
じ込め力を発生させる第1電極11と、これと直交する
軸方向の閉じ込め力を発生する第2電極12とを備えて
いる。
まず、空間の左右方向の閉じ込め力を発生させる第1電
極11は、例えば第1図に示すように、2本1組の円柱
電極11a,llaおよびもう1組の円柱電極1lb,
llbの4本で構成され、空間の原点を通る中心軸から
等距離の位置に軸方向に沿うよう配置され、平面状態で
は各電極11a,lla,llb,llbが正方形の頂
点に位置している。
次に、空間の上下方向の閉じ込め力を発生させる第2電
極12は、2個1組の球形電極12a,12aで構威さ
れ、空間の原点を通る中心軸上の上下等距離の位置に配
置されている。
そして、これら第2電極12に電圧を印加する電源13
は、直流電源が使用される。
一方、4本の円柱電極1 1 a,  1 1 a, 
 1 l b,1. 1 bで構威された第1電極11
に電圧を印加する電源■4は、少なくとも交流分を含む
電源が使用され、例えば交流のみの電源や直流を交流に
重畳した電源が使用される。この場合の電源14の交流
分の周波数は、低周波から商用周波数を含む高周波まで
の広い範囲のものが使用される。
このように構成された静電浮遊装置1oによれば、第2
電極12である球形電極12a,12aに電源13から
帯電物体15の極性と同一の直流電圧を印加するととも
に、第1電極11である円柱電極11a,lla,ll
b,llbに電源14から交流電圧を印加し、空間の中
心部に帯電物体15を位置させる。
すると、第2電極12である球形電極12a,]. 2
 aによって上下方向の反発力としての閉じ込め力が発
生するとともに、第1電極11である円柱電tffil
la,lla,llb,1lb+.:よッテ左右方向の
閉じ込め力が発生し、左右方向については、帯電物体1
5は電気力線パターンに沿って運動し、第1電極11の
中心部に向かって閉じ込め力が作用し散逸が防止される
とともに、上下方向については、上下の電極12の極性
と(強制的に同じ極性になるように荷電された)同極性
の帯電物体15が、第2電極12間の反発力(閉じ込め
力)によって重力に逆らって浮上されることとなり、帯
電物体15は左右方向及び上下方向の閉じ込み力で第1
,第2電極11.12の中央部で安定した状態で浮上さ
れる。
このような第1電極11及び第2電極12により帯電物
体15が浮上された状態で、帯電物体15に振動などが
生じると、宇宙においては、振動を減衰させることがで
きないことから、この静電浮遊装置IOでは、帯電物体
15の位置を検出して振動発生の有無などを知るため位
置検出器16が設けられている。
この位置検出器16は、空間における帯電物体15の位
置を検出できるよう3個の位置検出器16a,16a,
16aで構成されており、位置演算器17に検出信号か
人力され、泣置の変位が求められる。
この位置演算器17には、交流電源A,Bを備えた制御
器18が接続され、帯電物体15の変位が人力され、こ
れに基づくフィードバック制御により1組の円柱電極1
1a,llaに位置制御用の交流電圧を印加する。
この制御器18によって円柱電極11a,11aに加え
られる位置制御用の交流は、帯電物体15の振動変位に
応じてその振動方向と逆向きの(位相か反転している)
もの(交流電圧)を加える。 このような帯電物体15
の位置制御では、例えば、帯電物体15の振動(位置R
)が、第2図中の実線で示すように変化し、次式(1)
で与えられる場合、減衰のため必要な交流は、第2図中
破線で示すように変化する次式(2)で与えられるもの
となる。
R − k −cosωt・    (])R− −−
k − ●cos (IJ− t ●(2)ここで、k
,k−:定数、ω,ω゛:角周波数、t:時間である。
このような電気的な減衰力を与えることにより、帯電物
体15の位置は、式(1)と式(2)を加えた次式(3
)で表わされる位置になることから、定数k一及び角周
波数ω′を交流電源の電圧及び周波数を変数として制御
し、(3)式の値が0となるようにする。
R+R−−k−cos c+.+t−k− ●cos 
(IJ  t(3) 次に、帯電物体15の位置がずれた場合の具体的な制御
について、円柱電極11a,lla,1lb,llbの
横断面状態を示す第3図により説明する。
今、帯電物体15の位置が中心Oからrだけずれたとす
ると、このずれ量『が位置検出器16て検出される。
この場合、この変位rによって帯電物体15に生じる最
大の力Fは、浮遊電極11が第1図に示した4重極電極
の場合、次式(4)で与えられる。
F={(Q −■ 〉/(2R −Me・Ω2〉}r2
  2     4 ◆・(4) ここで、Q:帯電物体15の電荷、V:4重極電極印加
電圧、R:4重極電極間距離、Me:帯電物体15の1
1Ω:電源角周波数である。
そこで、この帯電物体l5に加わる力Fを0にするよう
にすれば良いが、その方法には、次の2つ(a),  
(b)がある。
(a)  上記(4)式の力Fをt目殺するような力Q
XE(この値QXEはクーロン力であり、Eは制御器1
8内のフィードバック回路での交流電源Aで与えられる
電圧V′と角周波数ωによる電荷である。)を、力Fの
方向と逆に与えれば良い。
すなわち、(4)式−QxEとおいて、Eを求めると次
式(5)となり、この電界を交流電源Bにより与えられ
る4重極の交流信号と逆の位相(2πだけずれた位相)
で与え、力を相殺し、振幅を0にする。
24 E=l(Q−V  ) /( 2R  −Me−Ω2)
}『(5) このようにして帯電物体15の周期と逆位相の周期の信
号を帯電物体15に与えることで、真空中において、静
電浮遊している帯電物体15に振動が発生しても空間の
一点に保持するよう制御することができる。
(b)  この方伏は、ストークス抵抗に等しい値を、
クーロンカて与える方式である。
すなわち、粘性低抗ηの媒質中を、半径Xの粒子が速度
Vで運動するときは、次式(6)で与えられるストーク
ス抵抗Fsが生じる。
Fs =5π*Xe77ey     +  (6)そ
こで、この(6)式のストークス抵抗に等しい値を、ク
ーロン力で与えるようにするため、(6)式一QXEと
おくと、Eは次式(7)で求められる。
E=Q/(6π・X・η・v)    (7)ここで、
Q,X,  ηはそれぞれ定数であるから、(7)式は
、E − k / vで表わすことができる。
したかって、帯電物体15の速度Vを位置検出器16と
位置演算器17とから求め、Eを決定し、制御器18に
よるフィードバックil1御により交流電圧を加えて帯
電物体15の位置を制御する。
例えば、帯電物体15の半径X= 5 mmSY5界E
s −5kv/cmで荷電した場合の理論荷電量Qは、
Q−12πεo X2Es  (εo真誘電率)により
Q=4X10−9となり、空気の粘性抵抗をη=5−2 l8×lO N−m ●Sとすれば、 E=425xv                  
  (8)となり、 帯電物体15かv=100m/sで移動してもE=42
51 1v /m−0.425kv/cmと、通常の電
源で十分印加することができる値である。
このようにして空気の粘性抵抗に等しい電気力を電極空
間に与えることで、真空中において、静電浮遊している
帯電物体15に振動か発生しても空間の一点に保持する
よう制御することができる。
以上のように、位置検出器]6および位置演算器17に
より求められた帯電物体15の変位に対し、帯電物体1
5の移動方向と逆方向に電気力を与えるようにし、帯電
物体15を減衰させるようにしているので、帯電物体1
5を電極11.,1.2の空間の中央部に安定状態で静
止させることができる。
また、帯電物体15に対して減衰を与えるための電気力
(電界)は、(5)式により帯電物体15の振幅、質量
、電源周波数、荷電量によって決まり、これらに基づき
演算器18で演算された所定の交流電圧をフィードバッ
ク制御によって印加するようにしているので、真空中で
あっても帯電物体15の振動を抑え、所定の位置に保持
することができる。
なお、上記実施例ては、浮遊用電極として球形71S極
や2本1組の円柱電極を2組用いる静電l甲遊装置に適
用した場合で説明したか、電極形状はこれに限らず池の
形状であっても良く、ざらにmWの個数や組数を増大す
るようにした静電浮遊装置であっても良い。
また、この発明の要旨を逸脱しない範囲で各構成要素を
変更しても良いことは言うまでもない。
[発明の効果] 以上、実施例とともに具体的に説明したようにこの発明
の静電気浮遊物体の位置制御方法によれば、帯電物体の
振動変位を1立置険出器などで検出し、その検出値に応
じて、その振動方向と逆の向きに(位相が反転した)交
流電圧を加えるようにしているので、この交流電圧によ
りクーロンカを発生させ、この力によって真空中で気体
の粘性力に相当する減衰力を帯電物体に与えるようにし
、帯電物体の位置を制御することができる。
また、減衰力の発生のため交流電圧を印加するようにし
ているので、制御変数として電圧および周波数を用いる
ことができ、2つの変数を組合わせて安定に帯電物体の
(立置を制御できる範囲の拡大を図ることがてきる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の静電気7$遊物体の位置制御方法の
一実施例が適用される静電浮遊装置にかかる概略構成図
である。 第2図はこの発明方法による帯電物体の運動と電気的減
衰運動の関係の説明図である。 第3図はこの発明による帯電物体・\の交流電圧の印加
方峡の説明図である。 10:静電浮遊装置、11:第1電極(空間l’F−上
用電極)、lla,llallb,11.b+円柱電極
(空間浮上用電極)、12二第2電極(空間浮上用電極
)、12a,12a:球状電極(空間浮上用電極)、1
3:電源(空間の上下浮上用直流電源)、14:電源(
空間の左右浮上用交流・直流電源)、15:帯電物体、
16;位置検出器(振動変位)、17二位置演算器、1
8:交流電源A,Bを備えた制御器(交流電圧)。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 帯電物体を静電気的な力で空間に位置決めするに際し、
    前記物体の振動変位に応じてその振動方向と逆向きに振
    動を減衰させる力を発生する交流電圧を加えるようにし
    たことを特徴とする静電気浮遊物体の位置制御方法。
JP19217689A 1989-07-25 1989-07-25 静電気浮遊物体の位置制御方法 Expired - Lifetime JP2701467B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19217689A JP2701467B2 (ja) 1989-07-25 1989-07-25 静電気浮遊物体の位置制御方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19217689A JP2701467B2 (ja) 1989-07-25 1989-07-25 静電気浮遊物体の位置制御方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0356081A true JPH0356081A (ja) 1991-03-11
JP2701467B2 JP2701467B2 (ja) 1998-01-21

Family

ID=16286945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19217689A Expired - Lifetime JP2701467B2 (ja) 1989-07-25 1989-07-25 静電気浮遊物体の位置制御方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2701467B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022053573A (ja) * 2020-09-25 2022-04-06 隆義 追立 無重力を生み出すための方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022053573A (ja) * 2020-09-25 2022-04-06 隆義 追立 無重力を生み出すための方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2701467B2 (ja) 1998-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5155651A (en) Levitator with rotation control
Chen et al. Suppression of imbalance vibration for AMBs controlled driveline system using double-loop structure
JP4892189B2 (ja) 反磁性浮上システム
JPH0371568B2 (ja)
Reznik et al. Analysis of part motion on a longitudinally vibrating plate
Zheng et al. Effect of spring non-linearity on dynamic stability of a controlled maglev vehicle and its guideway system
Vladimirov et al. Stability of particle arrangements in a complex plasma
Dyniewicz et al. Intelligent adaptive control of the vehicle-span/track system
Han et al. Nonlinear compensation of active electrostatic bearings supporting a spherical rotor
Tsai et al. Suppression of dynamic offset of electromagnetic drive module for micro-gyroscope
Qiao et al. A flexure hinged piezoelectric stick–slip actuator with high velocity and linearity for long-stroke nano-positioning
JPH0356081A (ja) 静電気浮遊物体の位置制御方法
JP4942173B2 (ja) 非接触型剛体回転制御装置
Sakashita et al. 1-actuator 3-DoF parts feeding using hybrid joint mechanism with twisted axis layout
Moesner et al. Traveling electric field conveyor for contactless manipulation of microparts
Allison et al. Cubic electrodynamic levitation trap with transparent electrodes
Osborne et al. The modeling of friction and its effects on fine pointing control
Li et al. Backstepping based position control of active magnetic bearing under bounded disturbance
Moesner et al. Contactless manipulation of microparts by electric field traps
Terekhov et al. Controlling spherical mobile robot in a two-parametric friction model
Hou et al. Wake effects on vertical alignment of two dust particles in a rf plasma sheath
Tsai et al. Collision prevention of eccentric proof mass applied for micro-gyroscope
Hu et al. Design of traveling-wave field panel for pharmaceutical powders based on computer simulation of particle trajectories
Wang et al. Simulation Study on the Motion of Dust Particles in Traveling Wave Electric Curtain Photovoltaic Panel
Hu et al. Computer User interface and simulation for designing a travelling wave panel electrode