JPH03504535A - Sensors that detect motion parameters, e.g. impact sensors in automobiles - Google Patents

Sensors that detect motion parameters, e.g. impact sensors in automobiles

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JPH03504535A
JPH03504535A JP50355889A JP50355889A JPH03504535A JP H03504535 A JPH03504535 A JP H03504535A JP 50355889 A JP50355889 A JP 50355889A JP 50355889 A JP50355889 A JP 50355889A JP H03504535 A JPH03504535 A JP H03504535A
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フーバー,アントン
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ジーメンス アクチエンゲゼルシヤフト
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 運動パラメータを検出するセンサ、例えば自動車の衝撃センサ 本発明は特有な形式のセンサ、つまり特定の方法でテスト可能な減速センサない し加速センサに関するものであって、それらのセンサは、テストのために電磁石 および強磁性の材料から成る部材を有する。電磁石を用いることにより任意の回 数だけ、また後になってからち、例えば数年後にも、テスト可能なセンサの性能 を検査することができる。このようなテスト可能なセンサの形式の原理は数lO 年来知られており、つい最近にもさらに新たなこの種のテスト可能なセンサが明 らかにされた。アメリカ合衆国特許US3120622号、3295355号、 3664175号および3877314号、さらにヨーロッパ特許EP−A−2 51048号およびごく最近(1988年11月24日)公開されたドイツ連邦 共和国特許DH−CI−3726145号参照。[Detailed description of the invention] Sensors that detect motion parameters, e.g. impact sensors in automobiles The present invention is a unique type of sensor, i.e. a deceleration sensor that can be tested in a specific way. and acceleration sensors, which sensors are equipped with electromagnets for testing. and a member made of ferromagnetic material. Any number of times can be achieved by using an electromagnet. The performance of the sensor can be tested both in number and at a later date, e.g. several years later. can be inspected. The principle of such a testable sensor type is several lO This type of testable sensor has been known for many years and has only recently come to light. It was made clear. United States patents US3120622, US3295355, 3664175 and 3877314, as well as European Patent EP-A-2 No. 51048 and the German Confederation published very recently (November 24, 1988) See Republic Patent No. DH-CI-3726145.

このようなテスト可能な形式の公知のセンサはとりわけ、電磁石および強磁性体 、サイズモ体、および強磁性体ないしサイズモ体により制御されさらにセンサ出 力側からセンサ信号を供給する各スイッチの作動方式に対する空間的な構成およ び運動力学的原理によつて、それぞれ異なっている。Known sensors of such testable type include, inter alia, electromagnets and ferromagnetic , a seismo body, and a ferromagnetic material or a seismo body that controls the sensor output. The spatial configuration and operation method of each switch that supplies sensor signals from the power side They differ in terms of their performance and kinematic principles.

このような形式のセンサは全て、本願と同様に以下の一般的な課題を解決するも のである。即ち、・動作中にセンサにより検出されるべき運動パラメータが−例 えば衝撃を受けた時の極端に大きな減速が一実際には全くあるいは極めてにまれ にしか実際には生じない場合であっても、・さらに−例えばセンサが自動車の衝 撃センサであって一センサが全くあるいは非常にまれにしか作動しない場合であ っても、 センサの信頼性を好きなだけ何度も検査することができるようにし、これにより センサの故障を早期に、一般的には適時に、検出することができるようにする課 題を解決するものである。All of these types of sensors solve the same general problems as the present application: It is. That is, the motion parameters to be detected by the sensor during movement are - e.g. For example, extremely large decelerations upon impact may actually occur at all or extremely rarely. Even if this actually occurs only in the event of impact sensors, where one sensor does not work at all or very rarely. Even though Allows you to test sensor reliability as many times as you like, thereby A task that allows sensor failures to be detected early, generally in a timely manner. It solves the problem.

前述の原理に従フてテストすることのできないセンサ、つまり減速ないし加速を 検出するが、後で自由ににテストする目的で電磁石および強磁性体が設けられて いないようなセンサは、既にかなり以前から多数存在しており、その種のセンサ は現在でもなお継続的に市販されている。Sensors that cannot be tested according to the principles described above, i.e. deceleration or acceleration. Electromagnets and ferromagnets are provided for the purpose of detecting, but later testing freely Many such sensors have already existed for quite some time, and is still on the market today.

前述の刊行物のパターンにしたがい電磁石および強磁性体を用いて、上記の公知 のテスト不可能なセンサを、それらがテスト可能なセンサになるように、つまり 後になってから任意の時点に好きなだけ何度もテスト可能なセンサになるように 改造することは、基本的にはほとんど常に可能である。しかしこの場合、問題は 、テスト不可能な多数の公知のセンサの中から適切な選択を行なうことにあり、 さらに、サイズモ体、スイッチの適切な選択、ならびにとりわけ最終的にセンサ 信号が得られるような運動力学的ならびに電気的な原理の適切な選択に関連して 、電磁石および強磁性体を適切に選定することにある。Using electromagnets and ferromagnetic materials according to the pattern of the aforementioned publications, the above-mentioned known untestable sensors such that they become testable sensors, i.e. The sensor can then be tested as many times as you like at any point in time. Modifications are basically always possible. But in this case the problem is , to make an appropriate selection among a large number of known sensors that cannot be tested. In addition, the appropriate selection of seismic bodies, switches, and finally sensors among others In connection with the appropriate selection of kinematic as well as electrical principles such that the signal is obtained , to appropriately select electromagnets and ferromagnetic materials.

例えばTechnar社のテスト不可能なセンサは既に市販されている。このセ ンサは自動車の衝撃センサとして適しており、実質的に本願の第5図および第6 図に相応する。カバーDおよび基板Gを有するケーシング内に収容されているこ の公知のセンサは、本来のセンサ部材としてとりわけ2つの構成部材即ちサイズ モ体Mならびに接点Cを備えたスイッチを有している。この場合、サイズモ体M は可動ローラMにより構成されており、このローラMは保持部材H上で、伸びよ うとするつる巻バネFによりその静止位置に一ストッパQ参照−保持されている 。このつる巻バネFの一方の端部は、支持部材Tを用いて保持部材Hに取り付け られている。X方向への衝撃の場合、ローラMは、所定の第2の他方の位置であ るストッパPのところまでいくらか動かされ、その際この移動によりローラMは 、電気接点Cを作動させ、この電気接点の方でセンサ信号Sを送出する。For example, non-testable sensors from Technar are already commercially available. This center The sensor is suitable as an automobile impact sensor and substantially as shown in FIGS. 5 and 6 of the present application. Corresponds to the figure. It is housed in a casing having a cover D and a substrate G. The known sensor has, inter alia, two components as the actual sensor element, viz. The switch has a switch body M and a contact C. In this case, seismic body M is composed of a movable roller M, and this roller M is stretched on a holding member H. A stopper Q - is held in its rest position by a helical spring F . One end of this helical spring F is attached to a holding member H using a supporting member T. It is being In the case of an impact in the X direction, the roller M is in a predetermined second other position. The roller M is moved some distance to the stopper P, and this movement causes the roller M to move , actuates an electrical contact C and sends out a sensor signal S through this electrical contact.

さらに、圧電抵抗の導体を有するストレインゲージ自体は公知である。Furthermore, strain gauges with piezoresistive conductors are known per se.

また、任意のデータをFROM内に記憶すること自体は公知であり、それらのデ ータは電流供給が遮断されても消去されることはない。Furthermore, it is well known that arbitrary data can be stored in FROM; The data will not be erased even if the current supply is interrupted.

本発明特有の課題は以下の点にある。即ち、−二ストがかからず長時間安定し非 常に信頼性があり、さらにそれにもかかわらず非常にコンパクトかつ堅牢なセン サであって、任意に後になってから(しかもできればセンサにより監視される対 象物の耐用期間全体にわたって、例えばできれば自動車の耐用期間全体にわたっ て)自由に何度も例えばその応答感度に対する性能に関して、信頼性をもってテ ストすることのできるセンサを、非常に巧妙かつ簡単に提供することにある。The problems specific to the present invention are as follows. In other words, it is stable for a long time without requiring two strokes. Always reliable and yet very compact and robust sensor optionally at a later date (preferably with a sensor-monitored over the entire life of an object, preferably for the entire life of a car. test) freely and reliably over and over again, e.g. in terms of its response sensitivity performance. The object of the present invention is to provide a sensor that can be used in a very clever and simple manner.

−さらにこの場合、本発明によるテスト可能なセンサの最高度の信頼性を保証す る目的で、それ自体既に高度の信頼性を有するものとして知られておりかつ大量 生産において実証済みのように信頼性をもって製造されているような、テスト不 可能な公知のセンサとのできるかぎり密接した技術的相性を達成するようにしな ければならない。- Furthermore, in this case it is possible to ensure the highest degree of reliability of the testable sensor according to the invention. For the purpose of Tested untested, manufactured reliably as proven in production. Try to achieve as close a technical compatibility as possible with known sensors. Must be.

センサ信号を発生させる目的で、電流スイッチの機械的な接点を用いるのか、あ るいはその代わりに圧電センサ部材を用いるのかに応じて、2つの、互いに非常 に賀似した本発明の解決手段が存在することが明らかになった。Is the mechanical contact of the current switch used to generate the sensor signal? Depending on whether a piezoelectric sensor element is used instead, the two It has now become clear that a similar solution to the invention exists.

これに応じて請求項1−上位概念参照−は、アメリカ合衆国特許U332953 55号を前提としている。Accordingly, claim 1 - Generic Reference - United States Patent U332953 This assumes No. 55.

しかしながら本発明は、よりコンパクトかつ堅牢で、さらにいっそう長時間安定 した信頼性を存しており、また、非常に小さな構成部材により製造可能であって 、その際サイズモ体を非常に簡単に、長時間安定した信頼性をもってその静止位 置に固定させることができる。However, the present invention is more compact, robust, and more stable for longer periods of time. It has high reliability and can be manufactured with very small components. , in which the seismic body can be held in its stationary position very easily and stably and reliably for long periods of time. It can be fixed in place.

本発明の同じ課題は、請求項5の構成により解決される。この場合請求項5−そ の上位概念参照−は、アメリカ合衆国特許U33120622号、例えば第4図 、を前提としている。しかし本発明のこのような変形により、破損しがちな圧電 セラミクスまたは圧電水晶を避けることができる。なお、圧電セラミクスまたは 圧電水晶はさらに、両方とも導体ではなく絶縁体であるため極度に高い電圧/電 流比(出力側の高い内部抵抗)を有し、それにより誘導的および容量的に拡散す る外部の障害源の障害電圧に対して非常に障害を受けやすい。The same object of the invention is solved by the features of claim 5. In this case, claim 5 - Generic references to U.S. Pat. No. 3,312,0622, e.g. , is assumed. However, this variation of the invention eliminates the possibility of damaging piezoelectric Ceramics or piezoelectric crystals can be avoided. In addition, piezoelectric ceramics or Piezoelectric crystals are also insulators rather than conductors, so they can handle extremely high voltages/currents. flow ratio (high internal resistance on the output side), which allows for inductive and capacitive diffusion. Highly susceptible to fault voltages from external fault sources.

請求項14に記載の構成を用いれば、テスト可能な形式のセンサすべてを、例え ば本発明による前述の2つの変形のセンサを非常に簡単に、その長時間動作に関 して精確に監視することができる。With the arrangement according to claim 14, all testable types of sensors can be tested, e.g. The two above-mentioned variants of the sensor according to the invention can be very easily combined with respect to their long-term operation. and can be accurately monitored.

そもそも本発明によるセンサは、はじめ、自動車の衝撃センサとして開発された 。しかし本発明はさらに、事故の際に発生する任意の物体の運動パラメータを高 度の信頼性をもって検出すべき他の全てのセンサに対しても意味をもつことが判 明した。The sensor according to the present invention was originally developed as a shock sensor for automobiles. . However, the present invention further increases the motion parameters of any object that occurs during an accident. It has been found to have implications for all other sensors that must be detected with a certain degree of reliability. I made it clear.

したがって本発明は、自動車のセンサのテストにも適しているがさらにそれ以外 の物体、例えば軌条車両、航空機、工作機械、ないしロボット、ドア、水門およ びその他の多数の対象物の直線的な運動およびねじれ運動に対するセンサのテス トにも適している。The invention is therefore suitable for testing automotive sensors, but also for testing other sensors. objects such as rail vehicles, aircraft, machine tools or robots, doors, water gates and Sensor testing for linear and torsional motion and many other objects It is also suitable for

その他の請求項に記載の付加的な構成により、付加的な利点が得られる0例えば 請求項2による構成により、非常に簡単に構成されたセンサの、極度の減速ない し加速の際の動作をシュミレートすることができる。Additional features of the other claims provide additional advantages, e.g. With the configuration according to claim 2, there is no extreme deceleration of the sensor which is constructed very simply. It is possible to simulate the movement during acceleration.

つまり例えば衝突時のセンサの動作をシュミレートすることができ、それにもか かわらず、センサが動作しているかぎり非常に高い信頼性を達成することができ る。This means that it is possible, for example, to simulate the behavior of a sensor in the event of a collision. However, very high reliability can be achieved as long as the sensor is in operation. Ru.

請求項3による構成により、スイッチを作動するのに必要な電位をスイッチに対 して非常に簡単に加えることができる。With the configuration according to claim 3, the potential required for actuating the switch is applied to the switch. can be added very easily.

請求項4による構成により、本発明に必要な強磁性体を非常に簡単に形成しかつ センサ内に取り付けることができる。With the configuration according to claim 4, the ferromagnetic material necessary for the present invention can be formed very easily and Can be installed inside the sensor.

請求項6.7および8による構成により、それぞれ非常にコンパクトなセンサの 構成が実現される。The configuration according to claims 6.7 and 8 respectively provides a very compact sensor. The configuration is realized.

請求項10による構成により、′a定すべき運動パラメータのその都度の強さに 対するセンサ信号−およびテストセンサ信号−の振幅の比を大きくし、それによ リセンサの感度を改善することができる。The embodiment according to claim 10 provides that 'a'a is determined in each case by the strength of the movement parameter to be determined. increase the ratio of the amplitudes of the sensor signal and the test sensor signal, thereby increasing the The sensitivity of the sensor can be improved.

さらに請求項11による構成により、一方の側の電磁石の極と他方の側の強磁性 体との間隔を、サイズモ体が静止位置にある間も、非常に小さくすることができ る。Furthermore, an arrangement according to claim 11 provides that the poles of the electromagnet on one side and the ferromagnetism on the other side are The distance to the body can be made very small even while the Seismo body is in a resting position. Ru.

また、請求項12による構成により、センサのテストを継続的に何度も、対象物 と接続されている全期間中にわたって一つまり一般的に対象物の全耐用期間にわ たって一実施することができる。Further, with the configuration according to claim 12, the sensor test is continuously performed many times on the target object. over the entire period in which it is connected to the Only one can be carried out.

請求項13による構成により、非常に箭単にセンサの老化の程度を継続的に測定 することができる。With the configuration according to claim 13, the degree of aging of the sensor can be continuously measured very easily. can do.

請求項15による構成により、長時間動作を非常に簡単にかつ非常に精確に監視 することができる。With the configuration according to claim 15, long-term operation can be monitored very easily and very accurately. can do.

請求項16による構成により、例えば異なる直線状の運動方向および/または対 象物の種々の回転軸の回りを回るような、種々異なる運動形態に対するセンサの 感度をテストすることができる。A configuration according to claim 16 provides for example different linear movement directions and/or pairs. sensors for various forms of motion, such as rotating around various axes of rotation of the object. Sensitivity can be tested.

さらに請求項17により構成により、その都度具なる運動形態をシュミレートす るにもかかわらず、つまり種々異なる運動パラメータに関してセンサをテストす るにもかかわらず、非常に簡単なセンサの構成を実現することができる。Furthermore, the configuration according to claim 17 allows the simulation of the specific motion form in each case. However, testing the sensor with respect to different motion parameters is Despite this, a very simple sensor configuration can be realized.

本発明およびその構成を、図面に概略的に示された実施例に基づき以下に詳細に 説明する。The invention and its configuration will be explained in detail below based on an embodiment shown schematically in the drawings. explain.

第1図は、たわみ板を備えた加速センサ/減速センサの実施例を示す図、 第2図は、半導体ダイヤフラムを備えた加速センサ/減速センサの実施例を示す 図であって、この場合明瞭にする目的で、保持部材および発生した電気センサ信 号を転送するための電流線路は記入されておらず、さらに、 第3図は、センサが取り付けられている対象物つまり自動車を示す図、 94図は、ローラ状のサイズモ体により作動されるスイッチないし接点を有する 本発明によるセンサの1つの実施例を示す図、 第5図は、カバーの取り除かれたtJ4図の実施例を斜めからみた図であるが、 この場合、本発明により取り付けられるべき電磁石は省略されており、さらに、 第6図は、第4図および第5図に示された実施例の詳細図であって、その際つる 巻バネは、その静止位置においてローラ状のサイズモ体を支持しており、第7図 は、第6図に示されたつる巻バネが伸ばされた状態での実施例を示す図、 第8図は、第4図および第6図に示されたサイズモ体が、電磁石の磁界により静 止位置から電磁石の磁極の間の別の位置へ移動する原理を概略的に示す図であり 、さらに、 第9図は、第4図と第5図とに示された実施例における電磁石の位置についての 1つの例を説明するために斜めからみた図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of an acceleration sensor/deceleration sensor equipped with a flexible plate; FIG. 2 shows an embodiment of an acceleration/deceleration sensor with a semiconductor diaphragm. In this case, for clarity purposes, the retaining member and the electrical sensor signal generated The current line for transmitting the signal is not written, and furthermore, FIG. 3 is a diagram showing the object to which the sensor is attached, that is, a car; Figure 94 has a switch or contact operated by a roller-like seismic body. A diagram showing one embodiment of a sensor according to the invention, Fig. 5 is an oblique view of the embodiment of Fig. tJ4 with the cover removed; In this case, the electromagnet to be installed according to the invention is omitted, and furthermore: FIG. 6 is a detailed view of the embodiment shown in FIGS. 4 and 5, with the The coiled spring supports a roller-shaped seismic body in its rest position, as shown in Fig. 7. is a diagram showing an example in which the helical spring shown in FIG. 6 is in an extended state; Figure 8 shows that the seismic body shown in Figures 4 and 6 is statically static due to the magnetic field of the electromagnet. It is a diagram schematically showing the principle of movement from a stop position to another position between the magnetic poles of an electromagnet. ,moreover, FIG. 9 shows the position of the electromagnets in the embodiments shown in FIGS. 4 and 5. FIG. 2 is a diagram viewed from an angle to explain one example.

この場合すべての図は、それぞれセンサの実施例、j[1図から第3図ではH/ E/に/W、ないし114図からjI9図ではH/E/ (K/W=M/に/C ) 、あるいはそれらの実施例の一部分を示している。センサはその都度運動パ ラメータを検出するために、つまり例えば対象物即ち自動車0−113図参照− の加速、たわみおよび/またはねじれを検出するために用いられる。したがって 例えば自動車0の強度の衝撃的な加速および/または減速を検出する衝撃センサ に関するものであり、衝撃が生じた場合には、センサの一部分が、例えばそのサ イズモ体MないしKが、例えば第3図における方向Xへ動かされる。第11Lj 12図、M4m〜ll6yJおよびjl!8図、′s9図におけるサイズモ体M ないしKの運動方向X、およびこの種の衝撃状態において同様によく用いられる 運動方向X′も参照のこと。In this case all figures are respectively representative of sensor embodiments, j [in figures 1 to 3 H/ E/ to /W, or from figure 114 to jI9 figure H/E/ (K/W=M/ to /C ), or a part of those examples. The sensor changes the movement pattern each time. In order to detect the parameter, for example, an object, i.e. a car, 0-113 see figure- used to detect acceleration, deflection and/or torsion of therefore Shock sensor for detecting a shocking acceleration and/or deceleration of an intensity of e.g. a car in the event of an impact, a part of the sensor may e.g. The Izumo bodies M to K are moved, for example, in the direction X in FIG. 11th Lj Figure 12, M4m~ll6yJ and jl! Seismo body M in figure 8 and 's9 figure to K in the direction of motion See also direction of motion X'.

センサはそれぞれ保持部材Hを有しており、これを介してセンサを対象物0に取 り付けることができる。Each sensor has a holding member H, through which the sensor is attached to the object 0. can be attached.

これについては第1図ならびにN4図〜第6図および第9図を参照のこと(明瞭 にする目的で第2図、第7図および第8図にはこの保持部材Hは書き込まれてい ない)、この場合、保持部材Hは、本来のセンサ部材いしX′が生じた場合に、 そのセンサ部材の方は、その複数個の接続端子Aのうちの少な(1つの端子を介 して、電気センサ信号Sを送出する。これについては第1図ならびにM4図〜I r6図および第9図を参照のこと(明瞭にするために、第2図、第7図および第 8図には、このセンサ信号Sの取り出しについては示されていない)。Please refer to Figure 1 and Figures N4 to 6 and 9 (for clarity). This holding member H is not shown in Figures 2, 7, and 8 for the purpose of In this case, when the original sensor member X' is generated, the holding member H is The sensor member is connected to a small number of the plurality of connection terminals A (via one terminal). Then, an electric sensor signal S is sent out. Regarding this, see Figure 1 and M4~I See Figures 6 and 9 (for clarity, see Figures 2, 7 and 9). 8 does not show the extraction of this sensor signal S).

相応の運動XないしX′が生じた場合に電気センサ信号を送出する、本来のセン サ部材WないしM/KlC自体は、本発明の場合−請求項1.5および14によ り定義された範囲の枠内で一原則的に任意に構成することができる。したがって 広く知られているセンサを用いることもできるが、その際本発明によれば、少な くとも1つの電磁石Eおよび少なくとも1つの強磁性体Kが付加的に取り付けら れている。請求項2以下には本発明の有利な実施例が示されている。The actual sensor emits an electrical sensor signal when a corresponding movement X or X' occurs. In the case of the present invention, the support member W or M/KlC itself is in accordance with claims 1.5 and 14. In principle, it can be configured arbitrarily within the defined range. therefore It is also possible to use sensors that are widely known, but according to the invention At least one electromagnet E and at least one ferromagnetic body K are additionally attached. It is. Advantageous embodiments of the invention are specified in the subclaims.

第1図では実例として、圧電抵抗特性のメアンダ形導体が用いられており、これ は膜技術またはコンパクトな導体により、あるいはストレインゲージを用いて形 成可能である。In Figure 1, a meander-shaped conductor with piezoresistive characteristics is used as an example. can be formed by membrane technology or compact conductors or by using strain gauges. It is possible to

第2図にはm;の場合、より明瞭にする目的で保持部材Hは省略されているが、 この保持部材によりセンサのその他の構成部材が保持され、あるいはこの部材に よってセンサのその他の構成部材が直接または間接的に支持されている一実例と して、シリコンフレームZ/薄い圧電抵抗性のシリコンダイヤフラムWを備えた シリコン保持部材Zを用いた構成が採用されている。In the case of m; in FIG. 2, the holding member H is omitted for the purpose of greater clarity; This retaining member holds other components of the sensor or Therefore, this is an example in which other components of the sensor are directly or indirectly supported. and equipped with a silicon frame Z/thin piezoresistive silicon diaphragm W. A configuration using a silicone holding member Z is adopted.

この場合、相応の運動1例えば方向XないしX′への運動が生じた場合に、ダイ ヤフラムWの振動振幅を増幅する目的で、つまりこのセンサの感度を高めるため に、ダイヤフラム中央部に−例えばシリコンから成る一すイズモ振動系Mが取り 付けられている。In this case, if a corresponding movement 1 occurs, for example in the direction In order to amplify the vibration amplitude of the yaphram W, that is, to increase the sensitivity of this sensor. In the center of the diaphragm, for example, a suzumo vibration system M made of silicon is installed. It is attached.

第4図から第9図に示されているその他のセンサの実施例の場合、Techna r社のセンサような本来のセンサ部材は、接点Cを備えた電気スイッチにより構 成されており、相応の運動X、即ち例えば衝撃が生じた場合に、このセンサはサ イズモ体Mにより作動されて、センサ信号Sを送出する。For the other sensor embodiments shown in FIGS. 4-9, Techna The original sensor component, such as the sensor from Company R, consists of an electrical switch with contact C. and in the event of a corresponding movement X, i.e. a shock for example, this sensor It is activated by the Izumo body M to send out a sensor signal S.

しかし本発明ではいずれの場合にも、少なくともただ1つの電磁石−第1.2. 4.8.9図参照−および少なくともただ1つの強磁性体−第1.2.4〜6. 8.9図参照−が以下のように付加的に取り付けられている。即ち、この強磁性 体Kが電磁石Eを通って流れるテスト電流パルスニー例えば第1.2.8.9図 参照−の作用下で、センサの相応の運動をシュミレートするように、ないしセン サと結合された対象物0の相応の運動をシュミレートするように、電磁石および 強磁性体が付加的に取り付けられている。これによリセンサが正常であるかぎり 、つまりセンサが故障していないかぎり、テストセンサ信号が発生する。However, according to the invention, at least one electromagnet - 1.2. See Figure 4.8.9 - and at least one ferromagnetic material - Sections 1.2.4 to 6. 8.9 - is additionally installed as follows. That is, this ferromagnetic A test current pulse knee flows through the electromagnet E when the body K flows through the electromagnet E, e.g. or the sensor in such a way as to simulate a corresponding movement of the sensor under the action of the reference. The electromagnet and A ferromagnetic material is additionally attached. As long as the resensor is normal, , that is, a test sensor signal is generated unless the sensor is faulty.

したがって保持部材Hにより保持されているセンサ部材WないしM/に/Cは、 本発明によれば直接あるいは間接的に一つまり例えば機械的に固定されて、ある いはパ、ネおよび/またはレバーを介して一強磁性体Kに接続されており、その 際この強磁性体はの方は、必要に応じてコンパクトなサイズモ体M−に−Nil 。Therefore, the sensor member W to M//C held by the holding member H is According to the invention, one can be fixed directly or indirectly, for example mechanically, is connected to a ferromagnetic material K via a lever, a lever and/or a lever. In this case, this ferromagnetic material can be converted into a compact seismic body M-Nil as required. .

4〜6図および第8.9図参照−あるいは、例えば十分な厚さを有する第2図の 磁性層にの役割も果たす。See Figures 4 to 6 and Figure 8.9 - alternatively, e.g. of Figure 2 of sufficient thickness. It also plays a role in the magnetic layer.

さらにセンサは、少な(ともただ1つの電磁石Eを有しており、この電磁石は例 えば直接、保持部材Hに機械的に取り付けることができ−例えば第1.2.4. 8.9図参照−さらにこの電磁石は、相応に発生させられた電圧Uを用いて、所 定の強さおよび所定の経過特性を有するテスト電流パルスニによって励磁可能で ある。このテスト電流パルスIは電磁石Eにおいて、その都度所定の磁界、つま り強さおよび時間的経過に関して設定可能な磁界を発生させるが、その際、この 磁界は強磁性体Kに対して、たとえ保持部材Hまたはそれが取り付けられている 対象物0が動かないままであっても、テスト電流パルスニが対象物0の相応の運 動をシュミレートするように作用する。つまりテスト電流パルスIは、強磁性体 Kが磁界の中で運動するようにし、その結果、センサ部材WないしM/に/Cの 相応の運動および/または変形が生じて、それによりテストセンサ信号Sの送出 がトリガされるように作動する。このように本発明によって、所定の強さおよび 所定の経過特性を有するテスト電流パルスニを用いることにより、テストの目的 でセンサ信号Sを発生することができる、つまり対象物0の所定の運動をシュミ レートすることができる。しかもこれはセンサH/E/に/WないしH/E/M /KlC自体が、対象物0にまだ取り付けられていない場合ですらなく、このセ ンサが、例えばその製造中、最終試験の際に前もってテストされる際に既に行な われる。Furthermore, the sensor has few (and only one) electromagnet E, which is e.g. For example, it can be mechanically attached directly to the holding member H - for example in Section 1.2.4. 8.9 See Figure 9 - Furthermore, this electromagnet can can be energized by a test current pulse with a certain strength and a given course. be. This test current pulse I is applied in each case to a predetermined magnetic field, i.e. generates a magnetic field that is configurable in terms of strength and time course; The magnetic field is applied to the ferromagnetic material K even if it is attached to the holding member H or Even if object 0 remains stationary, the test current pulse ni will cause the corresponding movement of object 0. It acts to simulate the movement. In other words, the test current pulse I is applied to a ferromagnetic material. K is caused to move in the magnetic field, so that sensor member W or M/ of /C is caused to move in the magnetic field. A corresponding movement and/or deformation takes place, so that a test sensor signal S is emitted. is triggered. The invention thus provides a predetermined strength and The purpose of the test can be determined by using a test current pulse with a predetermined profile. The sensor signal S can be generated by simulating the predetermined movement of the object 0. can rate. Moreover, this is a sensor H/E//W or H/E/M /KlC itself is not even if it is not already attached to object 0; already carried out when the sensor is pre-tested, e.g. during its manufacture, during final testing. be exposed.

しかしセンサが既に対象物0に取り付けられている場合でも、例えばセンサがセ ンサ信号S、正確にはテストセンサ信号Sを問題なく送出するか否かを検査する ことによって、センサが依然として十分な感度で申し分なく機能するか否かを監 視する目的で、このセンサを任意の時点に、しかも何度も繰り返しテストするこ とができる。However, even if the sensor is already attached to object 0, e.g. Inspect whether the sensor signal S, more precisely, the test sensor signal S, is transmitted without problems. This allows you to monitor whether the sensor is still functioning satisfactorily with sufficient sensitivity. This sensor can be tested at any point in time and over and over again to I can do it.

この場合、強磁性体にの磁界における前述の運動の時間的な経過特性および最大 振幅は、テスト電流パルスニの時間的経過特性および強さにのみ依存するのでは なく、電磁石Eの入力側における所属の電流の時間的経4特性および強さにも依 存する0強磁性体の前述の経過特性および最大振幅は、その他の構造上の構成に も依存しており、例えば強磁性体にの形、大きさ、ならびに磁気的特性、および 発生する磁界の形状と強さ、電磁石Eの構造、さらに強磁性体Kに対する電磁石 Eの間隔にも依存する。さらに第1図のたわみ板Bのバネ定数あるいは半導体ダ イヤフラムWのバネ定数、あるいは第4図〜第7図および第9図に示されている バネFのバネ定数のように、センサにおける弾力を有する部材のバネ定数にも依 存し、この場合、第1図のたわみ板Bの上にはセンサ部材Wが取り付けられてお り、第2図によれば前記の半導体ダイヤフラムWの上にサイズモ体Mが取り付け られており、さらにその上に強磁性体Kが取り付けられている。さらに強磁性体 にの前述の運動の経過特性および最大振幅は、これらのバネのパイアスカにも依 存する。したがって本発明により、バネ定数および/またはバネパイアスカを相 応に定めることにより、それぞれの形式のセンサの感度をその都度必要に応じて 設定調整ないし選定することができる。In this case, the time course of the aforementioned motion in the magnetic field of the ferromagnetic material and the maximum The amplitude depends only on the time course and strength of the test current pulse. It also depends on the time course characteristics and strength of the associated current on the input side of electromagnet E. The above-mentioned profile and maximum amplitude of zero ferromagnets in the also depends on, for example, the shape, size, and magnetic properties of ferromagnets; The shape and strength of the generated magnetic field, the structure of electromagnet E, and the electromagnet for ferromagnetic material K. It also depends on the spacing of E. Furthermore, the spring constant of the flexible plate B in Fig. 1 or the semiconductor da The spring constant of the earphragm W, or as shown in Figures 4 to 7 and 9. Like the spring constant of spring F, it also depends on the spring constant of the elastic member in the sensor. In this case, the sensor member W is attached on the flexible plate B in Fig. 1. According to FIG. 2, the seismic body M is mounted on the semiconductor diaphragm W. A ferromagnetic material K is further attached thereon. Furthermore, ferromagnetic material The above-mentioned movement characteristics and maximum amplitude of Exists. Therefore, according to the invention, the spring constant and/or the spring bias The sensitivity of each type of sensor can be adjusted as needed in each case by Settings can be adjusted or selected.

さらに本発明の場合原則的に、センサの構造を変えることができる、つまりたわ み板Bの上に取り付けられた圧電導体W例えばストレインゲージWを備えた、例 えばたわみ板の原理による第1図のセンサか、あるいは圧電抵抗ダイヤフラムW を備えた第2図による半導体運動センサを、相応の運動が生じた際に電気センサ 信号Sを送出可能な本来のセンサ部材Wとして選択することができる。なお、第 4図〜第9図に示されている、サイズモ体および接点Cを備えたセンサの実施例 も参照のこと。Furthermore, the present invention allows in principle to change the structure of the sensor, i.e. For example, with a piezoelectric conductor W, for example a strain gauge W, mounted on the strainer plate B. For example, the sensor of Fig. 1 based on the principle of a flexible plate or a piezoresistive diaphragm W The semiconductor motion sensor according to FIG. 2 is equipped with an electric sensor when a corresponding motion occurs. It can be selected as the original sensor member W capable of transmitting the signal S. In addition, the Embodiments of the sensor with a seismic body and a contact point C shown in FIGS. 4 to 9 See also

本発明の基本思想は、少なくともただ1つの電磁石Eおよび少なくともただ1つ の強磁性体Kを用いることにより、センサH/E/に/Wないし対象物Oの相応 の運動をシュミレートすることにあり、しかもそれを基本的に任意の時点に繰り 返すことができるようにすることにある。これによりセンサの感度ならびに信頼 性を検査して、センサの故障を早期に発見することができるようになる。したが って−概して適切な時期に一必要に応じてセンサを修理あるいは交換することが できる。The basic idea of the invention is that at least one electromagnet E and at least one By using the ferromagnetic material K, the sensor H/E//W or the object O can be The goal is to simulate the motion of The goal is to be able to give back. This increases sensor sensitivity and reliability. This makes it possible to detect sensor failures at an early stage. However, - Generally, at appropriate times, the sensor can be repaired or replaced as necessary. can.

明瞭にする目的で、第1図および第2図ならびに第4.8.9図には、センサご とにただ1つの電磁石Eしか示されていない、しかし、単にただ1つの電磁石E をセンサに取り付けるだけではないということは、非常に有利であることが多い 、つまりただ1つの電磁石ではなく、テスト電流パルスエにより互いに別々に励 磁可能な複数個の電磁石Eを取り付けることができ、その際テスト電流バルスエ により、それが電磁石Eを励磁するたびに、センサないし対象物0の様々な運動 形態−例えば種々異なる直線状の運動方向、つまり互いに垂直に位置する直線状 の運動方向、および/またはねじれ運動の種々異なる軸−をシュミレートするこ とができる。このようにして種々の運動形態に対するセンサの感度を、センサの 種々の電磁石Eを用いることにより必要に応じて互いに別々に、あるいはそれぞ れ同時に重ね合わせてテストすることができる。For clarity purposes, Figures 1 and 2 and Figures 4.8.9 Only one electromagnet E is shown in and, but only one electromagnet E It is often very advantageous to not just attach the sensor to the sensor. , that is, instead of just one electromagnet, they are excited separately from each other by test current pulses. Several magnetic electromagnets E can be installed, in which case the test current pulse , each time it excites the electromagnet E, various movements of the sensor or object 0 occur. Form - e.g. different linear directions of movement, i.e. lines located perpendicular to each other and/or different axes of torsional motion. I can do it. In this way, the sensitivity of the sensor to various forms of motion can be adjusted. By using various electromagnets E, they can be connected to each other separately or individually as required. can be tested simultaneously.

複数個のこの種の電磁石Eがセンサごとに取り付けられている場合、そのセンサ 部材WないしM/に/Cを複数個の強磁性体にではなく、ただ1つの強磁性体K に機械的に備え付けるないし接続することができる。If multiple electromagnets E of this type are attached to each sensor, the sensor The member W or M//C is not a plurality of ferromagnetic materials, but only one ferromagnetic material K. It can be mechanically attached to or connected to.

この場合、上記のただ1つの強磁性体にの方は、それが種々異なる電磁石Eによ りそれぞれ異なる運動をするように配置されており、例えば一方の電磁石によっ てX方向に運動するように、さらに他方の電磁石によってX方向に対し垂直に運 動するように配置されている。したがって第1図および第2図を参照すると、こ れら2つの実施例において2つの分離した電磁石Eが取り付けられる場合、一方 の電磁石は強磁性体KをX方向に動かし、他方の電磁石は別の方向へ動かす0例 えば対象物Oの様々な位置に一第3図参照−取り付けられているこの種のテスト 可能な複数個のセンサを用いて、対象物Oの回転運動を測定することもでき、さ らに対象物の突発的な回転を検出するためのこのセンサの性能を同様にテストす ることができる。このようにして電磁石Eへ導かれるテスト電流パルスlにより 、センサないし対象物Oの種々異なる運動形態がシュミレートされる。これは強 磁性体により、前述の電磁石Eにのみ属する特別な運動がその都度引き起こされ るためである。このようにして非常に僅かなコストで、かつ非常に簡単なセンサ の構造により、所属の様々な運動形態に対するセンサの感度を任意の時点にテス トすることができる。In this case, the single ferromagnetic material mentioned above is They are arranged so that they each move differently, for example, when one electromagnet so that it moves in the X direction, and is further moved perpendicular to the X direction by the other electromagnet. It is arranged to move. Therefore, referring to Figures 1 and 2, this If two separate electromagnets E are installed in these two embodiments, one Example 0: The electromagnet moves the ferromagnetic material K in the X direction, and the other electromagnet moves it in the other direction. For example, a test of this type may be mounted at various positions on the object O - see Figure 3. It is also possible to measure the rotational movement of the object O using several possible sensors. Furthermore, we similarly tested the performance of this sensor for detecting sudden rotations of objects. can be done. By means of the test current pulse l introduced into the electromagnet E in this way, , different motion forms of the sensor or object O are simulated. This is strong The magnetic material causes in each case a special motion that belongs only to the electromagnet E mentioned above. This is for the purpose of In this way a very simple sensor with very little cost The structure allows testing the sensitivity of the sensor to various forms of movement at any time. can be

しかもセンサH/E/に/WないしH/E/M/に/Cが対象物0と接続されて いる場合−第3図参照−には、このセンサは、それぞれ強磁性体におよび1つの 電磁石Eないし複数個の電磁石Eを、センサが対象物と接続されている全期間に わたって継続的に保有しておくことができる。このようにして原則的に対象物O の全耐用期間にわたって、また、少なくともセンサが対象物Oと接続されている 間にわたって継続的に何度も、対象物0の前述の運動パラメータに対するセンサ の感度を、テスト電流パルスIを用いてテストすることができる。この場合、た だ1つの電磁石Eを取り付けることにより、通常はただ1つの運動パラメータが 検出され、さらにセンサごとに複数個の電磁石Eを取り付けることにより、全く 異なる運動パラメータを必要に応じて互いに別々に、および/またはそれぞれ同 時に重ね合わせて検出することができる。Moreover, sensor H/E//W or H/E/M//C is connected to object 0. - see Figure 3 - the sensor is connected to a ferromagnetic material and one The electromagnet E or several electromagnets E are connected to the object during the entire period when the sensor is connected to the object. It can be held continuously for a long time. In this way, in principle, the object O and at least the sensor is connected to the object O the sensor for the aforementioned motion parameters of the object 0 continuously over and over again. The sensitivity of can be tested using a test current pulse I. In this case, By installing only one electromagnet E, usually only one motion parameter By installing multiple electromagnets E for each sensor, it is possible to detect Different motion parameters can be configured separately from each other and/or identically as required. Sometimes they can be detected together.

前述のセンサが、所定の最小加速度/最小減速度を有する特定の方向例えばXま たはX′における突発的な直線状の運動を検出するのに適していなければならな い場合、つまり例えば衝撃センサとして用いる場合、テスト電流パルス■は、相 応に突発的かつ直線状のセンサの運動XまたはX′をシュミレートすることがで きなければならない、この場合、例えば自動車0のための衝撃センサのテストを 対象とすることもでき一第3図参照−あるいは、例えば相応する別の対象物Oの ためのセンサを対象とすることもでき、その際、この対象物は例えばロボットの アームまたはマニプレータのアームであって、それらの対象物○が、程度の差こ そあれ自動的に制御されるか、あるいは手動により制御されるかには無関係であ る。またこの種のセンサは自動車0における、例えばエアバッグの起動装置のト リガ手段としておよび/またはベルト締結装置のトリガ手段として用いられ、そ の場合−たとえ自動車Oが静止状態であっても一電磁石Eおよび強磁性体Kを用 いることにより、極端な加速ないし減速が生じた場合のセンサの動作をシュミレ ートすることができる。つまり自動車0が停止していても、衝撃状態に対してセ ンサをテストすることができる。The aforementioned sensor is configured to move in a particular direction, e.g. shall be suitable for detecting sudden linear movements in For example, when used as a shock sensor, the test current pulse Accordingly, it is possible to simulate sudden and linear sensor movements X or X'. In this case, for example, testing of impact sensors for automobiles It can also be an object - see Figure 3 - or, for example, another corresponding object O. The object can also be a sensor for a robot, for example An arm or an arm of a manipulator whose object ○ is different in degree. It is irrelevant whether it is controlled automatically or manually. Ru. This type of sensor is also used in automobiles, for example, when triggering an airbag activation device. used as a triggering means and/or as a triggering means of a belt fastening device; - Even if the car O is stationary, one electromagnet E and a ferromagnetic material K are used. This simulates sensor behavior in the event of extreme acceleration or deceleration. can be started. In other words, even if the car 0 is stopped, there is no protection against impact conditions. sensor can be tested.

概して有利であるように、本発明による−例えば自動車のエアバッグのトリガ手 段として用いられる一衝撃センサにおいて、テスト電流バルスエによりトリガさ れるテストセンサ信号Sがエアバッグの起爆ビルを実際には発火させず、そのた め実際にはエアバッグは膨らまないように配慮することは自明である。この目的 で、センサのテスト期間中、エアバッグの起爆ビルへのテストセンサ信号Sの電 気的な伝送を、1つまたは複数個のスイッチにより遮断することができる。It is generally advantageous to use the invention in accordance with the invention - for example in a car airbag trigger In one shock sensor used as a stage, triggered by a test current pulse The test sensor signal S that is generated does not actually ignite the airbag detonator; It is obvious that care must be taken to prevent the airbag from inflating. this purpose During the sensor test period, the test sensor signal S is applied to the airbag detonation building. The air transmission can be interrupted by one or more switches.

前述の記載から、テスト電流パルスエを何度も繰り返すことができ、さらにテス ト電流パルスIにより生じたテストセンサ信号Sを、センサH、/ E / W ないしH/E/に/M/に/Cの性能を繰り返し検査するために用いることがで きることは明かである。したがって、このように何度も繰り返されるセンサのテ ストにより、センサの非常に高い信頼性が保証される。何故ならばセンサにおけ る破損が適切な時機に発見されるからであって、この場合原則的に、センサのこ のような信頼性自体を、センサの全耐用期間にわたって継続的に検査することが できる。From the above description, the test current pulse can be repeated many times, and further tests can be performed. The test sensor signal S generated by the current pulse I is connected to the sensor H, /E /W It can be used to repeatedly test the performance of H/E/M/C. It is clear that it can be done. Therefore, this repeated sensor test This guarantees very high reliability of the sensor. Because in the sensor This is because damage to the sensor is discovered in good time; The reliability itself can be checked continuously over the entire lifetime of the sensor. can.

テストセンサ信号SがA/D変換器を介して、保持可能なメモリへ即ち何らかの 特性のFROM−例えばEEFROM−へ導かれれば、繰り返し行なわれる前述 のテストは、非常に精確かつ説得力のあるものになる。この場合、PROM内に は少なくとも、ただ1度のテスト例えば1回目の/最初のテストの際に送出され たテストセンサ信号が相応にディジタル化されて記憶される。さらに、センサの 老化をより良好に発見できるようにする目的で、テストの際に、テストセンサ信 号Sを発生するためにその都度送出される、電磁石Eを励磁するためのテスト電 流パルス■の振幅、および/またはその都度必要とされる最小振幅値を多少精確 に測定することができ、これを前述のPROM内にいっしょに記憶させることが できる。テスト電流パルスエの前述の最小振幅値は、例えばバネ定数、バネパイ アスカおよび/またはサイズモ体Mの大きさが変化したか否かを、あるいは部材 にの強磁性の特性が、老化、損傷、あるいは時間の経過ととも消耗することによ り変化したか否かを表わす、しかも補足的に、PROM内に−その都度の最新の テストセンサ信号Sだけを記憶する代わりに一先行する複数回のテストの際に送 出されたテストセンサ信号Sのうちの少なくともいくつかを、消去せずにいっし ょに記憶すれば、例えば工場における定期点検の際に、センサの長時間にわたる 動作を非常に精確に監視することができる。The test sensor signal S is passed through an A/D converter to a retainable memory, i.e. to some Once the characteristic FROM--e.g. EEFROM--is carried out repeatedly tests can be very accurate and convincing. In this case, in PROM is sent at least once, e.g. during the first/initial test. The test sensor signals obtained are correspondingly digitized and stored. Furthermore, the sensor During testing, test sensor signals are used to better detect aging. A test voltage is sent each time to excite the electromagnet E to generate the signal S. The amplitude of the flow pulse and/or the minimum amplitude value required in each case can be determined more or less precisely. can be measured and stored together in the aforementioned PROM. can. The above-mentioned minimum amplitude value of the test current pulse Whether the size of Asuka and/or Seismo body M has changed or the member The ferromagnetic properties of the magnetic material may deteriorate due to aging, damage, or wear over time. In addition, in the PROM, the latest Instead of storing only the test sensor signal S, it can be sent during multiple preceding tests. At least some of the emitted test sensor signals S are simultaneously processed without erasing them. For example, during regular inspections at a factory, if you memorize the Operation can be monitored very precisely.

センサの非常に簡単かつコンパクトな構造は、例えば考えられ得る多数のテスト 不可能な形式のセンサの中から、元来筒車かつコンパクトな構成を有するセンサ を選択することにより達成することもできる。その際、圧電抵抗の導体により形 成されているセンサ部材、あるいは例えば第4図〜第9図における構成のように サイズモ体により制御される接点ないしスイッチを育するよなセンサ部材がとり わけ適していることが判明した。The very simple and compact construction of the sensor allows for a large number of conceivable tests, e.g. Among impossible types of sensors, sensors that originally have an hour wheel and a compact configuration This can also be achieved by selecting . At that time, the piezoresistive conductor or, for example, as in the configurations shown in FIGS. 4 to 9. A sensor member is used to develop a contact or switch controlled by a seismic body. It turned out to be quite suitable.

この場合そのセンサ部材W−第1図参照−をたわみ板Bにとりつけると、あるい はそのセンサ部材W自体をそのようなたわみ板Bで構成すると、加速および/ま たは減速の測定が非常に筒単になる。なお、センサ部材W自体をたわみ板Bで構 成した場合、たわみ板Bの自由端は、直接−あるいは間接的に即ち例えば少なく とも1つのバネおよび/または少なくとも1つのレバーを介して一強磁性体にと 接続されている。この種のセンサは、たわみ板Bのたわみに関するバネ定数を相 応に選定することにより、非常に高感度にすることができる。In this case, when the sensor member W (see FIG. 1) is attached to the flexible plate B, or If the sensor member W itself is composed of such a flexible plate B, acceleration and/or or deceleration becomes very simple to measure. Note that the sensor member W itself is composed of a flexible plate B. If the free end of the flexible plate B is and one ferromagnetic material via one spring and/or at least one lever. It is connected. This type of sensor has a spring constant related to the deflection of the deflection plate B. By selecting appropriate values, extremely high sensitivity can be achieved.

さらにセンサ部材Wを半導体ダイヤフラムにより構成することもでき一第2図参 照−ダイヤフラムWが振動した場合のその抵抗値は、センサないし対象物Oの前 述の運動に対する尺度である。この種の半導体センサ部材Wにより測定される運 動形態は、通常、加速ないし減速である。半導体ダイヤフラムにより形成された この種のセンサ部材Wの場合、強磁性体Kを一同様に直接ないし間接的に一半導 体ダイヤフラムWの著しく振動する個所に、例えば第2図によればダイヤフラム Wのほぼ中央に取り付けることができる。この種の半導体ダイヤフラムセンサ部 材Wは非常にコンパクトである。測定されるべき運動パラメータのその都度の強 さに対するセンサ信号の振幅比をいっそう大きくする目的で、つまりセンサの感 度をいっそう高める目的で、ダイヤフラムWの振動を増幅するためにサイズモ体 MをダイヤフラムWの良好に振動する個所に一第2図を参照するとサイズモ体M をダイヤフラムWの中央部に−取り付けることができる。この種のサイズモ体M を、例えば第1図のたわみ板Bの良好に振動する個所に取り付けることもできる 。Furthermore, the sensor member W can also be composed of a semiconductor diaphragm (see Figure 2). The resistance value when the diaphragm W vibrates is the resistance value in front of the sensor or object O. This is a measure of the movement described above. The performance measured by this type of semiconductor sensor member W The motion mode is usually acceleration or deceleration. formed by a semiconductor diaphragm In the case of this type of sensor member W, the ferromagnetic material K is directly or indirectly connected to the semiconductive material. For example, as shown in FIG. 2, the diaphragm It can be installed almost in the center of W. This type of semiconductor diaphragm sensor part Material W is very compact. the respective strength of the movement parameter to be measured In order to further increase the amplitude ratio of the sensor signal to the In order to further increase the vibration of the diaphragm W, a seismic body is used to amplify the vibration of the diaphragm. M is attached to the part of the diaphragm W that vibrates well. Referring to Fig. 2, the seismic body M can be attached to the center of the diaphragm W. This kind of size motor body M can also be attached, for example, to the part of the flexible plate B shown in Fig. 1 that vibrates well. .

付言すれば、サイズモ体M自体を強磁性の材料で構成すると、つまりサイズモ体 M自体を強磁性体にとした場合、サイズモ体Mを有するこの種のセンサの構成は 非常にコンパクトになる(′M1図も参照のこと)。In addition, if the seismo body M itself is made of a ferromagnetic material, that is, the seismo body When M itself is made of a ferromagnetic material, the configuration of this type of sensor having a seismic body M is as follows. It becomes very compact (see also figure 'M1).

さらに、より小さくより軽量な電磁石Eを用いることもできる。Furthermore, smaller and lighter electromagnets E can also be used.

第4図〜第9図は、それ自体知られているTechnar社のセンサを本発明に したがって構成した本発明の実施例に関するものである。さらにこれらの図面に 示された実施例は、本発明による構成を公知のセンサにも適用できることを実例 により示したものである。FIGS. 4 to 9 show the inventive version of the Technar sensor, which is known per se. The present invention therefore relates to embodiments of the present invention constructed. Further to these drawings The example shown illustrates that the arrangement according to the invention can also be applied to known sensors. This is shown by

この場合、そのセンサ部材はサイズモ体を有しており、そのサイズモ体は、検出 すべき運動が生じている間に、いくらか別の位置へ動かされ、このような移動に よって電気スイッチの電気接点−〇参照−が接触または運動し、それによりこの スイッチが作動する。その際有利には、このスイッチは2進のセンサ信号Sある いは信号パルスSを送出する。In this case, the sensor member has a seismic body, and the seismic body is While the movement to be done is occurring, it is moved to some other position, and such movement Therefore, the electrical contacts of the electrical switch - see 〇 - touch or move, thereby causing this The switch is activated. Advantageously, this switch has a binary sensor signal S. Alternatively, the signal pulse S is sent out.

第4図には、電磁石Eを備えた本発明の構成が示されており、この電磁石の磁界 により、サイズモ体Mがその静止位置から即ちストッパQからストッパPにおけ る別の位置へ移動する(第5図および第6図も参照のこと)。この移動中、サイ ズモ体Mは接点Cに接触して、この接点が位置C′になるように押圧する。サイ ズモ体Mと接点Cとの間のこのような接触により、センサ信号Sの送出がトリガ される。FIG. 4 shows a configuration of the present invention equipped with an electromagnet E, and the magnetic field of this electromagnet Therefore, the seismic body M moves from its rest position, that is, from the stopper Q to the stopper P. (See also Figures 5 and 6). During this move, the The sumo body M contacts the contact point C and presses the contact point to position C'. rhinoceros Such contact between the zumo body M and the contact point C triggers the sending of the sensor signal S. be done.

さらに第4図には、オーム抵抗Rが示されており。Further, in FIG. 4, an ohmic resistance R is shown.

この抵抗はセンサ信号Sの電流経路中に挿入されていて、センサ信号Sの電流を 制限する保護抵抗Rの役割をはたしている。つまり前述のセンサ信号Sの電流は 、図示された実施例の場合、抵抗R1導電性の支持部材Tおよび導電性のつる巻 バネF−これについては例えば第6図も参照−を介して流れ、さらにサイズモ体 Mの周囲を回ってバネFが接点Cと接触する個所へと流れる。さらにこの電流は 、この実施例の場合弾力を有する前記接点C/C’の延長部に沿って流れ、ここ ではさらに2極のセンサ信号接続端子の外部接続端子へと流れる(S参照)、こ の実施例のようにつる巻バネFが構成されかつ選定されているので、このバネは 通常静止位置にあるサイズモ体MをパイアスカによりストッパQの方へ押すだけ でなく、付加的にスイッチF/Cの構成部材の役割も果たしている。このことは あとで、例えば第7図に基づいて、より詳細に説明する。This resistor is inserted into the current path of the sensor signal S, and the current of the sensor signal S is It plays the role of a limiting protective resistance R. In other words, the current of the sensor signal S mentioned above is , in the case of the illustrated embodiment, resistor R1 conductive support member T and conductive helix through the spring F - see also eg Fig. 6 - and the seismic body It flows around M to the point where spring F makes contact with contact C. Furthermore, this current , in this embodiment, flows along the extension of the elastic contacts C/C', and here Then, the current flows further to the external connection terminal of the two-pole sensor signal connection terminal (see S). Since the helical spring F is constructed and selected as in the embodiment of Simply push the size motor body M, which is normally in a resting position, toward the stopper Q using the pie scan. In addition, it also plays the role of a component of the switch F/C. This thing is This will be explained in more detail later, based on, for example, FIG.

なお、間隙にする目的で第4図には示されていないが、。Although it is not shown in FIG. 4 for the purpose of creating a gap.

カバー〇の内側の特殊なレールにより、サイズモ体Mが上方のカバー〇の方へ押 しやられることが回避されており、これによりサイズモ体Mが第4図に矢印で示 した進路に沿って静止位置−Q参照−から他方の位置−P参照−へいくらか動か される。A special rail inside the cover 〇 allows the Seismo body M to be pushed upward towards the cover 〇. This prevents Seismo body M from being forced into the position shown by the arrow in Figure 4. some movement from the rest position - see Q - to the other position - see P - along the path be done.

Tchnar社の公知のセンサは、本発明によれば例えば次のように改造されて いる。即ち電磁石Eと、その磁界により運動可能な強磁性体にとが取り付けられ ており、その際この強磁性体には、磁界の作用のもとでテストセンサ信号Sをト リガする。なおこの目的で、例えば強磁性のコアKを、例えばセラミックあるい はプラスチックから成るロール状のサイズモ体Mの中に同軸上に取り付けるよう にして、サイズモ体Mあるいはその一部を、強磁性の材料により形成することが できる(第4図〜第6図ならびに第8図および第9図参照)、さらに本発明によ れば、電磁石Eは次のようにセンサ内に取り付けられている(第4.5.8およ び9図参照)、即ち電磁石の磁界がテスト電流パルス■の作用下で一部8.9図 参照−強磁性体Kを、この強磁性体と接続されたサイズモ体Mとともに、サイズ モ体Mが接点Cの接触によりスイッチF/Cを作動させる位置まで一部4図〜第 6.9図参照−移動させるように、電磁石Eがセンサ内に取り付けられているこ の接点は電気スイッチ−F/C参照−の構成部材の役割を果たしているので、サ イズモ体Mが方向Xへ移動することにより、テスト電流パルスエは接点Cを介し てテストセンサ信号Sを発生させる。したがってテスト電流パルスエが電磁石E へ導かれれば、さらにこれによりテストセンサ信号Sがセンサの相応の信号出力 側から送出されれば、センサの偏傾性が明らかにされる。その際、これとは逆に 、少なくとも前述のテスト電流パルスエ自体が、問題なく動作するセンサであれ ばテストセンサ信号Sを発生するのに十分な強さであっても、このテスト電流パ ルス■がテストセンサ信号Sを発生させなければ、そのことによりセンサの故障 が検出される。According to the invention, the known sensor from Tchnar is modified as follows, for example: There is. That is, an electromagnet E and a ferromagnetic material that can be moved by its magnetic field are attached. The ferromagnetic material is then subjected to a test sensor signal S under the action of a magnetic field. Riga. It should be noted that for this purpose, the ferromagnetic core K is, for example, made of ceramic or is installed coaxially inside a roll-shaped seismic body M made of plastic. , the seismic body M or a part thereof may be formed of a ferromagnetic material. (see Figures 4 to 6 and Figures 8 and 9), and further according to the present invention. , the electromagnet E is installed in the sensor as follows (see Sections 4.5.8 and 4.5.8). 8.9), i.e., the magnetic field of the electromagnet is partially affected by the test current pulse (see Fig. 8.9). Reference - A ferromagnetic body K, together with a sizeable body M connected to this ferromagnetic body, has a size A part of the switch F/C is moved to the position where the switch F/C is activated by contact of the contact C. 6.9 See Figure 9 - Electromagnet E is installed in the sensor so that it can be moved. The contacts serve as components of an electrical switch - see F/C, so they are not serviceable. By moving the Izumo body M in the direction X, the test current pulse to generate a test sensor signal S. Therefore, the test current pulse E is the electromagnet E In addition, this causes the test sensor signal S to correspond to the corresponding signal output of the sensor. If sent out from the side, the eccentricity of the sensor will be revealed. In that case, on the contrary , at least the aforementioned test current pulse itself is a sensor that operates without problems. If this test current pattern is strong enough to generate a test sensor signal S, If the pulse ■ does not generate the test sensor signal S, this will cause the sensor to fail. is detected.

サイズモ体M全体あるいはそのコアKを強磁性体にとして構成する代わりに、固 有の付加的な強磁性体を、まずサイズモ体Mから分離して、取り付けることがで き、その際本発明によれば、この強磁性体を間接的に、即ち例えば再度バネある いはレバーを介して前述のサイズモ体Mに対して作用させることができる。した がってテストセンサ信号Sを発生させるためには、電磁石Eの磁界はサイズモ体 に対して、この強磁性体Kを介して間接的に作用を及ぼすだけである。このよう にして、静止位置のサイズモ体Mが小さな磁界からかなり隔たったところにある 場合でも、この小さな磁界は、たとえその空間的な広がりが著しく小さくても、 サイズモ体Mに対して依然として強(作用することができる。Instead of configuring the entire seismo body M or its core K as a ferromagnetic material, The additional ferromagnetic material can be attached by first separating it from the seismic body M. In this case, according to the invention, this ferromagnetic material is Alternatively, it can be actuated on the aforementioned seismic body M via a lever. did Therefore, in order to generate the test sensor signal S, the magnetic field of the electromagnet E must be a seismic body. On the other hand, it only acts indirectly through this ferromagnetic material K. like this , the seismic body M in the rest position is quite far away from the small magnetic field. Even if this small magnetic field has a significantly small spatial extent, It can still act strongly against Seismo body M.

例えば第4図、第7図〜第9図に示されたつる巻バネFを用いることにより、サ イズモ体をその静止位置に保持することができるので、前述のローラ状のサイズ モ体Mは、所定のバネパイアスカによってその静止出する最小減速度/最小加速 度は、前述のバネパイアスカの大きさに依存している。つまり減速度/加速度が 僅かである場合には、前述のサイズモ体Mは引き続き静止位置にとどまり、した がってセンサ信号Sは発生しない。For example, by using the helical spring F shown in FIGS. 4 and 7 to 9, The aforementioned roller-like size allows the Izumo body to be held in its resting position. The minimum deceleration/minimum acceleration of the motor body M at rest is determined by a predetermined spring bias. The degree depends on the size of the spring pie spacing mentioned above. In other words, the deceleration/acceleration is If there is a slight Therefore, the sensor signal S is not generated.

サイズモ体Mに取り付けられた前述のつる巻バネF自体が既に、強磁性体Kを形 成することも可能であり、その際付言すれば、電磁石E自体は除いて、センサ全 体が、強磁性体をこれ以上新たに有する必要はない。The aforementioned helical spring F attached to the seismic body M has already formed a ferromagnetic material K. In this case, it is also possible to completely remove the entire sensor except for the electromagnet E itself. There is no need for the body to have any more ferromagnetic material.

さらに本発明によれば、前述のセンサを好きなだけ何度もテストすることができ る。何故ならばそれ自体のみで強磁性体Kを形成しているつる巻バネFが、この バネが例えば巻かれるように運動しそれによりサイズモ体Mがその他方の位置へ 移動してテストセンサ信号Sが生じるように、電磁石Eの磁界によって作用を及 ぼされるからである。Furthermore, according to the invention, the aforementioned sensor can be tested as many times as desired. Ru. This is because the helical spring F, which forms the ferromagnetic material K by itself, The spring moves, for example, as if it were being wound, and as a result, the seismic body M moves to the other position. actuated by the magnetic field of the electromagnet E in such a way that it moves and produces a test sensor signal S. This is because you will be robbed.

第4図〜第9図に示されている実施例の場合、接点Cはつる巻バネFの孔V内に 取り付けられている(第4.5および9図とともとりわけ第7図参照)、シたが ってこのつる巻バネFは、それが導電性である場合、例えば金属からなる場合、 所定の電位におくことができる。さらにこのつる巻バネFを次のような形にする ことができる。即ちサイズモ体Mの所定の運動の際に、つる巻バネF−正確には 所定の電位におかれたつる巻バネFの一部分一が、導電性の接点Cと接触し、そ れによりセンサ信号Sを形成し接点Cおよびつる巻バネFを介して流れる電流が 生じるような形にすることができる。さらに例えば第5図〜第7図のようにつる 巻バネFは、ローラ状のサイズモ体Mの周囲にいくらか巻かれた部分りも有する ことができる。この場合、つる巻バネFの躬記の部分りはさらに、固有の接触面 として特殊な拡張部を肴することもでき、この拡張部の側が移動の際に接点Cに 接触する。これについては第6図に示されたサイズモ体Mの直径に関する記載、 および第7図に示されたサイズモ体の周囲の長さに相応する解いた場合の長さに 関する記載も参照のこと。In the embodiment shown in FIGS. 4 to 9, the contact C is located in the hole V of the helical spring F. installed (see Figures 4.5 and 9 and especially Figure 7), the seat If this helical spring F is conductive, for example made of metal, It can be placed at a predetermined potential. Furthermore, make this helical spring F into the following shape. be able to. That is, during a given movement of the seismic body M, the helical spring F - more precisely A portion of the helical spring F placed at a predetermined potential comes into contact with the conductive contact C, and the As a result, a sensor signal S is formed, and the current flowing through the contact C and the helical spring F is It can be shaped as it appears. Furthermore, for example, as shown in Figures 5 to 7, The coiled spring F also has a portion wound somewhat around the roller-shaped seismic body M. be able to. In this case, the mentioned part of the helical spring F is furthermore a unique contact surface. You can also serve a special extension part as a special extension part, and the side of this extension part should be connected to contact point C when moving. Contact. Regarding this, the description regarding the diameter of the seismic body M shown in FIG. 6, and the solved length corresponding to the circumference of the seismo body shown in Figure 7. See also the related notes.

通常はこの種のセンサの場合、サイズモ体−M参照−自体は、および/または、 このサイズモ体に取り付けられかつ検出されるべき運動が生じた場合にもテスト の際にも運動する構成部材−F参照−は、接触面として導電性の平面−F参照− を有しており、これはセンサが作動すると所定の電位におかれる。この場合、前 述の接触面−FF参照もその接点−C参照−も、それぞれスイッチの構成部材で あって、このスイッチはサイズモ体により作動可能であり、かつ検出すべき運動 が生じた場合にもテストの際にもその都度センサ信号Sないしテストセンサ信号 Sを供給するないし発生させる。サイズモ体Mにより動かされる導電性の接触面 をこのように活用することによって、前述のセンサーC/F参照−を非常に簡単 に構成することができる。Typically for sensors of this type, the seismic body - see M - itself is and/or It is also tested when a movement occurs that is attached to this seismic body and is to be detected. Components that are also in motion - see F - have electrically conductive planes - see F - as contact surfaces. , which is placed at a predetermined potential when the sensor is activated. In this case, before Both the contact surface mentioned above (refer to FF) and its contact point (refer to C) are components of the switch. Therefore, this switch can be actuated by the seismic body and the movement to be detected is The sensor signal S or the test sensor signal is Supply or generate S. Conductive contact surface moved by Seismo body M By utilizing the sensor C/F in this way, the sensor C/F reference mentioned above can be made very easily. It can be configured as follows.

第9図には、電磁石Eがサイズモ体M、つる巻バネF、接点Cおよび支持部材T に対してどのように立体的に配置されているかが、斜めからの図としてもう1度 概略的に示されている。この実施例の場合、テスト電流パルスIにより電磁石E の極間に強磁性体Kを電磁石の空隙へ引き入れる磁界が存在するかぎり、サイズ モ体Mはその強磁性体Kによって、第8図のように電磁石Eの空隙へ引き入れら れる。平坦なつる巻バネFの利点は、第9図に示された実施例の場合、第8図に よるローラ状のサイズモ体Mが、傾むけられずに空隙内に十分に引き入れられる ことである。何故ならば平坦でかつ比較的幅の広いつる巻バネFにより、ローラ 状のサイズモ体Mの軸が、そのローラ軸の側方向への平行な運動により空隙内へ 移動する代わりに、付加的にねじれるのが回避されるからである。In FIG. 9, an electromagnet E is connected to a seismic body M, a helical spring F, a contact C, and a support member T. Here's another view from an angle to see how they are arranged three-dimensionally. Shown schematically. In this example, the test current pulse I causes the electromagnet E to As long as there is a magnetic field between the poles that pulls the ferromagnetic material K into the gap of the electromagnet, the size The magnet M is drawn into the gap of the electromagnet E by its ferromagnetic material K as shown in Figure 8. It will be done. The advantage of a flat helical spring F is that for the embodiment shown in FIG. The roller-shaped seismic body M is sufficiently drawn into the gap without being tilted. That's true. This is because the flat and relatively wide helical spring F allows the roller to The axis of the seismic body M of the shape enters the gap due to the parallel movement of the roller axis in the lateral direction. This is because instead of movement, additional twisting is avoided.

なお、M98!!lには、ケーシングD/Gを省略しさらに保持部材Hを部分的 に省略することにより、本発明にしたがって作用可能にするために、電磁石Eの 空隙がどのように設けられているかが、極めて明瞭に示されている。つまりセン サ内における電磁石の位置に関して、サイズモ体Mに対するこの電磁石Eの空隙 の位置は、電磁石Eにおける電気的な巻回および磁気コアの空間的な位置よりも 重要である。したがって例えば好適に、サイズモ体Mがテスト電流パルスIの作 用下で所定のように運動して調整状態でセンサ信号Sを発生するように、電磁石 Eの空隙がサイズモ体Mの隣りに取り付けられるかぎり、基本的には電磁石Eを センサ内の全く別の位置に設けることもできる。Furthermore, M98! ! 1, the casing D/G is omitted and the holding member H is partially attached. In order to be able to operate according to the invention by omitting the It is very clearly shown how the voids are provided. In other words, Sen With respect to the position of the electromagnet in the sensor, the air gap of this electromagnet E with respect to the seismic body M The position of is smaller than the spatial position of the electrical winding and magnetic core in electromagnet E. is important. For example, it is therefore advantageous if the seismic body M produces the test current pulse I. The electromagnet is moved in a predetermined manner during use to generate a sensor signal S in the adjusted state. Basically, as long as the air gap E is installed next to the seismic body M, the electromagnet E can be It can also be provided at an entirely different location within the sensor.

なお、強磁性体は、例えば所定の温度下のように少なくとも所定の条件下で真空 の透磁率よりも著しく高い透磁率を有する物体のことである。確かに、高い透磁 率が生じかつ変化するような所定の条件と関連づけることにより、強磁性体とフ ェライト体とを区別していることが多い6本願の場合、常に“強磁性”体と記載 しているが、この場合、それらがセンサの通常の条件下で真空と比較して高い透 磁率を有しているかぎり、本発明では前述の”フェライト2体をも意味する。つ まり本発明によれば、′フェライト”体と“強磁性”体とは、ことばの上では区 別しておらず、センサの動作条件下で本発明にしたがって要求されている前述の 高透磁率を有する物体全てに対して、常に”強磁性”体という表現だけを用いて いる。Note that ferromagnetic materials can be used in vacuum at least under certain conditions, such as at a certain temperature. An object that has a magnetic permeability significantly higher than that of Indeed, high permeability ferromagnets and ferromagnets by associating them with predetermined conditions under which the magnetic flux occurs and changes. In the case of this application, which often distinguishes between ferrite and ferrite, it is always described as a “ferromagnetic” material. but in this case they have a high permeability compared to vacuum under normal sensor conditions. In the present invention, the above-mentioned "two ferrite bodies" are also meant as long as they have magnetic properties. In other words, according to the present invention, 'ferrite' bodies and 'ferromagnetic' bodies are verbally distinct. The above-mentioned Always use only the expression "ferromagnetic" for all objects with high magnetic permeability. There is.

FIG 6 国際調査報告 国際調査報告FIG 6 international search report international search report

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.事故の際に発生する対象物(O)の運動パラメーター例えば対象物(O)の 減速、加速、たわみおよび/またはねじれ−を検出するセンサ(第4図〜第9図 のH,E,M,K,C)−例えば自動車(O)のエアバッグの起動装置をトリガ する衝撃センサーであって、該センサには、 保持部材(H)と該保持部材(H)により保持される本来のセンサ部材(M/K /C)とサイズモ体(M)と部材(F,K)とさらに空隙を有する電磁石(E) とが設けられており、 この場合、前記保持部材(H)を介してセンサが対象物(O)に取り付けられて おり、さらに前記本来のセンサ部材(M/K/C)は、検出されるべき当該の運 動が生じた場合に電気センサ信号(S)を送出するようにし、さらに前記サイズ モ体(M)は、検出されるべき運動が生じた場合−例えば衝突時−およびテスト の際に、所定の別の位置へいくらか移動されるようにし、この移動により前記サ イズモ体が電気的な電流スイッチの電気接点(C)に接触するか、あるいは該電 気接点を動かし、これにより電流スイッチ(C)を作動するようにし、さらに前 記部材(F,K)は、強磁性の材料により構成されるかあるいは、少なくとも強 磁性の材料から成る部分(K)を有するようにし、その際前記部材(F,K)は 、前記サイズモ体(M)と同じものであるか、あるいは前記サイズモ体(M)と 機械的に直接または間接的に結合されるようにし、さらに前記電磁石(E)は、 前記保持部材(H)により保持されており、かっ所定の強度および所定の経過特 性を有するテスト電流パルス(I)により励磁されると、その都度空隙を越えて 前記部材(F,K)へと吸引されるようにし、 さらに、テスト電流パルス(I)の作用下で電磁石(E)により生じる電磁石( E)の空隙内の磁界が、テストセンサ信号(S)を送出する電流スイッチ(C) が作動するような位置までないしその位置を越えるまでサイズモ体(M)を移動 させることにより、たとえ外部の−例えば対象物(O)の−センサ(H,E,M ,K,C)に対する機械的作用がないために保持部材(H)が動かなくても、部 材(K)の吸引によりテスト電流パルス(I)が−センサ(H,E,M,K,C )と接続されたあるいは接続されていない−対象物(O)における検出すべき運 動パラメータを模擬的に形成するように、電磁石(E)と部材(F,K)との寸 法が選定されているセンサにおいて、 サイズモ体(M)が、センサの静止状態ではつる卷バネ(F)によりその静止位 置に保持されているローラ(M)であるようにし(第4図〜第9図)、さらに部 材(K)が、ローラ(M)と同じものであり、および/またはローラ(M)に取 り付けられた部材(つる巻バネF)であるようにし、さらに、ローラ(M)がテ スト電流パルスにより直接、電磁石(E)の空隙内へ吸引されるようにしたこと を特徴とする、事故の際に発生する対象物(O)の運動パラメータを検出するセ ンサ。1. The motion parameters of the object (O) that occur during an accident, e.g. Sensors for detecting deceleration, acceleration, deflection and/or torsion (Figs. 4 to 9) H, E, M, K, C) - For example, triggers the activation device of the airbag of a car (O) An impact sensor comprising: The holding member (H) and the original sensor member (M/K) held by the holding member (H) /C), a seismic body (M), members (F, K), and an electromagnet (E) with a gap and In this case, the sensor is attached to the object (O) via the holding member (H). Furthermore, the original sensor member (M/K/C) is connected to the movement to be detected. When a movement occurs, an electric sensor signal (S) is sent out, and the size The motion body (M) is detected when a movement to be detected occurs - for example during a collision - and during a test. , the sensor is moved somewhat to another predetermined position during the If the Izumo body touches the electrical contact (C) of the electrical current switch or Move the gas contact, which activates the current switch (C), and then The members (F, K) are made of ferromagnetic material or are at least made of ferromagnetic material. a part (K) made of a magnetic material, in which case said members (F, K) , is the same as the seismo body (M), or is the same as the seismo body (M) The electromagnet (E) is mechanically coupled directly or indirectly, and further includes: It is held by the holding member (H), and the bracket has a predetermined strength and a predetermined elapsed characteristic. When excited by a test current pulse (I) with so as to be attracted to the member (F, K), Furthermore, the electromagnet ( The magnetic field in the air gap of E) sends out a test sensor signal (S) through a current switch (C). Move the Seismo body (M) until it reaches or exceeds the position where it operates. Even if an external sensor (H, E, M , K, C), even if the holding member (H) does not move, the parts By suction of the material (K), the test current pulse (I) is applied to the -sensor (H, E, M, K, C ) connected or not connected to - the movement to be detected in the object (O) The dimensions of the electromagnet (E) and the members (F, K) are adjusted to simulate the dynamic parameters. For sensors for which the law is selected, When the sensor is at rest, the seismo body (M) is held at its resting position by the helical spring (F). The roller (M) is held in place (Figs. 4 to 9), and The material (K) is the same as the roller (M) and/or is attached to the roller (M). (helical spring F), and the roller (M) is It is designed to be directly attracted into the gap of the electromagnet (E) by the strike current pulse. A sensor for detecting motion parameters of an object (O) that occurs during an accident, characterized by Nsa. 2.部材(K)がローラ(M)の軸中に取り付けられている(第4、5、6、8 図)請求項1記載のセンサ(H,E,K,W)。2. A member (K) is attached to the shaft of the roller (M) (4th, 5th, 6th, 8th Figure) The sensor (H, E, K, W) according to claim 1. 3.サイズモ体(M)自体が、および/または、それに取り付けられていて検出 すべき運動が生じた場合およびテストの際にサイズモ体(M)により動かされる 部材(F)が、接触面(F)として導電性の平面を有しており、その際該接触面 には、センサの動作中電位が加えられるようにし、さらに前記接触面(F)も接 点(C)もサイズモ体(M)により作動可能な電流スイッチの一部であるように した、請求項3記載のセンサ(H,E,K,W)。3. Seismo body (M) itself and/or attached to it is detected. is moved by the seismic body (M) when a movement to be done occurs and during a test. The component (F) has an electrically conductive flat surface as a contact surface (F), in which case the contact surface A potential is applied to the sensor during operation, and the contact surface (F) is also in contact. As point (C) is also part of the current switch that can be actuated by the seismic body (M) The sensor (H, E, K, W) according to claim 3. 4.つる巻パネ(F)が、部材(Kを)、または電磁石(E)により吸引可能な 複数個の部材(F,K)のうちの1つを構成するようにした請求項1〜3のいず れか1項記載のセンサ(H,E,K,W)。4. A spiral panel (F) can be attracted by a member (K) or an electromagnet (E). Any one of claims 1 to 3, which constitutes one of a plurality of members (F, K). The sensor (H, E, K, W) described in item 1 above. 5.事故の際に発生する対象物(O)の運動パラメーター例えば対象物(O)の 減速、加速、たわみおよび/またはわじれ−を検出するセンサ(第1図〜第3図 のH,E,K,W)−例えば自動車(O)のエアバッグの起動装置をトリガする 衝撃センサーであって、該センサには、 保持部材(H)と、該保持部材(H)により保持されており本来の圧電センサ部 材(W)を備えた屈曲部材材(B,W/K)と、サイズモ体(K)と部材(K) と、さらに空隙を有する電磁石(E)とが設けられており、 この場合、前記保持部材(H)を介してセンサが対象物に取り付けられており、 さらに前記屈曲部材材(B,W/K)自体は、該屈曲部材(B,W/M/K)の たわみにより電気センサ信号(S)を送出するようにし、さらに前記サイズモ体 (K)は、検出すべき運動が生じた場合−例えば衝突時−およびテストの際に屈 曲部材(B,W/M/K)がたわむように作動し、このたわみによりセンサ信号 (S)の送出をトリガするようにし、さらに前記部材(K)は、強磁性の材料か ら構成されるかあるいは少なくとも強磁性の材料から成る部分を有しており、さ らに該部材(K)は、サイズモ体(K)と同じものであるかまたは、部材(K) が動いた時に屈曲部材(B/W/M/K)がたわみこれによりセンサ信号(S) が送出されるように、サイズモ体(K)に直接または間接的に機械的に結合され るようにし、さらに前記電磁石(E)は保持部材(H)により保持されており、 さらに該電磁石(E)は、所定の強さおよび所定の経過特性を有するテスト電流 パルス(I)により励磁されると、その都度空隙を越えて、部材(K)が屈曲部 材(B,W/M/K)を目標屈曲方向へ折り曲げるように、部材(K)を吸引す るようにし、 さらに、たとえ外部の−例えば対象物(O)の−センサ(H,E,M,K,W) に対する機械的作用がないために保持部材(H)が動かなくても、部材(K)の 吸引によりテスト電流パルス(I)がーセンサ(H,E,K,W)と接続された あるいは接続されていない−対象物(O)における検出すべき運動パラメータを 模擬的に形成するように、電磁石(E)と部材(F,K)との寸法を選定したセ ンサにおいて、 センサ部材(W/K)が圧電抵抗性の導体(W)であるようにしたことを特徴と する、事故の際に発生する対象物(0)の運動パラメータを検出するセンサ(第 1図および第2図)。5. The motion parameters of the object (O) that occur during an accident, e.g. Sensors that detect deceleration, acceleration, deflection and/or twist (Figs. 1 to 3) H, E, K, W) - for example, triggers the activation device of the airbag of a car (O) A shock sensor, the sensor includes: A holding member (H) and the original piezoelectric sensor portion held by the holding member (H). Bending member material (B, W/K) with material (W), Seismo body (K) and member (K) and an electromagnet (E) having a gap, In this case, the sensor is attached to the object via the holding member (H), Furthermore, the bending member material (B, W/K) itself is An electric sensor signal (S) is transmitted by the deflection, and the seismic body (K) when a movement to be detected occurs - for example during a collision - and during the test. The bending members (B, W/M/K) act to bend, and this bending causes the sensor signal to (S), and the member (K) is made of a ferromagnetic material. or at least have a portion made of ferromagnetic material, Furthermore, the member (K) is the same as the seismic body (K), or the member (K) When the bending member (B/W/M/K) moves, the sensor signal (S) is deflected. directly or indirectly mechanically coupled to the seismic body (K) so that Further, the electromagnet (E) is held by a holding member (H), Furthermore, said electromagnet (E) is configured to produce a test current having a predetermined strength and a predetermined profile. When excited by the pulse (I), the member (K) crosses the air gap and bends in each case. Suction the member (K) so as to bend the material (B, W/M/K) in the target bending direction. so that Furthermore, even if external - e.g. object (O) - sensors (H, E, M, K, W) Even if the holding member (H) does not move because there is no mechanical action on the member (K), The test current pulse (I) was connected to the sensor (H, E, K, W) by suction. Or not connected - the motion parameters to be detected in the object (O) The dimensions of the electromagnet (E) and the members (F, K) are selected to simulate the formation. At Nsa, The sensor member (W/K) is a piezoresistive conductor (W). sensor (first sensor) that detects the motion parameters of the object (0) that occurs during an accident. Figures 1 and 2). 6.圧電センサ部材(W)がストレインゲージ(W)を有するようにした(第1 図)請求項5記載のセンサ(H,E,K,W)。6. The piezoelectric sensor member (W) has a strain gauge (W) (first Figure) The sensor (H, E, K, W) according to claim 5. 7.屈曲部材(B)がたわみ板(B)であって、該たわみ板(B)の自由端に、 部材(K)が直接または間接的に取り付けられるようにした請求項5記載のセン サ(H,E,K,W)。7. The bending member (B) is a flexible plate (B), and at the free end of the flexible plate (B), The sensor according to claim 5, wherein the member (K) is attached directly or indirectly. Sa (H, E, K, W). 8.たわみ板(B)自体が圧電抵抗性であるようにした請求項7記載のセンサ( H,E,K,W)。8. 8. A sensor according to claim 7, wherein the flexible plate (B) itself is piezoresistive. H, E, K, W). 9.センサ部材(W/M/K)が半導体ダイヤフラム(W)を有しており、該ダ イヤフラムが振動した場合、その抵抗値が運動パラメータの、例えば加速/減速 の尺度であるようにし、さらに部材(K)が直接または間接的に前記半導体ダイ ヤフラム(W)の振動可能な個所に取り付けられるようにした(第2図)請求項 5記載のセンサ(H,E,K,W)。9. The sensor member (W/M/K) has a semiconductor diaphragm (W), and the sensor member (W/M/K) has a semiconductor diaphragm (W). When the earphragm vibrates, its resistance value changes the motion parameter, e.g. acceleration/deceleration. furthermore, the member (K) is directly or indirectly attached to the semiconductor die. Claim (Fig. 2) that can be attached to a vibrating part of the yaphram (W) 5. Sensor (H, E, K, W). 10.振動を増幅する目的で、サイズモ体(M)がダイヤフラム(W)の振動可 能な個所に取り付けられるようにした請求項9記載のセンサ(H,E,K,W)10. In order to amplify the vibration, the seismic body (M) can vibrate the diaphragm (W). The sensor (H, E, K, W) according to claim 9, wherein the sensor (H, E, K, W) can be attached at a location where the sensor can be mounted. 11.部材(K)−あるいは複数個の部材(K)が設けられている場合はそれら の部材(K)のうち少なくとも1つ−が、間接的に、つまり少なくとも1つのレ バーを介して、および/または少なくとも1つのバネ(F)を介して、サイズモ 体(M)に対して作用するようにした請求項1〜10のいずれか1項記載のセン サ(H,E,K,W)。11. Member (K) - or multiple members (K) if provided. at least one of the members (K) of via the bar and/or via at least one spring (F) The sensor according to any one of claims 1 to 10, which acts on the body (M). Sa (H, E, K, W). 12.センサ(H,E,K,W)が、対象物(O)と接続されている全ての期間 にわたって、部材(K)および電磁石(E)を含むようにした請求項1〜11の いずれか1項記載のセンサ(H,E,K,W)。12. All periods during which the sensor (H, E, K, W) is connected to the object (O) Claims 1 to 11, wherein the member (K) and the electromagnet (E) are included throughout. The sensor according to any one of items (H, E, K, W). 13.テストの場合に,テストセンサ信号(S)を発生するためにその都度必要 とされる、電磁石(E)を励磁するテスト電流パルス(I)の最小振幅が、実質 的に精確に測定されるようにした請求項1〜12のいずれか1項記載のセンサ( H,E,K,W)。13. Required in each case to generate the test sensor signal (S) in the case of a test The minimum amplitude of the test current pulse (I) that excites the electromagnet (E) is substantially The sensor according to any one of claims 1 to 12, wherein the sensor ( H, E, K, W). 14.対象物(O)の運動パラメーター例えば対象物(O)の減速、加速、たわ みおよび/またはねじれ−を検出するためのセンサ(第1図〜第3図のH,E, K,W、ないし第4図〜第9図のH,E,M,K,C、およびW=M/K/C) −例えば自動車(O)のエアバッグの起動装置をトリガする衝撃センサ(H,E ,M,K,C)−であって、該センサには、 保持部材(H)と該保持部材(H)により保持された本来のセンサ部材(W)と 、サイズモ体(K)と部材(K)と、さらに空隙を有する電磁石(E)とが設け られており、 前記保持部材(H)を介してセンサが対象物(O)に取り付けられており、さら に前記センサ部材(W)は、検出されるべき前述の運動が生じた場合、電気セン サ信号(S)を送出するようにし、さらに前記サイズモ体(K)は検出されるべ き運動が生じた場合−例えば衝突時−およびテストの際に、センサ信号(S)の 送出をトリガするようにし、さらに前記部材(K)は強磁性の材料から構成され ているか、少なくとも強磁性の部材から成る部分を有しており、さらに前記部材 (K)はサイズモ体(M)と同じものであるかあるいは、部材(K)が運動のす る際にセンサ信号(S)がトリガされるように、サイズモ体(M)に直接または 間接的に機械的に接続されており、さらに前記電磁石(E)は保持部材(H)に 保持されており、かつ所定の強さおよび所定の経過特性を有するテスト電流パル ス(I)により励磁されると、その都度空隙を越えて部材(K)に吸引されるよ うにし、 さらに、たとえ外部の−例えば対象物(O)の−センサ(H,E,K,W)に対 する機械的作用がないために保持部材(H)が動かなくても、例えば請求項1〜 13のいずれか1項にしたがって、部材(K)の吸引によりテスト電流パルス( I)が−センサ(H,E,K,W)と接続されたあるいは接続されていない−対 象物(O)における検出されるべき運動パラメータをシュミレートするようにし たセンサにおいて、 センサ(H,E,K,W)の性能を繰り返し検査する目的で、テスト電流パルス (I)が時折繰り返されるようにし、 さらにそのテストセンサ信号(S)が、A/D変換器を介してPROM−例えば EEPROM−へ導かれるようにし、さらに 前記PROM内に最初のテストの際に送出されたテストセンサ信号(S)がディ ジタル化されて記憶されるようにしたことを特徴とする、対象物(O)の運動パ ラメータを検出するためのセンサ。14. Motion parameters of the object (O), such as deceleration, acceleration, and deflection of the object (O) Sensors for detecting bending and/or twisting (H, E, and K, W, or H, E, M, K, C in Figures 4 to 9, and W = M/K/C) - For example, impact sensors (H, E) that trigger the activation device of the airbag of a car (O) , M, K, C)-, and the sensor includes: A holding member (H) and the original sensor member (W) held by the holding member (H). , a seismic body (K), a member (K), and an electromagnet (E) having a gap are provided. has been A sensor is attached to the object (O) via the holding member (H), and said sensor member (W) is activated by an electric sensor when said movement to be detected occurs; Furthermore, the seismic object (K) should be detected. If a movement occurs - for example during a collision - and during testing, the sensor signal (S) and the member (K) is made of a ferromagnetic material. or at least a portion made of a ferromagnetic member, and further includes a portion made of a ferromagnetic member. (K) is the same as the seismic body (M), or the member (K) is directly or directly on the seismic body (M) so that the sensor signal (S) is triggered when The electromagnet (E) is indirectly mechanically connected to the holding member (H). A test current pulse is maintained and has a given strength and a given course. When excited by the base (I), it is attracted to the member (K) across the gap each time. sea urchin, Furthermore, even if external - for example, object (O) - sensors (H, E, K, W) Even if the holding member (H) does not move because there is no mechanical action to 13, a test current pulse ( I) - connected or not connected to the sensor (H, E, K, W) - versus The motion parameters to be detected in the object (O) are simulated. In the sensor, Test current pulses are used to repeatedly check the performance of the sensors (H, E, K, W). Let (I) be repeated from time to time, Furthermore, the test sensor signal (S) is sent to the PROM--for example, through an A/D converter. EEPROM-, and The test sensor signal (S) sent during the first test is stored in the PROM. A motion pattern of an object (O) characterized by being digitized and stored. sensor for detecting the parameters. 15.PROM内に、後になってからのテストの際に送出されるテストセンサ信 号(S)のうちの少なくともいくつかも記憶するようにした請求項14記載のセ ンサ(H,E,K,W)。15. A test sensor signal is stored in the PROM to be sent during a later test. 15. The cell according to claim 14, wherein the cell also stores at least some of the numbers (S). Nsa (H, E, K, W). 16.保持部材(H)が、別個に励磁可能な複数個の電磁石(E)を支持するよ うにし、それらの電磁石(E)の各々が、別個に供給可能なテスト電流パルス( I)によりその都度異なる運動形態を−例えば異なる回転軸の回りの運動および /または異なる直線状の運動を−シュミレートするようにした請求項1〜15項 のいずれか1項記載のセンサ(H,E,K,W)。16. The holding member (H) supports a plurality of electromagnets (E) that can be separately excited. and each of those electromagnets (E) carries a test current pulse ( I) allows for different forms of movement in each case - e.g. movements around different axes of rotation and Claims 1 to 15, wherein - or different linear motions are simulated. The sensor (H, E, K, W) according to any one of (H, E, K, W). 17.センサ部材(W/K)がただ1つの部材(K)のみを有しており、さらに 該部材(K)が種々の電磁石(E)によりそれぞれ異なる方向へ吸引され得るよ うにし、さらに該部材(K)が、種々の電磁石(E)の作用下でその都度センサ (H,E,K,W)ないし対象物(O)の種々異なる運動をシュミレートするよ うにした請求項16記載のセンサ。17. The sensor member (W/K) has only one member (K), and The member (K) can be attracted in different directions by various electromagnets (E). furthermore, said element (K) is in each case subjected to a sensor under the action of various electromagnets (E). (H, E, K, W) or to simulate various motions of the object (O). 17. The sensor according to claim 16.
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