JPH0325467Y2 - - Google Patents

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JPH0325467Y2
JPH0325467Y2 JP3487687U JP3487687U JPH0325467Y2 JP H0325467 Y2 JPH0325467 Y2 JP H0325467Y2 JP 3487687 U JP3487687 U JP 3487687U JP 3487687 U JP3487687 U JP 3487687U JP H0325467 Y2 JPH0325467 Y2 JP H0325467Y2
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valve
valve seat
valve body
piezoelectric
piezoelectric actuator
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は方向切換弁に関するものであり、さら
に詳しくは、圧電アクチユエータによつて弁座を
開閉する方向切換弁に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a directional control valve, and more particularly, to a directional control valve whose valve seat is opened and closed by a piezoelectric actuator.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

圧電素子が通電により歪曲する性質を利用し
て、該圧電素子を使用した圧電アクチユエータに
設けた弁体よつて弁座を開閉する方向切換弁は、
特開昭56−76779号公報、実開昭61−152872号公
報などで既に知られている。
A directional control valve that utilizes the property of a piezoelectric element to be distorted when energized and opens and closes a valve seat using a valve body provided in a piezoelectric actuator using the piezoelectric element,
This is already known from Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-76779 and Japanese Utility Model Application No. 61-152872.

しかしながら、上記公知の方向切換弁は、一端
または両端を固定した1個の圧電アクチユエータ
に固定的に設けた弁体によつて弁座を開閉するも
のであるから、弁体の弁座への着座が不均一にな
つてリークし易いばかりでなく、シール力が小さ
いために、使用可能な流量、圧力が制限されると
いう問題がある。
However, in the above-mentioned known directional control valve, the valve seat is opened and closed by a valve body fixedly provided on a single piezoelectric actuator having one or both ends fixed, so that the seating of the valve body on the valve seat is difficult. There is a problem in that not only is the flow uneven and easy to leak, but also that the usable flow rate and pressure are limited because the sealing force is small.

この問題を解決するためには、複数の圧電アク
チユエータによつて弁体を駆動することが考えら
れるが、圧電アクチユエータの性能にばらつきが
あるために、単に圧電アクチユエータの数を増加
させるのみでは、圧電アクチユエータの作用力が
干渉してアクチユエータの効率が低下するので、
十分なシール力を発揮させることができないとい
う新たな問題が生ずる。
In order to solve this problem, it is possible to drive the valve body using multiple piezoelectric actuators, but due to variations in the performance of piezoelectric actuators, it is difficult to simply increase the number of piezoelectric actuators. The acting force of the actuator will interfere and reduce the efficiency of the actuator.
A new problem arises in that sufficient sealing force cannot be exerted.

〔考案が解決しようとする課題〕[The problem that the idea attempts to solve]

本考案が解決しようとする課題は、圧電アクチ
ユエータの効率低下がなく、かつ弁体のシール力
及びシール性能が向上する方向切換弁を提供する
ことにある。
The problem to be solved by the present invention is to provide a directional control valve that does not reduce the efficiency of the piezoelectric actuator and improves the sealing force and sealing performance of the valve body.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記課題を解決するため、本考案は、弁本体の
弁室に形設した弁座を、一端を上記弁本体に固定
した圧電アクチユエータに設けた弁体で開閉する
方向切換弁において、上記圧電アクチユエータ
を、弁座の開閉方向に階層的に複数配設するとと
もに、これらの変位量を弁座側から弁座の閉鎖方
向と反対方向に向けて順次大きくするとともに、
弁座側の圧電アクチユエータの変位量を弁座を閉
鎖するに足るものとし、上記階層的に複数配設し
た圧電アクチユエータ群を、弁体に対して略等角
度で複数配置し、これらの圧電アクチユエータの
自由端を、上記弁体に揺動可能に係止したことを
特徴としている。
In order to solve the above problems, the present invention provides a directional control valve in which a valve seat formed in a valve chamber of a valve body is opened and closed by a valve body provided on a piezoelectric actuator whose one end is fixed to the valve body. are arranged hierarchically in the opening/closing direction of the valve seat, and the amount of displacement of these is sequentially increased from the valve seat side toward the direction opposite to the closing direction of the valve seat,
The amount of displacement of the piezoelectric actuator on the valve seat side is set to be sufficient to close the valve seat, and a plurality of piezoelectric actuator groups arranged hierarchically are arranged at approximately equal angles to the valve body, and these piezoelectric actuators The valve body is characterized in that the free end of the valve body is swingably locked to the valve body.

〔作 用〕[Effect]

圧電アクチユエータに所定の極性の電圧を印加
すると、各圧電アクチユエータが一方向に歪曲し
て弁体が弁座を閉鎖する。
When a voltage of a predetermined polarity is applied to the piezoelectric actuators, each piezoelectric actuator is distorted in one direction and the valve body closes the valve seat.

この場合、弁座の閉鎖方向に階層的に配設した
複数の圧電アクチユエータの変位量を、弁座側か
ら弁座の閉鎖方向と反対方向に向けて順次大きく
するとともに、弁座側の圧電アクチユエータの変
位量を弁座を閉鎖するに足るものとしたことによ
り、弁座側の圧電アクチユエータには、階層的に
配設した他の圧電アクチユエータによつて弁座を
閉鎖する方向の作用力が作用し、かつ各圧電アク
チユエータの変位量を順次大きくしたので、各圧
電アクチユエータの作用力が干渉することなく、
その作用力を有効に利用することができる。しか
も、上記圧電アクチユエータ群を弁体に対して略
等角度に複数配置したことにより、弁体は各アク
チユエータ群の作用力の和によつて弁座に強力に
押し付けられるので、流量、圧力の使用範囲を飛
躍的に拡大することができる。
In this case, the displacement amount of the plurality of piezoelectric actuators hierarchically arranged in the closing direction of the valve seat is gradually increased from the valve seat side toward the opposite direction to the closing direction of the valve seat, and the piezoelectric actuator on the valve seat side is By making the amount of displacement sufficient to close the valve seat, the piezoelectric actuator on the valve seat side is subjected to an acting force in the direction of closing the valve seat by other piezoelectric actuators arranged hierarchically. In addition, since the displacement amount of each piezoelectric actuator was sequentially increased, the acting forces of each piezoelectric actuator did not interfere with each other.
That acting force can be used effectively. Furthermore, by arranging a plurality of the piezoelectric actuator groups at approximately equal angles to the valve body, the valve body is strongly pressed against the valve seat by the sum of the acting forces of each actuator group, so that the flow rate and pressure can be reduced. The range can be expanded dramatically.

また、圧電アクチユエータ群を複数等角度に設
置するとともに、各アクチユエータの自由端を弁
体に揺動可能に係止したので、圧電アクチユエー
タが歪曲したときの弁体の移動姿勢が安定して弁
座に均一に着座し、シール性能を向上することが
できる。
In addition, a plurality of piezoelectric actuator groups are installed at equal angles, and the free end of each actuator is swingably locked to the valve body, so that when the piezoelectric actuator is distorted, the movement posture of the valve body is stable, and the valve seat It can be seated uniformly and improve sealing performance.

圧電アクチユエータへの電圧の印加を解除する
か、または逆極性の電圧を印加すると、圧電アク
チユエータ及び弁体が元の位置に復帰して弁座を
開放する。
When the voltage is removed from the piezoelectric actuator or when a voltage of opposite polarity is applied, the piezoelectric actuator and the valve body return to their original positions and open the valve seat.

〔実施例〕〔Example〕

第1図及び第2図は、本考案の切換弁を3ポー
ト弁とした場合の第1実施例を示し、弁本体1
は、本体部材1a,1bを適宜の手段で一体化す
ることによつて構成し、内部に弁座2が形成され
ており、本体部材1a,1bには弁室に通ずる入
口ポート3と排出ポート4が、その弁座3a,4
aを対向させて開設されており、弁室2には出力
ポート5が開口している。
1 and 2 show a first embodiment in which the switching valve of the present invention is a 3-port valve, and the valve body 1
is constructed by integrating main body members 1a and 1b by appropriate means, and a valve seat 2 is formed inside, and the main body members 1a and 1b are provided with an inlet port 3 and a discharge port communicating with the valve chamber. 4 is the valve seat 3a, 4
The valve chamber 2 has an output port 5 open therein.

上記弁本体1a,1bには、圧電アクチユエー
タ7a,8a,9aよりなるアクチユエータ群1
0aが弁座4aの閉鎖方向に階層的に配設されて
おり、これらのアクチユエータは、一端近くが本
体部分1a,1bの周壁に気密に嵌着されてい
る。また、本体部材1a,1bの周壁には、圧電
アクチユエータ7b,8b,9bよりなる別のア
クチユエータ群10bが、上記アクチユエータ群
1aと対向して配置されており、圧電アクチユエ
ータ群10a,10bを構成する各アクチユエー
タは、いずれも等しい長さを有し、かつアクチユ
エータ7a,7b,……が対向して配置されてい
る。
The valve bodies 1a, 1b have an actuator group 1 consisting of piezoelectric actuators 7a, 8a, 9a.
actuators 0a are arranged hierarchically in the closing direction of the valve seat 4a, and near one end of these actuators is hermetically fitted to the peripheral wall of the main body portions 1a, 1b. Further, another actuator group 10b consisting of piezoelectric actuators 7b, 8b, and 9b is arranged on the peripheral wall of the main body members 1a, 1b, facing the actuator group 1a, and constitutes the piezoelectric actuator group 10a, 10b. Each actuator has the same length, and the actuators 7a, 7b, . . . are arranged to face each other.

なお、上記アクチユエータ群は、図示の2組に
限定されるものではなく、等角度に3組以上配置
することができる。
Note that the actuator groups described above are not limited to the two groups illustrated, but three or more groups can be arranged at equal angles.

上記圧電アクチユエータ7a,7b,……は、
基板11の両面に電圧の印加極性によつて互いに
伸縮する圧電素子12a,12bを張り合わせて
構成されるバイモルフ型等のもので、所定の極性
で電圧が印加されると一方向に歪曲し、電圧の印
加を解除するかまたは逆極性の電圧を印加すると
反対の方向に歪曲するもので、圧電アクチユエー
タ7a,7b,……の電圧の印加極性は、すべて
同一にされている。
The piezoelectric actuators 7a, 7b, . . .
It is a bimorph type, etc., which is constructed by pasting together piezoelectric elements 12a and 12b that expand and contract depending on the polarity of voltage applied to both sides of a substrate 11.When a voltage is applied with a predetermined polarity, it is distorted in one direction, and the voltage When the application of voltage is removed or a voltage of opposite polarity is applied, the piezoelectric actuators 7a, 7b, . . . are distorted in the opposite direction.

また、上記圧電アクチユエータ7aと7b,8
aと8b及び9aと9bは、それぞれ基板11の
固定部を共通に構成することができ、この場合、
圧電アクチユエータの変位部は、固定部から中心
に向けて等角度で延出させる。基板11を上述の
構成にすると、基板への配線が簡単になる。
In addition, the piezoelectric actuators 7a, 7b, 8
a and 8b and 9a and 9b can respectively constitute the fixing part of the board 11 in common, and in this case,
The displacement portion of the piezoelectric actuator extends from the fixed portion toward the center at equal angles. When the substrate 11 has the above-described configuration, wiring to the substrate becomes easy.

一方、弁体14は、弁部材15と該弁部材15
の長手方向両端に嵌着したシール部材16,16
を備え、弁部材15の外周に長手方向に複数段形
設された略V字形の係止溝15a,……には、上
記圧電アクチユエータの自由端17,……が揺動
可能に係止されており、該弁体14は、弁室2内
に縮設された復帰スプリング18によつて、弁座
3aの閉鎖方向に付勢されている。
On the other hand, the valve body 14 is connected to the valve member 15 and the valve member 15.
Seal members 16, 16 fitted to both longitudinal ends of
The free ends 17, . . . of the piezoelectric actuator are swingably locked in substantially V-shaped locking grooves 15a, . The valve body 14 is biased in the closing direction of the valve seat 3a by a return spring 18 compressed within the valve chamber 2.

上記圧電アクチユエータ群10aにおける圧電
アクチユエータ7a,8a,9aは、第3図Aに
示すように、抵抗器20とともに電源に並列に接
続され、圧電アクチユエータ8a及び9aの給電
回路には抵抗器21及び21,22が、それぞれ
直列に接続されており、これによつて圧電アクチ
ユエータ9a,8a,7aに印加される電圧を順
次増加させて、変位量が順次大きくなるように
し、かつ弁座4a側の圧電アクチユエータ9aの
変位量を、弁座4aを閉鎖するに足るものとして
いる。一方、圧電アクチユエータ群10bの各ア
クチユエータも第3図Aと同様の回路によつて電
源に接続されるが、これらのアクチユエータ群
は、第3図Bに示すように、各アクチユエータ7
a,7b,……をそれぞれ並列に接続することも
できる。第3図A,B中の符号23,24は、圧
電アクチユエータの放電を促進するために付設す
る回路中に設けたダイオード及び抵抗器である。
The piezoelectric actuators 7a, 8a, and 9a in the piezoelectric actuator group 10a are connected in parallel to a power supply together with a resistor 20, as shown in FIG. , 22 are connected in series, so that the voltage applied to the piezoelectric actuators 9a, 8a, 7a is sequentially increased so that the amount of displacement becomes larger sequentially, and the piezoelectric actuators on the valve seat 4a side are The amount of displacement of the actuator 9a is set to be sufficient to close the valve seat 4a. On the other hand, each actuator of the piezoelectric actuator group 10b is also connected to the power source by a circuit similar to that shown in FIG. 3A, but as shown in FIG. 3B, each actuator 7
a, 7b, . . . can also be connected in parallel. Reference numerals 23 and 24 in FIGS. 3A and 3B are diodes and resistors provided in an attached circuit to promote discharge of the piezoelectric actuator.

なお、図示を省略しているが、弁座3a,4a
は、本体部分1a,1bに螺着した中空ねじ部材
によつて形成することができ、この場合には、ね
じ部材の進退によつて弁体14のストロークを調
整することができる。
Although not shown, the valve seats 3a, 4a
can be formed by a hollow screw member screwed onto the main body portions 1a, 1b, and in this case, the stroke of the valve body 14 can be adjusted by moving the screw member back and forth.

上記第1実施例は、第1図に示すように、弁体
14が弁座3aを閉鎖し弁座4aを開放している
状態において、圧電アクチユエータ7a,7b,
……に所定の極性の電圧を印加すると、圧電アク
チユエータ7a,7b,……は本体部分1a,1
bとの嵌合部を固定部として一方向に歪曲するの
で、弁体10が弁座3aを開放して弁座4aを開
放する。したがつて、入口ポート3からの圧力流
体は、出口ポート5から流出する。
In the first embodiment, as shown in FIG. 1, in a state where the valve body 14 closes the valve seat 3a and opens the valve seat 4a, the piezoelectric actuators 7a, 7b,
When a voltage of a predetermined polarity is applied to . . . , the piezoelectric actuators 7a, 7b, . . .
Since the fitting portion with b is bent in one direction as a fixed portion, the valve body 10 opens the valve seat 3a and opens the valve seat 4a. Therefore, the pressure fluid from the inlet port 3 flows out from the outlet port 5.

この場合、圧電アクチユエータ8a,8bの給
電回路には抵抗器21が、圧電アクチユエータ9
a,9bの給電回路には抵抗器21,22がそれ
ぞれ直列に接続されているので、圧電アクチユエ
ータに印加される電圧は弁座側程低下し、その変
位量は圧電アクチユエータ9a,9bから7a,
7bにむけて順次大きくなる。
In this case, a resistor 21 is provided in the power supply circuit of the piezoelectric actuators 8a and 8b, and a resistor 21 is provided in the power supply circuit of the piezoelectric actuators 8a and 8b.
Since the resistors 21 and 22 are connected in series to the power supply circuits a and 9b, the voltage applied to the piezoelectric actuator decreases toward the valve seat, and the amount of displacement increases from the piezoelectric actuators 9a and 9b to the piezoelectric actuators 7a and 7a, respectively.
It gradually increases toward 7b.

このため、各圧電アクチユエータの性能に多少
のばらつきがあつても、アクチユエータ8a,8
b及び9a,9bには、アクチユエータ7a,7
b及び7a,7b,8a,8bによつて弁座4a
を閉鎖する方向の力が作用するばかりでなく、ア
クチユエータ7a,7b,……の自由端17,…
…が弁体14に揺動可能に係止しているので、ア
クチユエータ7a,7b,……の作用力の干渉が
なく、複数の圧電アクチユエータの作用力を有効
に利用することができる。したがつて、弁体14
は、圧電アクチユエータ7a,7b,……の作用
力の和よりなる大きな力で弁座4aを閉鎖するの
で、流量、圧力の使用範囲を飛躍的に拡大するこ
とができる。
Therefore, even if there is some variation in the performance of each piezoelectric actuator, the actuators 8a, 8
b and 9a, 9b, actuators 7a, 7
valve seat 4a by b and 7a, 7b, 8a, 8b
Not only is a force acting in the direction of closing the actuators 7a, 7b, . . . the free ends 17, .
Since the piezoelectric actuators 7a, 7b, . . . are pivotally locked to the valve body 14, there is no interference between the acting forces of the actuators 7a, 7b, . . . and the acting forces of the plural piezoelectric actuators can be effectively utilized. Therefore, the valve body 14
Since the valve seat 4a is closed with a large force consisting of the sum of the acting forces of the piezoelectric actuators 7a, 7b, . . . , the usable range of flow rate and pressure can be dramatically expanded.

さらに、圧電アクチユエータ7a,7b,……
の自由端17,……が弁体14に揺動可能に係止
しているので、弁体14の移動姿勢が安定して弁
座4aに均一に着座してシール性能を向上するこ
とができる。
Furthermore, piezoelectric actuators 7a, 7b,...
Since the free ends 17, . .

第4図は本考案の第2実施例を示し、弁本体2
6における本体部材26a,26bは、対向する
側壁を弁座4aに向けて順次厚くし、厚さの異な
る箇所毎に、それぞれ等長の圧電アクチユエータ
7a,7b,……が対向して気密に嵌着されてお
り、これによつて圧電アクチユエータの変位長さ
を弁座4aに向けて順次短くして、その変位量を
弁座4a側から順次大きくしている。
FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention, in which the valve body 2
The main body members 26a, 26b in 6 have opposing side walls made thicker in order toward the valve seat 4a, and piezoelectric actuators 7a, 7b, . As a result, the displacement length of the piezoelectric actuator is gradually shortened toward the valve seat 4a, and the displacement amount is gradually increased from the valve seat 4a side.

第2実施例の他の構成及び作用は、抵抗器2
1,22が不要なほかは第1実施例と同じである
から、図中同一の符号を付して詳細な説明は省略
する。
Other configurations and operations of the second embodiment include the resistor 2
Since it is the same as the first embodiment except that 1 and 22 are unnecessary, the same reference numerals are given in the drawings and detailed explanation will be omitted.

第5図は本考案の第3実施例を示し、第3実施
例の弁体30における弁部材31は弁座4aに向
けて順次拡径され、各拡径部毎に略V字形の係止
溝31a,31b,31cが形設されており、弁
本体1a,1bに気密に嵌着された圧電アクチユ
エータ32a,33bの自由端を係止溝31a
に、アクチユエータ33a,33bの自由端を係
止溝31bに、アクチユエータ34a,34bの
自由端を係止溝31cにそれぞれ揺動可能に係止
し、これによつて圧電アクチユエータ32a,3
2b,……の変位長さを弁座4aから弁座3aに
向けて順次長くして、その変位量を順次大きくし
ている。
FIG. 5 shows a third embodiment of the present invention, in which the valve member 31 in the valve body 30 of the third embodiment is gradually enlarged in diameter toward the valve seat 4a, and a substantially V-shaped lock is formed at each enlarged diameter portion. Grooves 31a, 31b, 31c are formed, and the free ends of piezoelectric actuators 32a, 33b, which are hermetically fitted to the valve bodies 1a, 1b, are locked into the grooves 31a.
Then, the free ends of the actuators 33a, 33b are swingably locked in the locking groove 31b, and the free ends of the actuators 34a, 34b are rockably locked in the locking groove 31c, whereby the piezoelectric actuators 32a, 3
2b, . . . are gradually increased from the valve seat 4a toward the valve seat 3a, and the amount of displacement is gradually increased.

なお、図示の例においては、圧電アクチユエー
タ32a,33a,34a及び32b,33b,
34bは、弁座4aに向けて順次短かくされてい
るが、これらのアクチユエータを等しい長さに形
成し、本体部材1a,1bから外側に突出する長
さを順次長くしてもよく、これによつても、圧電
アクチユエータの変位長さを弁座4aから3aに
向けて順次長くすることができる。
In the illustrated example, piezoelectric actuators 32a, 33a, 34a and 32b, 33b,
34b is sequentially shortened toward the valve seat 4a, but these actuators may be formed to have the same length and the lengths protruding outward from the main body members 1a, 1b may be sequentially increased. Even so, the displacement length of the piezoelectric actuator can be gradually increased from the valve seat 4a toward the valve seat 3a.

第3実施例の他の構成及び作用は、抵抗器2
1,22が不要なほかは第1実施例と同じである
から、図中同一の符号を付して詳細な説明は省略
する。
Other configurations and operations of the third embodiment include the resistor 2
Since it is the same as the first embodiment except that 1 and 22 are unnecessary, the same reference numerals are given in the drawings and detailed explanation will be omitted.

〔考案の効果〕[Effect of idea]

本考案の方向切換弁は、弁座の閉鎖方向に階層
的に配設した複数の圧電アクチユエータの変位量
を、弁座側から弁座の閉鎖方向と反対方向に向け
て順次大きくするとともに、弁座側の圧電アクチ
ユエータの変位量を弁座を閉鎖するに足るものと
し、かつこれらのアクチユエータの自由端を弁体
に揺動可能に係止したので、各圧電アクチユエー
タの作用力を有効に利用することができ、しか
も、これらの圧電アクチユエータ群を複数設けた
ことによつて弁体のシール力が強力になつて、流
量、圧力の使用範囲を飛躍的に拡大することがで
きる。
The directional control valve of the present invention sequentially increases the displacement of a plurality of piezoelectric actuators arranged hierarchically in the valve seat closing direction from the valve seat side toward the opposite direction to the valve seat closing direction. The amount of displacement of the piezoelectric actuators on the seat side is sufficient to close the valve seat, and the free ends of these actuators are swingably locked to the valve body, so the acting force of each piezoelectric actuator can be used effectively. Moreover, by providing a plurality of these piezoelectric actuator groups, the sealing force of the valve body becomes stronger, and the usable range of flow rate and pressure can be dramatically expanded.

さらに、圧電アクチユエータ群を複数等角度に
設置するとともに、各圧電アクチユエータの自由
端を弁体に揺動可能に係止したので、弁体の移動
姿勢が安定して弁座に均一に着座し、シール性能
を向上することができる。
Furthermore, a plurality of piezoelectric actuator groups are installed at equal angles, and the free end of each piezoelectric actuator is swingably locked to the valve body, so the movement posture of the valve body is stable and the valve body is seated uniformly on the valve seat. Seal performance can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面は本考案の実施例を示し、第1図は第1実
施例の縦断正面図、第2図は同上要部の平面図、
第3図A,Bは第1実施例の圧電アクチユエータ
への給電の一例を示す回路図、第4図は第2実施
例の縦断正面図、第5図は第3実施例の縦断正面
図である。 1,26……弁本体、2……弁室、7a,7
b,8a,8b,9a,9b……圧電アクチユエ
ータ、10a,10b……圧電アクチユエータ
群、14,30……弁体、32a,32b,33
a,33b,34a,34b……圧電アクチユエ
ータ。
The drawings show an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a longitudinal sectional front view of the first embodiment, and FIG. 2 is a plan view of the main parts of the same.
3A and 3B are circuit diagrams showing an example of power supply to the piezoelectric actuator of the first embodiment, FIG. 4 is a longitudinal sectional front view of the second embodiment, and FIG. 5 is a longitudinal sectional front view of the third embodiment. be. 1, 26... Valve body, 2... Valve chamber, 7a, 7
b, 8a, 8b, 9a, 9b...piezoelectric actuator, 10a, 10b...piezoelectric actuator group, 14, 30...valve body, 32a, 32b, 33
a, 33b, 34a, 34b...Piezoelectric actuator.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 弁本体の弁室に形設した弁座を、一端を上記弁
本体に固定した圧電アクチユエータに設けた弁体
で開閉する方向切換弁において、 上記圧電アクチユエータを、弁座の開閉方向に
階層的に複数配設するとともに、これらの変位量
を弁座側から弁座の閉鎖方向と反対方向に向けて
順次大きくするとともに、弁座側の圧電アクチユ
エータの変位量を弁座を閉鎖するに足るものと
し、 上記階層的に複数配設した圧電アクチユエータ
群を、弁体に対して略等角度で複数配置し、 これらの圧電アクチユエータの自由端を、上記
弁体に揺動可能に係止した、 ことを特徴とする方向切換弁。
[Scope of Claim for Utility Model Registration] A directional control valve in which a valve seat formed in a valve chamber of a valve body is opened and closed by a valve body provided on a piezoelectric actuator whose one end is fixed to the valve body, wherein the piezoelectric actuator is connected to the valve body. A plurality of piezoelectric actuators are arranged hierarchically in the opening/closing direction of the seat, and the amount of displacement of these piezoelectric actuators is increased sequentially from the valve seat side toward the direction opposite to the closing direction of the valve seat, and the amount of displacement of the piezoelectric actuator on the valve seat side is A plurality of piezoelectric actuator groups arranged hierarchically are arranged at substantially equal angles to the valve body, and the free ends of these piezoelectric actuators are swung to the valve body. A directional valve characterized in that it is capable of being locked.
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