JPH0342536U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0342536U JPH0342536U JP10407289U JP10407289U JPH0342536U JP H0342536 U JPH0342536 U JP H0342536U JP 10407289 U JP10407289 U JP 10407289U JP 10407289 U JP10407289 U JP 10407289U JP H0342536 U JPH0342536 U JP H0342536U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- movement
- sensor
- contact surface
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 2
- 229910000897 Babbitt (metal) Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000896 Manganin Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Force In General (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図は本考案第１実施例としての薄膜センサ
の斜視図、第２図はその薄膜に作用するせん断力
を示すグラフ、第３図は第２実施例としての薄膜
センサの斜視図、第４図はその拡大図、第５図は
その薄膜に作用するせん断力を示すグラフ、第６
図Ａはこの薄膜センサを用いた場合のすべり軸受
における潤滑油の流れを示す模式図、第６図Ｂは
従来の薄膜センサを用いた場合のすべり軸受にお
ける潤滑油の流れを示す模式図、第７図Ａは従来
の薄膜センサを示す斜視図、第７図Ｂは従来の薄
膜センサの薄膜に作用するせん断力を示すグラフ
である。 １，１１……絶縁膜、３，１３……マンガニン
膜、５，１５……出力膜、７，１７……電極膜、
１１Ａ，１１Ｂ……絶縁膜斜面、１７Ａ，１７Ｂ
……電極膜斜面、Ｂ１……ベアリング内輪、Ｂ３
……ローラ、Ｂ５……ベアリング外輪、Ｂ７……
すべり軸受、Ｂ９……軸受メタル、Ｒ……リング
体、Ｓ……回転軸。
の斜視図、第２図はその薄膜に作用するせん断力
を示すグラフ、第３図は第２実施例としての薄膜
センサの斜視図、第４図はその拡大図、第５図は
その薄膜に作用するせん断力を示すグラフ、第６
図Ａはこの薄膜センサを用いた場合のすべり軸受
における潤滑油の流れを示す模式図、第６図Ｂは
従来の薄膜センサを用いた場合のすべり軸受にお
ける潤滑油の流れを示す模式図、第７図Ａは従来
の薄膜センサを示す斜視図、第７図Ｂは従来の薄
膜センサの薄膜に作用するせん断力を示すグラフ
である。 １，１１……絶縁膜、３，１３……マンガニン
膜、５，１５……出力膜、７，１７……電極膜、
１１Ａ，１１Ｂ……絶縁膜斜面、１７Ａ，１７Ｂ
……電極膜斜面、Ｂ１……ベアリング内輪、Ｂ３
……ローラ、Ｂ５……ベアリング外輪、Ｂ７……
すべり軸受、Ｂ９……軸受メタル、Ｒ……リング
体、Ｓ……回転軸。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 軸受部等の一対の接触面のうち一方の接触面に
薄膜を形成し、該薄膜に作用する圧力または薄膜
の温度を、電気的出力として取り出す薄膜センサ
において、 前記の薄膜における他方の接触面の移動方向に
直交する方向の寸法および／または移動方向に対
して厚みが、該他方の接触面の移動方向に向かつ
て漸次増大する形状を有すること を特徴とする薄膜センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10407289U JPH0342536U (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10407289U JPH0342536U (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0342536U true JPH0342536U (ja) | 1991-04-22 |
Family
ID=31652880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10407289U Pending JPH0342536U (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0342536U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007114088A1 (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Millennium Gate Technology Co., Ltd. | ひずみゲージの製造方法 |
| WO2007122922A1 (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Nsk Ltd. | 軸受装置及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-09-05 JP JP10407289U patent/JPH0342536U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007114088A1 (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Millennium Gate Technology Co., Ltd. | ひずみゲージの製造方法 |
| WO2007122922A1 (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Nsk Ltd. | 軸受装置及びその製造方法 |