JPH03290840A - Information recording and/or reproducing device and information recording carrier - Google Patents

Information recording and/or reproducing device and information recording carrier

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JPH03290840A
JPH03290840A JP9145290A JP9145290A JPH03290840A JP H03290840 A JPH03290840 A JP H03290840A JP 9145290 A JP9145290 A JP 9145290A JP 9145290 A JP9145290 A JP 9145290A JP H03290840 A JPH03290840 A JP H03290840A
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probe
recording
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information recording
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明彦 山野
Hiroyasu Nose
能勢 博康
Toshimitsu Kawase
俊光 川瀬
Toshihiko Miyazaki
俊彦 宮崎
Takahiro Oguchi
小口 高弘
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Abstract

PURPOSE:To prevent the deterioration of a recording medium surface and a probe electrode by providing a hermetic closing means for hermetic housing of a probe and the recording medium and a recording and reproducing device body holding this means. CONSTITUTION:A hermetic frame 416 is the main constituting member of the hermetic container 415. Elastic films 417 are formed on the upper and under surfaces of the hermetic frame to constitute the hermetic part. A socket 419 for the probe fixes the probe electrode and is used commonly as a drawing out electrode from the probe electrode 406. A pin 420 for probe to be mechanically and electrically coupled and connected to the socket 419 for the probe and socket 421 for the recording medium as a substrate 410 which fixes the recording medium 408 and is used commonly as the drawing out electrode from the underlying electrode of the recording medium are provided. The recording and reproducing are executed while the probe and the recording medium 408 are kept protected from the outdoor air in this way. The adverse influence by dust is eliminated.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、走査型トンネル顕微鏡を応用した記録再生装
置の改良に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an improvement in a recording/reproducing device using a scanning tunneling microscope.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、物質表面及び表面近傍の電子構造を直接観察でき
る走査型トネンル顕微鏡(以後STMと略す)が開発さ
れ、(G、B1nn1g  etal、、He1vet
ica  PhysicaActa、55,726 (
1982))単結晶、非晶質を問わず実空間像の高い分
解能の測定が出来るようになり、しかも媒体に電流によ
る損傷を与えずに低電力で観測出来る利点をも有し、さ
らには超高真空中のみならず大気中、溶液中でも動作し
種々の材料に対して用いることが出来るため広範囲な応
用が期待されている。
In recent years, a scanning tunnel microscope (hereinafter abbreviated as STM), which can directly observe the electronic structure on and near the surface of a material, has been developed.
ica Physica Acta, 55,726 (
1982)) It became possible to measure real space images with high resolution regardless of whether they were single crystal or amorphous, and it also had the advantage of being able to observe with low power without damaging the medium due to current. It is expected to have a wide range of applications because it operates not only in high vacuum, but also in the atmosphere and in solutions, and can be used for various materials.

そして最近このSTMを応用した記録再生装置〔特開昭
63−161552号公報、63−161553号公報
参照〕も開発されている。
Recently, a recording/reproducing apparatus to which this STM is applied (see Japanese Patent Laid-Open Nos. 63-161552 and 63-161553) has also been developed.

これらの従来の記録再生装置は第11図の様な構成を用
いている。
These conventional recording and reproducing apparatuses use a configuration as shown in FIG.

これらの装置では電圧印加装置5を用いて、トンネル電
流が流れる程度の直流電圧を記録媒体8に加えた状態で
、そのトンネル電流を一定とするようなプローブ電極(
探針)6と記録媒体8との距離ノ制御が行われている。
In these devices, a voltage applying device 5 is used to apply a DC voltage sufficient to cause a tunnel current to flow to the recording medium 8, and a probe electrode (
The distance between the probe 6 and the recording medium 8 is controlled.

そして記録位置における電気特性に対してスイッチング
メモリー効果を持つ記録媒体8へのパルス電圧の印加に
より、記録部位に局所的に電気抵抗の異なる部分が作り
出される。
By applying a pulse voltage to the recording medium 8 that has a switching memory effect on the electrical characteristics at the recording position, portions with locally different electrical resistances are created at the recording position.

再生時には微弱な電圧を印加しながら電流増幅器7、サ
ーボ回路3及び三次元駆動機構2を用いて探針6と記録
層の距離を一定に制御する。モしてXY走査駆動回路4
と三次元駆動機構2を用いて記録媒体面上を走査し探針
6を検出電流が一定となるように表面を倣わせ記録操作
による電気抵抗の違いに対応するZ軸方向の制御量と面
内での探針の位置から記録情報を再現している。これら
の制御はマイクロコンピュータ−1によって行われてい
る。またトンネル電流が流れ始めるのはプローブ電極6
と記録媒体8の距離がlnm程度まで近接してからであ
るためプローブ電極6と記録媒体8の微動制御部分は高
精度な加工・製作技術が必要である。
During reproduction, the distance between the probe 6 and the recording layer is controlled to be constant using the current amplifier 7, the servo circuit 3, and the three-dimensional drive mechanism 2 while applying a weak voltage. XY scan drive circuit 4
The three-dimensional drive mechanism 2 is used to scan the surface of the recording medium, and the probe 6 traces the surface so that the detection current is constant, and the control amount and surface in the Z-axis direction corresponding to the difference in electrical resistance caused by the recording operation are determined. Recorded information is reproduced from the position of the probe within the probe. These controls are performed by a microcomputer-1. Also, the tunnel current begins to flow at the probe electrode 6.
Since the distance between the probe electrode 6 and the recording medium 8 is approximately 1 nm, the fine movement control portion of the probe electrode 6 and the recording medium 8 requires highly accurate processing and manufacturing technology.

〔発明が解決しようとしている課題〕[Problem that the invention is trying to solve]

しかしながら従来の記録再生装置では記録媒体の表面お
よびプローブ電極の表面が大気中にさらされていた。そ
のため場合によっては大気中の水分、酸素等による記録
媒体表面及びプローブ電極の経時特性変化により再生誤
り、及びS/N比の劣化が激しくまた大気中の塵埃によ
り記録媒体表面が傷つけられたり汚れが付着し記録再生
に誤りを生じるおそれがあった。
However, in conventional recording and reproducing devices, the surface of the recording medium and the surface of the probe electrode are exposed to the atmosphere. Therefore, in some cases, the characteristics of the recording medium surface and probe electrode change over time due to moisture, oxygen, etc. in the atmosphere, resulting in playback errors and severe deterioration of the S/N ratio, and dust in the atmosphere may damage or stain the recording medium surface. There was a risk that the particles would adhere and cause errors in recording and playback.

本発明は上記従来技術の応用発明であって、記録媒体表
面およびプローブ電極の劣化を防止し、高精度で信頼性
の高い機能を維持し、高度情報化社会に十分な対応がで
きる記録及び/又は再生装置及び情報記録担体の提供を
目的とする。
The present invention is an applied invention of the above-mentioned prior art, and is a recording and/or recording device that prevents deterioration of the recording medium surface and probe electrodes, maintains highly accurate and reliable functions, and is fully compatible with an advanced information society. Or for the purpose of providing playback devices and information recording carriers.

〔課題を解決する為の手段〕[Means to solve problems]

本発明は、記録媒体に記録及び/又は再生を行う装置で
、記録媒体に情報記録を行うため及び/又は記録媒体か
ら情報再生を行うためのプローブと、前記プローブと記
録媒体との間に情報記録及び/又は再生用の電圧を印加
するための電圧印加手段と、少なくとも前記プローブと
記録媒体とを密封収容するための密閉手段と前記密閉手
段を保持する装置本体を有し、前記密閉手段は前記装置
本体に対し着脱可能であり、 − 前記装置本体と前記密 閉手段は前記電圧印加手段と前記プローブ及び記録媒体
の少なくとも一方とが電気的に接続されるための接触電
極をそれぞれ有し、前記接触電極は前記密閉手段が前記
装置本体に取付けられた際に互いに接触するように配置
されている事により前述の目的とする情報記録及び/又
は再生装置を達成している。
The present invention relates to an apparatus for recording and/or reproducing information on a recording medium, including a probe for recording information on the recording medium and/or reproducing information from the recording medium, and a probe for recording information on and/or reproducing information from the recording medium; It has a voltage application means for applying a voltage for recording and/or reproduction, a sealing means for sealingly accommodating at least the probe and the recording medium, and a device body holding the sealing means, the sealing means is removable from the apparatus main body, - the apparatus main body and the sealing means each have a contact electrode for electrically connecting the voltage application means and at least one of the probe and the recording medium; The contact electrodes are arranged so as to be in contact with each other when the sealing means is attached to the device body, thereby achieving the above-mentioned objective information recording and/or reproducing device.

又、本発明は、情報記録及び/又は再生用装置によって
情報が記録及び/又は再生されるべき情報記録担体で、
情報が記録されるべき及び/又は情報が記録されている
記録媒体と、前記記録媒体との間に電圧を印加されるこ
とにより前記記録媒体に情報記録を行う及び/又は記録
媒体から情報再生を行うプローブと前記記録媒体とプロ
ーブとを密封する密閉フレームとを有し、該密閉フレー
ムは情報記録及び/又は再生用装置に着脱可能でありか
つ情報記録及び/又は再生用装置から電圧印加されるた
めの接触電極を有し、前記接触電極は前記書簡フレーム
が情報記録及び/又は再生用装置に取付けられた際に電
圧印加される位置に接触するように配置されている事に
より前述の目的とする情報記録担体を達成している。
The present invention also provides an information recording carrier on which information is to be recorded and/or reproduced by an information recording and/or reproduction apparatus,
Recording information on the recording medium and/or reproducing information from the recording medium by applying a voltage between the recording medium on which information is to be recorded and/or the information is recorded, and the recording medium. The recording medium has a sealed frame that seals the probe, the recording medium, and the probe, and the sealed frame is removable from the information recording and/or reproducing device and is applied with voltage from the information recording and/or reproducing device. The contact electrode is arranged to contact a position where a voltage is applied when the letter frame is attached to an information recording and/or reproducing device, thereby achieving the above-mentioned purpose. The information record carrier has been achieved.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明の第1の実施例を示す概略図である。第
1図中401は装置系全体の制御を行うマイクロコンピ
ュータ−である。402は円筒形圧電素子からなる三次
元駆動機構、403はサーボ回路、404はxy走走査
駆動絡路405はプローブ電極と記録媒体との間に電圧
を印加する電圧印加装置、406は白金線を電解研磨法
で加工したプローブ電極、407は電流増幅器、408
はLB法により5OAZ (スクアリリウム−ビス6−
オクチルアズレン)を4層積眉した記録媒体、409は
真空蒸着法によりCrを50人堆積させ更にその上にA
uを300人同法により蒸着した下地基板、410は石
英ガラスの基板、411は積層圧電素子からなる粗動機
構、412は粗動機構駆動回路、413はxyステージ
、414はxyステージ駆動回路、415は密閉構造を
構成する密閉容器で中には乾燥・清浄化された窒素ガス
が封入されている。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, 401 is a microcomputer that controls the entire device system. 402 is a three-dimensional drive mechanism consisting of a cylindrical piezoelectric element, 403 is a servo circuit, 404 is an xy scanning drive circuit 405 is a voltage application device that applies a voltage between the probe electrode and the recording medium, and 406 is a platinum wire. Probe electrode processed by electrolytic polishing method, 407 is a current amplifier, 408
is 5OAZ (squarylium-bis6-
409 is a recording medium with four layers of octyl azulene), and 50 layers of Cr are deposited by vacuum evaporation, and then A
410 is a quartz glass substrate, 411 is a coarse movement mechanism made of laminated piezoelectric elements, 412 is a coarse movement mechanism drive circuit, 413 is an xy stage, 414 is an xy stage drive circuit, Reference numeral 415 denotes a closed container constituting a closed structure, in which dried and purified nitrogen gas is sealed.

記録媒体408に情報の記録を行うには、粗動機構41
1を用いてプローブ電極406に記録媒体408を近づ
け、電圧印加装置405により高さ3.5V、幅50n
 sの矩形状パルス電圧を印加することにより記録媒体
408が特性変化を起こし電気抵抗の低い部分(1ビツ
トに相当)が生じることを使う。三次元駆動機構402
及□びxyステージ413を用いてプローブ電極406
及び記録媒体408を走査しながら、所望の位置へパル
ス印加を行うことで記録ができる。
To record information on the recording medium 408, the coarse movement mechanism 41
1 to bring the recording medium 408 close to the probe electrode 406, and apply a voltage of 3.5V in height and 50n in width using the voltage application device
This method uses the fact that by applying a rectangular pulse voltage of s, the characteristics of the recording medium 408 change and a portion (corresponding to 1 bit) with low electrical resistance is generated. Three-dimensional drive mechanism 402
Probe electrode 406 using □ and xy stage 413
Recording can be performed by applying a pulse to a desired position while scanning the recording medium 408.

再生を行うには、記録電圧より低い200mVの直流電
圧をプローブ電極406と記録媒体408とに加えなが
ら、電流増幅器407とサーボ回路403を用いて検出
される電流が0. 1nAの一定になるように三次元駆
動機構402のZ方向(プローブ電極406と記録媒体
408の間隔方向)駆動をフィードバック制御しながら
記録媒体面上を記録時と同様に二次元走査する。この時
のフィードバック量(Z方向駆動量)は記録媒体上の記
録情報に対応しており、記録位置との対応をとることで
再生を行う。これらの制御はマイクロコンピュータ−4
01によって行う。
To perform reproduction, while applying a DC voltage of 200 mV, which is lower than the recording voltage, to the probe electrode 406 and the recording medium 408, the current detected using the current amplifier 407 and the servo circuit 403 is set to 0. The surface of the recording medium is two-dimensionally scanned in the same way as during recording while controlling the drive of the three-dimensional drive mechanism 402 in the Z direction (direction of the distance between the probe electrode 406 and the recording medium 408) in the Z direction so that the current is constant at 1 nA. The feedback amount (Z-direction drive amount) at this time corresponds to the recorded information on the recording medium, and reproduction is performed by making correspondence with the recording position. These controls are performed by microcomputer-4
Performed by 01.

第2図は本発明第1の実施例の記録再生装置から取り外
した密閉容器415の外観図である。この容器内にはプ
ローブ電極と記録媒体が相対して配置され、乾燥清浄化
された窒素ガスがはいっており、プローブ電極と記録媒
体の接触や衝突を防ぐためロック板418、プローブ電
極を走査する三次元駆動機構と接触するD型の穴が加工
されているプローブ用ソケット419が構成されている
。D型穴は円筒型の密閉フレーム416の中心軸上にあ
る。次に密閉容器415の断面を含む図を使い装置への
セツティングを説明する。
FIG. 2 is an external view of the closed container 415 removed from the recording/reproducing apparatus of the first embodiment of the present invention. Inside this container, a probe electrode and a recording medium are arranged facing each other, and a dry and purified nitrogen gas is filled in. In order to prevent contact or collision between the probe electrode and the recording medium, a lock plate 418 and a probe electrode are scanned. A probe socket 419 is configured with a D-shaped hole that contacts the three-dimensional drive mechanism. The D-shaped hole is on the central axis of the cylindrical sealing frame 416. Next, using a diagram including a cross section of the closed container 415, setting to the apparatus will be explained.

第3図、第4図は本発明mlの実施例の密閉容器415
を中心とした説明図であり、第3図は密閉容器のセツテ
ィング前、第4図はセツティング後の状態を示している
。密閉フレーム416は密閉容器の主様な構成部材であ
りアルミニウム製の円筒形状をしている。417は密閉
フレーム上下面に配置されている密閉部分を構成するゴ
ムからなる弾性膜である。プローブ用ソケット419は
プローブ電極を固定しプローブ電極からの引出し電極を
兼用する。420はプローブ用ソケットと機械的電気的
に結合接続するプローブ用ピン、421は記録媒体を固
定し不図示の記録媒体下地電極からの引出し電極を兼用
する基板410としての記録媒体用ソケットである。弾
性膜の端部は密閉フレーム417とソケット419.4
21に設けられた凹部に挿入接着固定されている。
Figures 3 and 4 show a closed container 415 of an embodiment of the ml according to the present invention.
FIG. 3 shows the closed container before setting, and FIG. 4 shows the state after setting. The closed frame 416 is the main component of the closed container and is made of aluminum and has a cylindrical shape. Reference numeral 417 denotes an elastic membrane made of rubber and forming a sealing portion disposed on the upper and lower surfaces of the sealing frame. The probe socket 419 fixes the probe electrode and also serves as an extraction electrode from the probe electrode. 420 is a probe pin mechanically and electrically connected to a probe socket; 421 is a recording medium socket serving as a substrate 410 that fixes a recording medium and also serves as an extraction electrode from a recording medium base electrode (not shown). The ends of the elastic membrane are connected to a sealing frame 417 and a socket 419.4.
It is inserted and adhesively fixed into a recess provided in 21.

422は記録媒体用ソケットと機械的電気的に結合接続
する記録媒体用ピン、423はスキャナ・フレームで円
筒形圧電素子からなる三次元駆動機#I402を固定、
その先端にはプローブ用ピンが固定してあり、424は
ステージ・フレームで中にはxyステージ413が固定
してあり、xyステージ上には粗動機構4111更に記
録媒体用ピン422が固定しである。密閉容器415を
構成している密命フレーム416の外径部分の中心軸と
プローブ用ソケット419と記録媒体用ソケット421
の中心軸とは一致するように配置組み立てである。スキ
ャナ・フレーム423の嵌合部425は密閉フレーム4
16の外径部と嵌合する寸法となっており、プローブ用
ピン420と同軸上に構成されている。ステージ・フレ
ーム424の嵌合部426は密閉フレーム416の外径
部と嵌合する寸法となっており、記録媒体用ピン422
と同軸上に構成されている。プローブ用ソケット419
及び記録媒体用ソケット421の中心軸上には第2図に
示すようなり型穴が加工されており、それぞれ各式に嵌
合する様に形成された凸部を有するプローブ用ピン42
0及び記録媒体用ピン422とガタ無く結合するように
なっている。
422 is a recording medium pin mechanically and electrically connected to a recording medium socket; 423 is a scanner frame that fixes three-dimensional drive machine #I402 made of a cylindrical piezoelectric element;
A probe pin is fixed at its tip, and 424 is a stage frame in which an xy stage 413 is fixed, and a coarse movement mechanism 4111 and a recording medium pin 422 are fixed on the xy stage. be. The central axis of the outer diameter portion of the secret frame 416 that constitutes the airtight container 415, the probe socket 419, and the recording medium socket 421
It is arranged and assembled so that it coincides with the central axis. The fitting portion 425 of the scanner frame 423 is connected to the closed frame 4
16, and is configured coaxially with the probe pin 420. The fitting portion 426 of the stage frame 424 is dimensioned to fit with the outer diameter portion of the sealed frame 416, and the fitting portion 426 of the stage frame 424 is dimensioned to fit with the outer diameter portion of the sealing frame 416.
It is configured coaxially with. Probe socket 419
A hole is machined on the central axis of the recording medium socket 421 as shown in FIG.
0 and the recording medium pin 422 without play.

第3図においてステージ・フレーム424の嵌合部42
6に密閉容器415を押し込むと、同時に記録媒体用ソ
ケット421、ビン422が結合接続される。
In FIG. 3, the fitting portion 42 of the stage frame 424
When the airtight container 415 is pushed into the container 6, the recording medium socket 421 and the bottle 422 are simultaneously connected.

次に密閉容器415にスキャナ◆フレーム423の嵌合
部425を合わせて押し込み、同時にプローブ用ソケッ
ト419、ビン420が結合接続される。ロック板41
8を不図示のアクチュエータによって移動させて解除し
た状態を示すのが第4図である。弾性膜417は、プロ
ーブ電極406や記録媒体408の動きを何ら拘束せず
、三次元駆動機構402や粗動機構411、xyステー
ジ413の動きが直接プローブ電極406や記録媒体4
08へ伝わる。又プローブ用ビン420、記録媒体用ビ
ン422は不図示の信号線によりフレームを介して電圧
印加装置405、電流増幅器407と電気的に接続して
おり、プローブ用ソケット419とプローブ用ビン42
0、記録媒体用ソケット421と記録媒体用ピンがそれ
ぞれ結合接続する事によりプローブ電極406、記録媒
体408と電圧印加装置405、電流増幅回路407と
が電気的に接続し、第1図に示した配線が完成する。粗
動機構411を作動させることによりプローブ電極40
6と記録媒体408との距離を制御する。記録再生時に
はこの距離を三次元駆動機構402の制御範囲内にはい
るまで近づけ、その後記録媒体408面内方向の走査と
プローブ電極406の軸方向(図面縦方向)の位置制御
を三次元駆動機構402で行う。
Next, the fitting portion 425 of the scanner ◆ frame 423 is aligned and pushed into the sealed container 415, and the probe socket 419 and the bottle 420 are coupled and connected at the same time. Lock plate 41
FIG. 4 shows a state in which 8 is moved and released by an actuator (not shown). The elastic membrane 417 does not restrict the movement of the probe electrode 406 or the recording medium 408 in any way, and the movements of the three-dimensional drive mechanism 402, coarse movement mechanism 411, and xy stage 413 directly affect the probe electrode 406 or the recording medium 4.
Conveyed to 08. Further, the probe bin 420 and the recording medium bin 422 are electrically connected to the voltage application device 405 and the current amplifier 407 via the frame by signal lines (not shown), and the probe socket 419 and the probe bin 42
0. By connecting the recording medium socket 421 and the recording medium pin, the probe electrode 406, the recording medium 408, the voltage application device 405, and the current amplification circuit 407 are electrically connected, as shown in FIG. Wiring is completed. By operating the coarse movement mechanism 411, the probe electrode 40
6 and the recording medium 408. During recording and reproduction, this distance is brought close enough to be within the control range of the three-dimensional drive mechanism 402, and then the three-dimensional drive mechanism controls the scanning in the in-plane direction of the recording medium 408 and the position control of the probe electrode 406 in the axial direction (vertical direction in the drawing). 402.

記録再生を行わない時はロック板によって再びプローブ
電極と記録媒体の接触を防止する。
When recording and reproducing are not performed, the lock plate prevents the probe electrode from coming into contact with the recording medium again.

本実施例はプローブ電極406、記録媒体408等のみ
を密閉フレーム416内に収納し、密閉フレームを装置
本体に対し着脱可能にしているので記録媒体交換の際に
この密閉フレームごと交換でき、フレーム内の密封状態
を媒体交換の為に変化させる必要がない。又、プローブ
電極406と記録媒体408とをある程度近づけた状態
のまま交換可能となるので、フレーム挿着後のプローブ
電極406と記録媒体408との位置合わせのスピード
アップが可能である。
In this embodiment, only the probe electrode 406, the recording medium 408, etc. are housed in the sealed frame 416, and the sealed frame is detachable from the main body of the apparatus, so that when replacing the recording medium, the sealed frame can be replaced. There is no need to change the sealed state of the media for medium exchange. Further, since the probe electrode 406 and the recording medium 408 can be replaced while keeping them close to each other to some extent, it is possible to speed up the alignment of the probe electrode 406 and the recording medium 408 after the frame is inserted.

また、本実施例の構造を用いれば、プローブ電極406
と記録媒体408の精度を要求される部分がユニット化
されるために精度を比較的要求されない粗動部分・回路
・インターフェイス部分とは別工程で製造可能となり装
置組上げが容易となり生産性が向上する。またユニット
の脱着によって高精度部分が交換可能となるために事故
等による破損に対してメインテナンスが容易となる。
Furthermore, if the structure of this embodiment is used, the probe electrode 406
Since the parts of the recording medium 408 that require precision are unitized, they can be manufactured in a separate process from coarse movement parts, circuits, and interface parts that do not require relatively high precision, making it easier to assemble the device and improving productivity. . Furthermore, since high-precision parts can be replaced by attaching and detaching the unit, maintenance becomes easier in case of damage due to accidents or the like.

特に第1の実施例ではプローブ電極と記録媒体のみを密
閉容器内に収容しており、駆動手段が密封空間内にない
ので、密閉容器の構造が簡単で組立て等が容易かつ小型
化が可能で容器内部1こゴミの発生する可能性も少なく
信頼性の高い装置を提供できる。
In particular, in the first embodiment, only the probe electrode and the recording medium are housed in the sealed container, and the driving means is not in the sealed space, so the structure of the sealed container is simple, easy to assemble, and downsized. It is possible to provide a highly reliable device with less possibility of dust being generated inside the container.

本実施例ではプローブ電極が1本で示されているが、複
数の構成にしても良い。
In this embodiment, one probe electrode is shown, but a plurality of probe electrodes may be used.

第5図、第6図により本発明第2の実施例を説明する。A second embodiment of the present invention will be explained with reference to FIGS. 5 and 6.

第5図(a)は密閉容器515の外観図、第5図(b)
は断面図である。第5図(a)において527は密閉容
器内のプローブ電極506、記録媒体50g、三次元駆
動機構とそれぞれ電気的に接続されている電極、530
はxyステージ用電極、528は装置本体にセットする
時位置決めができるようD型に切欠いである嵌合部、5
19は粗動機構の機械的接続をするソケットで角穴が加
工しである。第5図(b)において、502は円筒形圧
電素子からなる三次元駆動機構、506はプローブ電極
、560はプローブ電極506を三次元駆動機構502
に取り付けるプローブ基台、508は記録媒体、513
は円筒形圧電素子からなるxyステージ、580は記録
媒体をxyステージ513に取り付ける媒体基台、51
7はステンレス製ダイアフラムからなる弾性膜、560
は弾性膜517の外周を固定するとともにxyステージ
513、後述する固定ねじと同外径で容器を構成するフ
レーム、510はプローブ電極506と記録媒体508
との粗動接近をするための差動ねじ、531は嵌合部を
構成する固定ねじ、512は弾性膜517の内周を固定
するとともに三次元駆動機構502の端部を固定する移
動ねじである。密閉部分はプローブ基台560・三次元
駆動機構502・移動ねじ512・弾性膜517・フレ
ーム560・xyステージ513・媒体基台580に囲
まれた領域で、乾燥清浄化された窒素ガスが封入しであ
る。プローブ電極506を記録媒体508に近づけるに
は、差動ねじ510を回転させることで行う。
FIG. 5(a) is an external view of the airtight container 515, FIG. 5(b)
is a sectional view. In FIG. 5(a), 527 is an electrode electrically connected to the probe electrode 506 in the closed container, the recording medium 50g, and the three-dimensional drive mechanism, and 530
5 is an electrode for the xy stage, 528 is a D-shaped notch for positioning when setting it in the main body of the device, and 5 is a fitting part.
19 is a socket for mechanically connecting the coarse movement mechanism, and has a square hole. In FIG. 5(b), 502 is a three-dimensional drive mechanism made of a cylindrical piezoelectric element, 506 is a probe electrode, and 560 is a three-dimensional drive mechanism 502 that connects the probe electrode 506 to the three-dimensional drive mechanism 502.
508 is a recording medium, 513 is a probe base attached to the
580 is an xy stage made of a cylindrical piezoelectric element; 580 is a medium base for attaching a recording medium to the xy stage 513;
7 is an elastic membrane made of a stainless steel diaphragm, 560
510 is a frame that fixes the outer periphery of the elastic membrane 517 and constitutes a container with the same outer diameter as the xy stage 513 and a fixing screw described later; 510 is a probe electrode 506 and a recording medium 508;
531 is a fixed screw constituting a fitting portion, and 512 is a moving screw that fixes the inner circumference of the elastic membrane 517 and the end of the three-dimensional drive mechanism 502. be. The sealed part is an area surrounded by the probe base 560, three-dimensional drive mechanism 502, moving screw 512, elastic membrane 517, frame 560, xy stage 513, and medium base 580, and is filled with dry and cleaned nitrogen gas. It is. The probe electrode 506 is brought closer to the recording medium 508 by rotating the differential screw 510.

第6図は本発明第2の実施例の密閉容器515を装置本
体30にセツティングし、プローブ電極を記録媒体に近
づけた状態を示している。511はステッピングモータ
を用いた粗動機構で、回転力をソケット519を介して
差動ねじ510に伝え、差動ねじを回転させることで移
動ねじ512を微動させプローブ電極506を記録媒体
508に接近させる。
FIG. 6 shows a state in which the closed container 515 of the second embodiment of the present invention is set in the apparatus main body 30 and the probe electrode is brought close to the recording medium. Reference numeral 511 is a coarse movement mechanism using a stepping motor, which transmits rotational force to a differential screw 510 through a socket 519, and by rotating the differential screw, finely moves a moving screw 512 to bring the probe electrode 506 closer to the recording medium 508. let

529は装置本体側に設けられ、電圧印加装置、電流増
幅器、xy走査駆動回路、サーボ回路、xyステージ駆
動回路等とそれぞれ電気的に接続しである電極端を有す
る電極接続部であり、密閉容器515を装置本体30に
セツティングした状態で、電極527、xyステージ用
電極530とそれぞれ接触する位置に配置しである。
Reference numeral 529 is an electrode connection part provided on the apparatus main body side and having electrode ends that are electrically connected to a voltage application device, a current amplifier, an xy scan drive circuit, a servo circuit, an xy stage drive circuit, etc. 515 is set in the apparatus main body 30, it is placed at a position where it contacts the electrode 527 and the xy stage electrode 530, respectively.

電極接続部529と電極527、xyステージ用電極5
30との接触により、第1図に示したものと同様の配線
が完成する様になっておりプローブ電極506、記録媒
体508間の電圧印加と、その際のトンネル電流検出及
び三次元駆動機構502、xyステージ513への制御
信号送信が可能となる。
Electrode connection part 529 and electrode 527, xy stage electrode 5
30, wiring similar to that shown in FIG. , it becomes possible to send control signals to the xy stage 513.

記録再生時には、粗動機構511によりプローブ電極5
06と記録媒体508との距離を三次元駆動機構502
の制御範囲内にはいるまで近づけ、記録媒体面内方向の
走査とプローブ電極軸方向の位置制御は三次元駆動機構
502を用いて行う。
During recording and reproduction, the coarse movement mechanism 511 moves the probe electrode 5
06 and the recording medium 508.
The three-dimensional drive mechanism 502 is used to scan the recording medium in the in-plane direction and to control the position of the probe electrode in the axial direction.

本実施例ではプローブ電極が1本で示されるが複数の構
成にしても良い。
In this embodiment, one probe electrode is shown, but a plurality of probe electrodes may be used.

以上述べた第2実施例も第1実施例と同様プローブ電極
506、記録媒体508等のみを密閉フレーム515内
に収納し、密閉フレームを装置本体に対し着脱可能にし
ているので、記録媒体交換の際にこの密閉フレームごと
交換でき、フレーム内の密封状態を媒体交換の為に変化
させる必要がない。又、プローブ電極506と記録媒体
508とをある程度近づけた状態のまま交換可能となる
ので、フレーム挿着後のプローブ電極506と記録媒体
508との位置合わせのスピードアップが可能である。
Similar to the first embodiment, in the second embodiment described above, only the probe electrode 506, the recording medium 508, etc. are housed in the sealed frame 515, and the sealed frame is detachable from the main body of the apparatus, so that the recording medium can be replaced easily. The entire sealed frame can be replaced at any time, and there is no need to change the sealed state inside the frame to replace the medium. Further, since the probe electrode 506 and the recording medium 508 can be replaced while keeping them close to each other to some extent, it is possible to speed up the alignment of the probe electrode 506 and the recording medium 508 after the frame is inserted.

また、本実施例の構造を用いれば、プローブ電極506
と記録媒体508の精度を要求される部分がユニット化
されるために精度を比較的要求されない粗動部分・回路
・インターフェイス部分とは別工程で製造可能となり装
置組上げが容易となり生産性が向上する。またユニット
の脱着によって高精度部分が交換可能となるために事故
等による破損に対してメインテナンスが容易となる。
Furthermore, if the structure of this embodiment is used, the probe electrode 506
Since the parts of the recording medium 508 that require precision are unitized, they can be manufactured in a separate process from coarse movement parts, circuits, and interface parts that do not require relatively high precision, making it easier to assemble the device and improving productivity. . Furthermore, since high-precision parts can be replaced by attaching and detaching the unit, maintenance becomes easier in case of damage due to accidents or the like.

第7図〜第10図により本発明第3の実施例を説明する
。。
A third embodiment of the present invention will be explained with reference to FIGS. 7 to 10. .

第7図は密閉構造を含むカード型ユニットの外観図であ
り、627は装置本体と信号のやりとりを行う為の電極
、731は媒体のxy駆動を行う機構のはいる窓である
FIG. 7 is an external view of a card-type unit including a sealed structure, in which 627 is an electrode for exchanging signals with the main body of the device, and 731 is a window into which a mechanism for x-y drive of the medium is inserted.

第8図は、プローブ電極をZ軸方向(記録媒体表面と垂
直方向)に駆動する機構の概略図である。606はプロ
ーブ、800はバイモルフ梁、802は駆動用の配線領
域である。バイモルフ梁800及びプローブ電極606
の製作は、マイクロメカニクス、あるいはマイクロメカ
ニクスと呼ばれている公知の方法で行った。
FIG. 8 is a schematic diagram of a mechanism for driving the probe electrode in the Z-axis direction (direction perpendicular to the surface of the recording medium). 606 is a probe, 800 is a bimorph beam, and 802 is a driving wiring area. Bimorph beam 800 and probe electrode 606
was manufactured using a known method called micromechanics.

〔参考文献二に、E、Petersen、Pro−c、
I、EEE  70,420 (1982)及びTR,
A]brecbt、et  al、、4thInter
national  confere−nce  on
  STM/STS (STM’  89)PI−,2
,9,5IO−2ノ 梁800の断面構成は上電極(Au)/絶縁膜(S*z
N4)/ピエゾ(ZnO)/絶縁膜(Sr、N4)/中
電極(A u ) / 絶18M(SjsNイ)/ピエ
ゾ(ZnO)/絶縁膜(Si、N、)/下電極(Au)
となっており、寸法は長さ750μm1幅150μm1
厚さ7.5μmである。中電極に対して上電極に+(−
)、下電極に−(+)と逆極性の電圧を加えることによ
りバイモルフ梁800の先端即ちプローブ電極がZ軸方
向へ変位し、その値は±15Vで約5μmである。タン
グステンからなるプローブ電極606からの配線はバイ
モルフ梁800上を通り配線領域802上の回路へ導び
かれ最終的には電極627のいずれかとそれぞれつなが
っている。又各バイモルフ粱800の制御信号を電極6
27から導く回路も配線領域802上に形成されている
[Reference 2, E. Petersen, Pro-c.
I, EEE 70,420 (1982) and TR,
A] brecbt, et al,, 4thInter
national conference on
STM/STS (STM'89)PI-,2
, 9,5IO-2 beam 800 has a cross-sectional configuration of upper electrode (Au)/insulating film (S*z
N4) / Piezo (ZnO) / Insulating film (Sr, N4) / Middle electrode (A u ) / Absolute 18M (SjsN) / Piezo (ZnO) / Insulating film (Si, N, ) / Lower electrode (Au)
The dimensions are length 750μm 1 width 150μm 1
The thickness is 7.5 μm. The upper electrode has +(-
), by applying a voltage of opposite polarity to -(+) to the lower electrode, the tip of the bimorph beam 800, that is, the probe electrode, is displaced in the Z-axis direction, and the value is ±15V and about 5 μm. The wiring from the probe electrode 606 made of tungsten passes over the bimorph beam 800 and is led to the circuit on the wiring area 802, and is finally connected to one of the electrodes 627, respectively. In addition, the control signal of each bimorph 800 is transmitted to the electrode 6.
A circuit leading from 27 is also formed on the wiring area 802.

第9図はプローブ電極と記録媒体との位置関係を示す断
面図である。801はバイモルフ梁800を固定する基
台、616は基台を接着固定しカード型ユニットの構造
体となる密閉フレーム、608は記録媒体、700は記
録媒体を固定し後述するxy駆動機構と接続する基台で
ある。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing the positional relationship between the probe electrode and the recording medium. 801 is a base for fixing the bimorph beam 800, 616 is an airtight frame that fixes the base with adhesive and serves as the structure of the card type unit, 608 is a recording medium, and 700 is for fixing the recording medium and connecting it to the xy drive mechanism described later. It is the base.

第10図は、本発明第3の実施例のカード型ユニットを
装置本体630にセツティングし、窓731に圧電素子
をインチ・ワーム構成としたxy駆動機構732を上下
機構733により挿入した状態を示している。記録媒体
を固定する基台700は、記録媒体608に対し反対側
の面はxy駆動機構732との結合部となっており、6
31は各バイモルフ梁800の駆動やプローブ電極60
6の選択を行う選択器などを含む駆動回路、629は装
置本体中の制御系からの信号や電源をカード型ユニット
へ供給する電極接続部であり、770は密閉構造を形成
し記録媒体608と基台801との距離を一定とするメ
カニカルシールからなるパツキンである。密閉部分は、
基台801・密閉フレーム616・パツキン770・基
第700・記録媒体608に囲まれた領域で、清浄化さ
れたパラフィンオイルが封入されている。
FIG. 10 shows a state in which the card type unit according to the third embodiment of the present invention is set in the main body 630 of the device, and an xy drive mechanism 732 with a piezoelectric element in an inch-worm configuration is inserted into a window 731 using a vertical mechanism 733. It shows. The base 700 that fixes the recording medium has a surface opposite to the recording medium 608 that is connected to an xy drive mechanism 732, and
Reference numeral 31 indicates the drive of each bimorph beam 800 and the probe electrode 60.
629 is an electrode connection section that supplies signals and power from the control system in the main body of the device to the card type unit, and 770 forms a sealed structure and connects the recording medium 608. This is a gasket made of a mechanical seal that maintains a constant distance from the base 801. The sealed part is
Cleaned paraffin oil is sealed in an area surrounded by the base 801, the sealing frame 616, the packing 770, the base 700, and the recording medium 608.

カード型ユニットは装置本体630に対し矢印方向に着
脱可能である。着脱の際には上下機構733がxy駆動
機構732をカード型ユニットの着脱を妨げない位置ま
で下げる。カード型ユニットを装置本体630に挿着し
た際には電極接触部629と電極627とが接触し、電
気的に接続される。
The card type unit can be attached to and detached from the device main body 630 in the direction of the arrow. At the time of attachment and detachment, the vertical mechanism 733 lowers the xy drive mechanism 732 to a position that does not interfere with attachment and detachment of the card type unit. When the card type unit is inserted into the device main body 630, the electrode contact portion 629 and the electrode 627 come into contact and are electrically connected.

装置本体の配線としては第1図のxy走査駆動回路がx
y駆動機構732に接続し、サーボ回路が複数のバイモ
ルフ梁8BOそれぞれに対応して設けられ、かつ、各々
のバイモルフ梁とそれぞれ接続し、又各バイモルフ梁用
に電圧印加装置と電流増幅装置が設けられ、粗動駆動回
路とxyステージ駆動回路は省いた形の配線図を考えれ
ば良い。
The wiring for the main body of the device is the xy scan drive circuit shown in Figure 1.
A servo circuit is connected to the y drive mechanism 732, and a servo circuit is provided corresponding to each of the plurality of bimorph beams 8BO, and is connected to each bimorph beam, and a voltage application device and a current amplification device are provided for each bimorph beam. Therefore, it is sufficient to consider a wiring diagram in which the coarse movement drive circuit and the xy stage drive circuit are omitted.

電極627と電極接続部629との接触によりこの様な
配線が完成する。記録再生時には、各バイモルフ梁80
0に印加する電圧を制御して各プローブ電極606と記
録媒体608との距離を副本実施例も、第2の実施例と
同様プローブ電極606、記録媒体608等のみをカー
ド型ユニット内に収納し、カード型ユニットを装置本体
に対し着脱可能にしているので、記録媒体交換の際にこ
のカード型ユニットごと交換でき、ユニット内の密封状
態を媒体交換の為に変化させる必要がない。又、プロー
ブ電極606と記録媒体608とをある程度近づけた状
態のまま交換可能となるので、フレーム挿着後のプロー
ブ電極606と記録媒体608との位置合わせのスピー
ドアップが可能である。
Such wiring is completed by contact between the electrode 627 and the electrode connection portion 629. During recording and reproduction, each bimorph beam 80
In this embodiment, as in the second embodiment, only the probe electrode 606, the recording medium 608, etc. are housed in a card-type unit. Since the card type unit is removably attached to the main body of the apparatus, the entire card type unit can be replaced when replacing the recording medium, and there is no need to change the sealed state inside the unit to replace the medium. Further, since the probe electrode 606 and the recording medium 608 can be replaced while keeping them close to each other to some extent, it is possible to speed up the alignment of the probe electrode 606 and the recording medium 608 after the frame is inserted.

また、本実施例の構造を用いれば、プローブ電極606
と記録媒体608の精度を要求される部分がユニット化
されるために精度を比較的要求されない粗動部分・回路
・インターフェイス部分とは別工程で製造可能となり装
置組上げが容易となり生産性が向上する。またユニット
との脱着によって高精度部分が交換可能となるために事
故等による破損に対してメインテナンスが容易となる。
Furthermore, if the structure of this embodiment is used, the probe electrode 606
Since the parts of the recording medium 608 that require precision are unitized, they can be manufactured in a separate process from coarse movement parts, circuits, and interface parts that do not require relatively high precision, making it easier to assemble the device and improving productivity. . Furthermore, since the high-precision parts can be replaced by attaching and detaching the unit, maintenance becomes easy in case of damage due to accidents or the like.

又、以上述べた第3の実施例では、プローブ電極、バイ
モルフ梁などをマイクロメカニクス手法で製作するため
精度良くでき、駆動回路等をバイモルフ粱と同基板上に
組立てることができる。また、密閉部分内に封入されて
いるパラフィン・オイルがバイモルフ梁800の振動に
よる微動を減衰させ安定した動きをさせる効果があり、
プローブ電極606と記録媒体608との接触を防止す
る働きもする。
Furthermore, in the third embodiment described above, the probe electrodes, bimorph beams, etc. are manufactured using micromechanics techniques, so that they can be manufactured with high precision, and the drive circuit and the like can be assembled on the same substrate as the bimorph beam. In addition, the paraffin oil sealed in the sealed part has the effect of damping the slight movement caused by vibration of the bimorph beam 800 and ensuring stable movement.
It also serves to prevent contact between the probe electrode 606 and the recording medium 608.

上述した実施例のうち記録再生装置として示したものは
記録又は再生のみの機能を有する装置であっても良い。
Of the embodiments described above, the recording/reproducing device shown may be a device having only a recording or reproducing function.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べた様に本発明によればプローブと記録媒体を外
気から保護したまま、記録及び/又は再生ができ、しか
もプローブと記録媒体とを外気から保護したまま保管で
き、塵埃によるプローブもしくは媒体の損傷等の悪影響
がなくなる。
As described above, according to the present invention, recording and/or playback can be performed while the probe and recording medium are protected from the outside air, and the probe and the recording medium can be stored while being protected from the outside air. Negative effects such as damage are eliminated.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の第1実施例における記録再生装置の概
略図、 第2図は同実施例における密閉容器の外観図、第3図、
第4図は同実施例における密閉容器のセツティングの説
明図、 第5図(a)は本発明の第2実施例における密閉容器の
外観図、 第5図(b)は同断面図、 第6図は同実施例における密閉容器のセツティング状態
の説明図、 第7図は本発明の第3実施例におけるカード型ユニット
の外観図、 第8図は同実施例におけるプローブ電極駆動機構概略図
、 第9図は同実施例におけるプローブ電極と記録媒体との
位置関係を示す断面図、 第10図は同実施例におけるカード型ユニットのセツテ
ィング状態の説明図、 第11図は従来例の説明図である。 401・・・マイクロコンピュータ 402・・・三次元駆動機構 405・・・電圧印加装置 406.506.606・・・プローブ電極408.5
08.608・・・記録媒体413.513・・・xy
ステージ 415.515・・・密閉容器 616・・・密閉フレーム 419.421・・・ンケット 527.627・・・電極 5/Z@+動J2シ 鴨、5困 7.508宜@妊体 第 q 閃
FIG. 1 is a schematic diagram of a recording and reproducing apparatus according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an external view of a closed container according to the same embodiment, and FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram of the setting of the sealed container in the second embodiment of the present invention, FIG. 5(a) is an external view of the sealed container in the second embodiment of the present invention, FIG. 5(b) is a sectional view of the same, Fig. 6 is an explanatory diagram of the setting state of the airtight container in the same embodiment, Fig. 7 is an external view of the card type unit in the third embodiment of the present invention, and Fig. 8 is a schematic diagram of the probe electrode drive mechanism in the same embodiment. , FIG. 9 is a sectional view showing the positional relationship between the probe electrode and the recording medium in the same embodiment, FIG. 10 is an explanatory diagram of the setting state of the card type unit in the same embodiment, and FIG. 11 is an explanation of the conventional example. It is a diagram. 401... Microcomputer 402... Three-dimensional drive mechanism 405... Voltage application device 406.506.606... Probe electrode 408.5
08.608...Recording medium 413.513...xy
Stage 415.515... Sealed container 616... Sealed frame 419.421... Necket 527.627... Electrode 5/Z@+Movement J2 Shikamo, 5 trouble 7.508 Yi@Pregnant body No. q Flash

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1)記録媒体に記録及び/又は再生を行う装置で、記録
媒体に情報記録を行うため及び/又は記録媒体から情報
再生を行うためのプローブと、前記プローブと記録媒体
との間に情報記録及び/又は再生用の電圧を印加するた
めの電圧印加手段と、少なくとも前記プローブと記録媒
体とを密封収容するための密閉手段と前記密閉手段を保
持する記録及び/又は再生用の装置本体を有し、前記密
閉手段は前記装置本体に対し着脱可能であり、 前記装置本体と前記密閉手段は前記電圧印加手段と前記
プローブ及び記録媒体が電気的に接続されるための接触
電極をそれぞれ有し、前記接触電極は前記密閉手段が前
記装置本体に取付けられた際に互いに接触するように配
置されていることを特徴とする情報記録及び/又は再生
装置。 2)前記電圧印加手段の印加電圧により該プローブと記
録媒体との間に流れるトンネル電流を検出して記録媒体
から情報再生を行うことを特徴とする特許請求の範囲第
(1)項記載の情報記録及び/又は再生装置。 3)更に前記プローブで記録媒体を走査させるように前
記プローブと記録媒体とを相対移動させる駆動手段を有
することを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の
情報記録及び/又は再生装置。 4)前記密閉手段は前記駆動手段をも密封することを特
徴とする特許請求の範囲第(3)項記載の情報記録及び
/又は再生装置。 5)前記密閉手段の密封空間は前記プローブと記録媒体
の少なくとも一方の経時特性変化を防止する雰囲気にさ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記
載の情報記録及び/又は再生装置。 6)前記密封空間は高真空状態にされていることを特徴
とする特許請求の範囲第(5)項記載の情報記録及び/
又は再生装置。 7)前記密封空間は清浄化された気体が封入されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第(5)項記載の情報
記録及び/又は再生装置。 8)前記密封空間は乾燥状態の窒素ガスが封入されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第(5)項記載の情
報記録及び/又は再生装置。 9)前記密封空間はパラフィンオイルが封入されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第(5)項記載の情報
記録及び/又は再生装置。 10)情報記録及び/又は再生装置によって情報が記録
及び/又は再生されるべき記録媒体を含有する情報記録
担体で、前記記録媒体との間に電圧を印加されることに
より前記記録媒体に情報記録を行う及び/又は記録媒体
から情報再生を行うプローブと、前記記録媒体とプロー
ブとを密封する密閉フレームとを有し、該密閉フレーム
は情報記録及び/又は再生装置に着脱可能であり、かつ
情報記録及び/又は再生装置から電圧印加されるための
接触電極を有し、前記接触電極は前記密閉フレームが情
報記録及び/又は再生装置に取付けられた際に接触する
ように配置されていることを特徴とする情報記録担体。 11)前記プローブと記録媒体との間に電圧を印加した
時に該プローブと記録媒体との間に流れるトンネル電流
を検出することにより記録媒体から情報再生が行われる
ことを特徴とする特許請求の範囲第(10)項記載の情
報記録担体。 12)更に前記プローブで記録媒体を走査させるように
前記プローブと記録媒体とを相対移動させる駆動手段を
有することを特徴とする特許請求の範囲第(10)項記
載の情報記録担体。 13)前記密閉フレームは前記駆動手段をも密封するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第(12)項記載の情報
記録担体。 14)前記密閉フレームの密封空間は前記プローブと記
録媒体の少なくとも一方の経時特性変化を防止する雰囲
気にされていることを特徴とする特許請求の範囲第(1
0)項記載の情報記録担体。 15)前記密封空間は高真空状態にされていることを特
徴とする特許請求の範囲第(14)項記載の情報記録担
体。 16)前記密封空間は清浄化された気体が封入されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第(14)項記載の
情報記録担体。 17)前記密封空間は乾燥状態の窒素ガスが封入されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第(14)項記載
の情報記録担体。 18)前記密封空間はパラフィンオイルが封入されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第(14)項記載の
情報記録担体。
[Scope of Claims] 1) An apparatus for recording and/or reproducing information on a recording medium, comprising: a probe for recording information on the recording medium and/or reproducing information from the recording medium; and a probe and the recording medium. a voltage applying means for applying a voltage for information recording and/or reproduction between the probes, a sealing means for sealingly accommodating at least the probe and the recording medium, and a recording and/or reproduction means for holding the sealing means; the device body, the sealing means being removable from the device body, and the device body and the sealing device having a contact electrode for electrically connecting the voltage application means, the probe, and the recording medium. An information recording and/or reproducing device, characterized in that the contact electrodes are arranged so as to be in contact with each other when the sealing means is attached to the main body of the device. 2) Information according to claim (1), characterized in that information is reproduced from the recording medium by detecting a tunnel current flowing between the probe and the recording medium using the voltage applied by the voltage applying means. Recording and/or playback equipment. 3) The information recording and/or reproducing apparatus according to claim 1, further comprising a driving means for relatively moving the probe and the recording medium so that the probe scans the recording medium. . 4) The information recording and/or reproducing apparatus according to claim (3), wherein the sealing means also seals the driving means. 5) The information recording and/or recording device according to claim 1, wherein the sealed space of the sealing means is provided with an atmosphere that prevents changes in characteristics over time of at least one of the probe and the recording medium. playback device. 6) Information recording and/or information storage according to claim (5), wherein the sealed space is kept in a high vacuum state.
Or a playback device. 7) The information recording and/or reproducing device according to claim (5), wherein the sealed space is filled with purified gas. 8) The information recording and/or reproducing apparatus according to claim (5), wherein the sealed space is filled with dry nitrogen gas. 9) The information recording and/or reproducing apparatus according to claim (5), wherein the sealed space is filled with paraffin oil. 10) An information recording carrier containing a recording medium on which information is to be recorded and/or reproduced by an information recording and/or reproducing device, in which information is recorded on the recording medium by applying a voltage between the recording medium and the recording medium. and/or reproduce information from a recording medium, and a sealed frame that seals the recording medium and the probe, and the sealed frame is removably attached to an information recording and/or reproducing device, and It has a contact electrode for applying a voltage from the recording and/or reproducing device, and the contact electrode is arranged so as to come into contact with the sealed frame when it is attached to the information recording and/or reproducing device. Characteristic information record carrier. 11) Information is reproduced from the recording medium by detecting a tunnel current flowing between the probe and the recording medium when a voltage is applied between the probe and the recording medium. The information recording carrier according to item (10). 12) The information recording carrier according to claim 10, further comprising driving means for relatively moving the probe and the recording medium so that the probe scans the recording medium. 13) The information recording carrier according to claim 12, wherein the sealing frame also seals the driving means. 14) The sealed space of the sealed frame is provided with an atmosphere that prevents changes in characteristics over time of at least one of the probe and the recording medium.
0) Information recording carrier described in item 0). 15) The information recording carrier according to claim 14, wherein the sealed space is kept in a high vacuum state. 16) The information recording carrier according to claim 14, wherein the sealed space is filled with purified gas. 17) The information recording carrier according to claim 14, wherein the sealed space is filled with nitrogen gas in a dry state. 18) The information recording carrier according to claim 14, wherein the sealed space is filled with paraffin oil.
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