JPH0354475A - ガスレートセンサ - Google Patents
ガスレートセンサInfo
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- JPH0354475A JPH0354475A JP1188954A JP18895489A JPH0354475A JP H0354475 A JPH0354475 A JP H0354475A JP 1188954 A JP1188954 A JP 1188954A JP 18895489 A JP18895489 A JP 18895489A JP H0354475 A JPH0354475 A JP H0354475A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
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- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ａ．産業上の利用分野
本発明は、ガスレートセンサに関し、特に、対のホット
ワイヤを定温度制御して一定の温度〈抵抗値〉に保つこ
とにより、安定した検出精度を得るようにするための新
規な改良に関する．ｂ．従来の技術 従来、用いられていたこの種のガスレートセンサとして
は種々あるが、その中で代表的な構成について述べると
、第６図及び第７図で示される特開昭６３−８１２７０
号公報に開示された構成を挙げることができる． すなわち、従来のガスレートセンナに用いられているホ
ットワイヤの加熱方法としては、第６図に示される定電
圧制御又は第７図に示される定電流制御が用いられてい
た． すなわち、第６図に示す定電圧制御の場合、第１ホット
ワイヤ７ａ，第２ホットワイヤ７ｂ，抵抗Ｒ，，Ｒ．と
により構成されるブリッジ回路３０の各端部すなわち第
１ホットワイヤ７ａと抵抗Ｒ．間の接続点３１と第２ホ
ットワイヤ７ｂと抵抗Ｒ，間の接続点３２間には、定電
圧源３３が接続されている． さらに、前記各ホットワイヤ７ａ，７ｂ間の接続点３４
と各抵抗Ｒ．．Ｒ．間の接点３５間には差動増幅器３６
が接続されており、定電圧源３３の電圧を一定に保つこ
とにより各ホットワイヤ７ａ，７ｂを加熱していた． また、第７図に示す定電流制御の場合、第１ホットワイ
ヤ７ａ，第２ホットワイヤ７ｂ，抵抗Ｒ．，Ｒ２とによ
りブリッジ回路３０を構成し、第６図と同一回路である
ため、同一部分には同一符号を付し、その説明は重複を
避けるため省略するものとする。
ワイヤを定温度制御して一定の温度〈抵抗値〉に保つこ
とにより、安定した検出精度を得るようにするための新
規な改良に関する．ｂ．従来の技術 従来、用いられていたこの種のガスレートセンサとして
は種々あるが、その中で代表的な構成について述べると
、第６図及び第７図で示される特開昭６３−８１２７０
号公報に開示された構成を挙げることができる． すなわち、従来のガスレートセンナに用いられているホ
ットワイヤの加熱方法としては、第６図に示される定電
圧制御又は第７図に示される定電流制御が用いられてい
た． すなわち、第６図に示す定電圧制御の場合、第１ホット
ワイヤ７ａ，第２ホットワイヤ７ｂ，抵抗Ｒ，，Ｒ．と
により構成されるブリッジ回路３０の各端部すなわち第
１ホットワイヤ７ａと抵抗Ｒ．間の接続点３１と第２ホ
ットワイヤ７ｂと抵抗Ｒ，間の接続点３２間には、定電
圧源３３が接続されている． さらに、前記各ホットワイヤ７ａ，７ｂ間の接続点３４
と各抵抗Ｒ．．Ｒ．間の接点３５間には差動増幅器３６
が接続されており、定電圧源３３の電圧を一定に保つこ
とにより各ホットワイヤ７ａ，７ｂを加熱していた． また、第７図に示す定電流制御の場合、第１ホットワイ
ヤ７ａ，第２ホットワイヤ７ｂ，抵抗Ｒ．，Ｒ２とによ
りブリッジ回路３０を構成し、第６図と同一回路である
ため、同一部分には同一符号を付し、その説明は重複を
避けるため省略するものとする。
前記接続点３１には、定電流源３７が接続されており、
接続点３２はアース３８に接地されている． 従って、定電流源３７の電流を一定に保つことにより各
ホットワイヤ７ａ，７ｂを加熱していた。
接続点３２はアース３８に接地されている． 従って、定電流源３７の電流を一定に保つことにより各
ホットワイヤ７ａ，７ｂを加熱していた。
Ｃ．発明が解決しようとする課題
従来のガスレートセンサは、以上のように構成されてい
たため、次のような課題を有していた．すなわち、第６
図の定電圧制御および第７図の定電流制御の何れの構成
においても、ホットワイヤを固定するビン状の電極から
の伝熱により、ホットワイヤ（抵抗値）が変化し、ドリ
フトを生じており、高精度の検出を行うことが困難であ
った。
たため、次のような課題を有していた．すなわち、第６
図の定電圧制御および第７図の定電流制御の何れの構成
においても、ホットワイヤを固定するビン状の電極から
の伝熱により、ホットワイヤ（抵抗値）が変化し、ドリ
フトを生じており、高精度の検出を行うことが困難であ
った。
本発明は，以上のような課題を解決するためになされた
もので、特に、一対のホットワイヤを定温度制御して一
定の温度（抵抗値）に保つことにより、安定した検出精
度を得るようにしたガスレートセンサを提供することを
目的とする．ｄ，課題を解決するための手段 本発明によるガスレートセンサは、ケーシング内に設け
られた気体ポンプ．複数の電極を有する電極ホルダ，前
記電極に設けられた第１、第２ホットワイヤ及び前記電
極ホルダに対向して設けられノズル孔を有するノズル板
とを備え、加熱状態の前記ホットワイヤにガス流を供給
するようにしたものにおいて、 前記第１ホットワイヤは、第１定温度制御部を構成する
一対の抵抗と温度調整用抵抗を辺とする第１ブリッジ回
路の一辺に接続され、前記第２ホットワイヤは、第２定
温度制御部を構成する一対の抵抗と温度調整用抵抗を辺
とする第２ブリッジ回路の一辺に接続され、前記各ブリ
ッジ回路に接続された第１，第２差動増幅器からの帰還
により、前記各ホットワイヤには前記各調整用抵抗と同
一電流が流れるようにした構成である。
もので、特に、一対のホットワイヤを定温度制御して一
定の温度（抵抗値）に保つことにより、安定した検出精
度を得るようにしたガスレートセンサを提供することを
目的とする．ｄ，課題を解決するための手段 本発明によるガスレートセンサは、ケーシング内に設け
られた気体ポンプ．複数の電極を有する電極ホルダ，前
記電極に設けられた第１、第２ホットワイヤ及び前記電
極ホルダに対向して設けられノズル孔を有するノズル板
とを備え、加熱状態の前記ホットワイヤにガス流を供給
するようにしたものにおいて、 前記第１ホットワイヤは、第１定温度制御部を構成する
一対の抵抗と温度調整用抵抗を辺とする第１ブリッジ回
路の一辺に接続され、前記第２ホットワイヤは、第２定
温度制御部を構成する一対の抵抗と温度調整用抵抗を辺
とする第２ブリッジ回路の一辺に接続され、前記各ブリ
ッジ回路に接続された第１，第２差動増幅器からの帰還
により、前記各ホットワイヤには前記各調整用抵抗と同
一電流が流れるようにした構成である。
ｅ．作用
本発明によるガスレートセンサにおいては、ブリッジ回
路が一対の抵抗．温度調整用抵抗及びホットワイヤによ
って構戒され、このブリッジ回路に接続された差動増幅
器の出力が常にブリッジ回路に帰還されるため、温度調
整用抵抗と同じ電流がホットワイヤにも流れることにな
り、この温度調整用抵抗を例えば、７０℃用の抵抗値に
設定すると、ホットワイヤにも７０℃用の抵抗値に相当
する電流が流れ、ホットワイヤの温度を一定に保つこと
ができる。
路が一対の抵抗．温度調整用抵抗及びホットワイヤによ
って構戒され、このブリッジ回路に接続された差動増幅
器の出力が常にブリッジ回路に帰還されるため、温度調
整用抵抗と同じ電流がホットワイヤにも流れることにな
り、この温度調整用抵抗を例えば、７０℃用の抵抗値に
設定すると、ホットワイヤにも７０℃用の抵抗値に相当
する電流が流れ、ホットワイヤの温度を一定に保つこと
ができる。
また、この温度調整用抵抗を可変抵抗器とした場合には
，ホットワイヤの温度を任意の温度に設定することがで
きる。
，ホットワイヤの温度を任意の温度に設定することがで
きる。
さらに，各ホットワイヤは、各々独立したブリッジ回路
に設けられているため、各々単独で作動することができ
、例えば、第４図および第５図に示されるように、各ホ
ットワイヤの出力特性を確認し、重ねることによって各
ホットワイヤ間の最終的ドリフトを低く又は零とするこ
とができ、高精度のガスレートセンサを高い歩留りで得
ることができるものである。
に設けられているため、各々単独で作動することができ
、例えば、第４図および第５図に示されるように、各ホ
ットワイヤの出力特性を確認し、重ねることによって各
ホットワイヤ間の最終的ドリフトを低く又は零とするこ
とができ、高精度のガスレートセンサを高い歩留りで得
ることができるものである。
ｆ．実施例
以下、図面と共に本発明によるガスレートセンサの好適
な実施例について詳細に説明する。
な実施例について詳細に説明する。
尚、従来例と同一又は同等部分には、同一符号を用いて
説明する。
説明する。
第１図から第５図迄は本発明によるガスレートセンサを
示すためのもので、第１図は検出回路部を示す回路図、
第２図は全体構成を示す断面図、第３図は第２図のＡ−
Ａ’線による要部の拡大側面図、第４図及び第５図は各
ホットワイヤの出力特性図である． 第２図，第３図において、符号ｌで示されるものは全体
がほぼ円筒状をなし、その両端が開放された形状からな
るケーシングであり、このケーシングｌの各端部は、ポ
ンプホルダ２及び中継端子板３によって各々閉塞され、
ケーシング１内が外部から３＋！断されている． このポンプホルダ２には、電歪形のセラミック円板から
なる振動板４ａが設けられ、その周縁部がポンプホルダ
２に一体状に固着されることによって、電歪振動ボンブ
（気体ポンプ〉が形成されている。
示すためのもので、第１図は検出回路部を示す回路図、
第２図は全体構成を示す断面図、第３図は第２図のＡ−
Ａ’線による要部の拡大側面図、第４図及び第５図は各
ホットワイヤの出力特性図である． 第２図，第３図において、符号ｌで示されるものは全体
がほぼ円筒状をなし、その両端が開放された形状からな
るケーシングであり、このケーシングｌの各端部は、ポ
ンプホルダ２及び中継端子板３によって各々閉塞され、
ケーシング１内が外部から３＋！断されている． このポンプホルダ２には、電歪形のセラミック円板から
なる振動板４ａが設けられ、その周縁部がポンプホルダ
２に一体状に固着されることによって、電歪振動ボンブ
（気体ポンプ〉が形成されている。
また、このケーシング１の内部には、この振動板４ａか
ら所定距離だけ離間した位置に電極ホルダ５が配置され
、この電極ホルダ５は第３図に示されるように構成され
ている． すなわち、電極ホルダ５には、四個のガス案内孔５ａ〜
５ｄが形成され、さらに、四個の電極６ａ〜６ｄが、中
心軸に対して対称的に配置されている． これらの電極６ａ〜６ｄのうち、電極６ａと６ｂＥ及び
６ｃと６ｄ間には、第１，第２ホットワイヤ７ａ．７ｂ
が溶着によって接続されている．さらに、前記ケーシン
グｌ内における前記中継端子板３の近傍位置には、ノズ
ル孔８及び補助孔９を有するノズル板１０が設けられ、
この中継端子板３とノズル板１０との間には、それらの
ほぼ中間位置にダストプレート１■が設けられている。
ら所定距離だけ離間した位置に電極ホルダ５が配置され
、この電極ホルダ５は第３図に示されるように構成され
ている． すなわち、電極ホルダ５には、四個のガス案内孔５ａ〜
５ｄが形成され、さらに、四個の電極６ａ〜６ｄが、中
心軸に対して対称的に配置されている． これらの電極６ａ〜６ｄのうち、電極６ａと６ｂＥ及び
６ｃと６ｄ間には、第１，第２ホットワイヤ７ａ．７ｂ
が溶着によって接続されている．さらに、前記ケーシン
グｌ内における前記中継端子板３の近傍位置には、ノズ
ル孔８及び補助孔９を有するノズル板１０が設けられ、
この中継端子板３とノズル板１０との間には、それらの
ほぼ中間位置にダストプレート１■が設けられている。
前記電歪振動ボンプ４（気体ボンブ）の振動板４ａと前
記ポンプホルダ２との間には、ボンブ室１２が形成され
ており、この電歪振動ポンプ４によって送り出されたガ
スは、ガス案内孔５ａ〜５ｄを経てガス流路■３に送ら
れる． 前記ケーシング１の中継端子板３の外方位置には、ＩＣ
等からなる検出回路部■４が設けられ、この検出回路部
１４は、外部から電力を受け、又、ホットワイヤ７ａ，
７ｂの出力信号を外部へ取り出すための中継端子板の中
継端子ｌ５に接続されている６ また、前記中継端子板３には、リードビン１６が設けら
れ、このリードビン１６は外部ケーシング１７に設けら
れた外部端子１８に接続されている． 前記外部端子１８は、前記電歪振動ボンプ４の作動に要
する電力及び前記ホットワイヤ７ａ，７ｂを加熱するた
めに要する電力を、検出回路部１４及びリードピン１６
を経ると共に、ケーシング１内の軸方向に配設された複
数のリード線１９を介して、適宜供給する作用を有して
いる．また、この外部端子１８は、検出回路部１４を経
た後のホットワイヤ７ａ，７ｂの出力信号を外部に出力
する作用を有している。
記ポンプホルダ２との間には、ボンブ室１２が形成され
ており、この電歪振動ポンプ４によって送り出されたガ
スは、ガス案内孔５ａ〜５ｄを経てガス流路■３に送ら
れる． 前記ケーシング１の中継端子板３の外方位置には、ＩＣ
等からなる検出回路部■４が設けられ、この検出回路部
１４は、外部から電力を受け、又、ホットワイヤ７ａ，
７ｂの出力信号を外部へ取り出すための中継端子板の中
継端子ｌ５に接続されている６ また、前記中継端子板３には、リードビン１６が設けら
れ、このリードビン１６は外部ケーシング１７に設けら
れた外部端子１８に接続されている． 前記外部端子１８は、前記電歪振動ボンプ４の作動に要
する電力及び前記ホットワイヤ７ａ，７ｂを加熱するた
めに要する電力を、検出回路部１４及びリードピン１６
を経ると共に、ケーシング１内の軸方向に配設された複
数のリード線１９を介して、適宜供給する作用を有して
いる．また、この外部端子１８は、検出回路部１４を経
た後のホットワイヤ７ａ，７ｂの出力信号を外部に出力
する作用を有している。
次に、第１図に示されるものは、前記検出回路部１４を
示す回路図であり、この検出回路部ｌ４は、第■ホット
ワイヤ７ａを有する第１定温度制御部４０及び第２定温
度制御部４１とからなり、これらの定温度制御部４０．
４１の第１出力４０ａ及び第２出力４１ａは、検出差動
増幅器４２に入力され、検出出力４２ａが得られる。
示す回路図であり、この検出回路部ｌ４は、第■ホット
ワイヤ７ａを有する第１定温度制御部４０及び第２定温
度制御部４１とからなり、これらの定温度制御部４０．
４１の第１出力４０ａ及び第２出力４１ａは、検出差動
増幅器４２に入力され、検出出力４２ａが得られる。
前記第１定温度制御部４０の第１ブリッジ回路３０は、
一対の抵抗Ｒ＋ ，Ｒ２ 、第１温度調整用抵抗Ｒ，及
び第１ホットワイヤ７ａを四辺とする構成からなり、抵
抗Ｒ＋ と第１ホットワイヤ７ａ間の接続点３５と抵抗
Ｒ２と第１温度調整用抵抗Ｒ，間の接続点３４には、第
１差動増幅器３６が接続されている。
一対の抵抗Ｒ＋ ，Ｒ２ 、第１温度調整用抵抗Ｒ，及
び第１ホットワイヤ７ａを四辺とする構成からなり、抵
抗Ｒ＋ と第１ホットワイヤ７ａ間の接続点３５と抵抗
Ｒ２と第１温度調整用抵抗Ｒ，間の接続点３４には、第
１差動増幅器３６が接続されている。
尚、前記各温度調整用抵抗Ｒ），Ｒｅは、固定又は可変
何れの楕成でも可能である。
何れの楕成でも可能である。
前記第１差動増幅器３６の第１出力４０ａの一部は、前
記各抵抗Ｒ．．Ｒ．間の接続点３■に帰還路５０を介し
て帰還されており、前記第１温度調整用抵抗Ｒ，と第１
ホットワイヤ７ａ間の接続点３２はアース５１に接地さ
れている。
記各抵抗Ｒ．．Ｒ．間の接続点３■に帰還路５０を介し
て帰還されており、前記第１温度調整用抵抗Ｒ，と第１
ホットワイヤ７ａ間の接続点３２はアース５１に接地さ
れている。
また、前記第２定温度制御部４１の第２ブリッジ回路３
０Ａは、一対の抵抗Ｒ．，Ｒ５、第２温度Ｆｌｌｆ用抵
抗Ｒ６及び第２ホットワイヤ７ｂを四辺とする構成から
なり、抵抗Ｒ，と第２ホットワイヤ７ｂ間の接続点３５
Ａと抵抗Ｒ４と第２温度調整用抵抗Ｒ６間の接続点３４
Ａには、第２差動増幅器３６Ａが接続されている． 前記第２差動増幅器３６Ａの第２出力４１ａの一部は、
前記各抵抗Ｒ．，Ｒ５間の接続点３１Ａに帰還路６０を
介して帰還されており、前記第２温度調整用抵抗Ｒ６と
第２ホットワイヤ７ｂ間の接続点３２Ａはアース５１Ａ
に接地されている。
０Ａは、一対の抵抗Ｒ．，Ｒ５、第２温度Ｆｌｌｆ用抵
抗Ｒ６及び第２ホットワイヤ７ｂを四辺とする構成から
なり、抵抗Ｒ，と第２ホットワイヤ７ｂ間の接続点３５
Ａと抵抗Ｒ４と第２温度調整用抵抗Ｒ６間の接続点３４
Ａには、第２差動増幅器３６Ａが接続されている． 前記第２差動増幅器３６Ａの第２出力４１ａの一部は、
前記各抵抗Ｒ．，Ｒ５間の接続点３１Ａに帰還路６０を
介して帰還されており、前記第２温度調整用抵抗Ｒ６と
第２ホットワイヤ７ｂ間の接続点３２Ａはアース５１Ａ
に接地されている。
本発明によるガスレートセンサは、前述したようにＩＩ
戒されており、以下に，その動作について説明する。
戒されており、以下に，その動作について説明する。
まず、第２図の状態で、電歪振動ボンプ４が通電される
と、振動板４ａが振動し、ポンプ室１２内のガスが圧縮
され、この圧縮ガスはこの振動板４ａの吐出口４ｂ及び
電極ホルダ５の吐出口５ｅを介して流路１３に流れ、ノ
ズル板１０とダストプレート１１との間に形成された空
間に導かれ、ノズル孔８と補助口９とを経て、ケーシン
グ１内の中空円筒部ｌａ内の空間部１ｂ内を、各電極６
ａ〜６ｄに向って噴出する。
と、振動板４ａが振動し、ポンプ室１２内のガスが圧縮
され、この圧縮ガスはこの振動板４ａの吐出口４ｂ及び
電極ホルダ５の吐出口５ｅを介して流路１３に流れ、ノ
ズル板１０とダストプレート１１との間に形成された空
間に導かれ、ノズル孔８と補助口９とを経て、ケーシン
グ１内の中空円筒部ｌａ内の空間部１ｂ内を、各電極６
ａ〜６ｄに向って噴出する。
尚、前記吐出口４ｂでは、図面には示していないが、吐
出するガスは吐出口４ｂの中央から吐出し、吸入するガ
スは吐出口４ｂの周辺から吸い込まれ、その結果、振動
板４ａの振動によって、ガスは中央より連続吐出し、ガ
スが周辺から連続吸入される。
出するガスは吐出口４ｂの中央から吐出し、吸入するガ
スは吐出口４ｂの周辺から吸い込まれ、その結果、振動
板４ａの振動によって、ガスは中央より連続吐出し、ガ
スが周辺から連続吸入される。
前述の圧縮ガスは、各ホットワイヤ７ａ，７ｂを均等に
冷却した後、ガス案内孔５ａ〜５ｄを経て振動板４ａに
向って排出され、この排出ガスは再び電歪振動ボンプ４
の作用によって、流路１３を経てノズル板１０に戻り、
ケーシング１内を矢印の方向に従って循環している。
冷却した後、ガス案内孔５ａ〜５ｄを経て振動板４ａに
向って排出され、この排出ガスは再び電歪振動ボンプ４
の作用によって、流路１３を経てノズル板１０に戻り、
ケーシング１内を矢印の方向に従って循環している。
また、前述の状態で、各ホットワイヤ７ａ７ｂの出力特
性を合わせ、ドリフトを零とする場合、まず、第１定温
度制御部４０の接続点３１及び第２定温度制御部４１の
接続点３１Ａに、図示しないトリガ電源を接続し、所定
の電源を供給すると、各差動増幅器３６．３６Ａからの
差電圧が帰還路５０．６０を介して各ブリッジ回路３０
．３０Ａに供給され、各ブリッジ回路３０．３０Ａは各
差動増幅器３６．３６Ａの電源によって作動状態となり
、各ホットワイヤ７ａ，７ｂには各温度調整用抵抗Ｒｌ
，Ｒ！と同一の電流が流れる．従って、各ホットワイヤ
７ａ，７ｂの発熱温度は、これらの温度調整用抵抗Ｒ３
．Ｒｓの抵抗値によって定まるもので、これらの抵抗
Ｒ ＊ ， Ｒ ｉを可変形とすると、任意にその発熱
温度を制御することができ、検出差動増幅器４２に入力
する各出力４０ａ．４１ａの差が零となり、検出出力４
２が零の状態で、各ホットワイヤ７ａ，７ｂのドリフト
が零となる。
性を合わせ、ドリフトを零とする場合、まず、第１定温
度制御部４０の接続点３１及び第２定温度制御部４１の
接続点３１Ａに、図示しないトリガ電源を接続し、所定
の電源を供給すると、各差動増幅器３６．３６Ａからの
差電圧が帰還路５０．６０を介して各ブリッジ回路３０
．３０Ａに供給され、各ブリッジ回路３０．３０Ａは各
差動増幅器３６．３６Ａの電源によって作動状態となり
、各ホットワイヤ７ａ，７ｂには各温度調整用抵抗Ｒｌ
，Ｒ！と同一の電流が流れる．従って、各ホットワイヤ
７ａ，７ｂの発熱温度は、これらの温度調整用抵抗Ｒ３
．Ｒｓの抵抗値によって定まるもので、これらの抵抗
Ｒ ＊ ， Ｒ ｉを可変形とすると、任意にその発熱
温度を制御することができ、検出差動増幅器４２に入力
する各出力４０ａ．４１ａの差が零となり、検出出力４
２が零の状態で、各ホットワイヤ７ａ，７ｂのドリフト
が零となる。
前述の状態で、ケーシング１に角速度が印加されない場
合には、各ホットワイヤ７ａ，７ｂは均一に冷却される
が、外部から角速度が加えられた場合には、ガス流がケ
ーシング１内において何位し、各ホットワイヤ７ａ，７
ｂ間において不均一状態となり、微少な電圧差が検出出
力４２として検出され，ケーシング１に加わる角速度を
検出することができる。
合には、各ホットワイヤ７ａ，７ｂは均一に冷却される
が、外部から角速度が加えられた場合には、ガス流がケ
ーシング１内において何位し、各ホットワイヤ７ａ，７
ｂ間において不均一状態となり、微少な電圧差が検出出
力４２として検出され，ケーシング１に加わる角速度を
検出することができる。
ｇ．発明の効果
本発明によるガスレートセンサは、以上のように構成さ
れているため、次のような効果を得ることができる． すなわち、ブリッジ回路が一対の抵抗，温度調整用抵抗
およびホットワイヤによって構成され、このブリッジ回
路に帰還されるため，温度調整用抵抗と同じ電流がホッ
トワイヤにも流れるため、ホットワイヤの状態に関係な
く所定の温度となる。
れているため、次のような効果を得ることができる． すなわち、ブリッジ回路が一対の抵抗，温度調整用抵抗
およびホットワイヤによって構成され、このブリッジ回
路に帰還されるため，温度調整用抵抗と同じ電流がホッ
トワイヤにも流れるため、ホットワイヤの状態に関係な
く所定の温度となる。
従って、この温度調整用抵抗の抵抗値を選択することに
よって各ホットワイヤの温度を設定でき、極めて安定し
た出力特性を得ることができる．さらに、各ホットワイ
ヤは、各々独立したブリッジ回路に設けられているため
、各々単独で作動することができ、例えば、各ホットワ
イヤの出力特性を確認し、重ねることによって各ホット
ワイヤ間の最終的ドリフトを低く又は零とすることがで
き、高精度のガスレートセンサを高い歩留りで得ること
ができる．
よって各ホットワイヤの温度を設定でき、極めて安定し
た出力特性を得ることができる．さらに、各ホットワイ
ヤは、各々独立したブリッジ回路に設けられているため
、各々単独で作動することができ、例えば、各ホットワ
イヤの出力特性を確認し、重ねることによって各ホット
ワイヤ間の最終的ドリフトを低く又は零とすることがで
き、高精度のガスレートセンサを高い歩留りで得ること
ができる．
第１図から第５図迄は、本発明によるガスレートセンサ
を示すためのもので、第１図は検出回路部を示す回路図
，第２図は全体構成を示す断面図、第３図は第２図のＡ
−Ａ′線による要部の拡大側面図、第４図及び第５図は
各ホットワイヤの出力特性図、第６図及び第７図は従来
のガスレートセンサにおける検出回路部を示す回路図で
ある．１はケーシング、４は気体ポンプ、５は電極ホル
ダ、６ａ〜６ｄは電極、７ａ，７ｂはホットワイヤ、８
はノズル孔、１０はノズル板、ＲＲ２は抵抗、Ｒ），Ｒ
ｓは温度調整用抵抗、３０３ ０ Ａ ハ７ Ｕ ッシ
回Ｉ１ｒ、４０．４１１１定ｍ度Ｍｔ８部である．
を示すためのもので、第１図は検出回路部を示す回路図
，第２図は全体構成を示す断面図、第３図は第２図のＡ
−Ａ′線による要部の拡大側面図、第４図及び第５図は
各ホットワイヤの出力特性図、第６図及び第７図は従来
のガスレートセンサにおける検出回路部を示す回路図で
ある．１はケーシング、４は気体ポンプ、５は電極ホル
ダ、６ａ〜６ｄは電極、７ａ，７ｂはホットワイヤ、８
はノズル孔、１０はノズル板、ＲＲ２は抵抗、Ｒ），Ｒ
ｓは温度調整用抵抗、３０３ ０ Ａ ハ７ Ｕ ッシ
回Ｉ１ｒ、４０．４１１１定ｍ度Ｍｔ８部である．
Claims (2)
- （１）．ケーシング（１）内に設けられた気体ポンプ（
４）、複数の電極（６ａ〜６ｄ）を有する電極ホルダ（
５）、前記電極（６ａ〜６ｄ）に設けられた第１、第２
ホットワイヤ（７ａ、７ｂ）及び前記電極ホルダ（５）
に対向して設けられノズル孔（８）を有するノズル板（
１０）とを備え、加熱状態の前記ホットワイヤ（７ａ、
７ｂ）にガス流を供給するようにしたガスレートセンサ
において、 前記第１ホットワイヤ（７ａ）は、第１定温度制御部（
４０）を構成する一対の抵抗（Ｒ＿１、Ｒ＿２）と温度
調整用抵抗（Ｒ＿３）を辺とする第１ブリッジ回路（３
０）の一辺に接続され、前記第２ホットワイヤ（７ｂ）
は、第２定温度制御部（４１）を構成する一対の抵抗（
Ｒ＿４、Ｒ＿５）と温度調整用抵抗（Ｒ＿６）を辺とす
る第２ブリッジ回路（３０Ａ）の一辺に接続され、前記
各ブリッジ回路（３０、３０Ａ）に接続された第１、第
２差動増幅器（３６、３６Ａ）からの帰還により、前記
各ホットワイヤ（７ａ、７ｂ）には前記各温度調整用抵
抗（Ｒ＿３、Ｒ＿６）と同一電流が流れるようにしたこ
とを特徴とするガスレートセンサ。 - （２）．前記温度調整用抵抗（Ｒ＿３、Ｒ＿６）は、可
変抵抗器からなり、各ホットワイヤの設定温度を自在に
変えることができるようにしたことを特徴とする請求項
１記載のガスレートセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188954A JPH0354475A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ガスレートセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1188954A JPH0354475A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ガスレートセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0354475A true JPH0354475A (ja) | 1991-03-08 |
Family
ID=16232830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1188954A Pending JPH0354475A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ガスレートセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0354475A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05198806A (ja) * | 1992-06-29 | 1993-08-06 | Seiko Epson Corp | マトリックスアレー基板 |
| US7408535B2 (en) | 2003-07-29 | 2008-08-05 | Seiko Epson Corporation | Driving circuit, method for protecting the same, electro-optical apparatus, and electronic apparatus |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP1188954A patent/JPH0354475A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05198806A (ja) * | 1992-06-29 | 1993-08-06 | Seiko Epson Corp | マトリックスアレー基板 |
| US7408535B2 (en) | 2003-07-29 | 2008-08-05 | Seiko Epson Corporation | Driving circuit, method for protecting the same, electro-optical apparatus, and electronic apparatus |
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