JPH0353125A - Flow velocity sensor - Google Patents
Flow velocity sensorInfo
- Publication number
- JPH0353125A JPH0353125A JP18609189A JP18609189A JPH0353125A JP H0353125 A JPH0353125 A JP H0353125A JP 18609189 A JP18609189 A JP 18609189A JP 18609189 A JP18609189 A JP 18609189A JP H0353125 A JPH0353125 A JP H0353125A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- sensor board
- sensor
- flow velocity
- nozzle unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、抵抗値の変化により流速を検出する流速セン
サに関し、特にフルイディック流量計で低流量の測定に
使用する流速センサに関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a flow rate sensor that detects flow rate by a change in resistance value, and particularly relates to a flow rate sensor used for measuring low flow rates with a fluidic flow meter. .
従来の流速センサは、抵抗値の変化により流速を検出す
るマイクロブリッジのチップをセンサ基板に取り付けた
構造のものであり、このセンサ基板を第７図に示すよう
な溝１に取り付けて使用するものであった。第７図で、
２はフルイデインク流量計本体、３はフルイデインク流
量計本体のノズルである．
〔発明が解決しようとする課題〕
このような構造の流速センサはマイクロプリフジのチフ
ブがむきだしになっており、フルイデインク流量計本体
２に組み付けるときにチップを破損してしまうことが多
かった．
また、センサ基板を溝１に取り付けた場合、マイク口ブ
リッジのチップがノズル３の上面に位置することとなり
、このノズル３の上面においては流速勾配が緩やかであ
るので流速センサの出力が小であった。Conventional flow velocity sensors have a structure in which a microbridge chip that detects flow velocity by changes in resistance is attached to a sensor board, and this sensor board is used by attaching it to groove 1 as shown in Figure 7. Met. In Figure 7,
2 is the fluid ink flow meter body, and 3 is the nozzle of the fluid ink flow meter body. [Problems to be Solved by the Invention] In a flow rate sensor having such a structure, the tip of the microprefuge is exposed, and the tip is often damaged when assembled into the fluid ink flowmeter body 2. In addition, when the sensor board is attached to groove 1, the chip of the microphone port bridge will be located on the top surface of nozzle 3, and since the flow velocity gradient is gentle on the top surface of nozzle 3, the output of the flow velocity sensor will be small. Ta.
このような課題を解決するために本発明の第１の発明は
、マイクロブリッジと接続ピンとを有するセンサ基板と
、センサ基板挿入口を有するノズルユニットの蓋と、セ
ンサ基板取付溝を有するノズルユニットボディとを備え
、ノズルユニットの蓋とノズルユニットボディとでノズ
ルを有するノズルユニットを構成し、センサ基板挿入口
とセンサ基板との間のすきまをシーリング材で充填する
ようにした。In order to solve such problems, a first invention of the present invention provides a sensor board having a micro bridge and a connecting pin, a nozzle unit lid having a sensor board insertion opening, and a nozzle unit body having a sensor board mounting groove. The lid of the nozzle unit and the nozzle unit body constitute a nozzle unit having a nozzle, and the gap between the sensor board insertion port and the sensor board is filled with a sealing material.
また、第２の発明として、上記第１の発明において、セ
ンサ基板取付溝をノズルの側面に設けるようにした。Moreover, as a second invention, in the first invention, a sensor board mounting groove is provided on the side surface of the nozzle.
さらに、第３の発明として、上記第１または第２の発明
において、ノズルの出口側に更にフルイデインク流量計
本体のノズルを形或した。Furthermore, as a third invention, in the first or second invention, a nozzle of the fluid ink flow meter main body is further formed on the outlet side of the nozzle.
本発明による流速センサは、マイクロブリッジのチップ
がむきだしとならないので破損されることがなく、その
出力値も大きい。In the flow velocity sensor according to the present invention, since the microbridge chip is not exposed, it is not damaged and its output value is large.
第１図（ａｌ〜（Ｃ）は、本発明による流速センサの組
み付け工程を示す工程説明図である。第１図において、
３はノズル、４はノズルユニットの蓋、５は後述のセン
サ基板９を挿入するためのセンサ基板挿入口、６はＭ４
をノズルユニ７トボディ７に固定するビス、８は後述の
センサ基Ｆｉ９を取り付けるためのセンサ基板取付溝、
９は抵抗値の変化により流速を検出するマイクロブリッ
ジと外部接続のためのビン１０とを有するセンサ基板、
１１はセンサ基板挿入口５とセンサ基板９との間のすき
まを充填するエボキシ等のシーリング材、Ｆは流体の流
れる方向を示す矢印である。センサ基板９の材質は例え
ばセラミックである。ノズルユニットの蓋４とノズルユ
ニットボディ７とはノズル３を有するノズルユニットを
構戒する。FIGS. 1A to 1C are process explanatory diagrams showing the process of assembling the flow rate sensor according to the present invention. In FIG.
3 is a nozzle, 4 is a lid of the nozzle unit, 5 is a sensor board insertion opening for inserting a sensor board 9, which will be described later, and 6 is an M4
8 is a sensor board mounting groove for mounting the sensor base Fi9 described later,
9 is a sensor board having a microbridge for detecting flow velocity by a change in resistance value and a via 10 for external connection;
11 is a sealing material such as epoxy that fills the gap between the sensor board insertion port 5 and the sensor board 9, and F is an arrow indicating the direction of fluid flow. The material of the sensor substrate 9 is, for example, ceramic. A nozzle unit lid 4 and a nozzle unit body 7 cover a nozzle unit having nozzles 3.
組み付けは、まず蓋４をボデイ７にビス６で固定し（第
１図（ａ））、次にセンサ基板９をセンサ基板挿入口５
から挿入して（第１図（ｂ））センサ基板取付溝８に取
り付け、センサ基板挿入口５とセンサ基板９との間のす
きまをシーリング材で充填する（第１図）。To assemble, first fix the lid 4 to the body 7 with screws 6 (Fig. 1(a)), then insert the sensor board 9 into the sensor board insertion slot 5.
(FIG. 1(b)) and attach it to the sensor board mounting groove 8, and fill the gap between the sensor board insertion opening 5 and the sensor board 9 with a sealing material (FIG. 1).
第２図はセンサ基板取付溝８の形状を明確に示すための
説明図、第３図はセンサ基板９を明確に示すための説明
図である。第３図において、ｌ２はマイクロブリッジの
チップである。FIG. 2 is an explanatory diagram to clearly show the shape of the sensor board mounting groove 8, and FIG. 3 is an explanatory diagram to clearly show the sensor board 9. In FIG. 3, l2 is a microbridge chip.
このようにセンサ基板９とノズル３とを一体化したこと
により、マイクロブリッジのチソブ１２がむきだしにな
らず、フルイデインク流量計へ組み付ける時にチップ１
２を破損することもなくなる。By integrating the sensor board 9 and the nozzle 3 in this way, the chip 12 of the microbridge is not exposed, and the chip 1
2 will not be damaged.
第４図は流速センサの出力値を説明するための説明図で
ある。第４図において、３はノズル（右下がり斜線部）
、１２はマイクロブリフジのチップ、１３は流速分布、
１４はセンサ基板９をノズル３の上面に取り付けた場合
のマイクロブリッジのチップ、１５は矩形断面の流路、
１６は円形断面の流路である。マイクロプリフジをチッ
プ１４で示すようにノズル３の上面に取り付けた場合、
上流側の構造すなわち流路１５と１６の構造により流速
分布１３で示すように流速勾配が緩やかであり、マイク
ロブリッジからの出力電圧（流速を示す）は小さい。し
かし、マイクロプリフジをチソプｌ２で示すようにノズ
ル３の側面に取り付けた場合、第４図の流速分布１３で
示すように流速の速い位置になり、また、第５図の流速
分布ｌ３で示すように水平方向の流速勾配は急峻である
ため、マイクロブリッジからの出力電圧は大きくなる．
たとえば３ ［１／ｈ］の流量のとき、チソプ１２の出
力電圧はチップｌ４の出力電圧の約１．６倍であること
が確認されている。FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the output value of the flow velocity sensor. In Figure 4, 3 is the nozzle (shaded area downward to the right)
, 12 is the microbriefage chip, 13 is the flow velocity distribution,
14 is a microbridge chip when the sensor board 9 is attached to the top surface of the nozzle 3; 15 is a flow channel with a rectangular cross section;
16 is a flow path with a circular cross section. When the Micro Prefuji is attached to the top surface of the nozzle 3 as shown by the tip 14,
Due to the upstream structure, that is, the structure of the flow channels 15 and 16, the flow velocity gradient is gentle as shown by the flow velocity distribution 13, and the output voltage (indicating the flow velocity) from the microbridge is small. However, if the Micro Prefuji is attached to the side of the nozzle 3 as shown by Chisop 12, the flow will be at a position where the flow velocity is high as shown by flow velocity distribution 13 in Fig. 4, and the flow velocity will be at a position shown by flow velocity distribution 13 in Fig. 5. As the horizontal flow velocity gradient is steep, the output voltage from the microbridge becomes large.
For example, it has been confirmed that at a flow rate of 3 [1/h], the output voltage of the chisop 12 is approximately 1.6 times the output voltage of the chip 14.
第６図はフルイディック流量計本体にノズル１７を形成
した場合を示す一部断面図である。１８は点線で示す流
速センサの取り付けスペースである．このような構戒と
することにより、フルイデインク流量計の流量測定の精
度が向上する。FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a case where a nozzle 17 is formed in the fluidic flowmeter body. 18 is the mounting space for the flow rate sensor shown by the dotted line. With this arrangement, the accuracy of flow measurement by the fluid ink flow meter is improved.
以上説明したように本発明の第１の発明は、マイクロブ
リッジと接続ビンとを有するセンサ基栖と、センサ基板
挿入口を有するノズルユニットの蓋と、センサ基板取付
溝を有するノズルユニットボディとを備え、ノズルユニ
ットの蓋とノズルユニットボディとでノズルを有するノ
ズルユニットを構成し、センサ基板挿入口とセンサ基板
との間の−すきまをシーリング材で充填するようにした
ことにより、マイクロブリッジのチップがむきだしにな
らず、フルイディフク流量計へ組み付ける時にチップを
破損することもなくなる効果がある。As explained above, the first aspect of the present invention includes a sensor base having a micro bridge and a connecting bottle, a nozzle unit lid having a sensor board insertion opening, and a nozzle unit body having a sensor board mounting groove. The micro bridge chip This has the effect of preventing the chip from being exposed and damaging the chip when it is assembled into a Fluidifuku flowmeter.
また、第２の発明は、上記第１の発明においてセンサ基
板取付溝をノズルの側面に設けたことにより、マイクロ
ブリフジにおける流速が大きくなり、マイクロブリッジ
からの出力電圧が大きくなる効果がある。Furthermore, the second invention has the effect of increasing the flow velocity in the micro bridge and increasing the output voltage from the micro bridge by providing the sensor board mounting groove on the side surface of the nozzle in the first invention.
さらに、第３の発明は、上記第１または第２の発明にお
いてノズルの出口側に更にフルイデインク流量計本体の
ノズルを形或したことにより、ノズルユニットの寸法誤
差や取付誤差によってフルイデインク流量計の流量測定
の精度が低下することがない。Furthermore, a third invention is that in the first or second invention, a nozzle of the fluid ink flow meter body is further formed on the outlet side of the nozzle, so that the flow rate of the fluid ink flow meter can be reduced due to dimensional errors or installation errors of the nozzle unit. Measurement accuracy will not decrease.
第１図は本発明による流速センサの一実施例の組み付け
工程を示す工程説明図、第２図はセンサ基板取付溝を明
確に示すための説明図、第３図はセンサ基板を明確に示
すための説明図、第４図および第５図はマイクロブリフ
ジの出力値を説明するための説明図、第６図はフルイデ
インク本体のノズルを示す一部断面図、第７図は従来の
流速センサの使用法の説明図である。
３・・・ノズル、４・・・ノズルユニットの蓋、５・・
・センサ基板挿入口、６・・・ビス、７・・・ノズルユ
ニットボディ、８・・・センサ基板取付溝、９・・・セ
ンサ基板、１０・・・ピン、１１・・・シーリング材。Fig. 1 is a process explanatory drawing showing the assembly process of an embodiment of the flow rate sensor according to the present invention, Fig. 2 is an explanatory drawing to clearly show the sensor board mounting groove, and Fig. 3 is an explanatory drawing to clearly show the sensor board. Figures 4 and 5 are explanatory diagrams for explaining the output value of the microbriefage, Figure 6 is a partial cross-sectional view showing the nozzle of the fluid ink body, and Figure 7 is a diagram of a conventional flow velocity sensor. It is an explanatory diagram of usage. 3... Nozzle, 4... Nozzle unit lid, 5...
- Sensor board insertion port, 6... Screw, 7... Nozzle unit body, 8... Sensor board mounting groove, 9... Sensor board, 10... Pin, 11... Sealing material.
Claims (3)
のためのピンとを有するセンサ基板と、このセンサ基板
を挿入するためのセンサ基板挿入口を有するノズルユニ
ットの蓋と、前記センサ基板を取り付けるためのセンサ
基板取付溝を有するノズルユニットボディとを備え、前
記ノズルユニットの蓋とノズルユニットボディとはノズ
ルを有するノズルユニットを構成し、前記センサ基板挿
入口とセンサ基板との間のすきまをシーリング材で充填
した流速センサ。(1) A sensor board having a thermal flow velocity sensor such as a micro bridge and pins for external connection, a nozzle unit lid having a sensor board insertion opening for inserting this sensor board, and a lid for attaching the sensor board. a nozzle unit body having a sensor board mounting groove, the lid of the nozzle unit and the nozzle unit body constitute a nozzle unit having a nozzle, and the gap between the sensor board insertion opening and the sensor board is filled with a sealing material. Flow velocity sensor filled with.
状ノズルの長手方向内壁面に形成した流速センサ。(2) The flow velocity sensor according to claim 1, wherein the sensor substrate mounting groove is formed on the inner wall surface in the longitudinal direction of the slit-shaped nozzle.
フルイディック流量計本体のノズルを形成した流速セン
サ。(3) The flow rate sensor according to claim 1 or 2, further comprising a nozzle of a fluidic flow meter body on the outlet side of the nozzle.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186091A JP2583452B2 (en) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Composite flow meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1186091A JP2583452B2 (en) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Composite flow meter |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353125A true JPH0353125A (en) | 1991-03-07 |
| JP2583452B2 JP2583452B2 (en) | 1997-02-19 |
Family
ID=16182213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1186091A Expired - Lifetime JP2583452B2 (en) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | Composite flow meter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2583452B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09218217A (en) * | 1996-02-15 | 1997-08-19 | Yazaki Corp | Current velocity sensor module and assembling method thereof |
| JP2008501939A (en) * | 2004-06-04 | 2008-01-24 | ファウ エス エー ボルーメンテヒニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Flow sensor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0158118U (en) * | 1987-10-07 | 1989-04-11 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61295993A (en) * | 1985-06-25 | 1986-12-26 | 三木ネツレン株式会社 | Hanging hacker |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP1186091A patent/JP2583452B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0158118U (en) * | 1987-10-07 | 1989-04-11 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09218217A (en) * | 1996-02-15 | 1997-08-19 | Yazaki Corp | Current velocity sensor module and assembling method thereof |
| JP2008501939A (en) * | 2004-06-04 | 2008-01-24 | ファウ エス エー ボルーメンテヒニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Flow sensor |
| US7942070B2 (en) | 2004-06-04 | 2011-05-17 | Vse Volumentechnik Gmbh | Flow rate sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2583452B2 (en) | 1997-02-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100866267B1 (en) | Device for determining at least one parameter of a flowing medium | |
| KR100402728B1 (en) | Heating resistance flow measurement device and internal combustion engine control system using the same | |
| JP5256264B2 (en) | Thermal air flow sensor | |
| US6729181B2 (en) | Flow sensor in a housing | |
| CN111033186B (en) | Thermal flowmeter | |
| US8033180B2 (en) | Flow sensor apparatus and method with media isolated electrical connections | |
| KR102497876B1 (en) | Sensor arrangement for determining at least one parameter of a fluid medium flowing through a measurement channel | |
| US6920786B2 (en) | Flow detector with lead-throughs and method for its production | |
| JPH0353125A (en) | Flow velocity sensor | |
| JP2005201684A (en) | Measuring apparatus for air flow rate | |
| US5557051A (en) | Device for measuring the velocity of a fluid flowing in a flow channel of a conduit | |
| US11821780B2 (en) | Flow rate measurement device | |
| US4864724A (en) | Planar mounting of silicon micromachined sensors for pressure and fluid-flow measurement | |
| WO2020179249A1 (en) | Flow-rate measuring device | |
| JP2020034508A (en) | Physical amount detection device | |
| JPH0353124A (en) | Flow meter | |
| JP7062135B2 (en) | Physical quantity detector | |
| JP2002333352A (en) | Force detector and vortex flowmeter using the same | |
| JP3090490B2 (en) | Flow meter using thermal flow sensor | |
| JPH01308921A (en) | Gas flowmeter | |
| JP5035957B2 (en) | Gas flow meter and method for mounting the same | |
| JP5276053B2 (en) | Thermal flow meter | |
| JP3103651B2 (en) | Fluid oscillation type flow sensor and its instrumental difference adjustment method | |
| JPH0979878A (en) | Electromagnetic flow meter device | |
| JPH04134022U (en) | fluidics flow meter |