JPH03279102A - Air floatation type transportation device - Google Patents
Air floatation type transportation deviceInfo
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- JPH03279102A JPH03279102A JP7958390A JP7958390A JPH03279102A JP H03279102 A JPH03279102 A JP H03279102A JP 7958390 A JP7958390 A JP 7958390A JP 7958390 A JP7958390 A JP 7958390A JP H03279102 A JPH03279102 A JP H03279102A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明はエア浮上式搬送装置に関する。[Detailed description of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to an air floating conveyance device.
(従来の技術)
搬送装置の一例として水平循環式駐車設備かある。これ
は、各々車両搭載用の台車を横方向に搬送する並設され
た2本の横搬送路と、二〇両横搬送路の端部間で台車を
縦方向に搬送する2本の縦搬送路とにより、水平循環路
を構成したものである。この場合、横搬送路には台車の
車輪が転動する固定レールが敷設され、縦搬送路には横
方向に延び台車を支持して縦方向に移動可能な可動レー
ルか設けられ、固定レールに可動レールを接続してこの
両レール間で台車を移行させるようになっている。(Prior Art) An example of a conveyance device is a horizontal circulation parking facility. This consists of two horizontal conveyance paths that are installed in parallel to transport the trolleys for loading vehicles in the horizontal direction, and two vertical conveyance paths that transport the carts vertically between the ends of the 20-car horizontal conveyance path. This constitutes a horizontal circulation path. In this case, a fixed rail on which the wheels of the cart roll is installed on the horizontal transport path, and a movable rail that extends horizontally and can move vertically while supporting the cart is installed on the vertical transport path. The movable rails are connected and the cart can be moved between the two rails.
しかし、このようなレール上を台車の車輪が転勤する方
式の搬送装置では、振動ないしは騒音か大きいという問
題かある。However, such a conveyance system in which the wheels of a cart are transferred on rails has a problem of high vibration or noise.
これに対し、例えば、エアクツション艇(ホーバクラフ
ト)のように、搬送体にエアコンブレッサを搭載し、搬
送体下面からエア(空気)を水面や地面に吹き付けるこ
とにより、搬送体を浮上せしめた状態で移動せしめるエ
ア浮上式は一般に知られている。On the other hand, for example, an air action boat (hovercraft) is equipped with an air compressor on the carrier and blows air from the bottom of the carrier onto the water surface or the ground, allowing the carrier to float while moving. The air levitation type is generally known.
(発明が解決しようとする課題)
しかし、上記エア浮上式に関し、搬送体にニアコンプレ
ッサを搭載する方式においては、上述の駐車設備のよう
に多数の搬送体を移動せしめる必要がある場合、個々の
搬送体にニアコンプレッサを搭載することになって、搬
送体の大型化ないしは重量増を招くとともに、コスト高
になる憾みがある。また、ニアコンプレッサを搬送路の
傍らに設けて各搬送体にエアを供給することも考えられ
るが、配管の点で実際には難しい。(Problem to be Solved by the Invention) However, regarding the above-mentioned air floating type, in a system in which a near compressor is mounted on the conveyor, when it is necessary to move a large number of conveyors like the above-mentioned parking equipment, individual The mounting of the near compressor on the conveying body increases the size and weight of the conveying body, as well as increasing costs. It is also conceivable to provide a near compressor beside the conveyance path to supply air to each conveyance body, but this is difficult in practice due to piping considerations.
すなわち、本発明の課題は、搬送体を浮上せしめるため
のエアの浪費を防止しながら、上述の搬送体の大型化や
重量増、配管についての問題を生ずることなく、エア浮
上式の搬送装置を構成することにある。In other words, an object of the present invention is to provide an air levitation type conveyance device without causing the problems of increasing the size and weight of the conveyor and piping, while preventing the waste of air for levitating the conveyor. It consists in composing.
(課題を解決するための手段)
本発明は、このような課題に対して、搬送体から搬送フ
ロア上にエアを吹き付けるのでなく、フロア側から搬送
体にエアを吹き付けて搬送体を浮上せしめるようにし、
且つフロア側からのエアの吹き付けは搬送体が位置する
場所でのみ行なうようにするものである。(Means for Solving the Problems) The present invention solves these problems by blowing air onto the conveying body from the floor side to make the conveying body levitate, instead of blowing air from the conveying body onto the conveying floor. west,
Moreover, air is blown from the floor side only at the location where the carrier is located.
すなわち、そのための具体的な手段は、搬送物を搭載し
て搬送する搬送体を搬送路のフロアから浮上させた状態
で移動させるためのエア浮上式搬送装置であって、
上記搬送路に沿って配設されこの搬送路のフロアに開口
した多数のエア吐出口と、
各エア吐出0宛に若しくは全エア吐出口が複数の組に分
けられてその各組宛に設けられ、各々エア吐出口からの
エアの吐出及びその停止を行なうための常閉弁と、
上記搬送体の下面に設けられ、上記エア吐出口からのエ
アを受けて搬送体をフロアから浮上せしめるエアパッド
と、
上記搬送体のエアパッドがエア吐出口の上に位置した際
にそのことに連係して当該エア吐出口の常閉弁を開とす
る開弁手段とを備えていることを特徴とするものである
。That is, the specific means for this purpose is an air floating type conveyance device for moving a conveyance body loaded with conveyed objects in a state of floating above the floor of the conveyance path, and which moves along the conveyance path. A large number of air discharge ports are arranged and open on the floor of this conveyance path, and each air discharge port is divided into a plurality of groups, each of which is addressed to 0 or all of the air discharge ports are provided to each group, and each air outlet is a normally closed valve for discharging and stopping the air; an air pad provided on the underside of the carrier to receive air from the air discharge port and lift the carrier from the floor; and an air pad for the carrier. The device is characterized by comprising a valve opening means that opens a normally closed valve of the air discharge port in conjunction with the position of the air discharge port above the air discharge port.
この場合、上記開弁手段としては、エア吐出口上へのエ
アパッドの移動により常閉弁を機械的に開とする方式や
、上記エアパッドの移動位置を電気的に検出して常閉弁
を開とする方式を採用することができる。In this case, the valve opening means may be a method in which the normally closed valve is mechanically opened by moving the air pad above the air discharge port, or a method in which the normally closed valve is opened by electrically detecting the moving position of the air pad. A method can be adopted.
(作用)
上記エア浮上式搬送装置においては、搬送体は搬送路の
フロアに開口したエア吐出口からのエアをエアパッドに
受けることにより、フロアから浮上することになり、搬
送体自体にはエア源を搭載する必要がない。しかして、
上記エア吐出口は、常閉弁によって通常はエアの吐出を
停止した状態にあり、搬送体のエアパッドが当該エア吐
出口の上に来た際にのみ、そのことに連係して開弁手段
によって上記常閉弁か開とされてエアの吐出を行なうこ
とになる。よって、当方式は搬送体の浮上に寄与しない
エアの吐出をなくすことができ、全てのエア吐出口から
エアを常時吐出せしめる方式に比べてエアの浪費を防止
することができ、それによってエア源の小型化を図るこ
とができる。(Function) In the above-mentioned air levitation type conveyance device, the conveyance object floats from the floor by receiving air from the air discharge port opened in the floor of the conveyance path on the air pad, and the conveyance body itself has no air source. There is no need to install it. However,
The air discharge port is normally in a state where air discharge is stopped by a normally closed valve, and only when the air pad of the carrier comes above the air discharge port, the valve is opened by the valve opening means in conjunction with this. The normally closed valve is opened to discharge air. Therefore, this method can eliminate the discharge of air that does not contribute to the levitation of the carrier, and can prevent air wastage compared to a method that constantly discharges air from all air discharge ports. can be made smaller.
(発明の効果)
従って、本発明によれば、搬送路のフロアに配設したエ
ア吐出口からのエアの吐出により搬送体を浮上させるよ
うにする一方、各エア吐出0宛に若しくはエア吐出口の
各組宛に常閉弁を設け、搬送体のエアパッドがエア吐出
口上に位置するときのみに開弁手段により当該エア吐出
口の常閉弁を開としてエアの吐出を行なうようにしたか
ら、搬送体にはエア源を搭載したりエア供給用の配管を
接続したりする必要はなく、搬送体の小型化ないしは軽
量化が図れるとともにミエアの浪費を防止してエア源の
小型化を図ることができる。(Effects of the Invention) Therefore, according to the present invention, the conveyance body is levitated by the discharge of air from the air discharge ports disposed on the floor of the conveyance path, and the A normally closed valve is provided for each group, and only when the air pad of the carrier is located above the air outlet, the valve opening means opens the normally closed valve of the air outlet to discharge air. , there is no need to mount an air source on the carrier or connect air supply piping, and the carrier can be made smaller or lighter, and the air source can be made smaller by preventing waste of air. be able to.
(実施例) 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。(Example) Embodiments of the present invention will be described below based on the drawings.
本例は水平循環式駐車設備に本発明を適用したものであ
り、その全体構成は第1図に示されている。In this example, the present invention is applied to a horizontal circulation type parking facility, the overall configuration of which is shown in FIG.
同図において、1は車両(搬送物)を搭載して搬送する
搬送体(搬送台)であり、各々複数の搬送体1を水平に
横方向に搬送する互いに並設された2本の横搬送路2.
3と、この両横搬送路2゜3の端部間で搬送体1を水平
に縦方向に搬送する2本の縦搬送路4,5とにより、水
平循環搬送路が構成されている。この場合、車両の入出
庫は、上記循環搬送路の所定位置(例えば角部)を入出
庫部として、この入出庫部に停止した搬送体に対して行
なうものである。In the figure, reference numeral 1 denotes a conveyor (transport platform) on which vehicles (objects) are loaded and conveyed, and two horizontal conveyors arranged in parallel each carry a plurality of conveyors 1 horizontally and laterally. Road 2.
3 and two vertical conveyance paths 4 and 5 that convey the conveyance body 1 horizontally and vertically between the ends of both lateral conveyance paths 2.degree. 3, forming a horizontal circulation conveyance path. In this case, the vehicle enters and exits the warehouse using a predetermined position (for example, a corner) of the circulation conveyance path as an entry/exit section, and performs the vehicle entry/exit with respect to a conveyance body stopped at the entry/exit section.
各搬送体1には、その下面の縦方向の両端にそれぞれ横
に並べて一対ずつ計4つのエアパッド6が設けられてい
る。一方、上記循環搬送路には、そのフロア7に開口し
た多数のエア吐出口8がこの搬送路に沿って配設されて
いる。すなわち、上記横搬送路2.3には、上記搬送体
1の縦方向両端のエアパッド6.6に対向できるよう縦
方向に間隔をおいて多数のエア吐出口8か横方向に配設
され、上記縦搬送路4,5には、上記搬送体1の横方向
に並設された一対のエアパッド6.6に対向できるよう
横方向に間隔をおいて多数のエア吐出口8が縦方向に配
設されている。Each carrier 1 is provided with a total of four air pads 6, one pair each, arranged horizontally at both longitudinal ends of its lower surface. On the other hand, a large number of air discharge ports 8 opening in the floor 7 are arranged along the circulation conveyance path. That is, in the horizontal conveyance path 2.3, a large number of air discharge ports 8 are arranged in the horizontal direction at intervals in the vertical direction so as to face the air pads 6.6 at both ends of the conveying body 1 in the vertical direction, In the vertical transport paths 4 and 5, a large number of air discharge ports 8 are arranged in the vertical direction at intervals in the horizontal direction so as to face a pair of air pads 6.6 arranged in parallel in the horizontal direction of the transport body 1. It is set up.
上記エアパッド6及びエア吐出口8の具体的な構造は第
2図に示されている。The specific structure of the air pad 6 and air discharge port 8 is shown in FIG.
先にエア吐出口8から説明すると、搬送路のフロア7の
下には、フロアパネル7aを土壁とするエアタンク11
が搬送路に沿って形成されていて、このエアタンク11
にはエア源(ニアコンプレッサ)12か接続されている
。そして、上記フロアパネル7aには、上記エアタンク
11に開口したエア流入口13を有する弁箱14が取り
付けられていて、この弁箱14の上壁に上記フロア7に
開口したエア吐出口8が形成されている。First, starting from the air outlet 8, below the floor 7 of the conveyance path is an air tank 11 whose earth wall is the floor panel 7a.
is formed along the conveyance path, and this air tank 11
An air source (near compressor) 12 is connected to. A valve box 14 having an air inlet 13 that opens to the air tank 11 is attached to the floor panel 7a, and an air outlet 8 that opens to the floor 7 is formed on the upper wall of the valve box 14. has been done.
そうして、上記弁箱14には上記エア吐出口8を通常は
閉塞した状態にするための常閉弁15が設けられている
。この常閉弁15は、弁箱14の上壁下面であって上記
エア吐出口8の周縁部に当接してこのエア吐出口8を閉
塞する環状のシール部材16を有し、弁箱14の底壁を
バックアップとするスプリング17により上記シール部
材16が上記弁箱14の上壁下面に当接するよう付勢さ
れているものである。The valve box 14 is provided with a normally closed valve 15 for normally keeping the air discharge port 8 in a closed state. The normally closed valve 15 has an annular seal member 16 on the lower surface of the upper wall of the valve box 14 that abuts against the peripheral edge of the air outlet 8 to close the air outlet 8. The sealing member 16 is urged to abut against the lower surface of the upper wall of the valve box 14 by a spring 17 backed up by the bottom wall.
また、上記常閉弁15の上面にはこの常閉弁15を開に
するための開弁用突起18が設けられていて、この開弁
用突起18は上記エア吐出口8を通してフロア7の上に
突出している。一方、上記搬送体lの下面には下方へ突
出した支持ロッド〕9が設けられている。そして、この
支持ロッド19に、搬送体1の自重を利用して上記スプ
リング17の付勢に抗して上記開弁用突起18を押し下
げ常閉弁15を開にするための円板状の開弁部材20が
設けられている。Further, a valve opening protrusion 18 for opening the normally closed valve 15 is provided on the upper surface of the normally closed valve 15, and this valve opening protrusion 18 passes through the air discharge port 8 onto the floor 7. It stands out. On the other hand, a support rod 9 projecting downward is provided on the lower surface of the carrier l. A disc-shaped opening is provided on this support rod 19 to push down the valve opening protrusion 18 against the bias of the spring 17 and open the normally closed valve 15 using the weight of the carrier 1. A valve member 20 is provided.
上記開弁用突起18の上端は円錐状に形成され、一方、
開弁部材20の下面周縁部には丸みが形成されていて、
開弁部材20を水平移動させると、上記丸みが円錐部を
摺動しなから開弁用突起18を押し下げ、つまりは常閉
弁15を押しドげで開にするようになっている。The upper end of the valve opening protrusion 18 is formed into a conical shape;
The lower peripheral edge of the valve opening member 20 is rounded,
When the valve opening member 20 is moved horizontally, the roundness slides on the conical portion and pushes down the valve opening projection 18, in other words, the normally closed valve 15 is pushed open.
そう1〜で、上記エアパッド6は、上部に上記支持ロッ
ド19を挿入する挿入孔を有し下部にエアを受は入れる
エア受入口21か開口し側壁が側方に膨らんだゴム製ブ
ーツ22と、上記開弁部材20とにより構成されている
。すなわち、エアパッド6は、ブーツ22の挿入孔の周
縁部が開弁部材20の上面に密閉状態に固定されて、エ
ア受入口21を下向きに開口した袋状のものであり、開
弁部材20の周面とブーツ22の側壁との間にエア溜め
が形成されている。そして、このエアパッド6は、エア
受入れ口21からのエアの受入れと排出とを行なうこと
により、搬送体]をフロア7から浮上せしめるものであ
る。In steps 1 to 1, the air pad 6 has an insertion hole in the upper part into which the support rod 19 is inserted, an air intake port 21 in the lower part to receive air, and a rubber boot 22 with an open side wall and a side wall bulging laterally. , and the valve opening member 20 described above. That is, the air pad 6 has a bag-like shape in which the peripheral edge of the insertion hole of the boot 22 is fixed to the upper surface of the valve opening member 20 in a sealed state, and the air intake port 21 is opened downward. An air reservoir is formed between the circumferential surface and the side wall of the boot 22. The air pad 6 receives and discharges air from the air intake port 21, thereby causing the carrier to float above the floor 7.
従って、上記開弁部材20は、エアパッド6かエア吐出
口8を覆うときのみ、上記開弁用突起18に当接してこ
れを押し下げることになるものである。よって、上記開
弁用突起18と開弁部材20とが、エアバ・・・ドロか
エア吐出口8の上に位置した際にそのことに連係して当
該エア吐出口8の常閉弁コ5を開とするr:’r−#’
手段を構成しているごとになる。Therefore, the valve opening member 20 comes into contact with the valve opening projection 18 and pushes it down only when the air pad 6 or the air discharge port 8 is covered. Therefore, when the valve-opening protrusion 18 and the valve-opening member 20 are positioned above the air valve or air outlet 8, the normally closed valve 5 of the air outlet 8 is opened in conjunction with this. Let open r: 'r-#'
It becomes every thing that constitutes a means.
また、相隣るエア吐出口8,8から突出した開弁用突起
18.18の間隔は、上記開弁部材20の直径よりも狭
くなされ、これにより、開弁部材20は常にいずれか−
の開弁用突起18を押し下げて常閉弁15を開とするよ
うになっている。Further, the interval between the valve opening protrusions 18, 18 protruding from the adjacent air discharge ports 8, 8 is made narrower than the diameter of the valve opening member 20, so that the valve opening member 20 is always connected to either the
The normally closed valve 15 is opened by pushing down the valve opening protrusion 18.
上記搬送体1の移動用駆動手段については図示を省略し
ているか、この駆動にはラック・ビニオン方式、コンベ
アチェーン方式等を採用することができる。The driving means for moving the conveyance body 1 is not shown in the drawings, or a rack and pinion system, a conveyor chain system, etc. can be adopted for this driving.
従って、上記駐車設備においては、各搬送体1が搬送路
にあるときは各エアパッド6の内側の開弁部材20が必
ずいずれか−の開弁用突起18を押し下げて常閉弁15
を開の状態にするため、各エアパッド6は常時いずれか
−のエア吐出口8から吐出するエアを受入れた状態にな
り、各搬送体1はフロア7から浮上することになる。Therefore, in the above parking equipment, when each carrier 1 is on the carrier path, the valve opening member 20 inside each air pad 6 always pushes down one of the valve opening protrusions 18 to open the normally closed valve 15.
In order to open the air pads 6, each air pad 6 always receives air discharged from one of the air discharge ports 8, and each carrier 1 rises from the floor 7.
しかして、上記搬送体1のエアパッド6の外側に位置す
る他のエア吐出口8は、常閉弁15によってエアの吐出
を停止した状態にある。そして、上記搬送体1が移動し
てエアパッド6が当該エア吐出口8の上に来た際にのみ
、そのことに連係して開弁部材20によって上記常閉弁
15が開とされてエアの吐出を行なうことになる。よっ
て、全てのエア吐出口8からエアを常時吐出した状態に
はならず、エアの浪費を防止することができ、またエア
源12の小型化を図ることができるものである。Therefore, the other air discharge ports 8 located outside the air pad 6 of the carrier 1 are in a state where the normally closed valve 15 stops discharging air. Then, only when the carrier 1 moves and the air pad 6 comes above the air discharge port 8, the normally closed valve 15 is opened by the valve opening member 20 in conjunction with this, and the air is released. Discharge will be performed. Therefore, air is not constantly discharged from all of the air discharge ports 8, which makes it possible to prevent waste of air and to reduce the size of the air source 12.
なお、上記実施例ではエア吐出口上へのエアパッドの移
動により機械的に常閉弁を開とするようにしたが、上記
エア吐出口上へのエアパッドの移動を電気的に検出して
常閉弁を開とする方式を採用してもちよい。その場合に
は、例えば常閉弁を電磁弁とし、搬送体ないしはエアパ
ッドの移動位置をフォトセンサやリミットスイッチ、あ
るいはエンコーダを利用して検出し、その検出に基いて
電磁弁を作動せしめるようにすればよい。In the above embodiment, the normally closed valve is mechanically opened by moving the air pad onto the air outlet, but the normally closed valve is opened by electrically detecting the movement of the air pad above the air outlet. A method in which the valve is opened may be adopted. In that case, for example, the normally closed valve may be replaced with a solenoid valve, the moving position of the carrier or air pad may be detected using a photo sensor, a limit switch, or an encoder, and the solenoid valve may be operated based on the detection. Bye.
また、上記実施例では各エア吐出口を常閉弁により直接
閉塞するようにしたか、各エア吐出口にエア供給管を接
続し、このエア供給管に常閉弁を介設するようにしても
よく、また、複数のエア吐出口をまとめて1組とし、各
組宛に常閉弁を設けるようにしてもよい。In addition, in the above embodiment, each air outlet is directly closed by a normally closed valve, or an air supply pipe is connected to each air outlet and a normally closed valve is interposed in this air supply pipe. Alternatively, a plurality of air discharge ports may be combined into one set, and a normally closed valve may be provided for each set.
また、上記実施例は矩形状の循環搬送路に本発明を適用
したものであるが、本発明は単なる直線上の搬送路での
搬送体の移動にも適用することができる。Further, although the above embodiments apply the present invention to a rectangular circulation conveyance path, the present invention can also be applied to movement of a conveyance body on a simple straight conveyance path.
また、本発明が上記水平循環式駐車設備以外の他の搬送
手段、例えば半導体工場のクリーンルームにおける基板
等の搬送にも使用できることはもちろんである。Furthermore, it goes without saying that the present invention can also be used for transportation means other than the above-mentioned horizontal circulation parking facility, such as transportation of substrates, etc. in a clean room of a semiconductor factory.
図面は本発明の実施例を示し、第1図は搬送装置の全体
構成を示す平面図、第2図は搬送体のエアパッドとエア
吐出口との関係を示す断面図である。
2゜
4゜
1・・・・・・搬送体
3・・・・・・横搬送路
5・・・・・・縦搬送路
6・・・・・・エアバラ
フ・・・・・・フロア
ト
8・・・・・・エア吐出口
11・・・・・・エアタンク
12・・・・・・エア源
15・・・・・・常閉弁
18・・・・・・開弁用突起
20・・・・・・開弁部材
ほか2るThe drawings show an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a plan view showing the overall configuration of a conveying device, and FIG. 2 is a sectional view showing the relationship between an air pad and an air discharge port of a conveying body. 2゜4゜1...Carrier 3...Horizontal transfer path 5...Vertical transfer path 6...Air baluff...Floor 8. ... Air discharge port 11 ... Air tank 12 ... Air source 15 ... Normally closed valve 18 ... Valve opening protrusion 20 ...・・・Valve opening member and other 2 items
Claims (1)
アから浮上させた状態で移動させるためのエア浮上式搬
送装置であって、 上記搬送路に沿って配設されこの搬送路のフロアに開口
した多数のエア吐出口と、 各エア吐出口宛に若しくは全エア吐出口が複数の組に分
けられてその各組宛に設けられ、各々エア吐出口からの
エアの吐出及びその停止を行なうための常閉弁と、 上記搬送体の下面に設けられ、上記エア吐出口からのエ
アを受けて搬送体をフロアから浮上せしめるエアパッド
と、 上記搬送体のエアパッドがエア吐出口の上に位置した際
にそのことに連係して当該エア吐出口の常閉弁を開とす
る開弁手段とを備えていることを特徴とするエア浮上式
搬送装置。(1) An air levitation type conveyance device for moving a conveyance body loaded with conveyance objects in a state of floating above the floor of a conveyance path, which is arranged along the conveyance path. A large number of air discharge ports are opened in the floor, and each air discharge port or all air discharge ports are divided into multiple groups and provided for each group. an air pad that is provided on the underside of the carrier and receives air from the air outlet to lift the carrier above the floor; and an air pad of the carrier that is placed above the air outlet. 1. An air floating conveyance device comprising: valve opening means for opening a normally closed valve of the air discharge port in conjunction with the position of the air discharge port.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7958390A JPH03279102A (en) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | Air floatation type transportation device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7958390A JPH03279102A (en) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | Air floatation type transportation device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03279102A true JPH03279102A (en) | 1991-12-10 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7958390A Pending JPH03279102A (en) | 1990-03-27 | 1990-03-27 | Air floatation type transportation device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03279102A (en) |
Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JPH1053308A (en) * | 1996-08-09 | 1998-02-24 | Assa Ind Cs Ltd | System for storing, taking-out and conveying article on plate |
DE102013003022A1 (en) | 2012-02-28 | 2013-08-29 | Fanuc Corporation | Motor drive device equipped with a dynamic deceleration control unit |
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1990
- 1990-03-27 JP JP7958390A patent/JPH03279102A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1053308A (en) * | 1996-08-09 | 1998-02-24 | Assa Ind Cs Ltd | System for storing, taking-out and conveying article on plate |
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