JPH0328389A - Copper foil layer for copper-clad laminate, its production and plating bath used therefor - Google Patents

Copper foil layer for copper-clad laminate, its production and plating bath used therefor

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JPH0328389A
JPH0328389A JP15976189A JP15976189A JPH0328389A JP H0328389 A JPH0328389 A JP H0328389A JP 15976189 A JP15976189 A JP 15976189A JP 15976189 A JP15976189 A JP 15976189A JP H0328389 A JPH0328389 A JP H0328389A
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copper
layer
copper foil
plating
foil layer
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JP15976189A
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Norio Kawachi
河内 範夫
Katsuro Aoshima
青島 克郎
Tatsuo Wada
辰男 和田
Toshiro Miki
三木 利郎
Takeharu Katou
丈晴 加藤
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Meiko Electronics Co Ltd
Toagosei Co Ltd
Original Assignee
Meiko Electronics Co Ltd
Toagosei Co Ltd
Meiko Denshi Kogyo Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To produce a copper foil layer for a copper-clad laminate having a high adhesive strength to an insulating substrate by plating the surface of a copper plating layer formed on copper foil with a copper plating bath contg. metal such as zinc under specified conditions to form the roughened surface having a thermal deterioration preventing layer. CONSTITUTION:A copper plating layer is formed on the surface of the copper foil or conductive substrate. A copper plating bath contg. at least one kind selected among a group of zinc, tin and cobalt is brought into contact with the surface of the copper plating layer at the contact velocity of 0.3-0.7m/sec, and the surface is plated at 30-55A/dm<2> current density. Consequently, a copper foil layer with the roughness of the surface controlled to <=7mu and the variance in roughness limited within + or -0.5mu of the mean roughness is obtained. The adhesion to the insulating layer is increased, and a remaining in the depth part at the time of etching is reduced.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、銅張積層板の製造時に絶縁基材に熱圧着され
るマット面における表面粗度が小さくかつその粗度のば
らつきも小さい接着表面を有する銅箔層と、その電解め
っきによる製造方法およびその方法に使用するめっき浴
に関する。
Detailed Description of the Invention (Industrial Field of Application) The present invention is an adhesive that has a small surface roughness on a matte surface that is thermocompression bonded to an insulating base material during the production of copper-clad laminates, and has small variations in the roughness. The present invention relates to a copper foil layer having a surface, a method for producing the same by electrolytic plating, and a plating bath used in the method.

(従来の技術) 各種の電子機器に組み込まれるプリント配線板の基礎材
料である銅張積層板は、ガラス繊維−エボキシ樹脂複合
材のような電気絶縁性の基材の表面に、導体回路が形成
されるべき所定厚みの銅箔層を熱圧着して製造されてい
る。
(Prior art) Copper-clad laminates, which are the basic material for printed wiring boards incorporated in various electronic devices, are made by forming conductor circuits on the surface of an electrically insulating base material such as a glass fiber-epoxy resin composite. It is manufactured by thermocompression bonding a copper foil layer of a predetermined thickness.

その場合、従来から行なわれている方法の1つは、それ
自身が陰極であり表面が研磨された回転ドラムに銅を電
着せしめて所定厚みの電解鋼箔を形成し、これをドラム
から連続的に剥離し、そのマット面側を絶縁基材の表面
に熱圧着する方法である。
In this case, one conventional method is to electrodeposit copper on a rotating drum with a polished surface, which is itself a cathode, to form an electrolytic steel foil of a predetermined thickness, which is then continuously removed from the drum. In this method, the matte side is peeled off and the matte side is thermocompression bonded to the surface of the insulating base material.

また、最近では、表面平滑なステンレス板のような導電
基材の単板に電解めっき法で所定厚みの銅めっき層を形
威し、ついでこの導電基材の銅めっき層側を絶縁基材の
表面に重ね合わせて、全体を熱圧着したのち、導電基材
のみを剥離して、前記鋼めっき層を絶縁基材の表面に転
写するという転写法も広く行なわれている。
Recently, a copper plating layer of a predetermined thickness is formed by electrolytic plating on a veneer of a conductive base material such as a stainless steel plate with a smooth surface, and then the copper plating layer side of the conductive base material is attached to an insulating base material. A transfer method is also widely used in which the steel plating layer is transferred to the surface of the insulating base material by superimposing the steel plate on the surface and bonding the whole body by thermocompression, then peeling off only the conductive base material.

これらのいずれの方法においても、前記した電解銅箔や
銅めっき層のような銅箔層にたいしては、概ね次のよう
な表面処理が施されている。
In any of these methods, the copper foil layer such as the electrolytic copper foil or copper plating layer described above is generally subjected to the following surface treatment.

その1つは、銅箔層の絶縁基材との接着表面を粗化して
絶縁基材との密着強度を高めるための処理である。
One of them is a treatment for roughening the adhesion surface of the copper foil layer with the insulating base material to increase the adhesion strength with the insulating base material.

この処理としては、機械的研削による表面粗化、薬剤を
用いたエッチングによる表面粗化などの方法が行なわれ
ていたが、最近では、電解銅めっきによって樹枝状突起
を銅箔層の表面に析出せしめて全体の表面を凹凸状に粗
化するという方法が多用されている。
Methods used for this treatment include surface roughening by mechanical grinding and surface roughening by etching using chemicals, but recently electrolytic copper plating has been used to deposit dendrites on the surface of the copper foil layer. A method of at least roughening the entire surface into an uneven shape is often used.

このような表面粗化により、絶縁基材との熱圧着時に、
前記樹枝状突起が絶縁基材のマトリックス樹脂内に埋設
されてアンカー効果を発揮し、全体としての密着強度の
向上が図られる。
Due to this surface roughening, during thermocompression bonding with the insulating base material,
The dendrites are embedded in the matrix resin of the insulating base material and exert an anchor effect, thereby improving the adhesion strength as a whole.

第2の処置は、前記粗化処理につづけて、形成された粗
化面の上に熱劣化防止層を形成する処置である。
The second treatment is a treatment in which, following the roughening treatment, a thermal deterioration prevention layer is formed on the formed roughened surface.

一般に、銅張積層板の銅箔層には、それにたいして所定
のマスキングーエッチング操作が施されて所定パターン
の導体回路が形威される。そして、この導体回路には、
各種のICチップ等が半田付けによって実装される。そ
のため、この半田付け時に、導体回路やそれと絶縁基材
との接着界面における半田付け個所が部分的に加熱され
る。
Generally, the copper foil layer of a copper-clad laminate is subjected to a predetermined masking-etching operation to form a predetermined pattern of conductive circuits. And in this conductor circuit,
Various IC chips and the like are mounted by soldering. Therefore, during this soldering, the conductor circuit and the soldering location at the adhesive interface between the conductor circuit and the insulating base material are partially heated.

その結果、銅箔層における粗化面の銅は熱劣化を起して
、その部分が絶縁基材の表面から剥離するという事態が
起こる。
As a result, the copper on the roughened surface of the copper foil layer undergoes thermal deterioration, and a situation occurs in which that portion peels off from the surface of the insulating base material.

この場合、例えば自動車関係に用いられる基板において
は、180℃,48時間の加熱テストによっても熱劣化
を起さないものが要求されるが、この条件は過酷である
とはいえ、規格等の試験を考慮すると妥当な耐熱劣化性
であるということができる。
In this case, for example, substrates used in automobiles are required to have no thermal deterioration even after a 48-hour heating test at 180°C. Considering this, it can be said that the heat deterioration resistance is reasonable.

熱劣化防止層はこのような事態の発生を防止して銅箔層
と絶縁基材との密着性を確保するために形成される層で
、通常、しんちゅう(Cu−Zn)、Ni−Cu合金,
Sn−Cu合金.Sn−Zn−Cu合金などの組成で構
成されている。
The thermal deterioration prevention layer is a layer formed to prevent such a situation from occurring and ensure adhesion between the copper foil layer and the insulating base material, and is usually made of brass (Cu-Zn) or Ni-Cu. alloy,
Sn-Cu alloy. It is composed of a composition such as a Sn-Zn-Cu alloy.

この熱劣化防止層は、銅箔層の前記粗化面にたいし、所
定の金属または合金の電解めっきによって形成されたり
、接着剤により熱劣化防止層を接着して形成するのが通
例である。
This thermal deterioration prevention layer is usually formed by electrolytic plating of a predetermined metal or alloy on the roughened surface of the copper foil layer, or by bonding the thermal deterioration prevention layer with an adhesive. .

第3の処理は、防錆処理である。この処理の目的は、製
造された銅張積層板の保存・輸送の過程で、銅箔層の外
側表面、すなわち絶縁基材との接着表面とは反対側の表
面が酸化して変色し、その外観上の商品価値が低下する
ことを防止するためである。一般には、クロメート処理
が施される。
The third treatment is rust prevention treatment. The purpose of this treatment is that during the storage and transportation process of manufactured copper-clad laminates, the outer surface of the copper foil layer, that is, the surface opposite to the adhesive surface with the insulating base material, oxidizes and discolors. This is to prevent the appearance of the product from decreasing in value. Generally, chromate treatment is performed.

この防錆処理は、上記した目的からすれば、銅箔層の外
側表面のみに施されればよい。
In view of the above-mentioned purpose, this anti-corrosion treatment only needs to be applied to the outer surface of the copper foil layer.

このように、絶縁基材に熱圧着される銅箔層の場合、絶
縁基材との接着表面には、主銅箔の上に形成された凹凸
の粗化面とこの粗化面の表面を被覆して形成された熱劣
化防止層とがあり、必要に応じて更にその上に防錆層が
形成された構造になっている。
In this way, in the case of a copper foil layer that is thermocompression bonded to an insulating base material, the bonding surface with the insulating base material has a roughened surface of the unevenness formed on the main copper foil and a surface of this roughened surface. There is a thermal deterioration prevention layer formed as a covering, and if necessary, a rust prevention layer is further formed on top of the thermal deterioration prevention layer.

そして、この粗化面とその上に形成されている熱劣化防
止層とをあわせて成る突起層は、一般に、プロファイル
層と呼ばれている。それゆえ、このプロファイル層は、
銅箔層表面の粗化処理、熱劣化防止層形成処理というそ
れぞれは独立した工程を組合わせた連続工程によって形
成されている。
The protrusion layer that is composed of this roughened surface and the thermal deterioration prevention layer formed thereon is generally called a profile layer. Therefore, this profile layer is
The roughening treatment of the surface of the copper foil layer and the treatment of forming a thermal deterioration prevention layer are each formed by a continuous process combining independent processes.

(発明が解決しようとする課題) ところで、このプロファイル層において、主銅箔から突
出する突起層の高さ(突起高)が高すぎる場合、すなわ
ち、銅箔層の接着表面の粗度が大きすぎる場合は、ここ
に絶縁基材を圧着したとき、各突起間の底部にまで絶縁
基材のマトリックス樹脂が浸入せず、その部分に気泡が
包持された状態になりやすい。そのような状態になると
、銅箔層と絶縁基材との密着不良を招くようになる。通
常、このプロファイル層の高さ、すなわち銅箔層の表面
粗度は7〜9μm程度であり、上記したような問題がし
ばしば起って銅張積層板の信頼性の低下を招いている。
(Problem to be Solved by the Invention) By the way, in this profile layer, if the height of the protrusion layer protruding from the main copper foil (protrusion height) is too high, that is, the roughness of the bonding surface of the copper foil layer is too large. In this case, when the insulating base material is crimped here, the matrix resin of the insulating base material does not penetrate to the bottom between the respective protrusions, and air bubbles are likely to be trapped in that part. In such a state, poor adhesion between the copper foil layer and the insulating base material will occur. Normally, the height of this profile layer, that is, the surface roughness of the copper foil layer, is about 7 to 9 μm, and the above-mentioned problems often occur, leading to a decrease in the reliability of the copper-clad laminate.

また、このプロファイル層における前記突起高が場所に
よって異なる、すなわち網箔層の表面粗度のばらつきが
大きい場合には、製造された銅張積層板の銅箔層表面に
所定のエッチング処理を施したとき、マトリックス樹脂
中に埋没しているプロファイル層のうち、浅く埋没して
いる突起、すなわち突起高が低いプロファイルはエッチ
ング除去されるが、しかし、その突起高が高いプロファ
イルの先端部分はエッチング除去されずにそのままマト
リックス樹脂中に残置して、いわゆる足残り現象を引き
起こす。
In addition, if the protrusion height in this profile layer varies depending on the location, that is, if the surface roughness of the mesh foil layer varies greatly, a predetermined etching treatment may be performed on the surface of the copper foil layer of the manufactured copper-clad laminate. At this time, among the profile layers buried in the matrix resin, shallowly buried protrusions, that is, profiles with low protrusion heights, are etched away, but the tip portions of the profiles with high protrusion heights are not etched away. They are left as they are in the matrix resin, causing the so-called foot-remaining phenomenon.

このような残銅(ステイン)が存在すると、導体回路間
の電気絶縁性は低下することになる。とくにこのような
現象は、回路幅の狭い導体回路パターンの形成時、すな
わち、ファインパターンの形成時には深刻な問題であり
、プリント配線板の機能喪失すら招くことになる。
If such residual copper (stain) exists, the electrical insulation between the conductor circuits will deteriorate. Particularly, such a phenomenon is a serious problem when forming a conductive circuit pattern with a narrow circuit width, that is, when forming a fine pattern, and may even lead to loss of functionality of the printed wiring board.

この残銅問題に対しては、銅箔層全体の厚みを薄くする
という処置が採られているが、しかし、現状の銅箔層は
、主銅箔(ベース銅)のみを薄くしてプロファイル層に
おける突起高およびそのばらつきは前記した程度のまま
であるため、ファインパターンの形成時には依然として
残銅が発生し易いという問題がある。
To deal with this residual copper problem, measures have been taken to reduce the thickness of the entire copper foil layer. Since the protrusion height and its variation remain at the above-mentioned level, there is still the problem that residual copper is likely to occur when forming a fine pattern.

このように、現在までのところ、主銅箔の厚みの厚さに
関係なく、プロファイル層における突起高が低く、すな
わち表面粗度が小さく、しかもその表面粗度のばらつき
も小さいという特性を併有するプロファイル層を備えた
銅張積層板用の銅箔層は知られていない。
Thus, to date, regardless of the thickness of the main copper foil, the protrusion height in the profile layer is low, that is, the surface roughness is small, and the variation in the surface roughness is also small. Copper foil layers for copper-clad laminates with profile layers are not known.

本発明は、プロファイル層における上記したような問題
を解決し、いかなる銅箔であろうと、また前記した単板
利用の転写法に用いる銅めっき層であろうと、表面粗度
が小さく、しかもそのばらつきも小さい接着表面のプロ
ファイル層を有する銅張積層板用銅箔層と、その銅箔層
を電解めっき法で製造する方法と、更にその電解めっき
に用いるめっき浴の提供を目的とする。
The present invention solves the above-mentioned problems with the profile layer, and provides a surface roughness that is small and has little variation, no matter what kind of copper foil it is or whether it is a copper plating layer used in the above-mentioned veneer transfer method. The present invention aims to provide a copper foil layer for a copper-clad laminate having a profile layer with a small adhesive surface, a method for producing the copper foil layer by electrolytic plating, and a plating bath used for the electrolytic plating.

(課題を解決するための手段・作用) 上記した目的を達或するために、本発明においては、絶
縁基材との接着表面の粗度が7μm以下であり、かつ粗
度のばらつきは平均粗度にたいし±0.5μm以内にあ
ることを特徴とする銅張り積層板用銅箔層が提供され、
また、銅箔または導電基材の表面に形成された銅めっき
層の表面に、亜鉛,すず,コバルトの群から選ばれる少
なくともl種の金属が含有されている銅めっき浴を0.
3〜0. 7 m/secの接液速度で接触させながら
、30〜5 5 A/dm”の電流密度でめっき処理を
施して熱劣化防止層を有する粗化面を形成することを特
徴とする銅張積層板用銅箔層の製造方法が提供され、更
に、浴組成が、硫酸銅五木塩(CuSO,  ・5H.
0)110〜130g/C硫酸(H.SO4)55〜6
5g/l、硝酸イオン(No!−)2 1〜2 4 g
/l、亜鉛化合物,すず化合物またはコバルト化合物の
群から選ばれる少なくともl種の化合物200〜100
0ppm,キレート剤5〜2 0 g/lであることを
特徴とする電解銅めっき浴が提供される。
(Means and effects for solving the problem) In order to achieve the above-mentioned object, in the present invention, the roughness of the adhesive surface with the insulating base material is 7 μm or less, and the variation in roughness is equal to the average roughness. Provided is a copper foil layer for a copper-clad laminate, characterized in that the thickness is within ±0.5 μm,
Further, a copper plating bath containing at least l metals selected from the group of zinc, tin, and cobalt is applied to the surface of the copper plating layer formed on the surface of the copper foil or the conductive base material.
3-0. A copper-clad laminate characterized by forming a roughened surface having a thermal deterioration prevention layer by plating at a current density of 30 to 55 A/dm while contacting with liquid at a contact speed of 7 m/sec. A method for manufacturing a copper foil layer for a plate is provided, further comprising a bath composition of copper sulfate (CuSO, .5H.
0) 110-130g/C sulfuric acid (H.SO4) 55-6
5g/l, nitrate ion (No!-) 2 1-2 4 g
/l, at least l compounds selected from the group of zinc compounds, tin compounds, or cobalt compounds 200 to 100
An electrolytic copper plating bath is provided, characterized in that it contains 0 ppm of chelating agent and 5 to 20 g/l of chelating agent.

まず、本発明の銅箔層においては、絶縁基材との接着表
面の粗度が7μm以下である。すなわち、プロファイル
層の突起高は7μm以下になっている。そして、表面粗
度のばらつきは、平均粗度にたいし±0.5μmの範囲
内にある。すなわち、プロファイル層の突起高の平均値
(平均粗度)をa0μmとしたとき、プロファイル層の
厚み(突起高の高さ)aは、 a@−0.5≦a≦a s + 0. 5の範囲内に全
てがおさまっている。
First, in the copper foil layer of the present invention, the roughness of the adhesive surface with the insulating base material is 7 μm or less. That is, the protrusion height of the profile layer is 7 μm or less. The variation in surface roughness is within a range of ±0.5 μm with respect to the average roughness. That is, when the average value (average roughness) of the protrusion height of the profile layer is a0 μm, the thickness (height of the protrusion height) a of the profile layer is a@-0.5≦a≦as+0. Everything is within the range of 5.

粗度が7μmよりも大きい場合は、絶縁基材との熱圧着
時にプロファイル層内に気泡が混入して相互の密着不良
を招き易く、また、そのばらつきが±0.5μmより外
れるほど大きい場合には、導体回路形成時のエッチング
処理時に足残り現象が起り、電気絶縁性の劣化が顕著に
なるからである。
If the roughness is greater than 7 μm, air bubbles may be mixed into the profile layer during thermocompression bonding with the insulating base material, resulting in poor adhesion, and if the variation is so large that it deviates from ±0.5 μm. This is because a residual phenomenon occurs during the etching process when forming the conductor circuit, and the deterioration of the electrical insulation becomes significant.

このプロファイル層は、後述する方法で形成されるため
、粗化面を構或すると同時に熱劣化防止層としても機能
する。そしてその粗度の度合は、製造時における電解め
っき条件、とりわけめっき時間を調節することにより、
任意の状態にすることができる。
Since this profile layer is formed by the method described below, it forms a roughened surface and also functions as a thermal deterioration prevention layer. The degree of roughness can be determined by adjusting the electrolytic plating conditions during manufacturing, especially the plating time.
It can be in any state.

このプロファイル層は、電解めっき法、とくに高速めっ
き法によって形成することができる。
This profile layer can be formed by electrolytic plating, especially high speed plating.

すなわち、銅箔、または導電基材の表面に電着形成され
た銅めっき層の導電基材との接着表面にたいし、高速め
っき法を適用してプロファイル層を形成する。
That is, a high-speed plating method is applied to the adhesion surface of the copper foil or the copper plating layer electrodeposited on the surface of the conductive base material to the conductive base material to form the profile layer.

銅箔また前記導電基材の銅めっき層を陰極とし、これと
所定の間隔を置いてTf.Pb,Pt処理のTiのよう
な不溶性陽極を対向して配置し、これら両極間の空隙に
後述するめっき浴を両極と接触するように流しながら、
電解銅めっき処理を施して前記陰極面への銅析出による
粗化と同時に熱劣化防止能を付与するのである。
The copper foil or the copper plating layer of the conductive base material is used as a cathode, and a Tf. Insoluble anodes such as Pb and Pt-treated Ti are placed facing each other, and a plating bath, which will be described later, is flowed into the gap between these two electrodes so as to be in contact with both electrodes.
Electrolytic copper plating treatment is performed to roughen the cathode surface by depositing copper and at the same time impart thermal deterioration prevention ability.

この場合、陽極と陰極との相互の面間隔は、めっき浴の
接液速度との関係で適宜設定されるが、通常、10〜t
5m+a程度であることが好ましい。
In this case, the mutual spacing between the anode and the cathode is appropriately set in relation to the contact speed of the plating bath, but is usually 10 to 10 t.
It is preferable that it is about 5m+a.

用いる電解銅めっき浴は、前記した浴組成を有する銅め
っき浴である。
The electrolytic copper plating bath used is a copper plating bath having the bath composition described above.

ここで、CuS04”5H*Oは銅源成分であり、浴中
濃度は110〜130g//に設定される。
Here, CuS04''5H*O is a copper source component, and its concentration in the bath is set to 110 to 130 g//.

濃度が1 1 0 g/l未満の場合には、陰極面への
銅供給が不充分となり、均一でばらつきの少ないプロフ
ァイル層を陰極面全体に形成することが困難になる。ま
た、濃度が130g//より高い場合は、粗度が大きく
なり均一化が困難になりはじめるからである。好ましい
濃度は115〜120g/lである。
When the concentration is less than 1 10 g/l, copper is insufficiently supplied to the cathode surface, making it difficult to form a uniform profile layer with little variation over the entire cathode surface. Further, if the concentration is higher than 130 g//, the roughness becomes large and it becomes difficult to make it uniform. The preferred concentration is 115-120 g/l.

H * S O 4はめっき浴のイオン導電性を高める
ための成分で、その濃度は55〜6 5 g/1に設定
される。濃度が5 5 g71未満の場合は、過電圧が
高くなって粗化が不充分となり、また65g/lより高
い場合は、導電性がよくなって粗化できないというよう
な問題が生ずるからである。好ましい濃度は55〜60
g/1である。
H*SO4 is a component for increasing the ionic conductivity of the plating bath, and its concentration is set at 55 to 65 g/1. If the concentration is less than 5 5 g/l, the overvoltage will be high and roughening will be insufficient, and if it is higher than 65 g/l, the conductivity will be so good that it will not be possible to roughen. The preferred concentration is 55-60
g/1.

N O s−は、アノード酸化を受けて副生成物を生じ
、結果として、陰極面へCuを凹凸状に析出せしめてそ
の陰極面の粗化に資する成分で、その濃度は21〜2 
4 g/lに設定される。この濃度が2 1 g/1よ
り低い場合は、粗度が大きくそのばらつきも大きくなる
という不都合が生じ、また24g/1より高くなる場合
も粗度が大きくなりすぎるからである。このN O x
 ’″の供給源としては、例えば、硝酸や、K N O
 s, N aN O sのような硝酸塩をあげること
ができる。
NO s- is a component that produces by-products through anodic oxidation, and as a result, deposits Cu on the cathode surface in an uneven manner, contributing to the roughening of the cathode surface, and its concentration is 21 to 2.
4 g/l. If this concentration is lower than 2 1 g/1, there will be a problem that the roughness will be large and its variation will be large, and if it is higher than 24 g/1, the roughness will be too large. This NO x
As a source of ''', for example, nitric acid, KNO
Examples include nitrates such as s, N aN O s.

Zn化合物,Sn化合物またはCo化合物は、それぞれ
、Zn,Sn,Coの供給源であり、後述するキレート
剤と一緒になって、プロファイル層の熱劣化防止能を向
上せしめるための成分で、その濃度は200〜1000
ppmとなるように設定される。好ましい濃度は250
〜5 0 0 ppmである。
The Zn compound, Sn compound, or Co compound is a source of Zn, Sn, and Co, respectively, and is a component for improving the thermal deterioration prevention ability of the profile layer together with the chelating agent described later. is 200-1000
ppm. The preferred concentration is 250
~500 ppm.

この濃度が200ppm未満であるような場合には、そ
のプロファイル層の熱劣化防止能の低下を招き、また1
000ppmより高い場合は、プロファイル層の機械的
強度が低下して取扱い過程でプロファイル層が脱落する
というような問題が生じて不都合である。
If this concentration is less than 200 ppm, the thermal deterioration prevention ability of the profile layer will decrease, and 1
If it is higher than 000 ppm, the mechanical strength of the profile layer decreases, causing problems such as the profile layer falling off during handling, which is disadvantageous.

このZn化合物としては、このめっき浴に溶解すること
ができるものであればよく、例えば、ZnO,ZnSO
sをあげることができる。また、Sn化合物としては、
SnC l !. SnO,  SnS 04などをあ
げることができ、更に、Co化合物としては、例えば、
Co(NOs)z,COC1g * COSO4をあげ
ることができる。
The Zn compound may be any compound that can be dissolved in the plating bath, such as ZnO, ZnSO, etc.
I can give you s. In addition, as Sn compounds,
SnCl! .. Examples of Co compounds include SnO, SnS 04, and the like.
Co(NOs)z, COC1g * COSO4 can be given.

キレート剤の濃度は5〜20g/lに設定される。この
濃度が5g/1より低い場合は、均一な熱劣化防止層の
形成ができず、プロファイル層の熱劣化防止能の向上は
認められない。また、めっき浴への溶解度の関係から、
上限は2 0 g/lとする。好ましい濃度は5〜1 
0 g/1である。
The concentration of the chelating agent is set at 5-20 g/l. If this concentration is lower than 5 g/1, a uniform thermal deterioration prevention layer cannot be formed, and no improvement in the thermal deterioration prevention ability of the profile layer is observed. In addition, due to the solubility in the plating bath,
The upper limit is 20 g/l. The preferred concentration is 5-1
It is 0 g/1.

このキレート剤としては、例えば、エチレンジアミン四
酢酸(EDTA),酒石酸,エチレンジアミン,ピロリ
ン酸のようなものをあげることができるが、これらのう
ち、EDTAを用いた場合は熱劣化防止能が大きくなっ
て好適である。
Examples of this chelating agent include ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA), tartaric acid, ethylenediamine, and pyrophosphoric acid, but among these, when EDTA is used, it has a greater ability to prevent thermal deterioration. suitable.

このようにして調製されためっき浴は、そのpHがl〜
2と酸性であり、使用に際しては、その流をレイノルズ
数(Re)が2300を超えるように設定して乱流状態
にすることが好ましい。Reが2300以下になると層
流状態になって好ましくない。
The plating bath prepared in this way has a pH of l~
When used, it is preferable to set the flow so that the Reynolds number (Re) exceeds 2300 to create a turbulent state. When Re is less than 2300, a laminar flow state occurs, which is not preferable.

このめっき浴は前記した陽極と陰極の面に接触するよう
に高速で通流せしめられる。このときの陰極面(したが
って陽極面)との接液速度は0、3〜0. 7 m/s
ecに管理される。この接液速度が0.3m/sec未
満の場合には、陰極面へのCuイオン供給速度が遅くな
るので、プロファイル層における突起高のばらつきが大
きくなり、形成されるプロファイル層は不均一となって
しまい、また接液速度が0. 7 m/seeより大き
い場合は、形成されるプロファイル層の粗度が不充分と
なって不都合である。好ましい接液速度は0.35〜0
. 4 5 m/seeである。
This plating bath is passed through at high speed so as to contact the surfaces of the anode and cathode. At this time, the contact speed with the cathode surface (therefore, the anode surface) is 0.3~0. 7 m/s
Managed by ec. If the contact speed is less than 0.3 m/sec, the supply speed of Cu ions to the cathode surface will be slow, resulting in large variations in the protrusion height in the profile layer, and the formed profile layer will be non-uniform. The liquid contact speed is 0. If it is larger than 7 m/see, the roughness of the profile layer formed will be insufficient, which is disadvantageous. The preferred liquid contact speed is 0.35 to 0.
.. 45 m/see.

また、電流密度は30〜55A/drrrに管理される
。電流密度が3OA/drrr未満の場合は、めっき層
は均一に焼けず、プロファイル層における突起高のばら
つきが大きくなるというような問題が発生し、また55
A/dnfを超えると、焼けすぎて、プロファイル層の
突起高が大きくなりすぎるというような問題が生ずるか
らである。
Further, the current density is controlled to be 30 to 55 A/drrr. If the current density is less than 3OA/drrr, the plating layer will not be baked uniformly, and problems will occur such as large variations in the protrusion height in the profile layer.
This is because if it exceeds A/dnf, problems such as excessive burning and an excessively large protrusion height of the profile layer will occur.

このとき、めっき浴の浴温は20〜22℃であることが
好ましい。浴温が20℃未満の場合は、Cuイオンの移
動速度が遅くなるため陰極面に分極層が生じ易くなり、
その結果、プロファイル層の形成速度は低下するからで
ある。また、浴温か22℃を超える場合は、電流密度を
高めないと粗度が進まず不経済である。
At this time, the bath temperature of the plating bath is preferably 20 to 22°C. If the bath temperature is less than 20°C, the movement speed of Cu ions will be slow, making it easier to form a polarized layer on the cathode surface.
This is because, as a result, the formation speed of the profile layer decreases. Furthermore, if the bath temperature exceeds 22° C., the roughness will not increase unless the current density is increased, which is uneconomical.

これらの電解めっき条件を適宜に選定し、とくにめっき
時間を調整することにより、任意の高さの突起高を有す
るプロファイル層が形成され、目的とする銅箔層が製造
される。
By appropriately selecting these electrolytic plating conditions and particularly adjusting the plating time, a profile layer having a protrusion height of an arbitrary height is formed, and the desired copper foil layer is manufactured.

なお、本発明においては、上記しためつき処理は、1段
階で行なってもよいし、また、前記しためっき条件の範
囲内で連続する2段階の工程として行なってもよい。
In addition, in the present invention, the above-mentioned plating treatment may be performed in one step, or may be performed as a continuous two-step process within the range of the above-mentioned plating conditions.

(発明の実施例) (1)  めっき浴の建浴 第l表に示すような組或で各種のめつき浴を建浴した。(Example of the invention) (1) Setting up the plating bath Various types of plating baths were constructed using the combinations shown in Table 1.

(2)プロファイル層の形或 ハードニング処理を施したステンレススチール(SUS
 6 3 0)の単板の片面にオシレーション付ロータ
リ羽布研磨装置を用いて表面粗度が0. 8μmとなる
ように表面処理を施し、ついで、ここにHzS 04 
1 8 0 g/ lのCuSO*●5HtOめっき浴
を用いて、厚み5μmのCuめつき層を形或した。
(2) Profile layer shape or hardened stainless steel (SUS)
One side of the 630) veneer was polished to a surface roughness of 0.0 by using a rotary cloth polisher with oscillation. Surface treatment was performed so that the thickness was 8 μm, and then HzS 04
A Cu plating layer with a thickness of 5 μm was formed using a 180 g/l CuSO*●5HtO plating bath.

このCuめっき層付き単板を陰極、Ti板を陽極とし、
極間距離14〜15鴫で、第1表に示した条件で電解め
っきを行なった。
This single plate with a Cu plating layer is used as a cathode, and the Ti plate is used as an anode.
Electrolytic plating was carried out under the conditions shown in Table 1 with an interelectrode distance of 14 to 15 mm.

なお、第1表のめっき条件の表示において、例えば、実
施例3の場合は、まず、接液スピード0. 7 m/s
ee,電流密度53A/drriの条件で15秒間めっ
き処理を行ない、つづいて、接液スピード0. 3 m
/see,電流密度30A/drdの条件で6秒間めっ
き処理を行なうという2段階処理を示している。比較例
13,14.15の場合も同様である。
In addition, in the display of plating conditions in Table 1, for example, in the case of Example 3, first, the liquid contact speed is 0. 7 m/s
plating for 15 seconds at a current density of 53 A/drri, followed by a wetting speed of 0. 3 m
This shows a two-step process in which plating is performed for 6 seconds under the conditions of /see and current density of 30 A/drd. The same applies to Comparative Examples 13, 14, and 15.

得られた各銅めっき層の表面を走査電顕で観察し、形威
されているプロファイル層の突起高の平均値(μm)お
よびそきばらつきを算出した。その結果を一括して第1
表に示した。
The surface of each copper plating layer obtained was observed with a scanning electron microscope, and the average value (μm) and variation in the protrusion height of the profiled layer were calculated. The results are summarized in the first
Shown in the table.

(3)プロファイル層の性能 第1表に示した各方法で製造した銅箔層を、厚み0. 
1 mのガラスエボキシFR−4のプリプレグに重ね合
わせ、全体を、温度25℃、プレス圧170kg/cI
lで熱圧着し、ついで、ステンレス単板のみを剥離して
銅張積層板とした。
(3) Performance of profile layer The copper foil layer manufactured by each method shown in Table 1 was prepared with a thickness of 0.
Layered on a 1 m glass epoxy FR-4 prepreg, the whole was heated at a temperature of 25°C and a press pressure of 170 kg/cI.
1, and then only the stainless steel veneer was peeled off to obtain a copper-clad laminate.

各銅張積層板につき、下記仕様で銅箔層とブリブレグと
の密着強度、エッチング後の残銅状況,熱劣化防止能を
調べた。
For each copper-clad laminate, the adhesion strength between the copper foil layer and the brev leg, the residual copper status after etching, and the ability to prevent thermal deterioration were investigated using the following specifications.

密着強度:各銅張積層板の銅箔層に切込みをいれて幅1
0mmの短柵状試験片とし、 その試験片の一端を適当な長さだけ はがし、そこを支持金具で把持し、 銅箔層に垂直となる方向に50M/ 分の速度で試験片を剥離したときの ビーリング値(kg/cm)として測定。
Adhesion strength: Make a notch in the copper foil layer of each copper clad laminate to a width of 1
A short fence-shaped test piece of 0 mm was used, and one end of the test piece was peeled off to an appropriate length, which was held with a support metal fitting, and the test piece was peeled off at a speed of 50 M/min in a direction perpendicular to the copper foil layer. Measured as the beering value (kg/cm).

この値が大きいほど密着性は優れて いることを表す。The larger this value, the better the adhesion. It means that there is.

エッチング後の残銅状況:各銅張積層板から通常のプリ
ント回路板の製造方法に基 づいて、100μmパターン(間隙200μm)の評価
回路を作威し、その回 路にDC500Vの電圧を印加し、ス パークの発生および抵抗値の低下・ 不安定さの有無を観測した。このと きの抵抗値が10’MΩ以上で、不 安定さがない場合を○、スパークが 発生したり、抵抗値が10’MΩ未 満で不安定である場合を×として示 した。
Residual copper status after etching: An evaluation circuit with a 100 μm pattern (gap of 200 μm) was created from each copper-clad laminate based on the usual manufacturing method of printed circuit boards, and a voltage of 500 VDC was applied to the circuit, causing a spark. We observed the occurrence of resistance, decrease in resistance value, and instability. The case where the resistance value at this time was 10'MΩ or more and there was no instability was shown as ○, and the case where sparks were generated or the resistance value was less than 10'MΩ and unstable was shown as ×.

熱劣化防止能:各銅張積層板を180℃のオーブン中に
48時間放置したのちとり だし、そのときのピーリング強度を 測定した。
Thermal deterioration prevention ability: Each copper-clad laminate was left in an oven at 180° C. for 48 hours and then taken out, and the peeling strength at that time was measured.

この値が大きいものほど熱劣化防 止能に優れていることを表す。The larger this value is, the higher the thermal deterioration resistance. Indicates excellent stopping power.

以上の結果を一括して第l表に示した。The above results are collectively shown in Table I.

(以下余白) (発明の効果) 以上の説明で明らかなように、本発明の銅張積層板用銅
箔層は、そのプロファイル層の突起高が低いにもかかわ
らず、絶縁基材との密着強度が大きく、また突起高のば
らつきが小さいのでエッチング時の足残り減少は少なく
なっている。しかも、熱劣化防止能は優れている。これ
らの効果は、本発明で規定した組成のめっき浴を用い、
しかも本発明のめっき条件でプロファイル層が形成され
ることに基づくものである。
(Margin below) (Effects of the invention) As is clear from the above explanation, the copper foil layer for copper-clad laminates of the present invention has good adhesion to the insulating base material despite the low protrusion height of the profile layer. Since the strength is high and the variation in protrusion height is small, there is little loss of remaining foot during etching. Moreover, it has excellent ability to prevent thermal deterioration. These effects can be achieved by using a plating bath with the composition specified in the present invention.
Moreover, this is based on the fact that the profile layer is formed under the plating conditions of the present invention.

そして、このプロファイル層の形成は、高速めっき法の
適用で行なわれるため、そもそちが高い生産性を有する
が、何よりも、従来は粗化面形或、熱劣化防止層の形威
をそれぞれ独立した別工程を連続的に組合わせて行なっ
ていたことを根本的に改善し、新規な電解銅めっき浴を
用いることにより、粗化と同時に熱劣化防止処理を1工
程で行なうことができるので、その工業的価値は極めて
大である。
Since the formation of this profile layer is performed by applying a high-speed plating method, it has high productivity, but above all, conventionally, the shape of the roughened surface or the shape of the thermal deterioration prevention layer has not been improved. This is a fundamental improvement over the previous method of successively combining independent processes, and by using a new electrolytic copper plating bath, it is now possible to perform both roughening and thermal deterioration prevention treatment in one process. , its industrial value is extremely large.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)絶縁基材との接着表面の粗度が7μm以下であり
、かつ粗度のばらつきは平均粗度にたいし±0.5μm
以内にあることを特徴とする銅張積層板用銅箔層。
(1) The roughness of the adhesive surface with the insulating base material is 7 μm or less, and the variation in roughness is ±0.5 μm from the average roughness.
A copper foil layer for a copper-clad laminate, characterized in that the copper foil layer is within
(2)前記銅箔層が、導電基材の表面に形成された銅め
っき層である請求項1記載の銅張積層板用銅箔層。
(2) The copper foil layer for a copper-clad laminate according to claim 1, wherein the copper foil layer is a copper plating layer formed on the surface of a conductive base material.
(3)銅箔または導電基材の表面に形成された銅めっき
層の表面に、亜鉛、すず、コバルトの群から選ばれる少
なくとも1種の金属が含有されている銅めっき浴を0.
3〜0.7m/secの接液速度で接触させながら、3
0〜55A/dm^2の電流密度でめっき処理を施して
熱劣化防止層を有する粗化面を形成することを特徴とす
る銅張積層板用銅箔層の製造方法。
(3) A copper plating bath containing at least one metal selected from the group of zinc, tin, and cobalt is applied to the surface of the copper plating layer formed on the surface of the copper foil or the conductive base material.
While contacting the liquid at a contact speed of 3 to 0.7 m/sec,
A method for producing a copper foil layer for a copper-clad laminate, comprising performing plating at a current density of 0 to 55 A/dm^2 to form a roughened surface having a thermal deterioration prevention layer.
(4)請求項3のめっき浴の浴組成が、硫酸銅五水塩1
10〜130g/l、硫酸55〜65g/l、硝酸イオ
ン21〜24g/l、亜鉛化合物、すず化合物またはコ
バルト化合物の群から選ばれる少なくとも1種の化合物
200〜1000ppm、キレート剤5〜20g/lで
あることを特徴とする電解銅めっき浴。
(4) The bath composition of the plating bath according to claim 3 is copper sulfate pentahydrate 1
10-130 g/l, sulfuric acid 55-65 g/l, nitrate ions 21-24 g/l, at least one compound selected from the group of zinc compounds, tin compounds or cobalt compounds 200-1000 ppm, chelating agent 5-20 g/l An electrolytic copper plating bath characterized by:
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