JPH03265713A - 静圧摺動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、静圧摺動装置に関する。

［従来の技術］ 近年、例えば精密加工機等における直線運動要素として
静圧軸受を応用した静圧摺動機構を有するものが実用化
されている。

この静圧摺動機構は、直線運動の対象となる摺動部材と
、その運動方向を瓜定するガイド部材とを有し、両者の
対向面で形成される間隙に、空気や油圧による静圧流体
を供給して、摺動部材を非接触で支持する。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、このような静圧摺動機構は、上記摺動部材と
ガイド部材とが、スチール等の金属で形成されている。

このため、静圧摺動機構の設計に際しては、防錆対策を
施す必要があり、これに伴って上記静圧流体も、金属の
腐食を生じないものを用いなければならない。そこで、
静圧流体に液体を用いる場合には、静圧流体は主に油系
のもに限定されることになる。

したがって、従来の静圧摺動機構では、静圧流体の供給
機構に油圧装置を設ける必要があり、排出された油の処
理も煩雑となることから、装置が大型化するとともに、
コストも高くなるという欠点があった。また、油の温度
上昇により精度の低下を招く問題もある。

本発明は、防錆等を考慮することなく静圧流体を選択で
き、簡易な構成で装置の小型化および低廉化を達成でき
、環境保全や安全性の面でも優れた静圧摺動装置を提供
することを目的とする。

［課題を解決する手段Ｊ 本発明は、互いに間隙を有して配置されるガイド部材と
摺動部材とを有し、上記間隙に静圧流体を供給して摺動
部材を摺動（スライド）自在に保持する静圧摺動装置に
おいて、上記ガイド部材と摺動部材とを、セラミックス
またはセラミックスと合成樹脂より形成したことを特徴
とする。

［作用１ 本発明では、静圧摺動装置を構成する部材（ガイド部材
および摺動部材）を、セラミックスまたはセラミックス
と合成樹脂により形成したことから、防錆等を考慮する
ことなく静圧流体を選択できる。

したがって、例えば静圧流体に水道水や工業用水を用い
ることにより、その循環や排水の処理が容易となり、装
置構成が簡易となって小型化および低廉化を達成できる
。また、静圧流体自体も安価なものを用いることができ
る。

また、静圧摺動装置においては、静圧流体に有害物質が
混じることはないので、静圧流体が水であれば、その排
水によって環境汚染を招く恐れもなく、さらに不燃性で
あるので安全性の面でも優れたものとなる。

また、静圧流体に水を用いれば、油圧のように温度上昇
を招くこともなく、そのための精度低下を防止すること
ができる。

さらに、静圧流体の選択の幅が広がるので、この静圧摺
動装置を用いる場所等の条件に応じて最適なものを選択
することが可能となる。

例えば、この静圧摺動装置を海の近くで用いる場合には
、海水を使うことが可能である。また、この静圧摺動装
置を腐食性ガスを扱う工場内で用いる場合には、その腐
食性ガスを静圧流体として使うことも可能である。

［実施例］ 第１図は、本発明の一実施例を示す構成図である。

この静圧摺動（スライド）装置は、断面が台形のスライ
ダ（摺動部材）ｌを支持するものであり、ガイド部材２
として、スライダｌの下面をガイドするベース３と、ス
ライダ１の両側面をガイドする一対のガイドプレート４
．５とを互いに接合した構造を有する。

また、この静圧摺動装置の静圧流体には、水を用いてい
る。

上記スライダｌ、ベース３および各ガイドプレート４．
５は、それぞれセラミックスより形成されている。

ベース３および各ガイドプレート４，５のスライダｌに
対向する面には、適宜箇所に複数のポケット６が形成さ
れており、ここに静圧流体の供給孔７の一方の開口が臨
んでいる。

また、ベース３および各ガイドプレート４．５の外側面
には、上記供給孔７の他方の開口が臨んでおり、この開
口に取付は部材９を介して供給管１０が接続されている
。

また、ベース３のスライダｌに対向する面の中央には、
排出溝１２が形成され、ここに排出孔８の一方の開口が
臨んでいる。また、ベース３の外側面には、上記排出孔
８の他方の開口が臨んでおり、この開口に取付は部材９
を介して排出管１１が接続されている。

このような静圧摺動装置では、供給管１０から予め設定
された圧力に水を供給する。また、上記排出管１１によ
る排水経路は常に開放されており、供給管ｌＯから供給
された水は、一定量ずつ排出されていく。

このような水の循環により、スライダ１とベース３およ
び各ガイドプレート４．５の対向面間に、水による膜を
形成し、スライダ１を所定の間隙１３をもって浮上状態
に保持する。

以上のように本実施例では、静圧流体に水を用いたこと
から、その排水の処理も容易であり、油圧方式の場合の
ように何等かの理由で引火するようなこともなく、高い
安全性を得ることができる。

また、水は比熱が大きいので、熱安定性が高く、機械系
の加熱を抑えて精度の向上を図ることができる。

なお、上記実施例では、スライダ１とガイド部材２を、
全てセラミックスより形成したが、強度等の許す範囲で
、一部を合成樹脂により形成してもよい。また、静圧流
体も水に限らず、他の水溶液等であってもよく、さらに
液体に限らず気体を用いてもよい。

また、スライダｌとガイド部材２の具体的構造も、例え
ば第２図（ａ）〜（Ｃ）に示すように、種々の変更が可
能である。

［発明の効果］ 本発明によれば、静圧摺動装置の構成部材をセラミック
ス等で形成することにより、簡易な構成で装置の小型化
および低廉化を達成でき、環境の保全性や火災等に対す
る安全性を向」二できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示す構成図である。 第２図（ａ）〜（Ｃ）は、それぞれ本発明の変形例を示
す説明図である。 １・・・スライダ（摺動部材）、 ２・・・ガイド部材、 ３・・・ベース、 ４．５・・・ガイドプレート、 ｌＯ・・・供給管、 １１・・・排出管。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）互いに間隙を有して配置されるガイド部材と摺動
   部材とを有し、上記間隙に静圧流体を供給して摺動部材
   を摺動自在に保持する静圧摺動装置において、 上記ガイド部材と摺動部材とを、セラミックスまたはセ
   ラミックスと合成樹脂より形成したことを特徴とする静
   圧摺動装置。
2. （２）請求項（１）において、 上記静圧流体は、水または水を主体とする液体であるこ
   とを特徴とする静圧摺動装置。