JPH03263378A - Photoconductive element and manufacture thereof - Google Patents

Photoconductive element and manufacture thereof

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JPH03263378A
JPH03263378A JP2191337A JP19133790A JPH03263378A JP H03263378 A JPH03263378 A JP H03263378A JP 2191337 A JP2191337 A JP 2191337A JP 19133790 A JP19133790 A JP 19133790A JP H03263378 A JPH03263378 A JP H03263378A
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photoconductive
resistance
resistor
substrate
photoconductive element
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Akira Shibata
柴田 公
Yasuo Kitahara
北原 康夫
Yukie Suzuno
鈴野 幸江
Seijiro Sano
精二郎 佐野
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Abstract

PURPOSE:To detect light with high accuracy and to realize a small size by a method wherein a resistance element is mounted integrally on a substrate and is connected in series with a photoconductive element. CONSTITUTION:In addition to a first hole and a second hole h1, h2 for lead extraction use, a third hole h3 for lead extraction use is made; a third lead 7c is fixed and bonded to the third hole h3 for lead extraction use. In addition, a chip resistance 10 is fixed and bonded to the rear of a substrate 4; electrodes 11a, 11b at both ends of the chip resistance 10 are connected respectively to the third lead 7c and a second lead 7b via a conductive paste; a photoconductive element and the chip resistance are connected in series. That is to say, since a resistance element for compensation use is mounted collectively on the substrate 4 of the photoconductive element, the element can be mounted on a circuit board extremely easily, it can be made small-sized and it can detect the quantity of light with high accuracy. When a variable resistance is used for the resistance element, a resistance value can be adjusted extremely easily.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、光導電素子およびその製造方法に関する。[Detailed description of the invention] [Purpose of the invention] (Industrial application field) The present invention relates to a photoconductive element and a method for manufacturing the same.

(従来技術) 光導電素子は、その感光波長によって可視光領域に感度
を有する硫化カドミウム(CdS)セル、セレン化カド
ミウム(CdSe)セル、赤外域に感度を有する硫化鉛
(PbS)セル、セレン化鉛(P b S e)セル等
があり、各感光波長領域での受光面の受ける照度に応じ
て抵抗値が変化する性質を利用して、さまざまな分野で
の利用が高まっている。
(Prior art) Photoconductive elements include cadmium sulfide (CdS) cells, cadmium selenide (CdSe) cells, which have sensitivity in the visible light region, lead sulfide (PbS) cells, and selenide cells, which have sensitivity in the infrared region, depending on their photosensitive wavelength. There are lead (PbSe) cells, etc., and their use in various fields is increasing by taking advantage of the property that the resistance value changes depending on the illuminance received by the light receiving surface in each photosensitive wavelength region.

ナカでも、CdSセルはバルク形の光導電素子として、
優れた直線性を示し、電気的歪が少なく、しかも高感度
であることから、電子オルガンのペダルの踏み込み角度
検出による音量コントロール、カメラの測光装置、ファ
クシミリの原稿端検出装置等に広く用いられている。
Even in the interior, the CdS cell can be used as a bulk type photoconductive element.
Because it exhibits excellent linearity, low electrical distortion, and high sensitivity, it is widely used in volume control by detecting the pedal depression angle of electronic organs, photometering devices in cameras, and document edge detection devices in facsimile machines. There is.

しかしながら、このようなCdSセル等の光導電素子の
個々の抵抗には、±50%程度のばらつきが生じる。
However, individual resistances of photoconductive elements such as such CdS cells vary by about ±50%.

このため、光導電素子の抵抗値と一定の比になるような
抵抗素子を光導電素子の外部に直列接続し、定電圧測定
を行うことによって抵抗値のばらつきを補償するように
している。例えば、抵抗素子を可変抵抗とするなどして
、可変抵抗の抵抗値を調整することにより、光導電素子
の個々の抵抗のばらつきを補償し、所定の抵抗比を得る
ようにしている。
For this reason, a resistance element having a constant ratio with the resistance value of the photoconductive element is connected in series outside the photoconductive element, and constant voltage measurement is performed to compensate for variations in the resistance value. For example, by making the resistance element a variable resistor and adjusting the resistance value of the variable resistor, variations in the individual resistances of the photoconductive elements are compensated for and a predetermined resistance ratio is obtained.

すなわち、この方法では、第12図に等価回路図を示す
ように、V1++を光導電素子1と可変抵抗2の直列接
続体に印加し、可変抵抗側を接地すると共に、可変抵抗
の両端の電圧変化を電圧計3によって測定することによ
って、光導電素子の抵抗値変化を算出し、受光量を求め
るようにしている。
That is, in this method, as shown in the equivalent circuit diagram in FIG. 12, V1++ is applied to the series connection of the photoconductive element 1 and the variable resistor 2, the variable resistor side is grounded, and the voltage across the variable resistor is By measuring the change with the voltmeter 3, the change in the resistance value of the photoconductive element is calculated, and the amount of light received is determined.

従来、例えば、プラスチックコート型のCdSセルでは
、第13図に示すようにリード導出用の穴hl h2を
配設してなるアルミナ等のセラミック基板4表面に光導
電体層5としてのCdS層を塗布焼結し、さらにこの光
導電体層5の上層に相対向して1対の電極6a、6bを
配設し、この2つの電極6a、6bからリード用の穴h
l h2を介してリード7a、7.bが導出せしめられ
て構成されている。
Conventionally, for example, in a plastic coat type CdS cell, as shown in FIG. 13, a CdS layer as a photoconductor layer 5 is formed on the surface of a ceramic substrate 4 made of alumina or the like with holes hl and h2 for leading out leads. After coating and sintering, a pair of electrodes 6a and 6b are provided on the upper layer of the photoconductor layer 5, facing each other, and holes h for leads are formed from these two electrodes 6a and 6b.
l h2 via leads 7a, 7. b is derived.

そして、第14図に示すように、配線基板8上にこのC
dSセル1および可変抵抗2を実装して、用いるという
方法がとられている。この可変抵抗2はねじDを回すこ
とによって抵抗値を変化させることができるものである
Then, as shown in FIG.
A method has been adopted in which the dS cell 1 and the variable resistor 2 are mounted and used. The resistance value of this variable resistor 2 can be changed by turning a screw D.

(発明が解決しようとする課題) このような方法では、光センサ回路全体の内、抵抗と配
線裁板の占有する面積が大きく、これが小形化を阻む大
きな問題となっていた。
(Problems to be Solved by the Invention) In such a method, the resistor and wiring board occupy a large area of the entire optical sensor circuit, which has been a major problem that hinders miniaturization.

また、実装に際しては、抵抗と光導電素子との両方を実
装しなければならず、作業性が悪いという問題もあった
Furthermore, during mounting, both the resistor and the photoconductive element had to be mounted, resulting in poor workability.

本発明は、前記実情に鑑みてなされたもので、高精度の
光検出が可能で、小型化の可能な光導電素子を提供する
ことを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and an object of the present invention is to provide a photoconductive element that can perform highly accurate light detection and can be miniaturized.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

(課題を解決するための手段) そこで本発明では、絶縁性基板表面に形成された光導電
層と、この光導電層」二に形成した1対の表面電極とを
備え、裏面からリードを導出した光導電素子において、
この基板上に抵抗素子を一体的に装着し光導電素子と直
列となるように接続している。
(Means for Solving the Problems) Therefore, the present invention includes a photoconductive layer formed on the surface of an insulating substrate and a pair of surface electrodes formed on the photoconductive layer, and leads are led from the back surface. In the photoconductive element,
A resistive element is integrally mounted on this substrate and connected in series with the photoconductive element.

望ましくは、この抵抗素子は可変抵抗とする。Preferably, this resistance element is a variable resistance.

また、この抵抗素子はチップ抵抗とする。Further, this resistance element is a chip resistance.

また、この抵抗素子は基板上に直接形成された厚膜抵抗
とする。
Further, this resistive element is a thick film resistor formed directly on the substrate.

また、本発明の方法では、絶縁性基板表面に形成された
光導電層と、この光導電層上に形成した1対の表面電極
とを備え、裏面からリードを導出して光導電素子を形成
した後、抵抗値を測定し、この抵抗値に応じた抵抗素子
を基板上に一体的に装着し光導電素子と直列となるよう
に接続し、この抵抗値が所望の値となるように抵抗素子
の抵抗層を切削し抵抗値の微調整を行うようにしている
Furthermore, the method of the present invention includes a photoconductive layer formed on the surface of an insulating substrate and a pair of surface electrodes formed on the photoconductive layer, and leads are led out from the back surface to form a photoconductive element. After that, the resistance value is measured, and a resistor element corresponding to this resistance value is integrally mounted on the board and connected in series with the photoconductive element, and the resistor is adjusted so that the resistance value becomes the desired value. The resistance layer of the element is cut to finely adjust the resistance value.

(作用) 上記構成によれば、光導電素子の基板上に補償用の抵抗
素子が一体的に装着されているため、回路基板への実装
が極めて簡単となる上、小型で高精度の光量検出を行う
ことが可能となる。
(Function) According to the above configuration, since the compensating resistance element is integrally mounted on the substrate of the photoconductive element, mounting on the circuit board is extremely simple, and the light amount detection is small and highly accurate. It becomes possible to do this.

また、この抵抗素子は可変抵抗とすることにより、抵抗
値の調整が極めて容易となる。
Moreover, by making this resistance element a variable resistance, it becomes extremely easy to adjust the resistance value.

また、この抵抗素子をチップ抵抗とすることにより、極
めて低コストで高精度の光量検出をおこなうことのでき
るセンサを得ることが可能となる。
Further, by using a chip resistor as the resistive element, it is possible to obtain a sensor that can detect the amount of light with high accuracy at extremely low cost.

また、この抵抗素子を厚膜抵抗とすることにより、基板
上に直接形成することができるうえ、光導電素子自体の
製造工程と平行して行うことができ、大幅な工程の簡略
化をはかることが可能となる。
Furthermore, by using a thick film resistor as the resistor element, it can be formed directly on the substrate and can be carried out in parallel with the manufacturing process of the photoconductive element itself, greatly simplifying the process. becomes possible.

また、本発明の方法では、絶縁性基板表面に形成された
光導電層と、この光導電層上に形成した1対に表面電極
とを備え、裏面からリードを導出して光導電素子を形成
した後、抵抗値を測定し、この抵抗値に応じて基板上に
抵抗素子を一体的に装着し光導電素子と直列となるよう
に接続し、さらにこの抵抗値が所望の値となるように抵
抗値を微調整するようにしているため、常に、光導電素
子と抵抗素子との抵抗比がより高精度に調整され、容易
に高精度のセンサを得ることが可能となる。
Furthermore, the method of the present invention includes a photoconductive layer formed on the surface of an insulating substrate and a pair of surface electrodes formed on the photoconductive layer, and leads are led out from the back surface to form a photoconductive element. After that, the resistance value is measured, and according to this resistance value, a resistance element is integrally mounted on the board and connected in series with the photoconductive element, and further, the resistance value is adjusted to the desired value. Since the resistance value is finely adjusted, the resistance ratio between the photoconductive element and the resistive element is always adjusted with higher precision, making it possible to easily obtain a highly accurate sensor.

(実施例) 以下、本発明の実施例について図面を参照しつつ詳細に
説明する。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

実施例1 この光導電素子は、第1図(a>乃至第1図(C)に示
すように、第13図に示した従来例の素子と基本的には
同様に構成されているが、第1および第2のリード導出
用の穴hl h2に加え、第3のリード導出用の穴h3
を配設し、この第3のリード導出用の穴h3に第3のリ
ード7cを固着し、さらに基板4の裏面にチップ抵抗1
0を固着して、このチップ抵抗10の両端の電極11a
、llbをそれぞれこの第3のり一ド7cおよび第2の
りドアbに導電性ペーストを介して接続し、光導電素子
とチップ抵抗とが直列接続せしめられたことを特徴とす
るものである。ここで第1図(a)は斜視図、第1図(
b)は裏面図、第1図(C)は等価回路図である。
Example 1 This photoconductive element, as shown in FIGS. 1(a> to 1(C)), is basically constructed in the same way as the conventional element shown in FIG. In addition to the first and second lead-out holes hl and h2, the third lead-out hole h3
A third lead 7c is fixed to the hole h3 for leading out the third lead, and a chip resistor 1 is attached to the back surface of the substrate 4.
0, and electrodes 11a at both ends of this chip resistor 10.
, llb are respectively connected to the third glue door 7c and the second glue door b via conductive paste, so that the photoconductive element and the chip resistor are connected in series. Here, Fig. 1(a) is a perspective view, and Fig. 1(a) is a perspective view.
b) is a back view, and FIG. 1(C) is an equivalent circuit diagram.

他の部分については、第13図に示した従来例の素子と
同様である。
The other parts are the same as the conventional element shown in FIG.

すなわち、アルミナ等のセラミック基板4表面に光導電
体層5としてのCdS層を塗布焼結し、さらにこの光導
電体層5の上層に相対向して1対の電極6a、6bを配
設し、この2つの電極6a。
That is, a CdS layer as a photoconductor layer 5 is coated and sintered on the surface of a ceramic substrate 4 made of alumina or the like, and a pair of electrodes 6a and 6b are further disposed on the upper layer of this photoconductor layer 5 so as to face each other. , these two electrodes 6a.

6bからリード用の穴hl h2を介してリード7a 
 7bが導出せしめられて構成されている。
Lead 7a from 6b through lead hole hl h2
7b is derived.

なお、チップ抵抗とリードとの接続には、導電性ペース
トに代えて半田を用いるようにしてもよい。
Note that solder may be used instead of the conductive paste to connect the chip resistor and the leads.

また、第3のリード用の穴h8の周りは、レザトリミン
グ等によって、光導電体層5を除去し、基板表面との電
気的接続を遮断している。
Further, around the third lead hole h8, the photoconductor layer 5 is removed by laser trimming or the like to cut off electrical connection with the substrate surface.

さらに、このチップ抵抗10は、第2図に拡大図を示す
ように、セラミック基板12表面にスクリーン印刷法に
よって形成された厚膜抵抗層13をコの字状の第1およ
び第2の電極11a、11bで挾み込むことによって形
成されている。
Further, as shown in an enlarged view in FIG. 2, this chip resistor 10 further includes a thick film resistor layer 13 formed on the surface of a ceramic substrate 12 by a screen printing method, and a U-shaped first and second electrodes 11a. , 11b.

そしてこのチップ抵抗10の抵抗値は、第3図(a)乃
至第3図(e)に例を示すように、レーザ光を照射して
蒸発させるレーザトリミング法等により、部分的に除去
することによって、極めて容易に調整可能なようになっ
ている。Kは除去部分を示す。
The resistance value of this chip resistor 10 can be partially removed by a laser trimming method in which laser light is irradiated to evaporate, as shown in examples in FIGS. 3(a) to 3(e). This makes it extremely easy to adjust. K indicates the removed portion.

次に、この光導電素子の製造方法について説明する。Next, a method for manufacturing this photoconductive element will be explained.

まず、第4図(a)に示すように、3つの穴h1h2 
h3の形成されたアルミナセラミック基板4表面金体に
CdS層を塗布し、600°Cで1時間焼結し光導電体
層5を形成したのち、さらにこの光導電体層5の上層に
メタルマスクを載置した状態で真空蒸着法により半田薄
膜パターンからなる1対の電極6a、6bを形成する。
First, as shown in FIG. 4(a), three holes h1h2
A CdS layer is applied to the gold body on the surface of the alumina ceramic substrate 4 on which h3 has been formed, and sintered at 600°C for 1 hour to form a photoconductor layer 5. A metal mask is further applied to the upper layer of this photoconductor layer 5. A pair of electrodes 6a and 6b consisting of a solder thin film pattern are formed by vacuum evaporation with the electrodes placed on the substrate.

ついで、第4図(b)に示すように、この2つの電極6
a、6bからリード用の穴hl h2にり一ド7a、7
bを挿通し、銀ペーストを用いて電極6a、6bと7a
、7bとの電気的接続を行う。
Then, as shown in FIG. 4(b), these two electrodes 6
Holes for leads from a, 6b hl h2 Niori leads 7a, 7
b, and use silver paste to connect electrodes 6a, 6b and 7a.
, 7b.

さらに、リード用の穴h3の周辺の光導電体層5はトリ
ミングにより除去しておくようにすると共に、リード用
の穴h3には、リード7cを挿通し、絶縁ペーストを用
いて固着する。
Furthermore, the photoconductor layer 5 around the lead hole h3 is removed by trimming, and the lead 7c is inserted into the lead hole h3 and fixed using an insulating paste.

そして、リード7a、7bの両端の抵抗値を測0 定し、その値に応した、補償抵抗としてのチップ抵抗を
選択し、基板裏面に絶縁性ペーストを用いて固着し、さ
らに両端の電極1]、a、llbをそれぞれこの第3の
り−ド7Cおよび第1のり−ド7aに導電性ペーストを
介して接続し、光導電素子とチップ抵抗とを直列接続せ
しめる。
Then, measure the resistance value at both ends of the leads 7a and 7b, select a chip resistor as a compensation resistor according to the value, fix it to the back of the board using insulating paste, and then connect the electrodes at both ends. ], a, and llb are respectively connected to the third glue 7C and the first glue 7a via conductive paste, and the photoconductive element and the chip resistor are connected in series.

このようにして第1図(a)乃至第1図(C)に示した
光導電素子が完成する。
In this way, the photoconductive elements shown in FIGS. 1(a) to 1(C) are completed.

また、完成後、第3のリード7Cと第2のり一ド7b間
の抵抗値をモニタリングしながら、チップ抵抗のトリミ
ングを行い、抵抗値の微調整を行うようにすれば、より
高精度の調整が可能となる。
Furthermore, after completion, trimming the chip resistor and finely adjusting the resistance value while monitoring the resistance value between the third lead 7C and the second lead 7b will allow for more accurate adjustment. becomes possible.

この光導電素子によれば、抵抗が一体的に形成されてい
るため、回路への組み込みが容易であり、小型化が可能
である上、抵抗値の微調整が極めて容易に可能であるた
め高精度の光量検出が可能となる。
According to this photoconductive element, since the resistor is integrally formed, it is easy to incorporate into a circuit and can be miniaturized.Fine adjustment of the resistance value is also extremely easy, making it possible to achieve high performance. Accurate light amount detection becomes possible.

実施例2 なお、前記実施例のように第3のリードは貫通1 穴に挿通するのではなく、第5図に本発明の第2の実施
例として示すように基板表面には到達しないような穴h
Oを用いるようにすれば、前記実施例の場合のようにリ
ード用の穴h3の周辺の光導電体層5を除去しておく必
要はない。
Embodiment 2 Note that the third lead is not inserted into the through hole as in the previous embodiment, but is inserted in a way that does not reach the substrate surface as shown in FIG. 5 as a second embodiment of the present invention. hole h
If O is used, there is no need to remove the photoconductor layer 5 around the lead hole h3 as in the previous embodiment.

実施例3 また、本発明の第3の実施例として第6図(a)および
第6図(b)に示すようにチップ抵抗の両端の電極11
a、llbの内の一方11aに抵抗リード17を固着し
たものをチップ抵抗として用い、これを光導電素子の基
板4の裏面の第2のり−ド7bに電極11bが近接する
ように、固着しても良い。
Embodiment 3 In addition, as a third embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 6(a) and 6(b), the electrodes 11 at both ends of the chip resistor are
A resistor lead 17 is fixed to one of the resistor leads 11a of the photoconductive element 11a and is used as a chip resistor, and this is fixed so that the electrode 11b is close to the second lead 7b on the back surface of the substrate 4 of the photoconductive element. It's okay.

この実施例では、前記第1の実施例による効果に加えて
、何等設計変更を加えることなく光導電素子自体は従来
と同様に形成したのち、所望の抵抗値を持つチップ抵抗
を付加するようにすれば良いため、製造が極めて容易で
ある。
In this embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the photoconductive element itself is formed in the same manner as before without making any design changes, and then a chip resistor having a desired resistance value is added. It is extremely easy to manufacture.

 2 実施例4 さらにまた前記第3の実施例では抵抗リードは抵抗面に
対して垂直に取り付けるようにしたが、第4の実施例と
して第7図(a)および第7図(b)に示すようにチッ
プ抵抗の両端の電極11a、11bの内の一方1.1 
aに抵抗リード17を抵抗面に平行となるように固着し
たものをチップ抵抗として用い、これを光導電素子の基
板4の側面に固着し、基板表面の第2の電極6bにチッ
プ抵抗の電極1.1 bが近接するように、固着しても
良い。
2 Embodiment 4 Furthermore, in the third embodiment, the resistor leads were attached perpendicularly to the resistor surface, but as a fourth embodiment, as shown in FIGS. 7(a) and 7(b). One of the electrodes 11a and 11b at both ends of the chip resistor 1.1
A resistor lead 17 is fixed to the resistor surface parallel to the resistor surface, and this is used as a chip resistor.This is fixed to the side surface of the substrate 4 of the photoconductive element, and the electrode of the chip resistor is attached to the second electrode 6b on the surface of the substrate. 1.1b may be fixed so that they are close to each other.

この実施例では、第2の電極6bとチップ抵抗の電極]
、 1 bとの接続は銀ペースト等の導電性ペーストや
半田等によって行うようにすればよい。
In this embodiment, the second electrode 6b and the electrode of the chip resistor]
, 1b may be made using a conductive paste such as silver paste, solder, or the like.

この例においても、前記第3の実施例と同様、何等設計
変更を加えることなく光導電素子自体は従来と同様に形
成したのち、所望の抵抗値を持つチップ抵抗を付加する
ようにすれば良いため、製造が極めて容易である。
In this example, as in the third embodiment, the photoconductive element itself can be formed in the same manner as before without making any design changes, and then a chip resistor having a desired resistance value can be added. Therefore, manufacturing is extremely easy.

実施例5 3 次に本発明の第5の実施例について説明する。Example 5 3 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described.

この例では第8図(a)および第8図(b)に示すよう
に光導電素子の基板の裏面に抵抗リード挿入用の溝V1
を配設しておき、チップ抵抗の裏面と側面に沿うように
固着したL字状のり一ド21を、この溝内に絶縁性接着
剤を用いて固着すると共に、ハンダや導電性ペーストを
用いて所定の電気的接続を行うようにしている。
In this example, as shown in FIGS. 8(a) and 8(b), a groove V1 for inserting a resistor lead is formed on the back surface of the substrate of the photoconductive element.
An L-shaped glue 21 is fixed along the back and side surfaces of the chip resistor, and is fixed in this groove using an insulating adhesive, and at the same time using solder or conductive paste. A predetermined electrical connection is made using the

このような構成とすることにより、抵抗とりド線との接
着および光導電素子本体と抵抗との固着を容易に安定し
て行うことができまた、抵抗の固着位置の位置決めも極
めて容易となる。
With this configuration, it is possible to easily and stably bond the resistor to the lead wire and to fix the photoconductive element main body and the resistor, and it is also extremely easy to position the resistor to which it is attached.

実施例6 次に本発明の第6の実施例について説明する。Example 6 Next, a sixth embodiment of the present invention will be described.

この例では第9図(a)および第9図(b)に示すよう
に光導電素子の基板4側面に抵抗リード挿入用の溝v2
を配設しておき、チップ抵抗の裏面に沿うように固着し
たL字状のり一ド31を、この溝内に絶縁性接着剤を用
いて固着すると共に、ハ4 ンダや導電性ペーストを用いて所定の電気的接続を行う
ようにしている。
In this example, as shown in FIGS. 9(a) and 9(b), a groove v2 for inserting a resistor lead is formed on the side surface of the substrate 4 of the photoconductive element.
An L-shaped glue 31 is fixed along the back surface of the chip resistor, and is fixed in this groove using an insulating adhesive, and at the same time using solder or conductive paste. A predetermined electrical connection is made using the

このような構成とすることにより、実施例5と同様抵抗
とリード線との接着および光導電素子本体と抵抗との固
着を容易に安定して行うことができまた、抵抗の固着位
置の位置決めも極めて容易となる。
With this configuration, as in Example 5, it is possible to easily and stably bond the resistor and the lead wire and to fix the resistor to the photoconductive element body, and also to position the resistor's fixing position. It becomes extremely easy.

実施例7 次に本発明の第7の実施例について説明する。Example 7 Next, a seventh embodiment of the present invention will be described.

これは実施例5の変形例であり、この例では第10図に
示すように光導電素子の基板の裏面にチップ抵抗設置用
の凹部Tを配設しておき、実施例5と同様裏面と側面に
沿うようにL字状のり一ド21を固着したチップ抵抗を
、この凹部T内に絶縁性接着剤を用いて固着するように
している。
This is a modification of Example 5. In this example, as shown in FIG. 10, a recess T for installing a chip resistor is provided on the back surface of the substrate of the photoconductive element. A chip resistor with an L-shaped glue 21 fixed along the side surface is fixed in the recess T using an insulating adhesive.

そして、この凹部Tはチップ抵抗およびリードの形状に
符合するような溝となっており、この溝内にチップ抵抗
およびリードをはめ込むようにすればよく位置決めも容
易である。
The recess T is a groove that matches the shape of the chip resistor and the lead, and the chip resistor and the lead can be easily positioned by fitting the chip resistor and the lead into this groove.

5 このような構成とすることにより、抵抗とリード線との
接着および光導電素子本体と抵抗との固着をさらに容易
に安定して行うことができまた、外観が極めて良好とな
る上、抵抗の固着位置の位置決め6−も極めて容易とな
る。
5 With such a configuration, it is possible to more easily and stably bond the resistor and the lead wires and the photoconductive element body and the resistor, and the appearance is extremely good, as well as the resistance of the resistor. Positioning 6- of the fixed position is also extremely easy.

また、このようなチップ抵抗およびリードをはめ込む溝
を形成する構造については、この例に限定されることな
く、側面に溝を形成するなど、実施例1乃至実施例4の
構造のすべてに適用可能である。
Furthermore, the structure for forming grooves into which the chip resistor and leads are fitted is not limited to this example, and can be applied to all of the structures of Examples 1 to 4, such as forming grooves on the side surfaces. It is.

実施例8 なお、上記実施例では、基板上に装着する抵抗としてチ
ップ抵抗を用いた例について説明したが、第11図に示
すように、厚膜抵抗層41と電極パターン42a、42
bとからなる厚膜抵抗40を基板の裏面に形成しておく
ようにしても良い。この例では、チップ抵抗を厚膜抵抗
に代えた他は実施例2とまったく同様に形成する。
Embodiment 8 In the above embodiment, an example was explained in which a chip resistor was used as a resistor mounted on a substrate, but as shown in FIG.
A thick film resistor 40 consisting of b may be formed on the back surface of the substrate. This example is formed in exactly the same manner as in Example 2 except that the chip resistor is replaced with a thick film resistor.

この場合光導電素子の第2のリード挿通穴h26 を囲むように厚膜抵抗の電極42bを配設しておき、第
2のリードの周りに銀ペーストを塗布するようにすれば
表面の第2の電極6bとの接続が容易に可能となる。
In this case, if the electrode 42b of the thick film resistor is arranged so as to surround the second lead insertion hole h26 of the photoconductive element, and the silver paste is applied around the second lead, the second connection with the electrode 6b is easily possible.

そして抵抗値をモニタリングしながらトリミングするよ
うにすれば、極めて容易に小型で高精度の光センサを形
成することが可能となる。
If trimming is performed while monitoring the resistance value, it becomes possible to form a compact and highly accurate optical sensor extremely easily.

なお、前記実施例については、CdSを光導電層として
用いた光導電素子について説明したが、これに限定され
ることなく、PbS、Pb5e。
In the above embodiments, a photoconductive element using CdS as a photoconductive layer has been described, but the present invention is not limited to this and may include PbS, Pb5e.

CdSe等の光導電層を用いたものについても適用可能
であることはいうまでもない。
Needless to say, it is also applicable to those using photoconductive layers such as CdSe.

また、電極の構造および形状についても適宜変更可能で
ある。
Further, the structure and shape of the electrode can also be changed as appropriate.

また、抵抗のトリミング方法については、レーザトリミ
ング法の他、加圧空気に砂を混合したものを小さい穴か
ら厚膜抵抗に向かって噴射させ、厚膜抵抗をふきとばす
ようにしたサンドブラスト法、加圧空気に鉄粉を混合し
たものを小さい穴から厚膜抵抗に向かって噴射させ、厚
膜抵抗をふき7 とばすようにしたショートピーニング法、金属のブラシ
のついた円板を回転させて厚膜抵抗層を削りとっていく
ようにしたワイヤブラシ法、加圧水を小さい穴から厚膜
抵抗に向かって噴射させ、厚膜抵抗をふきとばすように
したウォータージェット法など他のいろいろな方法を適
用することも可能である。
In addition to the laser trimming method, methods for trimming the resistor include the sandblasting method, in which a mixture of pressurized air and sand is sprayed toward the thick film resistor through a small hole, and the thick film resistor is blown away. A short peening method in which a mixture of pressurized air and iron powder is injected through a small hole towards the thick film resistor, wiping it away. Various other methods can be applied, such as the wire brush method, which scrapes away the resistance layer, and the water jet method, which sprays pressurized water from small holes toward the thick film resistor to blow it away. is also possible.

加えて、抵抗素子としては前記実施例で用いたチップ抵
抗、厚膜抵抗などの他可変抵抗を用いるようにしても良
い。
In addition, as the resistance element, a variable resistor other than the chip resistor, thick film resistor, etc. used in the above embodiments may be used.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明してきたように、本発明によれば、光導電素子
の基板上に抵抗素子を一体的に装着するようにしている
ため、回路基板への実装が極めて簡単となる上、小型で
高精度の光量検出を行うことが可能となる。
As explained above, according to the present invention, since the resistive element is integrally mounted on the substrate of the photoconductive element, mounting on the circuit board is extremely simple, and it is also compact and highly accurate. It becomes possible to detect the amount of light.

また、本発明の方法では、光導電素子の抵抗値を測定し
、この値に応した抵抗素子を基板上に一体的に装着した
後、この抵抗値が所望の値となるように抵抗値を微調整
するようにしているため、 8 容易に高精度のセンサを得ることが可能となる。
Furthermore, in the method of the present invention, the resistance value of the photoconductive element is measured, a resistance element corresponding to this value is integrally mounted on the substrate, and then the resistance value is adjusted so that this resistance value becomes a desired value. Since fine adjustments are made, it is possible to easily obtain a highly accurate sensor.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(a)乃至第1図(c)は本発明の第1の実施例
の光導電素子を示す図、第2図は同光導電素子で用いら
れているチップ抵抗を示す図、第3図(a)乃至第3図
(e)は同チップ抵抗のトリミング例を示す図、第4図
(a)および第4図(b)は本発明の第1の実施例の光
導電素子の製造工程の一部を示す図、第5図は本発明の
第2の実施例の光導電素子を示す図、第6図(a)およ
び第6図(b)は本発明の第3の実施例の光導電素子を
示す図、第7図(a)および第7図(b)は本発明の第
4の実施例の光導電素子を示す図、第8図(a>および
第8図(b)は本発明の第5の実施例の光導電素子を示
す図、9図(a)および第9図(b)は本発明の第6の
実施例の光導電素子を示す図、第10図は本発明の第7
の実施例の光導電素子を示す図、第11図は本発明の第
8の実施例の光導電素子を示す図、第12図は従来例の
光導電素子の等価回路を示す図、第13図は従来例の光
導電素子を示す図、第9 14図は従来例の光導電素子の回路基板への実装例を示
す図である。 1・・・光導電素子、2・可変抵抗、3・・電圧51.
4・・・セラミック基板、hl、、h2.h3・・リー
ド導出用の穴、5・・・光導電体層、6a、6b・・電
極、7a。 7b・・・リード、17.21.31・・抵抗リード、
40・・厚膜抵抗、41・・・厚膜抵抗層、42a、4
2b・・・電極パターン。  0 区 第 6 図 ((7) (b) 弔 図 <a> 第 図 1a (a) 第 図 第10図 4−1宏 特開平3 263378 (9) 光番哲窯)
1(a) to 1(c) are diagrams showing a photoconductive device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing a chip resistor used in the photoconductive device, and FIG. 3(a) to 3(e) are diagrams showing examples of trimming of the same chip resistor, and FIG. 4(a) and FIG. 4(b) are diagrams showing trimming examples of the photoconductive element of the first embodiment of the present invention. FIG. 5 is a diagram showing a part of the manufacturing process, FIG. 5 is a diagram showing a photoconductive element according to a second embodiment of the present invention, and FIGS. 6(a) and 6(b) are diagrams showing a third embodiment of the present invention. 7(a) and 7(b) are diagrams showing a photoconductive element according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 8(a) and FIG. 8( b) is a diagram showing a photoconductive element according to a fifth embodiment of the present invention, FIGS. 9(a) and 9(b) are diagrams depicting a photoconductive element according to a sixth embodiment of the present invention, The figure shows the seventh aspect of the present invention.
FIG. 11 is a diagram showing a photoconductive device according to an eighth embodiment of the present invention, FIG. 12 is a diagram showing an equivalent circuit of a conventional photoconductive device, and FIG. 13 is a diagram showing an equivalent circuit of a conventional photoconductive device. This figure shows a conventional photoconductive element, and FIG. 914 shows an example of mounting the conventional photoconductive element on a circuit board. 1. Photoconductive element, 2. Variable resistance, 3. Voltage 51.
4... Ceramic substrate, hl,, h2. h3... Hole for leading out leads, 5... Photoconductor layer, 6a, 6b... Electrode, 7a. 7b...Lead, 17.21.31...Resistance lead,
40...Thick film resistor, 41...Thick film resistor layer, 42a, 4
2b...electrode pattern. 0 Ward Figure 6 ((7) (b) Funeral map <a> Figure 1a (a) Figure 10 Figure 4-1 Hiroshi JP 3 263378 (9) Koban Tetsu Kiln)

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)絶縁性基板表面に形成された光導電層と、前記光
導電層上に配設された1対の表面電極と、前記基板の裏
面から導出せしめられたリードを具備してなる光導電素
子において、前記光導電素子と直列となるように前記基
板上に一体的に装着せしめられた抵抗素子を具備してな
ることを特徴とする光導電素子。
(1) A photoconductive layer comprising a photoconductive layer formed on the surface of an insulating substrate, a pair of surface electrodes disposed on the photoconductive layer, and a lead led out from the back surface of the substrate. 1. A photoconductive element comprising: a resistive element integrally mounted on the substrate so as to be in series with the photoconductive element.
(2)前記抵抗素子は可変抵抗であることを特徴とする
請求項(1)記載の光導電素子。
(2) The photoconductive element according to claim (1), wherein the resistance element is a variable resistance.
(3)前記抵抗素子はチップ抵抗であることを特徴とす
る請求項(1)記載の光導電素子。
(3) The photoconductive element according to claim (1), wherein the resistive element is a chip resistor.
(4)前記抵抗素子は基板上に直接形成された厚膜抵抗
体であることを特徴とする請求項(1)記載の光導電素
子。
(4) The photoconductive element according to claim 1, wherein the resistive element is a thick film resistor formed directly on the substrate.
(5)絶縁性基板表面に形成された光導電層と、この光
導電層上に形成した1対に表面電極とを備え、裏面から
リードを導出する光導電素子形成工程と、 前記素子の抵抗値を測定する測定工程と、 前記基板上に抵抗素子を一体的に装着し光導電素子と直
列となるように接続する抵抗素子装着工程と、前記抵抗
素子の抵抗値が所望の値となるように抵抗層を切削する
ことにより抵抗値を微調整する微調整工程とを含むよう
にしたことを特徴とする光導電素子の製造方法
(5) a photoconductive element forming step comprising a photoconductive layer formed on the surface of an insulating substrate and a pair of surface electrodes formed on the photoconductive layer, and leads being led out from the back surface; and resistance of the element. a measurement step of measuring the resistance value; a resistive element mounting step of integrally mounting a resistive element on the substrate and connecting it in series with the photoconductive element; A method for manufacturing a photoconductive element, comprising: a fine adjustment step of finely adjusting a resistance value by cutting a resistance layer;
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