JPH0326903A - 寸法検査方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、被検査物における基準点（固定点など寸法
上の基準になる点）から縁部（角部・稜線部など）まで
の二次元寸法、すなわちＸ寸法（Ｘ軸方向の寸法。たと
えば横向き寸法）とｙ寸法（ｙ軸方向の寸法。たとえば
縦向き寸法）とを、同時に検査する方法および検査装置
に関する。

［従来の技術］ 上記のような二次元寸法検査の対象となる被検査物の一
例として、複写機用のトナー掻き落としブレードがある
。同ブレード（第１図・第２図の符号Ａ）は、一般にポ
リウレタンで形戊されたブレード本体（符号Ａａ）とそ
の取付用金具（符号Ａｂ）とからなる。金具部分で複写
機内に取り付けられてブレード本体の稜線が感光ドラム
の表面に押し付けられ、この稜線によって、感光トラム
の表面に残ったトナーを掻き落とす。

金具の取付点からブレードの稜線までの二次元寸法（第
１図のＸ軸・ｙ軸方向の各寸法）が規定どおりでなけれ
ばトナーを十分に掻き落とせないため、これらの寸法は
厳密にチェックされなければならない。

こうしたブレードの寸法検査は、従来、下記の方法で行
われていた。すなわち、 ａ）金具の取付点を基準点として固定したうえ、ダイヤ
ルゲージなどの接触式測定器をＸおよびｙ方向から上記
稜線に当て、その指示値（測定値）により寸法の良否を
判定する。

ｂ）金具の取付点を基準点として固定するとともに、光
源・レンズなどからなる投影器をＸおよびｙ方向に向け
てやはり固定し、これにより拡大した稜線の像をスクリ
ーン上に投影したうえ、その像を見て、稜線の位置（つ
まり取付点からの寸法）が所定の範囲内かどうかを判定
する。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のような従来の方法は、いずれも、Ｘ寸法およびｙ
寸法を二段階に分けて検査するものであった。つまり、
接触式測定器（上記ａ）の方法）または投影器（同ｂ）
の方法）に上り、まずＸ軸方向の寸法を検査したうえ、
同様にｙ軸方向の検査をしなければならない。このため
、Ｉ組の４ｌ１１定器または投影器による場合には、２
工程の検査が必要なので時間がかかり、一方、ｌ工程で
ほぼ同時にＸおよびｙ寸法を検査しようとすれば、２組
の測定器または投影器が必要となって設備費やその設置
スペース、あるいは検査人員が増える。

とくに上記ａ）の方法では、測定器の接触子をブレード
本体に押し当てるため、押圧力の違いから測定誤差が生
じやすい。押圧力については、個人差があるうえ、同一
人であっても常に一定とは限らないので、この方法によ
る検査精度には限界がある。また、ブレードはＸ軸・ｙ
軸方向と直角な方向（第１図で紙面と直角な方向）に相
当の長さをもつが、その全長にわたって連続的に検査を
行うことは、この方向によっては不可能である。

なお、こういった二次元寸法検査に関する不都合は、例
にあげた複写機用のブレードに限らず、基準点から特定
の縁部までのＸおよびｙ寸法を検査する必要のある各種
被検査物について共通ずるものである。

この発明の目的は、上述したＸおよびｙ寸法の検査をｌ
工程で（つまり同時に）精度よく行うことのできる方法
、および、その検査方法を最少人員で迅速に実施するた
めの装置を提供することである。

［課題を解決するための手段］ この発明の寸法検査方法は、被検査物における基準点か
ら縁部までのＸ寸法およびｙ寸法を検査する方法であっ
て、 ｛）ｘ軸・ｙ軸のいずれにも平行でない鏡面体″を、そ
のエッジが被検査物の縁部に対しＸ軸方向には離れｙ軸
方向には重なる位置にして、上記基準点位置から不動に
配置しておき、０上記縁部とエッジと鏡面体に映る縁部
とを、Ｘ軸と直角な方向に投影し、 ハ）その投影像における縁部とエッジとの間隔により上
記Ｘ寸法を検査し、同じく投影像におけるエッジと鏡面
体に映った縁部との間隔によりｙ寸法を検査する 一ものである。

またこの発明の寸法検査装置は、被検査物における基準
点から縁部までのＸおよびｙの二次元寸法を検査する装
置であって、■上記基準点を固定して被検査物を取り付
ける取付台、■角度およびエッジの位置を適宜に設定し
て上記基準点位置から不動に配置される鏡面体、■光源
およびレンズを含み、上記縁部と鏡面体のエッジと鏡面
体に映る縁部とをＸ軸と直角な方向に投影する投影器、
■上記投影器による結像位置に受光面が配置され、投影
像における各部の明暗に応じた電気信号を出力するイメ
ージセンサー一−を備えたしのである。

紅お、この検査装［Ｒについては、請求項３に記載（２
たとおり、−ヒ記の取付台をＸ軸・ｙ軸と直角な方向に
移動可能にしたり、請求項４のとおり、投影像における
上記明暗の間隔が一定値を超えまたは下回るとき被検査
物の異常を報知する構戊にしたりするのもよい。

［作用］ この発明の寸法検査方法に従って被検査物と鏡面体とを
配置した場合、Ｘ軸と直角な方向（たとえばｙ軸方向）
から鏡面体のエッジ付近を見れば、被検査物の縁部と鏡
面体のエッジのほか、鏡面体に映った被検査物の縁部が
見える。

なぜなら鏡面体は、この縁部を映すよう上記イ）のとお
りに、Ｘ軸・ｙ軸のいずれにも平行でなく、そのエッジ
が被検査物の縁部に対しＸ軸方向には離れｙ軸方向には
重なる偉置に置いたからである。

−Ｅ記の方向から見たエッジと縁部との間隔（よエッジ
から縁部までのＸ寸法にほかならず、そのとき鏡面体に
映って見える縁部とエッジとの間隔には、エッジから縁
部までのｙ　Ｘｔ法が表われている。そこで４二記０の
ように、縁部とエッジと鏡面体に映る縁部とを投影した
うえ、投影像における上記二つの間隔を測定（絶対値は
測らずに標準寸法と比較するだけでもよい）する。

縁部とエッジと鏡面体に映る律部とは投影像においても
この順に並んで現われ、上記の二間隔が隣合うことから
、上記ｉ；ｔ１定はＩＩＪ’Ａで容易に行われる。

被検査物の基準点位置に対し鏡面体は不動に配置され、
したがって基準点に対するエッジの位置関係も一定であ
るため、ヒ紀で測定した二間隔、つまりエッジから縁部
までのＸおよびｙ寸法を表わす間隔により、ハ）のよう
に被検査物における居準点から縁部までのＸ寸法および
ｙ寸法を知ることができる。なお、この検査方法は非接
触式のものであるため、個人差による誤差は生じにくい
。

この発明の寸法検査装置（請求項２）は、取付台上に取
り付けた被検査物における基準点から縁部までの二次元
寸法を、上記の鏡面体と投影器とを用い、上述の検査方
法に従って実現できるしのであるが、上記投影像をイメ
ージセンサー（光電変換器）の受光面に結像するよう構
成したしのである。イメージセンサーは投影像における
各部の明暗に応じた電気信号を出力するが、その受光面
には投影器により上記の二間隔を明・暗に分けた像が結
像されるので、っよりは各間隔に応じた信号が出力され
る。この信号は、」二連のようにエッノから縁部よでの
Ｘおよびｙ寸法に対応するものであるため、この信号に
より被検査物の基準点から縁部までのＸ１ｙ寸法を知り
得る。その際、電気信号の処理によって、各寸法の絶対
値をそのまま表示したり、規定値に対する許容範囲内に
あるかどうかを表示したりすることができる。

したがって、この検査装置によるＬ記Ｘおよびｙ寸法の
検査は、最少限（一人）の人員により、１工程で迅速に
行われる。

請求項３に記載の寸法検査装置によれば、Ｘ軸・ｙ軸方
向には基準点を固定したまま、被検査物を取付台ととも
にＸ軸・ｙ軸と直角な方向へ移動できるため、その方向
に及ぶ連続的な寸法検査が可能である。

また請求項４の寸法検査装置では、被検査物の基準点か
ら縁部までのＸおよびｙ寸法が規定の範囲内にあるかど
うか、つまり被検査物の良否の判定が、検査員によらず
装置自体によってなされる。

［実施例］ この発明の一実施例である寸法検査装置の正面図および
側面図を第２図（ａ）・（ｂ）に示す。

この装置の検査対象は、複写機（図示せず）用のトナー
掻き落としブレードＡである。ブレードＡは、ポリウレ
タン製のブレード本体Ａａと取付用金ＩＡｂとを一体に
して製造されたもので、金具Ａｂに設けた切欠きＡｃを
複写機内取付フレーム上の突起（図示せず）に嵌合して
位置ぎめされたうえネジ穴＾ｄの部分で同フレームにネ
ジどめされる。そしてブレードＡは、感光ドラム（図示
せず）の表面に当接する本体＾ａの一稜線（後述の稜線
Ｐ）を用いてトナーを掻き落とす。

図示の検査装置は、製造されたブレードＡについて、金
具Ａｂの取付点つまり切欠きＡｃを基準点とし、これか
ら上記稜線までの二次元寸法が規定どおり（設計上の許
容範囲内）かどうかを検査するものである。

第２図の装置を説明する前に、この装置の基本構成と検
査原理を第１図（ａ）〜（ｄ）に基づいてまず説明する
。同図（ａ）は第２図（ｂ）の要部を拡大し断面表示し
たものであるが、これに示す通り、本装置にはブレード
Ａの取付台ＩＯ、傾斜した鏡面をもつプリズムミラー２
０，レンズ３ｌや光源３６・３７を有する投影器３０、
そして受光面４ｌを含むイメージセンサー４ｏが備わっ
ている。

取付台ｌＯには、上記した複写機内取付フレームと同じ
突起１０ａが形成されており、これに金具＾ｂの切欠き
ＡＣを嵌め合わせてブレードＡが取り付けられる。切欠
きＡｃからブレード本体Ａａの稜線Ｐまでの二次元寸法
が検査されるべき寸法であるため、その切欠きＡＣに嵌
まる突起１０ａの位置は同図（ａ）の平面内では動かな
いようにしておく。なお、二次元寸法をＸおよびｙで表
わすために、以下では突起ｌｅａの付け根の中央位置を
原点Ｏとし、これより図の左方向（ブレードＡのいわば
「倒れ」の方向）にＸ軸をとり、それと直角な方向（ブ
レードＡの幅の方向）にｙ軸をとるものとする。この上
うなＸおよびｙを用いて表わせば、必要な検査は、稜線
Ｐの座標（ｘ　ｐ，　ｙ　ｐ）を知り、それが規定どお
りかを判定することだといえる。

プリズムミラー２０は、その鏡面がＸ軸およびｙ軸と４
５゜をなす角度に配置され、同図（ｂ）のように、鏡面
下端にあるストレートエッジＱが稜線Ｐに対してＸ軸方
向にはやや（０　．　５１ｍｍ程度）離れ（つまり座標
でいえばＸＱ＞ＸＰ）、ｙ軸方向にはやや（同上）重な
る（つまり　ｙ　Ｑ＜　ｙ　ｐ）位置になるよう固定し
ている。Ｘ軸・ｙ軸方向のこれらの離れおよび重なりの
寸法を、それぞれΔｘ１Δｙとする。原点Ｏおよびエッ
ジＱの位置は不動であるが、稜線Ｐの位置はブレードＡ
ごとに異なるため、寸法Δｘ１Δｙ　にはブレード八の
個々の寸法差がそのまま現われる。いいかえれば、稜線
Ｐの座標（ｘ　ｐ，　ｙ　ｐ）に代えて、寸法Δｘ１Δ
ｙを知ることにより所期の検査を行うことができる。

投影器３０は、後述する受光面４Ｌ上に稜ＲＰ付近の拡
大（ｍ倍の）投影像を結ぶためのらので、一組のレンズ
３１にくわえ、下方（ｙ軸の負方向）および右方（ｘｔ
ｄＢの負方向）にそれぞれ光源３６・３７を備えている
。なお、拡大倍率ｍはたとえば２０倍前後とする。

こうした投影器３０によって、イメージセンサー４０の
受光面４ｌには第１図（ｃ）のような像が結ばれる。同
図中の線ｐは稜線Ｐの投影像、線ｑはエッジＱの投影像
、そして線ｐ′はミラー２０に映った稜線Ｐの投影像で
ある。この場合、線ｐと線ｑとの間には、光源３６から
稜線ＰとエッジＱとの間隔ΔＸ　を通る光による明部が
でき、線ｑとＪｉｉｉｐ’との間には、光源３６の光が
ミラー２０で遮られるとともに光源３７の光に対して影
になる寸法Δｙ　の部分による暗部ができる。また図中
で、線ｐより右側はどちらの光も当たらない暗部となり
、線ｐ゛より左側はミラー２０で反射された光源３７の
光による明郎となる。Ｘ軸と直角な方向に投影している
ために線ｐと線ｑとの間隔６ｘはΔＸＸｍ　に等しく、
ミラー２０の傾斜が４５′″であるため線ｑとｌａｐ’
との間隔δｙはΔｙｘｍに等しい（δｘ１δｙとも０．
５＋ｕａＸ　２０＝　ｌＱｖａ前後である）。このため
、間隔６ｘおよびδｙの寸法は、稜線Ｐの座標（ｘ　ｐ
，　ｙ　ｐ）に関する固体差を、ｍ倍に拡大して表わし
ているといえる。

イメージセンサー４０の受光面４１には受光窓４２を開
設し、この窓４２内に、【個あたりの大きさがｌ７μｍ
の受光素子を約２０００個、線ｐ・線ｑ・線ｐ゜と直角
な方向に密に配列している。各素子は光を受けたとき正
の電圧信号を出すので、本図（ｅ）に示す投影像を受け
たときの全素子の信号を並べると本図（ｄ）のようにな
る。受光窓４２では、（ｍ＝）２０倍に拡大された投影
像を１個あたり１７μｍの素子で感知するため、ブレー
ドＡにおけるＩμｖａ　（　一０．００１ｍｍ）前後の
寸法誤差が読みとれる。

イメージセンサー４０のコントローラ（図示せず）は、
上記各素子からの信号を２値化して明部・暗部に区分し
、間隔δＸおよび６ｙに対応する信号に置き換えたうえ
、それらが設定範囲（ブレードＡの規定寸法に合わせた
もの）にあるかどうかを判定する。こうして間隔δＸ　
またはδｙが設定範囲から外れていると判定される場合
は、稜線Ｐの座標（ｘ　ｐ，　ｙ　ｐ）が規定どおりで
ないので、イメージセンサー４０のコントローラはブレ
ードＡの寸法が不良（異常）であることを示す信号を出
力し、ブザーやランプなどにより警報する。

さて、第２図の装置は、基本的には以上のようにしてブ
レードＡの寸法検査を行うものである。プリズムミラー
２０は台盤ｌ上の支持Ｗ２１により水平位置および高さ
調整可能に支持され、投影器３０（光源は別）およびイ
メーノセンサー４０は支持柱２に対し上下位置調整可能
に取り付けられている。また、支持柱２に付設したハロ
ゲンランプ３５から光ファイバー３８が２束とり出され
、光源３６・３７としての発光端へそれぞれ導かれてい
る。

そして、前述した二次元寸法の検査をブレードＡの全長
にわたって実施できるように、取付台１０については、
第２図（ａ）の左右、つまり前記Ｘ袖・ｙ軸と直角なＺ
軸の方向にスライドできる構造にした。すなわち、取付
台ＩＯをスライドベース１１七に配置し、このヘースｌ
１を軌道ｌ２に載せるとともに、サーボモータｌ４に連
結した送りネジｌ３にベース１｛の一部を螺合させてい
る。

サーボモータｌ４を駆動することにより、ブレードＡは
取付台ｌＯ・ベースｔｉとともに２軸方向に移動する。

ただしこれらは、前述の通りＸ軸・ｙ軸方向には（つま
り第２図（ｂ）の紙面内では）不動である。

またスライドベース１１には、取付台１０にブレードＡ
を固定するためのロークリークランプｌ５を付設してい
る。ブレードＡの切欠きＡＣを取付台１０の突起１０ａ
に嵌めたうえ、このクランブｌ５のアーム１５ａを回し
て引き寄せれば、ブレードＡは取付台ｌＯに抑圧固定さ
れるので、ネノ穴Ａｄにネジを通して固定するより能率
的である。

この検査装置を使用して同一種の多数のブレードＡに関
し上記の二次元寸法を検査する場合、最初にブレードＡ
に合わせ゛てミラー２０や段影翫３０、イメージセンサ
ー４０などの位置シ１１整を行えば、あとは次の手順を
繰り返せばよい。

■ロークリークランプｌ５を用い、上記の要領でブレー
ドＡを取付台ｉｏに取り付ける。

■サーボモータｌ４を駆動して、取付台ＩＯなどととも
にブレードＡを２軸方向に移動させる。

■ブレードＡが移動する間、その寸法検査が前述の原理
で続けられ、いずれかの箇所でＸ、ｙどちらかの寸法が
規定範囲外になれば「寸法不良」として警報が出される
。

■ブレードＡＪ＜ｚ軸方向に移動し終わると、口−クリ
ークランプｌ５による固定を解除してブレードＡを取り
外す。このとき、警報のあったブレードＡは不良品とし
て除外し、警報のなかったものだけを合格品とする。

このように、本装置による寸法検査については、■非接
触式の検査であることに加え、検査員（立会員）は主と
してブレードＡの着脱を行うだけでよく、測艮・判定と
いった作業が不要なので、人為的ミスが生じにくい、■
ブレードＡの全長（Ｚ軸方向）に及ぶ連続的な検査がで
きる、◎Ｘ寸法およびｙ寸法の検査がｌ工程で即座に、
しかも立会員１名により容易に行われる一といった利点
がある。

続いて、この発明の他の実施例について説明する。第ｌ
実施例（第１・２図）と共通する部分については、同一
の符号を付して詳細な説明は省略する。

第３図に第２実施例の寸法検査装置の基本構成を示す。

本装置は、概要的には第１実施例の装置とほぼ同様に構
成されているが、図示のように、投影用の光の使い方に
関して相違する。

すなわち、１個の光源３２とハーフミラー３３とを組み
込んだ投影器３０゜を用い、その先源３２から発せられ
て被検査物Ｂで反射された光による投影像をイメージセ
ンサー４０の受光面４ｌに結像させている。

したがって、受光面４ｌ上にはやはり線ｐ（稜線Ｐの像
）、線ｑ（エッジＱの像）、および線ｐ゛（漉而体２０
に写った稜線Ｐの像）がこの順に並んで投影されるが、
各線間の明暗は前記第ｌ実施例におけるもの（第１図（
ｃ）参照）と逆になる。第ｌ実施例では光源（２個）か
らの光のうち被検査物のそばを通った光が明部となるの
に対し、本実施例の装置では、被検査物Ｂに当たって反
射した光が明部として受光面４ｌに結像されるからであ
る。本装置においても、この投影像からイメーノセンザ
−４０が被検査物Ｂの寸法の良否を判定する。投影像の
明暗を明確にする点から、被検査物Ｂとしてはその表面
の光反射率のよいものが好適である。

第４図は、この発明の第３実施例に関する原理図である
。この実施例は第１実施例（第１図）と同様に、組レン
ズ７ｌおよび光源７２・７３を何する投影器により受光
面８１上に投影像を結ばせるものであるが、Ｘ軸・ｙ軸
が斜交座漂系をなすケースである。この被検査物Ｃには
縁部Ｐの下方に凸部Ｃａがあるので、ｙ軸の方向に光を
照射しても凸部Ｃａに遮られて縁部Ｐの像を投影するこ
とかできない。そこで、直交座標系に代わる図のような
斜交座標系での縁部ＰのＸＳｙ座標により、被検査物Ｃ
の寸法検査を行うのである。すなわち、このＸ袖と直角
な方向に像を投影して線ｐ・線ｑの間隔から縁部ＰのＸ
座標を知り、線ｑ・線ｐ゜の間隔から（座標軸間の角度
および鏡面体６ｌの傾斜角度等に基づく補正をして）そ
のｙ座標を知る。

第５図（ａ）・（ｂ）に示す第４実施例は、積極的には
光源を用いず、またイメージセンサーによる自動判定を
省略した検査装置を表わしている。そしてこの例では、
被検査物Ｄが円柱体であり（円柱体以外のものでも検査
できる）、取付心Ｄｃを基準点として、これに対する外
周面上の２縁部Ｄａ−ＤｂにつきそれぞれＸ寸法・ｙ寸
法を検査して、被検査物Ｄの偏心度をチェックする。

被検査物Ｄに対してたとえば明白色な背景体７５・７６
を配置し、レンズ７４を投影器としてスクリーン８２（
たとえば磨リガラス）上に、被検査物Ｄの縁部Ｄａの像
（線ｄａ）、鏡面体６２のエツジＱの像（線ｑ）、およ
び鏡而体６２に映った縁部Ｄｂの像（線ｄｂ）を同図（
ｂ）のように拡大投影ずる。被検査物Ｄと背景体７５・
７６とのコントラストからこれらの像は明確に判別でき
るうえ、スクリーン８２には、上記Ｘ寸法・ｙ寸法の規
定（直（許容偏心度）に対応する限界線８２ａ・８２ｂ
を表示してある（鏡面体６２の位置が不動なので線ｑは
不動）ので、被検査物Ｄの寸法の良否は１］視により容
易かつ迅速に判定できる。

最後に第６図は、レンズを用いない簡易な検査を表わし
ている。被検査物Ｅの縁部Ｐおよび鏡而体のエッジＱの
付近が拡大して投影されるように、光源７７・７８とし
て点光源（またはＺ軸方向に長い線光源）を配置すると
ともに鏡面体６３の角度設定をしたうえ、縁部Ｐやエソ
ノＱに基づく像（レンズによる結像ではなく影としての
像）を図のようにスクリーン８３上に投影する。

この像について、目視判定あるいはイメージセンサーに
よる信号処理を行えば、他の実施例と同様に被検査物Ｅ
の縁部Ｐに関する二次元寸法検査かできる。

［発明の効果］ この発明の寸法検査方法によれば、一つの投影像に並ん
で現われる二つの間隔によって、必要な二次元の寸法が
一度に検査できる。

またこの発明の寸法検査装置によれば、二次元寸法の検
査が、検査員ｌ名による１工程で迅速・容易に行われる
うえ、検査上の個人差がなくｔヱる。

さらに、請求項３の検査装置によれば、彼検査物の長手
方向の全箇所について連続的に検査することができ、請
求項４の装置によれば、被検査物の良否判定に関する人
為的ミスが皆無にムる。−

【図面の簡単な説明】

第１図・第２図はこの発明の第ｌ実施例に関するもので
ある。第１図（ａ）は基本構成および検査原理を示す図
面であり、同図（ｂ）はそのｂ部拡大図、同図（ｃ）は
そのｅ−Ｃ郎矢視図、同図（ｄ）はイメージセンサーの
電圧信号図である。 また第２図（ａ）は寸法検査装置の正面図、同図（ｂ）
はそのｂ−ｂ郎矢視図（側面図）である。 第３図・第４図・第５図（ａ）・第６図は、それぞれ第
２・第３・第４・第５の実施例に関する基本構成図また
は検査原理図である。なお第５図（ｂ）は、同図（ａ）
で投影像を受けたスクリーンの平面図である。 １０・・・取付台、２０，６１，６２．６３・・・鏡面
体（２０はプリズムミラー）　、３０．３０’・・・投
影器、４０・イメージセンサー、４１，８１．８２．８
３・・受光面（８２。８３はスクリーン）　、Ａ．Ｂ，
Ｃ，Ｄ，Ｅ・・・被検査物（Ａはブレード）、Ｐ・・・
縁部（または稜線）、Ｑ・・エッソ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被検査物における基準点から縁部までのｘおよびｙ
   の二次元寸法を検査する方法であって、イ）ｘ軸・ｙ軸
   のいずれにも平行でない鏡面体を、そのエッジが被検査
   物の縁部に対しｘ軸方向には離れｙ軸方向には重なる位
   置にして、上記基準点位置から不動に配置しておき、 ロ）上記縁部とエッジと鏡面体に映る縁部とを、ｘ軸と
   直角な方向に投影し、 ハ）その投影像における縁部とエッジとの間隔により上
   記ｘの寸法を検査し、同じく投影像におけるエッジと鏡
   面体に映った縁部との間隔によりｙの寸法を検査する ことを特徴とする寸法検査方法。 ２、被検査物における基準点から縁部までのｘおよびｙ
   の二次元寸法を検査する装置であって、上記基準点を固
   定して被検査物を取り付ける取付台、 角度およびエッジの位置を適宜に設定して上記基準点位
   置から不動に配置される鏡面体、光源およびレンズを含
   み、上記縁部と鏡面体のエッジと鏡面体に映る縁部とを
   ｘ軸と直角な方向に投影する投影器、 および、上記投影器による結像位置に受光面が配置され
   、投影像における各部の明暗に応じた電気信号を出力す
   るイメージセンサー を備えたことを特徴とする寸法検査装置。 ３、上記の取付台を、ｘ軸・ｙ軸と直角な方向に移動可
   能にした請求項２に記載の寸法検査装置。 ４、投影像における上記明暗の間隔が一定値を超え、ま
   たは下回るとき、被検査物の異常を報知する請求項２ま
   たは３に記載の寸法検査装置。