JPH0336135U - - Google Patents

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JPH0336135U
JPH0336135U JP9594889U JP9594889U JPH0336135U JP H0336135 U JPH0336135 U JP H0336135U JP 9594889 U JP9594889 U JP 9594889U JP 9594889 U JP9594889 U JP 9594889U JP H0336135 U JPH0336135 U JP H0336135U
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wafer
outer peripheral
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wafer holding
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本考案によるウエハー保持
装置の一例の略線的平面図及びその一部を断面と
した側面図、第３図及び第４図は他の例の略線的
平面図及びその一部を断面とした側面図、第５図
は更に他の例の略線的平面図、第６図及び第７図
は従来装置の平面図及びその一部を断面とした側
面図である。 ２……ウエハー、１１……ウエハー載置面、１
２，１２１，１２２……突出壁、２３……弾条体
である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ウエハーの載置面と、ウエハーの外周端面に
    沿つて湾曲する円筒衝合面を有する突出壁とが一
    体に設けられて成り所要の温度で収縮する収縮材
    により構成されたウエハー保持手段を有し、 該ウエハー保持手段の上記所要の温度における
    収縮によつて上記突出壁が上記ウエハーの外周端
    面に弾性的に衝合して上記ウエハーの保持を行う
    ようにしたウエハー保持装置。 ２ ウエハーの載置面上に、それぞれウエハーの
    外周端面に沿つて湾曲する円筒衝合面を有する少
    くとも一対の突出壁が設けられたウエハー保持手
    段と有し、 その少くとも一方の突出壁は形状記憶合金によ
    る弾条体によつて所要の温度で上記ウエハーの中
    心部に向う弾性偏倚力が与えられて上記対の突出
    壁によつて上記ウエハーの保持を行うようにした
    ウエハー保持装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007209955A (ja) * 2006-02-13 2007-08-23 Takeo Yoshida 濾過器
WO2016148287A1 (ja) * 2015-03-19 2016-09-22 クラレノリタケデンタル株式会社 被加工ユニット及びその製造方法
WO2016148289A1 (ja) * 2015-03-19 2016-09-22 クラレノリタケデンタル株式会社 被加工ユニット及びその製造方法
WO2016148288A1 (ja) * 2015-03-19 2016-09-22 クラレノリタケデンタル株式会社 被加工ユニット及びその製造方法

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007209955A (ja) * 2006-02-13 2007-08-23 Takeo Yoshida 濾過器
JP4505420B2 (ja) * 2006-02-13 2010-07-21 武郎 吉田 濾過器
WO2016148287A1 (ja) * 2015-03-19 2016-09-22 クラレノリタケデンタル株式会社 被加工ユニット及びその製造方法
WO2016148289A1 (ja) * 2015-03-19 2016-09-22 クラレノリタケデンタル株式会社 被加工ユニット及びその製造方法
WO2016148288A1 (ja) * 2015-03-19 2016-09-22 クラレノリタケデンタル株式会社 被加工ユニット及びその製造方法
JPWO2016148289A1 (ja) * 2015-03-19 2018-01-18 クラレノリタケデンタル株式会社 被加工ユニット及びその製造方法
JPWO2016148287A1 (ja) * 2015-03-19 2018-01-18 クラレノリタケデンタル株式会社 被加工ユニット及びその製造方法
JPWO2016148288A1 (ja) * 2015-03-19 2018-02-15 クラレノリタケデンタル株式会社 被加工ユニット及びその製造方法
US11109948B2 (en) 2015-03-19 2021-09-07 Kuraray Noritake Dental Inc. Workpiece unit and method of producing same
US11185397B2 (en) 2015-03-19 2021-11-30 Kuraray Noritake Dental Inc. Workpiece unit and method for producing same

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