【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]
本発明は表面波装置に関する。
従来、表面波装置で複雑な周波数特性を精度よ
く得るには、交さ幅を可変にした、いわゆる交さ
幅重みづけインターデイジタル電極が多く用いら
れている。相手側電極は少ない対数で帯域幅を広
くした正規型インターデイジタル電極が用いら
れ、重みづけ電極の表面波をすべて受信するよう
にしている。ところが、最近要求される周波数特
性の非常に厳しい条件を満たすには、一方側の重
みづけ電極だけでは不十分であり、正規型電極の
方でもある程度重みづけを施したいという要望が
出てきつつある。しかし、相手側の電極を交さ幅
重みづけに構成すると、両電極とも交さ幅重みづ
け電極となつて、表面波を受信出きない部分が生
じ、周波数特性が乱れてしまう。
本発明は、上述した従来の技術状況に鑑みてな
されたもので、通常の交さ幅重みづけ電極などの
ように複雑な周波数特性は実現できないが、正規
型電極に比べて、サイドローブの減衰量、帯域幅
などの周波数特性を比較的自由に設定し得る、し
かも高インピーダンス化が図れ、なおかつ正規電
極と同じように交さ幅をほぼ一定にし得る重みづ
け電極を備えた表面波装置を提供することを目的
とする。
以下、本発明の実施例を図面とともに詳述す
る。
第１図ａにおいて、１，２，３は表面波基板９
上に表面波伝播方向（矢印）に沿つて一列に配置
された部分電極で、各々は交さ幅が一定になるよ
う等しい長さの電極指でインターデイジタル形状
に構成されている。なお、部分電極１，２，３の
電極指は相手側重みづけ電極の最大電極指より大
きければ、一定でなく多少長さに差があつても差
し支えない。部分電極１の一方のくし歯電極は端
子６に接続され、他方のくし歯電極は幅広の電極
指（もしくは対の同電位の電極指）４により第２
番目の部分電極２の一方のくし歯電極に接続され
ている。その部分電極２の他方のくし歯電極は幅
広の電極指（もしくは対の同電位の電極指）５に
より第３番目の部分電極３の一方のくし歯電極に
接続され、その電極３の他方のくし歯電極はもう
一方の端子７に接続されている。結果として、イ
ンターデイジタル電極８が表面波伝播方向に３分
割され、電気的に直列接続されたものとなる。イ
ンターデイジタル電極８の等価回路は同図ｂに示
すようになる。C1は部分電極１の各隣接する電
極指間の容量等を合計した容量であり、C2，C3
は同様に部分電極２，３による容量である。そし
て部分電極１，２，３はそれぞれ、例えば対数が
４対、2.5対、４対になるよう構成されている。
各部分電極１，２，３の容量C1，C2，C3は対数
に比例するので、C1：C2：C3＝４：2.5：４とな
る。一方、端子６，７間に印加される電圧は、部
分電極１，２，３のインピーダンスに比例してす
なわち容量C1，C2，C3に逆比例の関係で各部分
電極１，２，３に配分される。したがつて、端子
６，７間の電圧を１とすれば、部分電極１，２，
３にはそれぞれ5/18，8/18，5/18の大きさの電圧
がかかり、それらの電圧の大きさに応じて各部分
電極毎に異なる大きさの表面波が励受信される。
この結果、同図ｃに示すように、従来の交さ幅重
みづけ関数に類似した重みづけ関数が得られる。
また、同図ｂの等価回路から明らかなように、イ
ンターデイジタルトランスジユーサーのインピー
ダンスは、各部分電極の容量C1，C2，C3を直列
に接続したものに相当し、非分割電極によるもの
と比較してはるかに高いインピーダンスとなる。
第２図は本発明の電極と従来の通常の分割型電
極による周波数特性を比較するための図である。
同図ａは３分割されたインターデイジタル電極の
対数の総和が10.5対（０振源を含めると11.5対）
で、中心周波数が43.5MHzになるよう設定したも
のを示す。同図ａにおいて、曲線ａは従来電極に
よるもので、各部分電極ともに対数を3.5対とし
た場合、曲線ｂは上記実施例と同様に部分電極の
対数を４対、2.5対、４対とした場合、曲線Ｃは
部分電極の対数を4.5対、1.5対、4.5対とした場合
の特性である。同図ｂは５分割されたインターデ
イジタル電極の対数の総和が12.5対（０振源を含
めると14.5対）で、中心周波数が56.5MHzになる
よう設定したものを示す。同図ｂにおいて、曲線
ｄは従来電極によるもので、各部分電極ともに対
数を2.5対とした場合、曲線ｅは部分電極の対数
を３対、2.5対、1.5対、2.5対、３対とした場合、
曲線ｆは部分電極の対数を2.5対、3.5対、0.5対、
3.5対、2.5対とした場合の特性である。各曲線ａ
〜ｆを得るための電極は振源数であらわすと、次
表のようになる。なお、振源０は部分電極を連結
する幅広の電極指によるものである。
The present invention relates to a surface wave device. Conventionally, in order to obtain complex frequency characteristics with high precision in a surface acoustic wave device, so-called crossing width weighted interdigital electrodes with variable crossing widths are often used. A regular interdigital electrode with a small number of logarithms and a wide bandwidth is used as the other electrode, and is designed to receive all the surface waves of the weighted electrode. However, in order to meet the very strict requirements for frequency characteristics that are required these days, the weighting electrode on one side alone is not sufficient, and there is a growing demand for a certain amount of weighting to be applied to the regular type electrode as well. . However, if the electrodes on the other side are configured to have cross-width weighting, both electrodes become cross-width weighted electrodes, resulting in a portion where surface waves cannot be received and the frequency characteristics are disturbed. The present invention was made in view of the above-mentioned conventional technical situation, and although complex frequency characteristics cannot be achieved as with ordinary cross-width weighted electrodes, the sidelobe attenuation is significantly lower than that of regular electrodes. Provided is a surface wave device equipped with weighted electrodes that can set frequency characteristics such as volume and bandwidth relatively freely, can achieve high impedance, and can keep the crossing width almost constant like regular electrodes. The purpose is to Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In FIG. 1a, 1, 2, 3 are surface wave substrates 9
Partial electrodes are arranged in a line along the surface wave propagation direction (arrow) above, and each electrode finger is constructed in an interdigital shape with electrode fingers of equal length so that the intersecting width is constant. Note that the electrode fingers of the partial electrodes 1, 2, and 3 may not be constant and may have some difference in length as long as they are larger than the maximum electrode finger of the weighted electrode on the other side. One comb-shaped electrode of the partial electrode 1 is connected to a terminal 6, and the other comb-shaped electrode is connected to a second comb-shaped electrode by a wide electrode finger (or a pair of electrode fingers of the same potential) 4.
It is connected to one comb-shaped electrode of the th partial electrode 2. The other comb-shaped electrode of the partial electrode 2 is connected to one comb-shaped electrode of the third partial electrode 3 by a wide electrode finger (or a pair of electrode fingers of the same potential) 5; The comb electrode is connected to the other terminal 7. As a result, the interdigital electrode 8 is divided into three parts in the surface wave propagation direction and electrically connected in series. An equivalent circuit of the interdigital electrode 8 is shown in FIG. C 1 is the total capacitance of the capacitance between adjacent electrode fingers of partial electrode 1, and C 2 , C 3
Similarly, is the capacitance due to the partial electrodes 2 and 3. The partial electrodes 1, 2, and 3 are configured to have, for example, 4 pairs, 2.5 pairs, and 4 pairs of logarithms, respectively.
Since the capacitances C 1 , C 2 , and C 3 of each partial electrode 1, 2 , and 3 are logarithmically proportional, C 1 :C 2 :C 3 =4:2.5:4. On the other hand, the voltage applied between the terminals 6 and 7 is proportional to the impedance of the partial electrodes 1, 2, and 3, that is, inversely proportional to the capacitances C1 , C2 , and C3 . It is distributed to 3. Therefore, if the voltage between terminals 6 and 7 is 1, then partial electrodes 1, 2,
3 are applied with voltages of magnitudes 5/18, 8/18, and 5/18, respectively, and surface waves of different magnitudes are excited and received at each partial electrode depending on the magnitude of these voltages.
As a result, a weighting function similar to the conventional intersection width weighting function is obtained, as shown in FIG.
Furthermore, as is clear from the equivalent circuit shown in Figure b, the impedance of the interdigital transducer corresponds to the capacitances C 1 , C 2 , and C 3 of each partial electrode connected in series; The impedance is much higher than that of FIG. 2 is a diagram for comparing the frequency characteristics of the electrode of the present invention and a conventional conventional split-type electrode.
In figure a, the total number of logarithms of the interdigital electrodes divided into three is 10.5 pairs (11.5 pairs if 0 vibration source is included).
Here, the center frequency is set to 43.5MHz. In the figure a, curve a is for the conventional electrode, and when the logarithm of each partial electrode is 3.5 pairs, curve b is for the partial electrode with a logarithm of 4 pairs, 2.5 pairs, and 4 pairs, as in the above embodiment. In this case, curve C is the characteristic when the number of pairs of partial electrodes is 4.5 pairs, 1.5 pairs, and 4.5 pairs. Figure b shows a configuration in which the total number of pairs of interdigital electrodes divided into five is 12.5 pairs (14.5 pairs if 0 oscillation source is included), and the center frequency is set to 56.5 MHz. In the same figure b, curve d is for the conventional electrode, and when the logarithm of each partial electrode is 2.5 pairs, the curve e is for the logarithm of the partial electrode: 3 pairs, 2.5 pairs, 1.5 pairs, 2.5 pairs, and 3 pairs. case,
The curve f has the logarithms of partial electrodes of 2.5 pairs, 3.5 pairs, 0.5 pairs,
These are the characteristics when using 3.5 pairs and 2.5 pairs. Each curve a
The electrodes used to obtain ~f are expressed in terms of the number of oscillation sources as shown in the following table. Note that the vibration source 0 is caused by wide electrode fingers that connect the partial electrodes.
【表】
第２図から明らかなように、部分電極の対数を
変えることにより、帯域幅、サイドローブの減衰
量、減衰極の減衰量が変わり、重みづけを施すこ
とができる。特に、サイドローブの減衰量は特性
上良くなる方向にすなわち大きくなるように変わ
る。
以上説明したように本発明によれば、交さ幅一
定の複数の部分電極の対数に基いて重みづけを施
すことができ、サイドローブ、帯域幅などの周波
数特性を容易に所望値に設定できる。しかも、高
インピーダンス化が図れ、外部回路とのマツチン
グが容易となる。[Table] As is clear from FIG. 2, by changing the number of logarithms of the partial electrodes, the bandwidth, the amount of attenuation of the side lobe, and the amount of attenuation of the attenuation pole change, and weighting can be applied. In particular, the amount of attenuation of the side lobe changes in a direction that improves the characteristics, that is, increases. As explained above, according to the present invention, weighting can be performed based on the logarithm of a plurality of partial electrodes having a constant intersecting width, and frequency characteristics such as side lobes and bandwidth can be easily set to desired values. . Moreover, high impedance can be achieved, and matching with external circuits can be facilitated.
【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]
第１図は本発明による表面波装置の一実施例を
示し、同図ａは平面図、同図ｂは等価回路図、同
図ｃは重みづけ関数を示す図、第２図ａ，ｂはい
ずれも従来および本発明の電極による周波数特性
を示す図である。
１，２，３は部分電極、８はインターデイジタ
ル電極である。
Figure 1 shows an embodiment of the surface wave device according to the present invention, in which Figure a is a plan view, Figure b is an equivalent circuit diagram, Figure c is a diagram showing a weighting function, Figure 2 a and b are Both are diagrams showing frequency characteristics of conventional electrodes and electrodes of the present invention. 1, 2, and 3 are partial electrodes, and 8 is an interdigital electrode.