JPH0342536U - - Google Patents

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JPH0342536U
JPH0342536U JP10407289U JP10407289U JPH0342536U JP H0342536 U JPH0342536 U JP H0342536U JP 10407289 U JP10407289 U JP 10407289U JP 10407289 U JP10407289 U JP 10407289U JP H0342536 U JPH0342536 U JP H0342536U
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JP
Japan
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thin film
movement
sensor
contact surface
bearing
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JP10407289U
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  • Measurement Of Force In General (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案第1実施例としての薄膜センサ
の斜視図、第2図はその薄膜に作用するせん断力
を示すグラフ、第3図は第2実施例としての薄膜
センサの斜視図、第4図はその拡大図、第5図は
その薄膜に作用するせん断力を示すグラフ、第6
図Aはこの薄膜センサを用いた場合のすべり軸受
における潤滑油の流れを示す模式図、第6図Bは
従来の薄膜センサを用いた場合のすべり軸受にお
ける潤滑油の流れを示す模式図、第7図Aは従来
の薄膜センサを示す斜視図、第7図Bは従来の薄
膜センサの薄膜に作用するせん断力を示すグラフ
である。 1,11……絶縁膜、3,13……マンガニン
膜、5,15……出力膜、7,17……電極膜、
11A,11B……絶縁膜斜面、17A,17B
……電極膜斜面、B1……ベアリング内輪、B3
……ローラ、B5……ベアリング外輪、B7……
すべり軸受、B9……軸受メタル、R……リング
体、S……回転軸。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 軸受部等の一対の接触面のうち一方の接触面に
    薄膜を形成し、該薄膜に作用する圧力または薄膜
    の温度を、電気的出力として取り出す薄膜センサ
    において、 前記の薄膜における他方の接触面の移動方向に
    直交する方向の寸法および/または移動方向に対
    して厚みが、該他方の接触面の移動方向に向かつ
    て漸次増大する形状を有すること を特徴とする薄膜センサ。
JP10407289U 1989-09-05 1989-09-05 Pending JPH0342536U (ja)

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JP10407289U JPH0342536U (ja) 1989-09-05 1989-09-05

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JPH0342536U true JPH0342536U (ja) 1991-04-22

Family

ID=31652880

Family Applications (1)

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JP10407289U Pending JPH0342536U (ja) 1989-09-05 1989-09-05

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JP (1) JPH0342536U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007114088A1 (ja) * 2006-03-30 2007-10-11 Millennium Gate Technology Co., Ltd. ひずみゲージの製造方法
WO2007122922A1 (ja) * 2006-04-20 2007-11-01 Nsk Ltd. 軸受装置及びその製造方法

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007114088A1 (ja) * 2006-03-30 2007-10-11 Millennium Gate Technology Co., Ltd. ひずみゲージの製造方法
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