JPH03248353A - Inspection method for magneto-optical recording medium - Google Patents

Inspection method for magneto-optical recording medium

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JPH03248353A
JPH03248353A JP4495890A JP4495890A JPH03248353A JP H03248353 A JPH03248353 A JP H03248353A JP 4495890 A JP4495890 A JP 4495890A JP 4495890 A JP4495890 A JP 4495890A JP H03248353 A JPH03248353 A JP H03248353A
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JP
Japan
Prior art keywords
magneto
signal
optical
comparator
disk
Prior art date
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Pending
Application number
JP4495890A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuko Gomi
五味 信子
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH03248353A publication Critical patent/JPH03248353A/en
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Abstract

PURPOSE:To detect all the defects without missing by performing inspection by deciding the differential signal of an optical signal with a comparator after magnetizing a magneto-optical disk. CONSTITUTION:The magneto optical disk 22 is magnetized on the application device of an electromagnet on the N and S poles for which a coil 23 is wound by inserting the disk 22 perpendicularly into a magnetic field. A signal outputted from the photodiode 10 of a pickup for disk is fetched in a differential amplifier 14, and the differential signal 13 of a magneto-optical signal outputted from the amplifier is decided with the comparator 17, and an OR 16 is outputted from an OR circuit 15. In such a case, the OR 16 shows the flaw signal of the disk, and the decision level of the defect of the comparator 17 is set by variable resistors 11, 12. Thereby, it is possible to detect all the defects without missing.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は光磁気記録媒体の検査方法に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a method for inspecting a magneto-optical recording medium.

[発明の概要] 本発明は、記録・再生あるいは消去が可能な光磁気記録
媒体の検査方法において、光磁気ディスクを一方向に着
磁させてから前記光磁気ディスク用のピックアップを使
用し、光磁気信号の差動信号をコンパレータで判定して
検査することにより、すべての欠陥を見逃すことなく検
出することができ、良品質な光磁気ディスクを製造する
ことができる。
[Summary of the Invention] The present invention is a method for inspecting a magneto-optical recording medium capable of recording, reproducing, or erasing, which involves magnetizing a magneto-optical disk in one direction and then using a pickup for the magneto-optical disk to By determining and inspecting the differential signals of the magnetic signals using a comparator, all defects can be detected without being overlooked, and high-quality magneto-optical disks can be manufactured.

[従来の技術] 従来の光磁気記録媒体の検査方法は、第5図のように光
磁気ディスクに光を当て、反射してきた光の光量によっ
て欠陥を検出する方法であった。
[Prior Art] A conventional method for inspecting a magneto-optical recording medium is to shine light onto a magneto-optical disk and detect defects based on the amount of reflected light, as shown in FIG.

第5図において、32は被測定物であり、24はレーザ
光照射装置で、25はこのレーザ光照射装置24より照
射されるレーザ光である。26はレーザ光25を平行に
するコリメートレンズ、27はハーフミラ−で、28は
コリメートされたレーザ光25を被測定物320表面に
微小スポットとして絞る対物レンズである。被測定物3
2の表面上に欠陥のない場合には、反射光はそのまま対
物レンズ28に戻り、ハーフミラ−27と集光レンズ3
0を介して光検出器31に入る。
In FIG. 5, 32 is an object to be measured, 24 is a laser beam irradiation device, and 25 is a laser beam irradiated from this laser beam irradiation device 24. 26 is a collimating lens that makes the laser beam 25 parallel, 27 is a half mirror, and 28 is an objective lens that focuses the collimated laser beam 25 on the surface of the object 320 to be measured. Measured object 3
If there is no defect on the surface of the mirror 2, the reflected light returns to the objective lens 28 as it is and passes through the half mirror 27 and the condenser lens 3.
0 to the photodetector 31.

[発明が解決しようとする課題] しかし、実際の光磁気ディスクの欠陥を調べたところ反
射光量に大きな変動がない時でも光磁気信号では欠陥が
あるということがあったため、データを両面に記録して
再生検査を行う必要があった。
[Problem to be solved by the invention] However, when we investigated the defects in actual magneto-optical disks, we found that there were defects in the magneto-optical signal even when there was no large variation in the amount of reflected light. Therefore, we recorded data on both sides. It was necessary to conduct a remanufacturing test.

つまり、微少な欠陥はレーザ光が当たっても散乱しない
事があり見逃してしまうという欠陥検査装置としては致
命的で重大な問題点を有していた。
In other words, even if a laser beam hits a minute defect, it may not be scattered and may be overlooked, which is a fatal and serious problem for a defect inspection device.

また、データを全面に記録し再生して検査すれば、欠陥
を見逃すことはないが、検査に非常に時間がかかるとい
う問題を有していた。
Furthermore, if data is recorded on the entire surface and then reproduced for inspection, no defects will be missed, but there is a problem in that the inspection takes a very long time.

そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは光磁気ディスクのあらゆる微小な
傷等の欠陥を見逃すことなく高速に検査できる光磁気記
録媒体の検査方法を提供するところにある。
The present invention is intended to solve these problems, and its purpose is to provide a method for inspecting a magneto-optical recording medium that can be inspected at high speed without overlooking any defects such as minute scratches on the magneto-optical disk. There it is.

[課題を解決する手段] 本発明の光磁気記録媒体の検査方法は、光磁気ディスク
を一方向に着磁させてから光磁気ディスク用のピックア
ップを使用し、光磁気信号の差動信号をコンパレータで
判定して検査することを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] The method for inspecting a magneto-optical recording medium of the present invention uses a pickup for the magneto-optical disk after magnetizing the magneto-optical disk in one direction, and compares the differential signal of the magneto-optical signal with a comparator. It is characterized by the determination and inspection.

[実施例コ 第3図は本発明の実施例における着磁装置であり、N、
  S、  にコイル23を巻いた電磁石の応用装置で
ある。光磁気ディスク22を磁界に対して垂直に挿入す
ることにより光磁気ディスクを着磁することができる。
[Embodiment Fig. 3 shows a magnetizing device in an embodiment of the present invention, with N,
This is an electromagnet application device with a coil 23 wound around S. By inserting the magneto-optical disk 22 perpendicularly to the magnetic field, the magneto-optical disk can be magnetized.

着磁前の磁気記録膜は磁化方向がバラバラであるが、第
3図の装置による着磁後の磁気記録膜は磁化方向が全部
同じ方向を向く。
The magnetic recording film before magnetization has different magnetization directions, but after magnetization by the apparatus shown in FIG. 3, the magnetization directions of the magnetic recording film all face the same direction.

第1図は本発明の欠陥検査装置の概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of a defect inspection apparatus according to the present invention.

光磁気ディスク用のピックアップのフォトダイオード1
0から出力された信号は差動増幅器14にとりこまれる
。そして、そこから出てきた光磁気信号の差動信号13
は、コンパレーター17により判定され、15のOR回
路によって論理和16が出力される。
Photodiode 1 of pickup for magneto-optical disk
The signal output from 0 is taken into the differential amplifier 14. And the differential signal 13 of the magneto-optical signal that came out from there
is determined by the comparator 17, and the logical sum 16 is outputted by the 15 OR circuits.

論理和16はディスクの傷信号である。The logical sum 16 is a disc scratch signal.

可変抵抗11及び12は、コンパレーター17の欠陥の
判定レベルを設定するものである。
The variable resistors 11 and 12 are used to set the defect determination level of the comparator 17.

第2図は第1図のコンパレータから出力される信号の判
定動作を説明するものである。
FIG. 2 explains the determination operation of the signal output from the comparator of FIG. 1.

18はディスクからの再生信号で、19と20は可変抵
抗11及び12で設定されるコンパレータ17の判定レ
ベルである。21は判定レベル19.20で比較された
後OR回路15から出力されるディスクの傷信号である
18 is a reproduction signal from the disk, and 19 and 20 are judgment levels of the comparator 17 set by variable resistors 11 and 12. 21 is a disc flaw signal output from the OR circuit 15 after being compared at the determination level 19.20.

第4図は横軸にディスクのトラック数をとり縦軸にピッ
トエラーレートをとったグラフである。
FIG. 4 is a graph in which the horizontal axis represents the number of tracks on the disk and the vertical axis represents the pit error rate.

このグラフから、反射光のみによる検査方法では見つけ
られない欠陥が、信号を記録してから再生した時と本発
明による方法の時では発見できることがわかる。ここで
−言加えたいことは、本発明の方法は検査段階で信号を
記録する必要がないため非常に短時間ですむということ
である。
From this graph, it can be seen that defects that cannot be found using the inspection method using only reflected light can be found when the signal is recorded and then reproduced and when using the method according to the present invention. I would like to add here that the method according to the invention requires no signal recording during the testing stage and is therefore very time consuming.

光磁気ディスクを一様に着磁させることで、何も欠陥が
ないときには一定レベルの再生信号が得られ、記録層に
異常があるときには一定レベルから外れた再生信号が得
られる。
By uniformly magnetizing the magneto-optical disk, a reproduced signal at a constant level can be obtained when there are no defects, and a reproduced signal that deviates from the constant level can be obtained when there is an abnormality in the recording layer.

つまり、これを検出すれば、光磁気信号に異常が起こる
欠陥をすべて見つけることができる。
In other words, by detecting this, it is possible to find all defects that cause abnormalities in the magneto-optical signal.

従って、信号を記録しなくても光磁気ディスクのすべて
の欠陥を検出でき、高速に検査することが出来る。
Therefore, all defects on the magneto-optical disk can be detected without recording signals, and inspection can be performed at high speed.

[発明の効果] 以上述べたように本発明によれば、光磁気ディスクを着
磁させてから前記光信号の差動信号をコンパレータで判
定して検査するということで、全ての欠陥を見逃す事な
く検出でき、高速に検査できるという効果を有する。ま
た、その検査方法から、品質の向上と光磁気記録媒体と
しての信頼性をも高め、優れた特性までも得ることがで
きる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, since the magneto-optical disk is magnetized and then inspected by determining the differential signal of the optical signal using a comparator, it is possible to overlook all defects. It has the advantage of being able to detect without any problems and being able to perform inspections at high speed. In addition, the inspection method can improve quality and reliability as a magneto-optical recording medium, and even provide excellent characteristics.

【図面の簡単な説明】 第1図は本発明である欠陥検査装置の概略図。 第2図は第1図の比較器から出力される信号の動作波形
図。 第3図は本発明の実施例である着磁装置を示ス図、第4
図は本発明方法と従来方法とのBERの比較グラフ。 第5図は従来の欠陥検査装置の概略図。 1 ・ 2 ・ 3 ・ 4 ・ 5 ・ 6 ・ 7 ・ 8 ・ 9 ・  0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 0 ・光磁気ディスク ・対物レンズ ・反射鏡 ・ビームスプリッタ ・コリメートレンズ ・レーザダイオード ・波長板 ・偏光ビームスプリッタ ・レンズ ・フォトダイオード ・可変抵抗 ・可変抵抗 ・差動信号 ・差動増幅器 ・OR回路 ・比較器から出力されるディスクの傷信号・コンパレー
タ ・ディスクからの再生信号 ・欠陥判定レベル ・欠陥判定レベル 1 2 3 4 5 6 7 8 9 0 1 2 ・ディスクの傷信号 ・光磁気ディスク ・コイル レーザ光照射装置 レーザ光 ・コリメートレンズ ・ハーフミラ− ・対物レンズ ・散乱光 ・集光レンズ ・光検出器 ・被測定物
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic diagram of a defect inspection apparatus according to the present invention. FIG. 2 is an operational waveform diagram of a signal output from the comparator of FIG. 1. Fig. 3 shows a magnetizing device which is an embodiment of the present invention;
The figure is a comparison graph of BER between the method of the present invention and the conventional method. FIG. 5 is a schematic diagram of a conventional defect inspection device. 1 ・ 2 ・ 3 ・ 4 ・ 5 ・ 6 ・ 7 ・ 8 ・ 9 ・ 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 0 ・Magneto-optical disk・Objective lens・Reflector・Beam splitter・Collimating lens・Laser diode・Wavelength Plate, polarizing beam splitter, lens, photodiode, variable resistor, variable resistor, differential signal, differential amplifier, OR circuit, disc flaw signal output from the comparator, comparator, reproduced signal from the disc, defect determination level・Defect determination level 1 2 3 4 5 6 7 8 9 0 1 2 ・Disk scratch signal ・Magneto-optical disk ・Coil laser beam irradiation device Laser light ・Collimating lens ・Half mirror ・Objective lens ・Scattered light ・Condensing lens ・Photodetector/Measurement object

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 透明基板を用い光を照射し、記録・再生あるいは消去を
おこなう光磁気記録媒体の検査方法において、光磁気デ
ィスクを一方向に着磁させてから前記光磁気ディスク用
のピックアップを使用し、光磁気信号の差動信号をコン
パレーターで判定して検査することを特徴とする光磁気
記録媒体の検査方法。
In a method for inspecting magneto-optical recording media that uses a transparent substrate to irradiate light to perform recording, reproduction, or erasing, a magneto-optical disk is magnetized in one direction, and then a pickup for the magneto-optical disk is used to perform magneto-optical recording. A method for inspecting a magneto-optical recording medium, characterized in that differential signals of signals are determined and inspected using a comparator.
JP4495890A 1990-02-26 1990-02-26 Inspection method for magneto-optical recording medium Pending JPH03248353A (en)

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