JPH0326440Y2 - - Google Patents

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JPH0326440Y2
JPH0326440Y2 JP17610884U JP17610884U JPH0326440Y2 JP H0326440 Y2 JPH0326440 Y2 JP H0326440Y2 JP 17610884 U JP17610884 U JP 17610884U JP 17610884 U JP17610884 U JP 17610884U JP H0326440 Y2 JPH0326440 Y2 JP H0326440Y2
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【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、磁気デイスク装置におけるデイスク
エンクロジヤー内の部品毎に発生する塵埃量、又
は各種装置において単品から発生する微細且つ微
少量の塵埃の量についての測定試験装置に関する
ものである。
磁気デイスク装置において、磁気デイスクの記
録を読出し又は磁気デイスクに書込むためのヘツ
ドと当該磁気デイスクとの間に、読出し又は書込
み時に塵埃が入ると、磁気デイスクの表面の磁性
塗料が塵埃により傷つけられて磁気デイスクが不
良品となる事故の原因になる。この事故をヘツド
クラツシユと称する。磁気デイスク装置において
ヘツドクラツシユの原因となり得る塵埃は、磁気
デイスク装置の稼働中に該装置内の各部品から発
生するものである。従つて、磁気デイスク装置の
デイスクエンクロジヤー内で発生する塵埃量を所
定値以下となし得る設計をとるために、このよう
に発生する塵埃量を測定試験することが必要であ
る。
ところで、読出し又は書込み時におけるヘツド
の浮上量は、従来0.3μ程度であつたのに対し、現
在は0.18μ程度に小さくなつているため、従来の
浮上量においてはヘツドと磁気デイスクとの間の
隙間を素通りしてしまいヘツドクラツシユの原因
となることがない微細な塵埃又は微少量の塵埃で
も、現在の浮上量においてはヘツドクラツシユを
生ずる虞が高い。従つて磁気デイスク装置におい
て一層厳格に塵埃量を規制することが要求される
ようになつた。従つて磁気デイスク装置のデイス
クエンクロジヤー内の部品毎に、該磁気デイスク
装置の稼働中に発生する塵埃量を測定試験する必
要が生じた。
〔従来の技術〕
従来磁気デイスク装置のデイスクエンクロジヤ
ー内の部品について、単品毎に発生する塵埃量を
測定試験する装置はなかつた。
従来塵埃量を測定試験する方法としては、磁気
デイスク装置を完成品に組んで、該完成品に設け
た口に塵埃量カウンタを接続することにより、磁
気デイスク装置において発生する塵埃の総量を測
定していたが、この方法によつて単品に発生する
塵埃量を測定することは不可能である。
〔考案が解決しようとする問題点〕
磁気デイスク装置のデイスクエンクロジヤー内
の単品毎に発生する塵埃量を、微細且つ微少量な
塵埃まで含めて、正確に測定試験する装置が必要
である。しかも、磁気デイスク装置のデイスクエ
ンクロジヤー内の部品点数が通例約500点に及ぶ
という事情に鑑みて、上記単品毎の塵埃量測定試
験を要領良く簡単に行うことが必要である。
〔問題点を解決するための手段〕
本考案は、上記問題点を解消した単品毎に試料
とすることができる塵埃量測定試験装置を提供す
るもので、その手段は、試料交換時に開閉可能の
密閉室と、該密閉室内に入れた試料に振動を与え
る加振機と、無塵性ガスをヒーター管を経てガス
供給口から前記密閉室内に供給するガス供給装置
と、前記密閉室内のガスをガス導出口から密閉室
外に導いて該ガス中の塵埃量を計測する塵埃量カ
ウンタと、試料交換時に高圧の無塵性ガスを前記
密閉室内に供給する加圧ノズル該密閉室内の温度
を管理する温度計測装置とからなり、前記ガス供
給口の近傍における前記密閉室の内壁は拡開する
テーパー面であり、前記ガス導出口の近傍におけ
る前記密閉室の内壁は縮小するテーパー面であ
り、両テーパー面間の前記密閉室の内壁は円滑な
形状となつていることを特徴とする塵埃量測定試
験装置によつてなされる。
〔作用〕
上記塵埃量測定試験装置は、試料を入れた密閉
室内に無塵性ガスを供給して上記試料から発生す
る塵埃をガスに含ませ、このガスを塵埃量カウン
タに導くことにより塵埃量の測定を行うことがで
きるから、試料としてそれ自体密閉構造であるこ
とを要せず、従つて各種装置の部品単品を試料と
して塵埃量の測定を行うことが可能である。
また上記塵埃量測定試験装置は加振機及びヒー
ターを具備するから、当該試料の使用環境と同一
の振動条件及び温度条件をシミユレーシヨンする
ことができ、従つて試料の使用状況に応じた塵埃
量測定試験を行うことができる。
密閉室の内壁は、拡開するテーパー面と縮小す
るテーパー面との間に円滑な形状を設けてなるも
のであるから、密閉室内でガス供給口からガス導
出口に至る無塵性ガスの流れに淀みがなく、従つ
て密閉室内の試料から発生した塵埃の全量を塵埃
量カウンタにおいて短時間に且つ完全に測定対象
となし得るものである。従つて測定試験の精度と
作業能率を向上することができる。
試料交換時に加圧ノズルから供給される無塵性
ガスにて密閉室内を高圧に保つことにより、外気
の塵埃が密閉室内に浸入することを防止すること
ができる。従つて新たな試料を入れた密閉室を閉
じてから、直ちに、加振に基づき該試料が発生す
る塵埃量の測定を開始することができ、従つて作
業能率を向上し得る。また、上記のように試料交
換時に外気の塵埃が密閉室内に浸入することがな
いから、新たな試料についての塵埃量の測定の精
度を向上するのに貢献し得る。
〔実施例〕
以下、図面を参照して本考案の実施例を詳細に
説明する。
第1図に本考案の一実施例の要部を一部断面と
する平面図として示す。第2図は第1図の−
線に沿う断面図である。図において、1は加振量
を変化調整可能な加振機を示し、該加振機1の上
面には筐体2がボルト3にて固着してあり、該筐
体2の上面には上蓋4がボルト5にて着脱自在に
取付けてある。6,7は加振機1と筐体2との
間、及び筐体2と上蓋4との間にそれぞれ介在す
る気密保持用のOリングを示す。このようにして
筐体2の内方で加振機1の上面と上蓋4との間
に、ほぼ立方体の内壁形状を有する密閉室8が構
成されている。
該密閉室8内で加振機1上には試料取付台9が
固着してあり、該試料取付台9上には適宜形状の
試料10を取付けることができる。加振機1と筐
体2との間には、試料取付台9に挟持せしめたゴ
ムシート11が、密閉室8の底面を構成する如く
張設してある。
密閉室8の内壁12は、試料10を挟む対向位
置に、密閉室8の内方に向けて拡開するテーパー
面13と、密閉室8の外方に向けて縮小するテー
パー面14とを有する。筐体2の外壁には、テー
パー面13の外方端に連続する位置に、2つの環
状のブロツク15,16がボルト17,18にて
取付けてあり、両ブロツク15,16間にはフイ
ルタ19が挟設してある。ブロツク15の穴20
及びブロツク16の段付きの穴21は、前記密閉
室8のテーパー面13に連通している。ブロツク
16の穴21には、ヒーター管22が挿入してあ
り、該ヒーター管22を通じてN2ガス供給装置
23から密閉室8内にN2ガスを供給することが
できる。この実施例においてヒーター管22の下
流端が、密閉室8へのガス供給口24となつてい
る。
他方のテーパー面14に連通する位置で、筐体
2に穿設した穴25にパイプ26が挿入してあ
り、該パイプ26は塵埃量カウンタ27に接続さ
れている。この実施例においてパイプ26の上流
端が、密閉室8からのガス導出口28となつてい
る。
29は、試料交換時に密閉室8内にN2ガスを
高圧にて供給するため筐体2に挿通された加圧ガ
スノズル、30は密閉室8内のガスの温度を感知
してヒーター22の熱量を制御するためのサーミ
スタである。
上記のような構成において、ボルト5を外すこ
とにより上蓋4を開いた試料10を試料取付台9
に取付け、上蓋4を閉じてボルト5を締付ける。
このように試料交換を行う間、密閉室8内には加
圧ガスノズル29からN2ガスを高圧にて供給す
る。従つて密閉室8内に外気の塵埃が浸入する虞
がない。次ぎにヒーター管22を経て供給される
N2ガスにより密閉室8内が設置温度になると、
加振機1が作動を開始する。その結果試料10は
第2図の矢印Aの如く上下振動を行うから塵埃を
発生し、この塵埃を含むN2ガスは塵埃量カウン
タ27に送られ、塵埃量が計測される。同一試料
10について加振機1による加振量を段階的に強
めることもでき、またサーミスタ30の制御の下
で温度条件を変化させることもできる。塵埃量の
計測が終了すると、試料交換を行つて、以下順次
塵埃量の測定を行う。
以上のようにして塵埃量測定試験装置を使用す
るならば、密閉室8内のN2ガスの流れは第2図
の矢印Bにて例示する如く淀みがないから、試料
から発生する塵埃を全てN2ガスに含ませること
ができると共に、このようにして塵埃を含んだ
N2ガスは密閉室8内に滞留することなく速やか
に塵埃カウンタに向けて導出される。従つて正確
に且つ迅速に塵埃の発生量の測定をすることがで
きる。また試料交換時に加圧ガスノズルを使用す
ることにより外気の塵埃の浸入を防止するから、
その後に行う塵埃量の測定試験を正確に短時間で
済ませることができる。
また、このように測定を迅速に行うことがで
き、且つ試料取付台9に任意の形状の試料を取付
けることができるから、磁気デイスク装置の部品
の如く、多数の各種形状の部品について単品毎に
簡単に塵埃量の測定試験を行うことができる。
また温度条件や振動条件を変化させることによ
り、磁気デイスク装置の各種の使用状況に応じ
て、また各部品の使用温度や振動状態に応じて、
シミユレーシヨン実験をすることができるから、
塵埃量の測定結果をより一層実情に即したものと
して利用することにより、塵埃の発生量の減少に
役立てることができる。なお上記の如く密閉室内
でガスの流れに淀みがないことは、密閉室内のガ
ス温度について所望の温度管理をすることを容易
ならしめるものである。
以上本考案の一実施例について説明をしたが、
本考案において使用する無塵性ガスとしては、
N2ガスに限ることなく、例えば除湿後フイルタ
ーを通したエアを使用することもできる。
〔考案の効果〕
以上説明をしたように本考案によれば、単品毎
の試料について、使用環境シミユレーシヨンしな
がら正確且つ迅速に塵埃量測定試験を行うことが
できるから、部品毎に塵埃の発生状況を把握して
装置全体の塵埃発生量の削減を簡単に行うことが
でき、延いては部品や装置の品質を向上すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の塵埃量測定試験装置の一実施
例を示す要部平面図、第2図は第1図の−線
に沿う断面図である。 1……加振機、2……筐体、3,5,17,1
8……ボルト、4……上蓋、6,7……Oリン
グ、8……密閉室、9……試料取付台、10……
試料、11……ゴムシート、12……内壁、1
3,14……テーパー面、15,16……ブロツ
ク、19……フイルタ、20,21……穴、22
……ヒーター管、23……N2ガス供給装置、2
4……ガス供給口、27……塵埃量カウンター、
28……ガス導出口、29……加圧ガスノズル、
30……サーミスタ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料交換時に開閉可能の密閉室と、該密閉室内
    に入れた試料に振動を与える加振機と、無塵性ガ
    スをヒーター管を経てガス供給口から前記密閉室
    内に供給するガス供給装置と、前記密閉室内のガ
    スをガス導出口から密閉室外に導いて該ガス中の
    塵埃量を計測する塵埃量カウンタと、試料交換時
    に高圧の無塵性ガスを前記密閉室内に供給する加
    圧ノズル及び該密閉室内の温度を管理する温度計
    測装置とからなり、前記ガス供給口の近傍におけ
    る前記密閉室の内壁は拡開するテーパー面であ
    り、前記ガス導出口の近傍における前記密閉室の
    内壁は縮小するテーパー面であり、両テーパー面
    間の前記密閉室の内壁は円滑な形状となつている
    ことを特徴とする塵埃量測定試験装置。
JP17610884U 1984-11-20 1984-11-20 Expired JPH0326440Y2 (ja)

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JP17610884U JPH0326440Y2 (ja) 1984-11-20 1984-11-20

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JPS6191152U JPS6191152U (ja) 1986-06-13
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JPH0721448B2 (ja) * 1987-02-25 1995-03-08 東京エレクトロン株式会社 発塵量測定装置
JPH0785045B2 (ja) * 1987-02-25 1995-09-13 東京エレクトロン株式会社 発塵量測定方法
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KR102602447B1 (ko) * 2021-07-20 2023-11-16 (주)미디어에버 나노파티클 검출장치의 진동저감 구조

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