JPH03281252A - Droplet discharging device - Google Patents

Droplet discharging device

Info

Publication number
JPH03281252A
JPH03281252A JP23674490A JP23674490A JPH03281252A JP H03281252 A JPH03281252 A JP H03281252A JP 23674490 A JP23674490 A JP 23674490A JP 23674490 A JP23674490 A JP 23674490A JP H03281252 A JPH03281252 A JP H03281252A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
liquid
piezo plate
length
pressure chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23674490A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Seiji Yamamori
山森 清司
Shigesaku Yamaguchi
恵作 山口
Kunio Nakamura
中村 邦雄
Yoshimasa Ito
伊東 良将
Shiyuuko Kanematsu
兼松 修子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Publication of JPH03281252A publication Critical patent/JPH03281252A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify structure and permit fine droplets to be discharged by providing a piezo plate which has a specific dimension and causes a change in liquid pressure to take place in a pressure chamber due to its expansion and contraction. CONSTITUTION:Each of chambers 4 forming a part of a pressure chamber is so dimensioned as to be greater in depth than in width and greater in length than in depth. A piezo plate 5 has electrodes 7 and 8 at both side faces, a smaller thickness and width than the width and depth of the chamber 4 and a length 1/2-2 times that of the chamber 4. When an input signal 31 is applied to the electrodes 7 and 8 of the piezo plate 5 through electrodes 27 and 28 and lead wires 10 and 11, the piezo plate 5 is stretched lenghwise, pressure rises inside the pressure chamber 24 and fine droplets are discharged from an injection nozzle 25. Although the length of the piezo plate 5 is returned to its original length as the signal voltage drops and the pressure of the pressure chamber 24 is reduced, since the air suction of the injection nozzle 25 is hindered due to the surface tension retaining force of liquid meniscus, a liquid 30 is supplied from a liquid reservoir 16 through a filter 23 into the pressure chamber 24. By repeating this cyclic action, the function of a droplet injection head is performed.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、液体の小滴を電気信号に応じて吐出させ、吐
出液量を制御したり、記録媒体上に文字、図形等を記録
するインクジェッ上記録等に用いる液滴吐出装置に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention is applied to inkjet printers that eject small droplets of liquid in response to electrical signals, control the amount of ejected liquid, and record characters, graphics, etc. on a recording medium. The present invention relates to a droplet ejection device used for recording, etc.

従来の技術 従来、短冊状のピエゾ振動子の長さ方向の伸縮を利用し
て液体の小滴を吐出させるようにした例としてインクジ
ェットヘッドがある。例えば、エクソン・プリンティン
グ・システムズ社所有の米国特許筒4. 646. 1
06号(1987,2,24登録)およびデータ・プロ
ダクツ社所有の米国特許筒4、768.266号(19
88,9,6登録)の明細書に開示された構成が知られ
ている。以下、図面を参照しながら上記従来のインクジ
ェットヘッドの概略について説明する。
2. Description of the Related Art Conventionally, there is an inkjet head as an example of ejecting small droplets of liquid by utilizing the longitudinal expansion and contraction of a rectangular piezoelectric vibrator. For example, the U.S. patent cylinder 4.0 owned by Exxon Printing Systems, Inc. 646. 1
No. 06 (registered February 24, 1987) and U.S. Pat.
88,9,6 registration) is known. Hereinafter, an outline of the above conventional inkjet head will be explained with reference to the drawings.

第8図は従来のインクジェットヘッドの一例を示す断面
図である。第8資に示すように、ハウジング部材101
に圧力室102と、この圧力室102に連通するノズル
103が形成され、ハウジング部材101の背方には圧
力室102の一壁面を形成するダイヤフラム104が接
合されている。圧力室102にはインク供給流路105
の一端が連通され、インク供給流路105の他端はイン
ク溜め(図示省略)に連通されている。ダイヤフラム1
04には短冊状のピエゾ板106の一端が接合され、ピ
エゾ板106はピエゾ電極107および108を有して
いる。
FIG. 8 is a sectional view showing an example of a conventional inkjet head. As shown in Part 8, the housing member 101
A pressure chamber 102 and a nozzle 103 communicating with the pressure chamber 102 are formed in the housing member 101, and a diaphragm 104 forming one wall of the pressure chamber 102 is joined to the back of the housing member 101. The pressure chamber 102 has an ink supply channel 105.
One end of the ink supply channel 105 is communicated with the ink supply channel 105, and the other end of the ink supply channel 105 is communicated with an ink reservoir (not shown). Diaphragm 1
04 is joined to one end of a rectangular piezo plate 106, and the piezo plate 106 has piezo electrodes 107 and 108.

以上の構成において、以下、その動作について説明する
The operation of the above configuration will be described below.

ピエゾ電極107および108に信号電圧を印加すると
、ピエゾ板106が長手方向に伸縮する。これにより、
圧力室102の一壁面を形成しているダイヤフラム10
4に変位を与え、ダイヤフラム104の増幅作用により
、圧力室102内のインクを加圧、5 べ−7 または減圧してノズル103からインク小滴を吐出させ
、または圧力室102にインク供給流路105からイン
クを供給する。
When a signal voltage is applied to the piezo electrodes 107 and 108, the piezo plate 106 expands and contracts in the longitudinal direction. This results in
Diaphragm 10 forming one wall of pressure chamber 102
4, and by the amplifying action of the diaphragm 104, the ink in the pressure chamber 102 is pressurized, 5 or depressurized to eject ink droplets from the nozzle 103, or the ink supply channel is inserted into the pressure chamber 102. Ink is supplied from 105.

第9図は従来のインクジェットヘッドの他の例を示す断
面図である。第9図に示すように、ヘッドボディ111
の前面にインク供給流路形成部材112を介してチャン
バ一部材113が固定されている。チャンバ一部材11
3には圧力室114が形成され、チャンバ一部材113
の前面にノズル板115が固定され、ノズル板115に
形成されたノズル116が圧力室114に連通されてい
る。ヘッドボディ111には圧力室114の後方で円筒
形の室117が形成され、この室117には円筒状部材
118が挿入され、室117の内壁と円筒状部材118
の外壁との隙間には弾性のあるポツティング材119が
充填されている。円筒状部材118には短冊状のピエゾ
板120の電極面121の一端が接合され、電極面12
1の他端はへラドボディ111の後側部に導電性エポキ
シ接着剤123で接合され、他方の電極面122からは
リード線124が取り出されている。
FIG. 9 is a sectional view showing another example of a conventional inkjet head. As shown in FIG. 9, the head body 111
A chamber member 113 is fixed to the front surface of the ink supply channel forming member 112 via an ink supply flow path forming member 112. Chamber member 11
A pressure chamber 114 is formed in the chamber member 113.
A nozzle plate 115 is fixed to the front surface of the nozzle plate 115 , and nozzles 116 formed in the nozzle plate 115 communicate with the pressure chamber 114 . A cylindrical chamber 117 is formed behind the pressure chamber 114 in the head body 111, and a cylindrical member 118 is inserted into this chamber 117, and the inner wall of the chamber 117 and the cylindrical member 118 are inserted into the chamber 117.
An elastic potting material 119 is filled in the gap between the outer wall and the outer wall. One end of an electrode surface 121 of a strip-shaped piezo plate 120 is joined to the cylindrical member 118, and the electrode surface 12
1 is joined to the rear side of the helad body 111 with a conductive epoxy adhesive 123, and a lead wire 124 is taken out from the other electrode surface 122.

以上の構成において、以下、その動作について説明する
。リード線124とへラドボデ4111間に信号電圧を
印加すると、ピエゾ板120が長手方向に伸縮する。こ
れに対応して円筒状部材118も前後に移動し、これに
より、ピエゾ板120の微小変位を増幅させ、圧力室1
14内のインクに圧力変化を生じさせ、ノズル117か
らインク小滴を吐出させ、または圧力室114にインク
を供給する。
The operation of the above configuration will be described below. When a signal voltage is applied between the lead wire 124 and the spacing body 4111, the piezo plate 120 expands and contracts in the longitudinal direction. Correspondingly, the cylindrical member 118 also moves back and forth, thereby amplifying the minute displacement of the piezo plate 120 and increasing the pressure chamber 1.
A pressure change is created in the ink within 14 causing a droplet of ink to be ejected from the nozzle 117 or supplying ink to the pressure chamber 114 .

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記従来例のように、短冊状のピエゾ板
106、若しくは120の先端にダイヤフラム104、
若しくは円筒状部材118からなる増幅部材を接合して
用いると、製造工程が複雑になるため、コストが高くな
る。また、接合に接着剤を用いるため、ノズル103間
、若しくは116間における吐出電圧のバラツキ、10
0℃前後の高温で駆動するホットメルトインク使用時の
熱ストレスによる接合部の劣化等の原因になっていた。
Problems to be Solved by the Invention However, as in the above conventional example, the diaphragm 104,
Alternatively, if the amplifying member made of the cylindrical member 118 is used by joining them, the manufacturing process becomes complicated and the cost increases. In addition, since adhesive is used for bonding, variations in discharge voltage between nozzles 103 or 116,
When hot melt ink is used at a high temperature of around 0° C., thermal stress causes deterioration of joints.

また、接着面積を大きく取ることができないため、ヘッ
ドの信頼性や寿命に劣る。更に、ピエゾ板106、7 
 ・ 120や増幅部材104.118の水平方向の寸法に制
限があるだめ、ノズルの集積度を高めるのが難しいなど
の問題があった。
Furthermore, since a large adhesive area cannot be secured, the reliability and life of the head are poor. Furthermore, piezo plates 106, 7
- There were problems such as difficulty in increasing the degree of nozzle integration due to limitations on the horizontal dimensions of the amplification members 120 and 104 and 118.

本発明は、−[−記のような従来技術の問題を解決する
ものであり、構成を簡素化すると共(で、高粘度の液体
の吐出に充分な圧力変化を生じさせることができ、した
がって、製造コストの低下、ノズル間特性のバラツキ解
消による駆動回路のコスト負荷防止、ノズルの高集積性
および熱に対する寿命−や信頼性の向上等を図ることが
できるようにしだ液滴吐出装置を提供することを目的と
するものである。
The present invention solves the problems of the prior art as described in -[-, and simplifies the configuration and makes it possible to generate a pressure change sufficient for discharging high viscosity liquid. We provide a droplet ejection device that reduces manufacturing costs, prevents cost burden on drive circuits by eliminating variations in characteristics between nozzles, and improves nozzle integration, heat resistance, and reliability. The purpose is to

課題を解決するための手段 l−゛記目的を達成するための本発明の技術的解決手段
は、幅より深さ方向の寸法が大で、深さより長さ方向の
寸法が大となるよ5に形成された室と、少なくとも上記
室の前側部に形成された圧力室と、この圧力室に連通さ
れた液体供給流路と、上記圧力室の前側に形成された吐
出ノズルと、厚みおよび幅の手法が上記室の幅および深
さ寸法よりも小さく、長さ寸法が上記室の長さ寸法の1
〜2倍であり、かつ電極が上記室の深さ方向の面と平行
となる両側面に配され、上記室に挿入され、伸縮により
上記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるピエゾ板と
を備えたものである。
Means for Solving the Problems 1--The technical solution of the present invention for achieving the object described above is such that the dimension in the depth direction is larger than the width, and the dimension in the length direction is larger than the depth. a pressure chamber formed at least on the front side of the chamber, a liquid supply passage communicating with the pressure chamber, a discharge nozzle formed on the front side of the pressure chamber, and a thickness and width. method is smaller than the width and depth dimensions of the chamber, and the length dimension is 1 of the length dimension of the chamber.
~2 times the size of the piezoelectric plate, electrodes are disposed on both sides parallel to the surface in the depth direction of the chamber, and the piezoelectric plate is inserted into the chamber and causes a pressure change in the liquid in the pressure chamber by expansion and contraction. It is prepared.

または、J配室室と上記エビゾ板と1で液体が満たされ
る隙間が形成されたものである。
Alternatively, a gap is formed between the J chamber and the above-mentioned Ebizo plate 1 to be filled with liquid.

そして、−4−記ビエゾ板は厚み0.1〜i、omm、
幅1.0〜4.0mm、長さ10〜50r++mの寸法
範囲に設定するのが好ましい。
-4- The Viezo board has a thickness of 0.1 to i, omm,
It is preferable to set the dimensions to a width of 1.0 to 4.0 mm and a length of 10 to 50 r++m.

また、上記ピエゾ板の一端に液体供給流路を形成するた
めの切り欠き部を設けることができる。
Furthermore, a notch for forming a liquid supply channel can be provided at one end of the piezo plate.

そして、この切り欠き部は縦0.1〜0.4 +nm、
横0.1〜1.0mm(ピエゾ板厚み)、長さ1−10
mmの寸法範囲に設定するのが好ましい。また、上記圧
力室へ液体を供給する液体供給口が、上記ビエソ板の切
り欠き部に対向してピエゾ板の先端から05〜9,5m
の位置に配するのが好ましい。また、−]二配室は幅−
ピエゾ板厚み+002〜0.2 mm、深さニビエゾ板
幅+002〜0.2 mm、長さ=ピエゾ板長さの1〜
・2倍の寸法範囲に設定するのが好ましい。また、吐出
液体として、油性インク、ホットメルトインク、液晶、
各種ニスデルで成る香料等を用い、ピエゾ電極がインク
に直接接触していても電気分解やショートが起こらない
ように液体の比抵抗が、液体状態(動作状態)において
、10゜Ω鉗以上であるのが好ましい。
This notch has a length of 0.1 to 0.4 + nm,
Width 0.1-1.0mm (piezo board thickness), length 1-10
It is preferable to set it in the size range of mm. Further, a liquid supply port for supplying liquid to the pressure chamber is located 05 to 9.5 m from the tip of the piezo plate, facing the notch of the piezo plate.
It is preferable to place it in the position of Also, -] The width of the second room is -
Piezo plate thickness + 002 to 0.2 mm, depth Niviezo plate width + 002 to 0.2 mm, length = 1 to piezo plate length
- It is preferable to set the size range to double. In addition, the ejected liquid can be oil-based ink, hot melt ink, liquid crystal,
Using a fragrance made of various types of Nisdel, the specific resistance of the liquid is 10゜Ω or more in the liquid state (operating state) so that electrolysis and short circuits do not occur even if the piezo electrode is in direct contact with the ink. is preferable.

作用 したがって、本発明によれば、厚みが薄く、幅の広いピ
エゾ板を用い、油性インクや液晶のように比抵抗の十分
高い不良導電性液体を用いることにより、ピエゾ板の長
さ方向の変位だけで増幅部材を用いることなく、出力室
に高粘度液体の吐出に十分な圧力変化を生じさせること
ができる。このように、構成を簡素化して微小液滴の吐
出を行うことができる。
Therefore, according to the present invention, by using a thin and wide piezo plate and using a conductive liquid with a sufficiently high resistivity such as oil-based ink or liquid crystal, the displacement in the longitudinal direction of the piezo plate can be reduced. A pressure change sufficient to discharge high viscosity liquid can be generated in the output chamber by itself without using an amplification member. In this way, the configuration can be simplified and micro droplets can be ejected.

実施例 以r、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する3、 まず、本発明の第1の実施例について説明する。
EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. 3. First, a first embodiment of the present invention will be described.

第1図ないI−第5図は本発明の第1の実施例における
液滴吐出装置を示し、第1図は斜視図、第2図は分解斜
視図、第3図(a)は縦断面図、第3図(b)は第3図
(a)のX部分の拡大図、第4図は第3図(alKおけ
る■−■線に沿う部分拡大断面図、第5図はピエゾ板の
斜視図である。
Figures 1 and 5 show a droplet ejection device according to a first embodiment of the present invention, in which Figure 1 is a perspective view, Figure 2 is an exploded perspective view, and Figure 3 (a) is a longitudinal section. Figure 3(b) is an enlarged view of the X section in Figure 3(a), Figure 4 is a partial enlarged sectional view along the FIG.

第1図ないし第4図に示すように、溝形成部材1は不良
導電性材料製で、溝2が複数条、平行に形成されている
。溝形成部材1の谷溝2の長手方向側の開放部は不良導
電性材料製の蓋部材3により閉塞され、圧力室の一部を
形成する室4が形成されている。谷溝2、すなわち、各
室4は幅より深さ方向の寸法が大で、深さより長さ方向
の寸法が犬となるように設定されている。ピエゾ板5は
特に、第5図から明らかなように、長子縁側の一側先端
部に切り欠き部6を有し、長手方向で、室4の深さ方向
の面と平行となる両側面に電極7.8を有している。電
極7.8を有するピエゾ板5は厚みおよび幅の寸法が室
4の幅および深さ寸法よりも小さく、長さ寸法は室4の
長さ寸法の−ム〜11へ7 2倍(図示例では、室4より長い)を有している。
As shown in FIGS. 1 to 4, the groove forming member 1 is made of a poorly conductive material, and has a plurality of grooves 2 formed in parallel. The opening on the longitudinal side of the valley groove 2 of the groove forming member 1 is closed by a lid member 3 made of a poorly conductive material, and a chamber 4 forming a part of a pressure chamber is formed. The valley groove 2, that is, each chamber 4, is set so that the dimension in the depth direction is larger than the width, and the dimension in the length direction is smaller than the depth. In particular, as is clear from FIG. 5, the piezo plate 5 has a notch 6 at the tip of one side of the first edge, and has a notch 6 on both sides parallel to the plane in the depth direction of the chamber 4 in the longitudinal direction. It has electrodes 7.8. The piezo plate 5 with the electrode 7.8 has thickness and width dimensions smaller than the width and depth dimensions of the chamber 4, and its length dimension is 72 times the length dimension of the chamber 4 (in the example shown). In this case, the chamber is longer than chamber 4).

各ピエゾ板5は切り欠き部6の反対側の後端部でピエゾ
当接部材9に当接され、その端面はエポキシ系接着剤で
接着され、ピエゾ変位の際の後方への逃げが防止される
ようになっている。各ピエゾ板5の電極7と90後端部
から半田、金、アルミ線によるボンティング等により、
それぞれリード線f+110とリード線c)11が取り
出されている。各室4に電極7.8を有するピエゾ板5
が挿入され、室4とピエゾ板5とに隙間12が形成され
、ピエゾ当接部材9の下部が蓋部材3の上面に形成され
た溝13に嵌合されて固定されている。蓋部材3の下側
に貯液槽14が固定され、溝形成部材1と貯液槽14の
前側にノズル部材15が固定されている。貯液槽14の
液溜め16の前側には蓋部材3の前側に位置する液体供
給流路形成部材17が設けられ、貯液槽14には液体流
路形成部材17の反対側で通気孔18が形成されている
。液体供給流路形成部材17には隔壁19により縦方向
に複数条の液体供給流路20が形成され、この液体供給
流路20の一端はフィルタ23を介して液溜め16の底
部に連通され、他端はピエゾ板5の切り欠き部6の貯液
槽14の前側上面とで形成された液体供給流路22に液
体供給口21を介して連通されている。各室4とノズル
部材15に跨るように圧力室24が形成され、この圧力
室24に液体供給流路22が連通されている。ノズル部
材15には圧力室24の前側で吐出ノズル25が形成さ
れている。
Each piezo plate 5 is brought into contact with a piezo abutting member 9 at its rear end on the opposite side of the notch 6, and its end surface is glued with epoxy adhesive to prevent the piezo from escaping backwards when displaced. It has become so. By bonding with solder, gold, aluminum wire, etc. from the rear end of the electrode 7 and 90 of each piezo plate 5,
A lead wire f+110 and a lead wire c)11 are respectively taken out. Piezo plate 5 with electrodes 7.8 in each chamber 4
is inserted, a gap 12 is formed between the chamber 4 and the piezo plate 5, and the lower part of the piezo contact member 9 is fitted into a groove 13 formed on the upper surface of the lid member 3 and fixed. A liquid storage tank 14 is fixed to the lower side of the lid member 3, and a nozzle member 15 is fixed to the front side of the groove forming member 1 and the liquid storage tank 14. A liquid supply channel forming member 17 located on the front side of the lid member 3 is provided on the front side of the liquid reservoir 16 of the liquid storage tank 14, and a ventilation hole 18 is provided in the liquid storage tank 14 on the opposite side of the liquid channel forming member 17. is formed. A plurality of liquid supply channels 20 are formed in the liquid supply channel forming member 17 in the vertical direction by partition walls 19, and one end of the liquid supply channel 20 is communicated with the bottom of the liquid reservoir 16 via a filter 23. The other end is communicated via a liquid supply port 21 with a liquid supply channel 22 formed by the notch 6 of the piezo plate 5 and the front upper surface of the liquid storage tank 14 . A pressure chamber 24 is formed so as to straddle each chamber 4 and the nozzle member 15, and a liquid supply channel 22 is communicated with this pressure chamber 24. A discharge nozzle 25 is formed in the nozzle member 15 in front of the pressure chamber 24 .

上記リード線10と11の端部は上記と同様に信号入力
端子板26の電極27と28にボンディングされ、溝形
成部材1の後端部と、室4から露出したピエゾ板5の後
端部と、ピエゾ当接部材9と、リード線10.11と、
信号入力端子板26の前側部が粘弾性を有するシリコー
ン樹脂系のシール部材29で接着被覆されている。この
シール部材29はピエゾ板5と室4との隙間12からの
液漏れを防止し、リード線10.11の損傷を防止し、
ピエゾ板5を安定に固定する役目を果たしている。信号
入力端子板26の電極27.28はコネクタ(図示省略
)に接続されている。そして、液溜め16内の液30が
液体供給口21のフィルタ23、液体供給流路20.2
2を介して圧力室13 へ−7 24および圧力室24の一部を形成する室4とピエゾ板
5との隙間12に満たされている。上記各構成部品は接
着、機械的かしめ、熱融着等の工法によって簡単に組み
立てることができる。
The ends of the lead wires 10 and 11 are bonded to the electrodes 27 and 28 of the signal input terminal board 26 in the same manner as described above, and are bonded to the rear end of the groove forming member 1 and the rear end of the piezo plate 5 exposed from the chamber 4. , a piezo contact member 9, a lead wire 10.11,
The front side of the signal input terminal board 26 is adhesively coated with a silicone resin sealing member 29 having viscoelasticity. This seal member 29 prevents liquid leakage from the gap 12 between the piezo plate 5 and the chamber 4, and prevents damage to the lead wires 10 and 11.
It plays the role of stably fixing the piezo plate 5. Electrodes 27 and 28 of the signal input terminal board 26 are connected to a connector (not shown). The liquid 30 in the liquid reservoir 16 passes through the filter 23 of the liquid supply port 21 and the liquid supply channel 20.2.
2 to the pressure chamber 13 through 7 24, and the gap 12 between the chamber 4 and the piezo plate 5 forming a part of the pressure chamber 24 is filled. Each of the above components can be easily assembled using methods such as adhesion, mechanical caulking, and heat fusion.

以上の構成において、以下、その動作について説明する
The operation of the above configuration will be described below.

まず、入力信号31が信号入力端子板26の電極27.
28、リード線10.11を介してピエゾ板5の電極7
.8に印加されると、ピエゾ板5は長さ方向に伸長する
。これに伴い、圧力室24内には印加した電界強度、ピ
エゾ先端部の断面積および材料の圧電定数(d、、)に
応じた圧力上昇を生じ、吐出ノズル25から微小液滴が
吐出する。次に、信号電圧の降下に応じてピエゾ板5は
元の長さに戻り、圧力室24は減圧されるが、吐出ノズ
ル25は液体のメニスカスの表面張力保持力により空気
の吸入が阻止されるので、液溜め16内の液30が液体
供給口21のフィルタ23、液体供給流路20.22を
経て圧力室24内に供給される。以上の動作を繰り返す
ことによって液滴吐出ヘッドとしての機能を発揮する。
First, the input signal 31 is applied to the electrodes 27. of the signal input terminal board 26.
28, electrode 7 of piezo plate 5 via lead wire 10.11
.. 8, the piezo plate 5 expands in the length direction. Accordingly, a pressure rise occurs in the pressure chamber 24 according to the applied electric field strength, the cross-sectional area of the piezo tip, and the piezoelectric constant (d, .) of the material, and minute droplets are discharged from the discharge nozzle 25. Next, the piezo plate 5 returns to its original length in response to a drop in the signal voltage, and the pressure chamber 24 is depressurized, but the discharge nozzle 25 is prevented from inhaling air due to the surface tension retention force of the liquid meniscus. Therefore, the liquid 30 in the liquid reservoir 16 is supplied into the pressure chamber 24 through the filter 23 of the liquid supply port 21 and the liquid supply channel 20.22. By repeating the above operations, it functions as a droplet ejection head.

すな14 ・ わち、ピエゾ板5自身の伸縮によりそのまま圧力室24
の圧力変化(体積変化)を生じさせるようにし、他の部
材による増幅作用を必要とせずに吐出ノズル25から微
小液滴を吐出させるものである。
14 - In other words, the pressure chamber 24 is expanded and contracted by the piezo plate 5 itself.
The pressure change (volume change) is caused to occur, and minute droplets are ejected from the ejection nozzle 25 without requiring an amplification effect by other members.

なお、上記のように液体供給流路20は隔壁19により
区画しているので、相互干渉を防止することができる。
In addition, since the liquid supply channel 20 is divided by the partition wall 19 as described above, mutual interference can be prevented.

また、後部のシール部を除いた室4とピエゾ板5との隙
間12には液30が充填されているので、ピエゾ板5の
駆動に伴う発熱を液30により放熱冷却することができ
る。
Furthermore, since the gap 12 between the chamber 4 and the piezo plate 5 excluding the rear seal portion is filled with the liquid 30, the heat generated by driving the piezo plate 5 can be radiated and cooled by the liquid 30.

具体例として、ピエゾ板5は住友特殊金属■製の圧電セ
ラミック(商品名: SUMIPIEZOSPEM)で
、両面にNi−Au電極7.8を付けたSPEM−5(
:。
As a specific example, the piezo plate 5 is a piezoelectric ceramic (product name: SUMIPIEZOSPEM) manufactured by Sumitomo Special Metals ■, and is SPEM-5 (product name: SUMIPIEZOSPEM) with Ni-Au electrodes 7.8 on both sides.
:.

およびSPEM−H5Cを用い、長さ10〜50IrI
ITl、幅1.0〜4.0 mm、厚さ0.1〜1.0
mの短冊状に形成し、その先端部に長さ1〜10ITI
IT11縦0.1〜0.4価の切欠き部6を形成した。
and SPEM-H5C, length 10-50IrI
ITl, width 1.0-4.0 mm, thickness 0.1-1.0
It is formed into a rectangular shape with a length of 1 to 10 ITI at the tip.
IT11 vertical notch portions 6 having a valence of 0.1 to 0.4 were formed.

溝形成部材1は石原薬品■製のマシナブルセラミック(
商品名:マコール)にダイザ−で溝2を加工し、同マコ
ール製の蓋部材3と液体供給流路形成部材17と貯液槽
14とを用い、溝2、すなわち、室4の長さが10〜5
01TIm、幅が」−記ビエゾ板5の厚み一ト0.02
〜0.2 mm、高さ(深さ)が上記ピエゾ板5の幅+
0.02〜0.2mmの角形に形成し、その先端に開口
面積が0.0007〜0.003a nd、実効長さが
0.01〜0.1 mmの吐出ノズル25を有する5U
S304製のノズル部材15を接合した。1−かる後、
上記ピエゾ板5を切り欠き部6がF向きになるように、
かつ切り欠き部6の先端から045〜9.5画の位置1
で0.01〜0.6 @FIの開口面積を有し、その長
さが003〜0.5 mmである液体供給口21の出「
]が対向するように配した。これらのヘッドにおいて、
吐出時の粘度8〜15センチポイズ、比抵抗10°〜1
0゛Ωcmの液体を用いた場合、第6図に示す駆動波形
(1,は2〜5μs、t2は2〜1511s  L3は
25〜200/7S)で、印加電圧30〜150Vにお
いて、最高応答周波数18kH2以上の吐出性能を得る
ことができた。
The groove forming member 1 is a machinable ceramic manufactured by Ishihara Pharmaceutical ■.
Groove 2 is machined using a dizer in Macor (trade name), and the length of groove 2, that is, chamber 4 is 10-5
01TIm, the width is 0.02. The thickness of the Viezo board 5 is 0.02
~0.2 mm, the height (depth) is the width of the piezo plate 5 +
5U is formed into a rectangular shape of 0.02 to 0.2 mm, and has a discharge nozzle 25 at its tip with an opening area of 0.0007 to 0.003 mm and an effective length of 0.01 to 0.1 mm.
A nozzle member 15 made of S304 was joined. 1-After the call,
Place the piezo plate 5 so that the notch 6 faces F.
and position 1 of 045 to 9.5 strokes from the tip of the notch 6
The liquid supply port 21 has an opening area of 0.01 to 0.6 @FI and a length of 0.03 to 0.5 mm.
] were arranged so that they were facing each other. In these heads,
Discharge viscosity 8-15 centipoise, specific resistance 10°-1
When using a liquid of 0゛Ωcm, with the drive waveform shown in Fig. 6 (1, 2 to 5 μs, t2 2 to 1511 s, L3 25 to 200/7S), the highest response frequency at an applied voltage of 30 to 150 V. It was possible to obtain a discharge performance of 18kHz or more.

なお、溝形成部材1や蓋部材3等の部材はマシナブルセ
ラミックスに限らず、加工性の良いガラス−やプラスチ
ックス等の不良導電性材料を使用することもできる。
Note that the members such as the groove forming member 1 and the lid member 3 are not limited to machinable ceramics, but may also be made of poorly conductive materials such as glass or plastics that have good workability.

次に一本発明の第2の実施例について説明する。Next, a second embodiment of the present invention will be described.

第7図は本発明の第2の実施例における液滴吐出装置を
示す縦断面図である。
FIG. 7 is a longitudinal cross-sectional view showing a droplet discharge device in a second embodiment of the present invention.

本実施例においては、液30の液面の位置が吐出ノズル
25より高い位置となるように設定したものである。す
なわち、溝形成部1とピエゾ板5とノズル部材]5が上
下逆向きに配置され、溝形成部材1上に貯液槽14が配
置されて溝形成部材1と貯液槽14の底面とで室4が形
成され、ピエゾ当接部材9が溝形成部材1に固定され、
貯液槽14の後端部と、室4から露出したピエゾ板5の
後端部と、ピエゾ当接部材9と、リード線10.11と
、信号入力端子板26の前側部がシール部材29で接着
被覆されたものであり、その他の構成や動作原理等につ
いては上記第1の実施例と同様であるので、同一部分に
は同一符号を付してその説明を省略する。
In this embodiment, the liquid level of the liquid 30 is set to be higher than the discharge nozzle 25. That is, the groove forming part 1, the piezo plate 5, and the nozzle member] 5 are arranged upside down, and the liquid storage tank 14 is arranged on the groove forming member 1, so that the groove forming member 1 and the bottom surface of the liquid storage tank 14 A chamber 4 is formed, a piezo contact member 9 is fixed to the groove forming member 1,
The rear end of the liquid storage tank 14, the rear end of the piezo plate 5 exposed from the chamber 4, the piezo contact member 9, the lead wires 10.11, and the front side of the signal input terminal board 26 are connected to the seal member 29. Since the other configurations, operating principles, etc. are the same as those of the first embodiment, the same parts are given the same reference numerals and the explanation thereof will be omitted.

次に、本発明の第3の実施例について説明する。Next, a third embodiment of the present invention will be described.

第8図は本発明の第3の実施例における液滴吐出装置を
示す縦断面図である。
FIG. 8 is a longitudinal cross-sectional view showing a droplet discharge device in a third embodiment of the present invention.

本実施例においては、例えば、液30に液晶を用い、ガ
ラス基板である被塗布媒体32に一定量の液量の小滴を
スポット装置きするために、吐出ノズル25を下向きに
配置〜だものである。
In this embodiment, for example, liquid crystal is used as the liquid 30, and the discharge nozzle 25 is arranged downward in order to spot small droplets of a certain amount on the medium 32 to be coated, which is a glass substrate. It is.

この場合、液滴吐出装置は固定されており、被塗布媒体
32であるガラス基板がX−Y方向に移動し、所定の位
置に小滴が吐出されるようになっている。。
In this case, the droplet discharge device is fixed, and the glass substrate, which is the medium 32 to be coated, moves in the X-Y direction, and droplets are discharged at a predetermined position. .

液晶をガラス基板に塗布する場合、塗布量のバラツキを
最小限におさえることが最も重要な要素の一つである。
When applying liquid crystal to a glass substrate, one of the most important factors is to minimize variation in the amount of application.

通常、液晶の場合、常温での粘度は数IQc、Pもある
。このだめ、常温での駆動ではフィルり23、液体供給
口21や吐出ノズル25部等の流動抵抗のためほとんど
吐出することはできない。このため、粘度を吐出可能な
範囲まで下げるのと吐出量を一定に制御するため、溝形
成部材1に隣接してヒータホルダ33が設けられている
。このホルダ33にはヒータ差込み穴34と温度制御用
センサ差込穴35が設けられ、各々ヒータ36と温度制
御センサ37が差込まれており、図示していない制御回
路にて所定の温度にコントロールされる。動作温度は4
0〜70℃で、温度制御は設定温度に対して±1℃以内
にコントロールする。
Usually, in the case of liquid crystal, the viscosity at room temperature is several IQc, P. Unfortunately, when driven at room temperature, it is almost impossible to eject liquid due to the flow resistance of the fill 23, liquid supply port 21, ejection nozzle 25, and the like. For this reason, a heater holder 33 is provided adjacent to the groove forming member 1 in order to lower the viscosity to a dischargeable range and to control the discharge amount to a constant value. This holder 33 is provided with a heater insertion hole 34 and a temperature control sensor insertion hole 35, into which a heater 36 and a temperature control sensor 37 are inserted, respectively, and are controlled to a predetermined temperature by a control circuit (not shown). be done. Operating temperature is 4
The temperature is controlled within ±1°C from 0 to 70°C with respect to the set temperature.

まだ、貯液槽14内の液30の液面位置を一定に保ち、
液面の変化による吐出量のバラツキをなくずため、貯液
槽14に液循環口31及び31′を設け、図示していな
い液循環装置により液30の液面位置を常時一定に保っ
ている。さらに、液30を循環することにより液30が
撹拌されるため、液30の温度が均一化される。
Still keeping the liquid level position of the liquid 30 in the liquid storage tank 14 constant,
In order to eliminate variations in the discharge amount due to changes in the liquid level, liquid circulation ports 31 and 31' are provided in the liquid storage tank 14, and the liquid level position of the liquid 30 is always kept constant by a liquid circulation device (not shown). . Furthermore, since the liquid 30 is stirred by circulating the liquid 30, the temperature of the liquid 30 is made uniform.

さらに、貯液槽14に設けた通気孔18にファンやエア
ポンプのような調圧手段40を接続することにより吐出
ノズル25部にかかる液圧を自在に制御することができ
、例えば液溜16部を負圧にすることによって動作中や
非動作中の液だれを防止することができ、より吐出量の
バラツキをおさえることができる。なお、この調圧手段
40を前記第1及び第2の発明の実施例に適用できるこ
とはもちろんである。
Furthermore, by connecting a pressure regulating means 40 such as a fan or an air pump to the ventilation hole 18 provided in the liquid storage tank 14, the liquid pressure applied to the discharge nozzle 25 can be freely controlled. By setting the pressure to negative, it is possible to prevent liquid dripping during operation or non-operation, and it is possible to further suppress variations in discharge amount. It goes without saying that this pressure regulating means 40 can be applied to the embodiments of the first and second inventions.

19  ・\−・ 発明の効果 以上述べたように、本発明によれば、板厚が薄く、幅の
広いピエゾ板を用い、油性インク、ホットメルトインク
、液晶やエステル類等のような比抵抗の大きな油性液体
を用いることにより、ピエゾ板の長さ方向の変位だけで
増幅用の部材を用いることのなく、圧力室に液体の吐出
に十分な圧力変化を生じさせることができる。このよう
に、構成を簡素化して微小液滴の吐出を行うことができ
る。したがって、製造コストの低下を図ることができ、
また、高集積性を図ることができる。また従来のような
増幅部材の接着のバラツキに起因するピエゾアクチーエ
ータのバラツキが極めて小さいので、各吐出ノズル間お
よび各ヘッド間の駆動電圧のバラツキを調整する調整回
路が不必要になり、駆動回路のコストの低下を図ること
ができる。
19 ・\−・ Effects of the Invention As described above, according to the present invention, a piezo plate with a thin plate thickness and a wide width is used, and resistivity of oil-based ink, hot melt ink, liquid crystal, esters, etc. By using an oil-based liquid having a large value, it is possible to generate a pressure change sufficient to discharge the liquid in the pressure chamber by simply displacing the piezo plate in the length direction without using an amplification member. In this way, the configuration can be simplified and micro droplets can be ejected. Therefore, it is possible to reduce manufacturing costs,
Furthermore, high integration can be achieved. In addition, since the piezo actuator variations caused by conventional variations in the adhesion of amplification members are extremely small, there is no need for an adjustment circuit to adjust the drive voltage variations between each ejection nozzle and between each head. It is possible to reduce the cost of the circuit.

また、ピエゾ板の伸縮方向にストレスが作用するような
接合構造がないので、常温と100℃前後の温度変化(
熱衝撃)を頻繁に繰り返すホットメルト型インクジェッ
トヘッド等においては、ヘッドの劣化を大幅に抑えるこ
とができ、寿命や信頼性を向上させることができる。
In addition, since there is no bonding structure that applies stress in the direction of expansion and contraction of the piezo plate, temperature changes between room temperature and around 100℃ (
In hot-melt inkjet heads and the like that frequently undergo thermal shock, deterioration of the head can be significantly suppressed and the lifespan and reliability can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図ないし第5図は本発明の第1の実施例における液
滴吐出装置を示し、第1図は斜視図、第2図は分解斜視
図、第3図(atは縦断面図、第3図(blは要部拡大
図、第4図は第3図におけるL−IV線に沿う断面図、
第5図はピエゾ板の斜視図、第6図は上記実施例におけ
る駆動波形図、第7図は本発明の第2の実施例における
液滴吐出装置を示す縦断面図、第8図は本発明の第3の
実施例における液滴吐出装置を示す縦断面図、第9図お
よび第10図はそれぞれ従来の液滴吐出ヘッドを示す断
面図である。 1・・・溝形成部材、2・・・溝、3・・・蓋部材、4
・・・室、訃・・ピエゾ板、6・・・切り欠き部、12
・・・隙間、14・・貯液槽、15・・・ノズル部材、
20.22・・・液体供給流路、24・・・圧力室、2
5・・・吐出ノズノペ29・・・シール部材、31.3
1′・・・液循環口、36・・・ヒータ、37・・・温
度センサ、40・・・調圧手段。
1 to 5 show a droplet ejection device according to a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1 is a perspective view, FIG. 2 is an exploded perspective view, and FIG. Figure 3 (bl is an enlarged view of the main part, Figure 4 is a sectional view along the L-IV line in Figure 3,
FIG. 5 is a perspective view of the piezo plate, FIG. 6 is a drive waveform diagram in the above embodiment, FIG. 7 is a longitudinal sectional view showing a droplet discharge device in a second embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a diagram of the present invention. A vertical cross-sectional view showing a droplet ejecting device according to a third embodiment of the invention, and FIGS. 9 and 10 are cross-sectional views showing a conventional droplet ejecting head, respectively. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Groove forming member, 2... Groove, 3... Lid member, 4
... Chamber, Death ... Piezo plate, 6 ... Notch, 12
... Gap, 14... Liquid storage tank, 15... Nozzle member,
20.22...Liquid supply channel, 24...Pressure chamber, 2
5...Discharge nozzle nope 29...Seal member, 31.3
1'...Liquid circulation port, 36...Heater, 37...Temperature sensor, 40...Pressure adjustment means.

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)幅より深さ方向の寸法が大で、深さより長さ方向
の寸法が大となるように形成された室と、少なくとも上
記室の前側部に形成された圧力室と、この圧力室に連通
された液体供給流路と、上記圧力室の前側に形成された
吐出ノズルと、厚みおよび幅の寸法が上記室の幅および
深さ寸法よりも小さく、長さ寸法が上記室の長さ寸法の
1/2〜2倍であり、かつ電極が上記室の深さ方向の面
と平行となる両側面に配され、上記室に挿入され、伸縮
により上記圧力室内の液体に圧力変化を生じさせるピエ
ゾ板とを備えた液滴吐出装置。
(1) A chamber formed so that the depth dimension is larger than the width direction and the length direction dimension is larger than the depth, a pressure chamber formed at least in the front side of the chamber, and this pressure chamber and a discharge nozzle formed on the front side of the pressure chamber, the thickness and width of which are smaller than the width and depth of the chamber, and the length of which is the same as the length of the chamber. The size is 1/2 to 2 times the size, and electrodes are arranged on both sides parallel to the surface in the depth direction of the chamber, and are inserted into the chamber to cause pressure changes in the liquid in the pressure chamber by expansion and contraction. A droplet ejecting device equipped with a piezo plate.
(2)室とピエゾ板とに液体が満たされる隙間が形成さ
れた請求項1記載の液滴吐出装置。
(2) The droplet discharge device according to claim 1, wherein a gap is formed between the chamber and the piezo plate to be filled with liquid.
(3)ピエゾ板が以下の寸法範囲である請求項1または
2記載の液滴吐出装置。 厚さ0.1〜1.0mm 幅1.0〜4.0mm 長さ10〜50mm
(3) The droplet discharge device according to claim 1 or 2, wherein the piezo plate has the following dimensions. Thickness 0.1~1.0mm Width 1.0~4.0mm Length 10~50mm
(4)ピエゾ板が一端に液体供給流路を形成するための
切り欠き部を有する請求項1ないし3のいずれかに記載
の液滴吐出装置。
(4) The droplet ejecting device according to any one of claims 1 to 3, wherein the piezo plate has a notch at one end for forming a liquid supply channel.
(5)ピエゾ板の切り欠き部が以下の寸法範囲である請
求項4記載の液滴吐出装置。 縦0.1〜0.4mm 横0.1〜1.0mm(ピエゾ板厚み) 長さ1〜10mm
(5) The droplet discharge device according to claim 4, wherein the cutout portion of the piezo plate has the following size range. Height: 0.1-0.4mm Width: 0.1-1.0mm (piezo plate thickness) Length: 1-10mm
(6)圧力室へ液体を供給する液体供給口が、ピエゾ板
の切り欠き部に対向してピエゾ板の先端から0.5〜9
.5mmの位置に配され、かつ前記液体供給口の開口面
積が0.01〜0.6mm^2で、その長さが0.03
〜0.5mmである請求項4または5記載の液滴吐出装
置。
(6) The liquid supply port that supplies liquid to the pressure chamber is located 0.5 to 9 mm from the tip of the piezo plate, facing the notch of the piezo plate.
.. 5 mm, and the opening area of the liquid supply port is 0.01 to 0.6 mm^2, and the length is 0.03 mm.
The droplet discharge device according to claim 4 or 5, wherein the droplet discharge device has a diameter of 0.5 mm.
(7)室が以下の寸法範囲である請求項1ないし6のい
ずれかに記載の液滴吐出装置。 幅=ピエゾ板厚み+0.02〜0.2mm 深さ=ピエゾ板幅+0.02〜0.2mm 長さ=ピエゾ板長さ×(0.5〜2)mm
(7) The droplet discharge device according to any one of claims 1 to 6, wherein the chamber has the following size range. Width = piezo plate thickness + 0.02 to 0.2 mm Depth = piezo plate width + 0.02 to 0.2 mm Length = piezo plate length x (0.5 to 2) mm
(8)液体の比抵抗が、液体状態において、10^5Ω
cm以上である請求項1ないし7のいずれかに記載の液
滴吐出装置。
(8) The specific resistance of the liquid is 10^5Ω in the liquid state.
The droplet ejection device according to any one of claims 1 to 7, wherein the droplet discharge device has a diameter of cm or more.
JP23674490A 1990-03-29 1990-09-05 Droplet discharging device Pending JPH03281252A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2-82411 1990-03-29
JP8241190 1990-03-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03281252A true JPH03281252A (en) 1991-12-11

Family

ID=13773846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23674490A Pending JPH03281252A (en) 1990-03-29 1990-09-05 Droplet discharging device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03281252A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6286942B1 (en) 1991-12-26 2001-09-11 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head with mechanism for positioning head components
JP2009148956A (en) * 2007-12-19 2009-07-09 Canon Finetech Inc Ink supplying apparatus, inkjet recording apparatus, ink supplying method and inkjet recording method
JP2011230500A (en) * 2010-04-05 2011-11-17 Panasonic Corp Inkjet head and inkjet apparatus
US8342661B2 (en) 2007-12-19 2013-01-01 Canon Finetech Inc. Ink supplying apparatus, inkjet printing apparatus, inkjet printing head, ink supplying method and inkjet printing method
JP2014520689A (en) * 2011-07-22 2014-08-25 デュルスト フォトテクニク−アクチェンゲゼルシャフト Print head for inkjet printer

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6286942B1 (en) 1991-12-26 2001-09-11 Seiko Epson Corporation Ink jet recording head with mechanism for positioning head components
JP2009148956A (en) * 2007-12-19 2009-07-09 Canon Finetech Inc Ink supplying apparatus, inkjet recording apparatus, ink supplying method and inkjet recording method
US8342661B2 (en) 2007-12-19 2013-01-01 Canon Finetech Inc. Ink supplying apparatus, inkjet printing apparatus, inkjet printing head, ink supplying method and inkjet printing method
JP2011230500A (en) * 2010-04-05 2011-11-17 Panasonic Corp Inkjet head and inkjet apparatus
JP2014520689A (en) * 2011-07-22 2014-08-25 デュルスト フォトテクニク−アクチェンゲゼルシャフト Print head for inkjet printer
US9751313B2 (en) 2011-07-22 2017-09-05 Durst Phototechnik—A.G. Print head for an ink jet printer
US9994029B2 (en) 2011-07-22 2018-06-12 Durst Phototechnik—A.G. Print head for an ink jet printer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6886923B2 (en) Small-sized liquid-jet head and liquid-jet apparatus with increased number of arrays of nozzle orifices
JP2000512233A (en) Droplet deposition apparatus and manufacturing method thereof
KR100573046B1 (en) Liquid jet head and liquid jet apparatus
JP2001179973A (en) Ink jet recording head
US8186810B2 (en) Liquid ejecting head with heater for heating ink
JPH03281252A (en) Droplet discharging device
JP5532208B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP5534142B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2010023257A (en) Liquid jetting head
JP4129614B2 (en) Inkjet recording head and inkjet recording apparatus
JP5218730B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2012206280A (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP4338944B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2008221825A (en) Liquid jetting head and liquid jetting device
JP4780293B2 (en) Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus
JP2003170592A (en) Liquid ejection head
JP3257140B2 (en) Ink jet recording device
JP2012218251A (en) Liquid jet head, and liquid jet apparatus
JP3953703B2 (en) Inkjet recording head and inkjet recording apparatus
JP3168286B2 (en) Inkjet print head
JPS61193859A (en) Drop on-demand type ink jet head
JP2000263778A (en) Actuator apparatus, ink jet recording head and ink jet recording apparatus
JP2005144847A (en) Liquid jet head and liquid jet device
JP2004114423A (en) Ink jet head
JP4101588B2 (en) Liquid discharge head and liquid discharge apparatus