JPH034923A - 液体分離装置 - Google Patents

液体分離装置

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JPH034923A
JPH034923A JP14005589A JP14005589A JPH034923A JP H034923 A JPH034923 A JP H034923A JP 14005589 A JP14005589 A JP 14005589A JP 14005589 A JP14005589 A JP 14005589A JP H034923 A JPH034923 A JP H034923A
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JP
Japan
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liquid
chambers
separation
chamber
liquid separation
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JP14005589A
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English (en)
Inventor
Yuji Watabe
渡部 裕司
Naoaki Izumitani
泉谷 直昭
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Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本願発明は、浸透気化法を利用した液体分離装置に関す
るものである。
(従来技術) 一般に化学工業の分野においては、例えばアルコール類
やケトン類、エーテル類、エステル類などの所謂有機溶
剤を使用することが多い。そして、これらの有機溶剤は
、全て水を溶゛かし易く、またそれ自身水に解は易い性
質をもっている。従って、その保存状態においても比較
的混水状態となりやすく、該水との間で共沸混合物を形
成する。
しかし、上記有機溶剤を実際の化学反応に使用する場合
には、極めて高い純度を要求され、殆どの場合、上記水
の混入には厳しい制限が課されているのか実情である。
このため、実際の使用に際しては、その前処理工程とし
て上記有機溶剤中から水の分離を行なって純度を高める
濃縮システムが採用されるのが、−船釣となっている。
従来、上記のような水とアルコール等有機溶剤との混合
液から水(純水)を分離して当該有機溶剤を濃縮する方
法としては、一般に蒸留法が古くより採用されていた。
しかし、蒸留法の場合、共沸混合物(沸点を異にする異
種物質の混合物でありながら共沸沸点を有するもの)、
近沸点混合物を分離することは困難である。上述した水
とアルコール(エタノール)との混合物は該共沸混合物
に該当するので、上記従来一般の蒸留法では分離するこ
とができない。
そこで、このような場合、例えばエントレーナ(共沸剤
)として所定の第3次成分(ベンゼン、トリクロロエチ
レンなど)を添加することによって分離を可能とした所
謂共沸蒸留法が採用されることもあるが、該方法は極め
て多量のスチームを消費するし、第3次成分混入による
分離液の汚染や装置の複雑化を招くなど新な問題も多い
このような事情を背景に最近特に活発な研究・開発が行
なわれているものに、例えば水分選択性透過膜を使用し
た浸透気化法による水/有機液体混合物の分離(脱水)
/ステムがある(例えば特開昭58−128107号公
報明細書及び図面参照)。
この液体混合物分離システムは、一般に「パーベーパレ
ーションシステム」ト呼ハれ、例えハ非多孔質の無定形
高分子膜よりなる水分選択性透過膜によって分離を行な
おうとする水を含む対象混合液(フィード)が供給され
る第1次室と透過した目的とする分離成分(気体)が凝
縮されて貯溜される第2次室とを仕切り、該第2次室側
を真空ポンプ等の減圧手段によって真空状態に減圧する
ことによって上記水分選択性透過膜の第1次室側境界面
と第2次室側境界面間に所定値以上の分圧差を形成し、
該分圧差と第1次側及び第2次側間の選択成分の濃度差
に応じて高圧側(第1次室側)からその透過速度に応じ
て吸着→溶解→拡散→脱離の各工程を経て透過する水分
子(H2O)のみを低圧側の第2次室側に気体の状態で
取り出すようになっている。 従って、このような構成
の混合液分離システムによれば近沸点混合液は勿論、上
記水とアルコールのような共沸混合液の場合にも同等問
題なく分離、濃縮することができる。しかも、共沸蒸留
法のように第3次成分を全(使用しないからクリーンで
もあり、装置もコンパクトになる利点がある。 そして
、実際のシステムでは、上記のような第1次室と第2次
室との組合わせによる構成を単一ユニットとしてモジュ
ール化し、これらを、複数対直列に組合わせて混合液を
循環させることによりプラント化して使用されることが
多い。
ところで、このような液体分離装置における浸透気化操
作は、上述の説明から明らかなように本質的に相変化(
液相→気相)を伴なう分離操作であることから、分離状
態の進行に連れて透過分子(上°述の例では水分子H,
O)の気化潜熱により次第に透過膜周辺の供給液の温度
が低下してくる。そして、上記透過膜部における透過速
度は第1次室側供給液の温度に比例しており、温度が高
くて分子活動が活発なほど透過速度が高い(例えば第3
図参照)。従って上記のように供給液の温度が低下する
と上記目的液の透過速度が低下して分離効率が悪化する
問題があり、従来より重要な技術的解決課題とされてい
た。
(発明が解決しようとする課題) このような技術的課題に対し、例えば上述の従来例では
モジュールの外部混合液通路の途中に独立した加熱用の
熱交換器を設置し、温度が低下した混合液を順次再加熱
しながら次段の分離モジュールに供給するようにする構
成によって対策されているが、このような方法では分離
モジュール内の入口側と出口側とで混合液の相当な温度
差を生じることになり、十分な問題の解決には到ってい
ない。また通路構造を複雑にしてしまい、通路抵抗を大
きくしてしまう欠点もある。
そして、上記のような温度の低下に対応した透過速度の
低下は、フィード側混合液中の目的成分の含有濃度が高
い場合に較べ、例えば90%程度の濃度のアルコール液
を99%程度まで濃縮する必要がある場合のように目的
成分の含有濃度が著しく低い場合に特にその影響が大き
く、問題になる。また、仮に目的成分の含有濃度が相当
、に高い場合であっても、該濃度が高い場合には透過量
(気化量)も多くなり、温度の低下が激しくなることか
ら、やはり同様の問題を生じる。
なお、上述のように選択性透過膜を使用したパーベーパ
レーションシステムによる液体骨M 装置では、当該分
離膜に液体分離作用を生せしめるための駆動力として、
その−次側(混合液側)と二次側(分離液取出側)間に
所定値以上の分圧差を必要とするが、この分圧差の形成
には、上記した従来例のように圧力差を利用する場合だ
けでなく上記−次側液体供給室と二次側液体取出室との
間の分離液の濃度差(湿度差)を利用するシステムを採
ることも多い。
そして、そのようなシステムでは従来より上記液体取出
室側に一般に予じめ加熱乾燥した乾燥空気を流すことに
より、可能な限り水分濃度を低(維持し、一定値以上の
水分透過速度を得るために少なくとも基準値以上の十分
な分圧差を確保する構成が採られるようになっている(
第4図参照)。
(課題を解決するための手段) 本願の請求項第1〜第5の各発明は、共に上記従来の問
題を解決することを共通の目的としてなされたものであ
って、各々次のような技術的課題解決手段を備えて構成
されている。
(1)請求項第1の発明の課題解決手段該請求項第1の
発明の液体分離装置では、例えば第1図および第2図に
示すように分離すべき液体とその池の液体とを含む所定
の混合液F+++++Fintが供給される混合液側第
1次室11a、11bと、該混合液側第1次室11a、
11bに対して浸透気化用の選択性情過膜18a、 1
8b、 18cを介して接する分離側第2次室13a、
13bとを設け、上記分離側第2火室+3a、13b内
に乾燥空気を流すことにより上記両室間に浸透気化分離
作用に必要な分圧差を形成して目的とする液体を分離す
るようにしてなる液体分離装置において、上記分離側第
2火室13a、13b内に当該分離側第2火室+3a、
13b内の乾燥空気及び上記選択性透過膜18a、 l
 8b、 18cを加熱する加熱手段17a、17bを
設けたことを特徴ととしている。
(2)請求項第2の発明の課題解決手段該請求項第2の
発明の液体分離装置では、例えば第1図および第2図に
示すように上記請求項第1の発明の液体分離装置におけ
る上記選択性透過膜18a、 l 8b、 l 8cに
熱伝導性多孔質板9 a、 9 b。
9cを一体化することによって補強支持したことを特徴
とするものである。
(3)請求項第3の発明の課題解決手段請求項第3の発
明の液体分離装置では、−例えば第5図に示すように上
記請求項第2の発明の液体分離装置の上記熱伝導性多孔
質板9a、9b、9cの内部に加熱手段19a、 19
b、 19cを埋設したことを特徴とするものである。
(4)請求項第4の発明の課題解決手段該請求項第4の
発明の液体分離装置では、例えば第1図および第2図、
第5図に示すように上記請求項第1又は第3の発明の液
体分離装置の各加熱手段17a、 l 7b、 19a
、 l 9b、 I 9cが各々電熱ヒータにより構成
されていることを特徴とするものである。
(5)請求項第5の発明の課題解決手段該請求項第5の
発明の液体分離装置では、例えば第1図および第2図に
示すように上記請求項第2の発明の液体分離装置の構成
における上記熱伝導性多孔質板9 a、 9 b、 9
 cが多孔質の金属焼結体によって構成されていること
を特徴とする特許ある。
(作 用) 上記請求項第1の発明の液体分離装置の構成では、2次
室側の分離液体取出室内に当該液体取出室内を加熱する
とともに上記液体を選択透過させる選択性透過膜および
その分離面の混合液を加熱、加温する加熱手段が設けら
れている。
従って、乾燥空気が流される2次室側液体取出室内の分
離液の蒸発状態が良好となり、十分な分圧差(濃度差)
の維持が可能となる。
また、液体分離用の選択性透過膜自体及び該選択性透過
膜を介して1次室側である液体供給側の混合液も同時に
加熱・加温され、気化潜熱による温度低下が効果的に防
止される。
その結果、液体の分離効率が向上するようになる。
また、請求項第2の発明の液体分離装置の構成では、選
択性透過膜の2次側に面して選択性透過膜を補強支持す
る補強支持板が設けられるようになっており、しかも該
補強支持板が熱伝導性の多孔質板により形成されている
従って、何隻透過機能に影響を与えることなく選択性透
過膜が安定して保持される。
次に請求項第3の発明の液体分離装置の構成では、上記
請求項第2の発明の液体分離装置の熱伝導性多孔質板9
 a、 9 b、 9 cの内部にも加熱手段が埋設さ
れているために、特に選択性透過膜18a。
18b、18c側の温度補償機能が高くなり、透過効率
が向上するようになる。
また、請求項第4の発明の液体分離装置の構成では、上
記請求項第1および第3の発明の液体分離装置の構成に
於ける各加熱手段が各々電熱ヒータにより構成されてい
るので熱効率が高く、温度コントロールも容易であり最
適な分離効率を維持し得るようになる。
さらに、請求項第5の発明の液体分離装置の構成では、
上記請求項第2項の発明の液体分離装置の構成における
熱伝導性の多孔質板9 a、 9 b、 9 cを多孔
質の金属焼結体によって構成しているので、強度が高く
熱の伝達率も高い。その結果、液体の分離効率がより向
上するようになる。
(発明の効果) 従って、上記請求項第1の発明の液体分離装置によると
、液体分離機能が高く、しかも可及的にモジュールの小
型化が可能な液体分離システムを提供することができる
ようになる。
また、上記請求項第2の発明の液体・分離装置によると
、上記請求項第1の液体分離装置による場合と同様の効
果を得ることができることはもちろん、選択性透過膜が
弛み等を生じることなく長期に亘って安定した状態に保
持されるようになり、分離性能の低下が生じにくくなる
また、請求項第3の発明の液体分離装置によると、特に
高い分圧差と温度補償機能とを同時に得ることができる
ようになり、極めて高性能の液体分離装置を提供するこ
とができるようになる。
さらに、請求項第4の発明の液体分離装置によると、電
気ヒータにより高い熱効率と、より高精度な温度補償機
能を実現することができ、さらに高い液体分離性能を維
持することができるようになる。また埋設方法も簡単で
あり、発熱面を高密度、北することができる。
最後に、さらに請求項第5の発明の液体分離装置による
と、熱伝達率が高いので加熱効果が高くなる一方、特に
透過膜の耐久性が高くなり、液体分離装置としてのライ
フサイクルが長くなるなどのメリットが生じる。
(実施例) 第1図および第2図は、本願発明(請求項1,2゜4.
5)の実施例(第1)に係る例えばプレートアンドフレ
ーム式の液体分離装置のモジュール構造を示している。
第1図中先ず符号1 a、 1 bは、各々同第1図に
示すように相互に隣合って混合液供給用の第1及び第2
の混合液供給側第1次室11a、11bを形成する所定
幅を有する第1及び第2のフレームであり、先ず該第1
フレームIaには、フィードパイプ3を介してフィード
タンクFTに連通せしめられた第1の混合液供給口4a
が例えばその前端部上方に位置して設けられている。ま
た、後端部側下方には目的とする分離液(バーミエート
)である水(H*0)が透過除去された後の例えば濃縮
アルコール(C,H,OH)を排出するための第1の濃
縮液排出口5a(破線図示)が設けられている。また第
2フレーム1bには、上記第1フレームlaの上記第1
の濃縮液排出口5aの位置に対応して第2の混合液供給
口4bが設けられており、該第2の混合液供給口4bは
U状の連結パイプ7を介して上記第1の濃縮液排出口5
aと接続されるようになっている。従って、上記第1の
混合液供給口4aから供給された混合液(フィード)F
in、は、例えば第1図のように先ず第1の第1火室1
1aを通って一次濃縮(−次脱水)処理を受けた後上記
第1の濃縮液排出口5aから上記U状の連結バイブ7を
経て第2のの混合液供給口4b側に導かれ、その後第2
の第1改宗11b内に二次供給混合液F in、とじて
供給される。上記第2のフレーム1b池端側上部には第
2の濃縮液排出口5bが設けられており、上記第2の混
合液供給側第1改宗11b内の供給混合液F inyは
当該第2の濃縮液排出口5bよりパイプ8を介して更に
次の処理室側に排出されるようになっている。
一方、符号1c、Idは、上記隣合う第1及び第2のフ
レームl a、 l b間に第5フレームleを介して
一体的に接合固定される所定幅の第3、第4フレームで
あり、該第3、第4フレームlc、ldの内側には板状
の多孔質板金属焼結体9a、9bが各々図示のごと(嵌
装固定されている。そして、該多孔質の金属焼結体9a
、9bに対して貼設され補強された状態で上記第1のフ
レーム1aと第3のフレームlcとの間および第2のフ
レーム1bと第4のフレームldとの間に第1、第2の
選択性透過膜18a、18bが介設されており、結局上
記第1の第1火室11aおよび第2の第1次室zbは、
各々対応する上記第1および第2の選択性透過膜18a
、18bおよび金属焼結体9 a、 、9 bを介して
上記第]の第2火室13aと隣合っている。また、一方
策2の第2改宗13bは上記第2のフレーム1bに対し
て第3の選択性透過膜18cと第3の金属焼結体9cを
介して隣合って第6のフレーム1「の更に外側のフレー
ム1g内に形成されており、上記第2の第1次室itb
に対応する分離液取出し室を形成している。
また、上記第3および第4フレームl c、 I d間
に介設された第5フレームIe内には分離液取出し用の
第1の第2火室13aが形成され、該第1の第2火室1
3aには上記第5フレームleの前端側に形成された乾
燥空気導入014aより加熱乾燥された空気が導入され
るようになっており、該加熱乾燥空気によって当該第1
の第2改宗13a側に分離された水分が効率良く蒸発気
体化せしめられるようになっている。そして、該蒸発気
体化せしめられた分離液成分は分離液排出口15bがら
排出されるようになっている。この点は、上記第2の第
2改宗13bの方も全く同様であり、前端側乾燥空気導
入口14bより供給された乾燥空気が透過分離された分
離液を蒸発気体化させた後、後端側分離液排出口15b
より排出される。
一方、符号17a、17bは上記分11i液取出側第1
1第2の第2火室13a、13bの空間内に各々乾燥空
気の流れ方向に沿って配設された電熱ヒータ(ヒータコ
ア)である。該電熱ヒータ17a、17bは、上記第2
改宗13a、13b内に透過導出された分離液を加熱蒸
発させるとともに上述のように当該第2改宗+3a、1
3b内を流通する加熱乾燥空気を更に害加熱して当該第
2火室13a、13b内の乾燥度を可及的に高く維持す
る機能を果たしている。
また、該電熱ヒータ17a、17bは、上記多孔質の金
属焼結体9 a、 9 b、 9 cを介して各々第1
、第2、第3の選択性透過膜18a、 18b、 18
cに各々近接して設けられているために、上記多孔質の
金属焼結体9 al 9 b+ 9 cを介して上記選
択性透過膜18a、 18b、 18c及び該選択性透
過膜18a18b、18cを介して、その熱が上記第1
及び第2の高圧側第1火室11a、11b内の各混合液
Fi111+FInyに伝達され、該混合液F iL、
 F lnyを加熱する。
従って、上記実施例の構成の浸透気化性利用の液体分離
装置によると、先ず上記フィードタンクFTより例えば
フィードポンプFPを介して第1の混合液供給口4aよ
り第1の高圧側筒1次室11a内に連続的に供給され導
入される水(H,O)及びアルコール(エチルアルコー
ル゛C,H,OH)の混合液(フィード)F in+は
、その供給及び排出速度に応じて所定時間内当該第1の
高圧側筒1次室11a内を上方側から下方側へゆっくり
と流れる(第1図参照)。該状態は、上記第2の第1改
宗11b側でも同様であり、混合液F intは下方側
から上方側にゆっくりと流れる。
一方、該状態では上記加熱乾燥空気の供給及び電熱ヒー
タ17a、+7bの作動により上記第1および第2の分
離液取出側筒2吹室13a、+3b側はX湿度状態に近
くなるように乾燥されて上記第1、第2、第3の各選択
性透過膜18a、 18b、 +8cの第1次室側選択
分子吸胃面と第2次室側選択分子脱離面との間に所定値
以上の分圧差を実現するようになっている。そして、本
実施例における当該選択性透過膜18a、 18b、 
18cは、目的とする水(H,O)成分のみを選択的に
透過させる例えば「α−フルオロアクリル酸系共重合体
」よりなる水選択性透過無定形高分子膜(例えば特願昭
62−35401号明細書診照)により形成されており
、その選択特性に対応した水成分(H,Q分子)を上記
混合i& F ir++、 F iny自体のtQ度と
上記第1、第2の高濃度側筒1欠室11a、11b側と
第1、第2の低濃度側第2次室13a、13b側との間
の選択成分(HtO)の濃度差(湿度差)に比例した透
過速度(第4図参照)で第1、第2の高7f4度側第1
次室11a、11bから第2の低t&度側第2次室13
a、13bへ透過させる。
この場合、該水成分(HIO)の透過は、上記第1、第
2の高濃度側筒1欠室11a、11b内混合液中の水分
子H,Oが高濃度側から低濃度側へのra度差に伴なう
物質伝達エネルキーによって先ず上記選択性透過膜18
a、 18b、 l 8cの表面に吸着される。そして
、その後、溶解作用に伴なう分子移動によって当該透過
膜18a、 18b、 l 8c中に上記水分子H,O
が溶は込んで拡散して行く。
この時の水分子H,Oの溶は込み及び拡散量は、上記混
合液の温度や透過膜18a両境界面間の上記圧力差(濃
度が同じであれば、物質分子は圧力の高い方から低い方
に移動する)、又選択分子H20の濃度差(圧力が等し
い場合には、物質分子は濃度の高い方から低い方に移動
する)などに大きく左右される。この場合、上記圧力差
は、上記混合液供給側フィードポンプFPによる供給圧
を一定に保つことによって比較的容易に理想的な値にコ
ントロールすることができる。
ところが、一方上記第1次室側の混合液自体の温度や選
択成分(H,0分子)の濃度差の方は、次のような事情
から容易には所望値に維持することができない。すなわ
ち、先ず上述のように、上記選択性透過膜18a、 1
8b、 l 8cでの透過作用は浸透気化作用であり、
当然に選択分子である水成分H3○の相変化(液相→気
相)を伴なう。そのため当該分離作用が進行するに連れ
て気化潜熱量も増大して混合液F in、、 F in
t側の温度が下がる。
しかるに、先にも述べたように上記各選択性透過膜18
a、 18b、 18cを透過する水分子の透過速度は
、第3図のアルコール濃縮度特性から明らかなように混
合液の温度が高い方(理想条件下)が高くなり、透過性
能に優れている。従って、本実施例の構成では上述のよ
うに第1〜第3の選択性透過膜18a=18cを上記第
1〜第3の多孔質金属焼結体9〜11を介して電熱ヒー
タ17a、17bにより間接的に加熱するように構成し
ており、これによって上記気化潜熱による混合液の温度
の低下、就中、水分子H,Oの透過速度の低下を補償す
るようにしている(第3図の理想温度条件の維持)。
従って、本実施例の構成の場合、上記i熱ヒータ17a
、17bは上記分離液取出側第2次室13a。
13bの乾燥度を高くし、上記混合液供給側第1次室1
1a、11bとの間に高い濃度差を形成する第1の機能
に加えて、上記選択性透過膜18a〜18c付近の温度
を高めて(低下を防いで)透過効率を向上させる第2の
機能をも果たしている。
以上のように上記実施例では電熱ヒータ17a。
17bは本来分離液取出側第2次室13a、13bの加
熱乾燥作用と選択性透過膜18a、 l 8b、 18
cの加熱・加温作用との2つの作用を有しているが、上
記第2の機能である選択性透過膜側の加熱・加;1〃機
能をより高くしようとする場合には、さらに本願発明(
請求項3)の実施例(第2)として例えば第5図に示し
たように上記第1〜第3の各多孔質金属焼結体98〜9
cの内部に第2の電熱ヒータ19a=19cを埋設する
のが効果的である。
なお、上記第11第2の各実施例に於いては分離液とし
て水(Hto)の場合を設定したが、本発明の液体分離
の対象はこれに限定されるものでないことは勿論である
また、上記第1〜第3の金属焼結体98〜9cは、例え
ば熱の伝導性が高くて水分の透過性も良好なものとして
、チタン系、アルミメニウム系等現在周知の各種の金属
焼結体が適宜採用されるようになっている。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本願発明の第1実施例に係る液体分離装置の
モジュール構成を示す断面図、第2図は、同装置の分解
斜視図、第3図は、気化潜熱による供給混合液の温度低
下による透過効率の変化特性をアルコールの濃縮濃度(
脱水濃度)と供給流量とをパラメータとして表わしたグ
ラフ、第4図は、透過膜境界面間の水分子成分の濃度差
と水成分透過量との関係を示すグラフ、第5図は、本願
発明の第2実施例に係る液体分離装置の要部の断面図で
ある。 la ・・ lb ・・ lc ・・ 1d・・ e1 1r・・ 3 ・・ 4a・・ 4b・・ 5a・・ 5b・・ 9a〜9c・ 第1のフレーム 第2のフレーム 第3のフレーム 第4のフレーム 第5のフレーム 第6のフレーム フィードパイプ 第1の混合液供給口 第2の混合液供給口 第1の濃縮液排出口 第2の濃縮液排出口 第1〜第3の金属焼結体 11a  ・ ttb  ・ +3a  ・ 13b  ・ 17a、+7b 18a  ・ l 8b ・ 18c  ・ 第1の混合液供給側第1次室 第2の混合液供給側第1次室 第1の分離液取出側第2次室 第2の分離液取出側第2次室 電熱ヒータ 第1の選択性透過膜 第2の選択性透過膜 第3の選択性透過膜 10 加 314050607080 混pI液供給流殴(g/hr) 美 00

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、分離すべき液体とその他の液体とを含む所定の混合
    液(Fin_1)、(Fin_2)が供給される混合液
    側第1次室(11a)、(11b)と、該混合液側第1
    次室(11a)、(11b)に対して浸透気化用の選択
    性透過膜(18a)、(18b)、(18c)を介して
    接する分離側第2次室(13a)、(13b)とを設け
    、上記分離側第2次室(13a)、(13b)内に乾燥
    空気を流すことにより上記両室間に浸透気化分離作用に
    必要な分圧差を形成して目的とする液体を分離するよう
    にしてなる液体分離装置において、上記分離側第2次室
    (13a)、(13b)内に当該分離側第2次室(13
    a)、(13b)内の乾燥空気及び上記選択性透過膜(
    18a)、(18b)、(18c)を加熱する加熱手段
    (17a)、(17b)を設けたことを特徴とする液体
    分離装置。 2、選択性透過膜(18a)、(18b)、(18c)
    に熱伝導性多孔質板(9a)、(9b)、(9c)を一
    体化することによって補強支持したことを特徴とする請
    求項第1項記載の液体分離装置。 3、熱伝導性多孔質板(9a)、(9b)、(9c)の
    内部に加熱手段(19a)、(19b)、(19c)を
    埋設したことを特徴とする請求項第2項記載の液体分離
    装置。 4、加熱手段(17a)、(17b)、(19a)、(
    19b)、(19c)が電熱ヒータにより構成されてい
    ることを特徴とする請求項第1項又は第3項記載の液体
    分離装置。5、熱伝導性多孔質板(9a)、(9b)、
    (9c)が多孔質の金属焼結体によって構成されている
    ことを特徴とする請求項第2項記載の液体分離装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06196441A (ja) * 1992-09-11 1994-07-15 Nec Corp 半導体装置の製造方法
US5772352A (en) * 1995-06-02 1998-06-30 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Ball joint having extended service life
JP2006312948A (ja) * 2005-05-06 2006-11-16 Somic Ishikawa Inc ボールジョイント

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