JPH03237782A - Metal vapor laser equipment - Google Patents

Metal vapor laser equipment

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JPH03237782A
JPH03237782A JP3426690A JP3426690A JPH03237782A JP H03237782 A JPH03237782 A JP H03237782A JP 3426690 A JP3426690 A JP 3426690A JP 3426690 A JP3426690 A JP 3426690A JP H03237782 A JPH03237782 A JP H03237782A
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JP
Japan
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discharge
tube
electrode
metal vapor
cathode
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JP3426690A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Ito
寛 伊藤
Akihiko Iwata
明彦 岩田
Tatsuki Okamoto
達樹 岡本
Yoshihiro Ueda
植田 至宏
Kazuhiko Fukushima
一彦 福島
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/031Metal vapour lasers, e.g. metal vapour generation

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To stabilize discharge on the tip parts of electrodes, and improve laser performance, by installing the electrode of two-layered cylindrical structure on the end portion side of an inner discharge tube. CONSTITUTION:When pulse discharge is generated between a cathode 3 and an anode 4 in the atmosphere of discharge gas 15 in an inner discharge tube 5, the inside of the tube 5 is turned into a discharging state. In the case of the electrodes 3, 4 of two layered cylindrical structure, a high potential point (a) is generated on the right side of a discharge generation point (b), so that stable discharge is obtained at the tips of the electrodes 3, 4. The heat generated by the stable discharge travels to the inner discharge tube 5, which is heated. Then metal grains 10 in the tube 5 are fused and vaporized, and metal vapor is generated, thereby obtaining always stable laser oscillation output from a laser window 8.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野】[Industrial application field]

この発明は、銅粒などの金属粒を放電熱で溶融して金属
蒸気を励起することによりレーザ光を得るための金属蒸
気レーザ装置に関し、特に電極構造を改良して放電の安
定化を図った金属蒸気レーザ装置に関する。
The present invention relates to a metal vapor laser device for obtaining laser light by exciting metal vapor by melting metal grains such as copper grains with discharge heat, and in particular improves the electrode structure to stabilize the discharge. The present invention relates to a metal vapor laser device.

【従来の技術】[Conventional technology]

この種の蒸気を利用した物質蒸気発生装置の一例として
、金属蒸気レーザ装置や蒸気イオンビーム装置がある。 第4図は昭和56年度レーザ研究第9巻第2号「銅蒸気
レーザの製作」に示された従来の金属蒸気レーザ装置を
示す断面図であり、図において、1は陰極端子、2は陽
極端子、3は単管構成の陰極、4は陰極3に対する単管
構成の陽極、5は電極(陰極、陽極)3,4間に配置さ
れ、内部に放電部が形成された放電内管、6はこの放電
内管5から径方向の熱伝達や対流による熱損失を抑制す
るためのウール層などによる大気断熱層、7は真空層1
1を形成するためのシール管、8はレーザ光を取り出す
ためのレーザ窓、9はこれらを取り囲む金属外管9(ジ
ャケット)であり、この金属外管9は、陰極フランジ1
4を一体に有して上記陰極端子1と上記陰極3とを電気
的に接続する陰極側ジャケットパーツ9Aと、この陰極
側ジャケットパーツ9Aとは分割形成されて上記陽極端
子2と上記陽極4とを電気的に接続する陽極側ジャケッ
トパーツ9Bと、上記陰極側ジャケットパーツ9Aと上
記陽極側ジャケットパーツ9Bとの間を絶縁する絶縁部
材9Cとを一体的に組合せ合体した構成となっている。 10は上記放電内管5内に設置されて金属蒸気を生成す
る銅粒などの金属粒、11は上記シール管7から径方向
への熱伝達や対流による熱の損失を抑制する真空層、1
2はその真空層11内に収納配置され、上記シール管7
からの熱放射による熱損失を抑制すべく、上記シール管
7の外周を包む円筒状の複数の熱反射体、13はこれら
の熱反射体12を支持する金属スペーサ、14は上記陰
極側ジャケットパーツ9Aと一体の陰極フランジ、15
は上記放電内管5内に封入された放電ガスである。 次に動作について説明する。 陰極端子1および陽極端子2の間にパルス電圧が印加さ
れると、陰極側ジャケットパーツ9Aおよび陽極側ジャ
ケットパーツ9Bを通じて、放電内管5内における放電
ガス15雰囲気中の陰極3と陽極4との間にパルス放電
が発生する。 第5図はその放電特性を示すもので、単管構成の電極3
にあって、例えばそのb点で放電が発生した場合、b点
より右側の電位はb点と同じ電位になる。 このようなパルス放電の発生によって、上記放電内管5
内は放電状態となる。そして、その放電により発生した
熱は、上記放電内管5に伝導し、該放電内管5取り囲む
大気断熱層6.真空層11゜熱反射体12.金属スペー
サ13によって、径方向への熱の対流、伝導、放射によ
る熱損失が極力抑えられることにより、上記放電内管5
の温度が上昇する。この温度上昇によって、上記放電内
管5内の金属粒10が溶融し、レーザ発振を得るために
必要な金属蒸気が発生する。そして、この金属蒸気は上
記パルス電圧で励起され、反転分布を起こす。このため
、上記放電内管5の両端部のレーザ窓8の外側に光共振
器(図示せず)を配置しておけば、それらのレーザ窓8
を通じてレーザ光が得られる。
Examples of material vapor generating devices using this type of vapor include metal vapor laser devices and vapor ion beam devices. Figure 4 is a sectional view showing a conventional metal vapor laser device shown in 1981 Laser Research Vol. 9 No. 2 "Manufacture of Copper Vapor Laser". Terminal, 3 is a cathode with a single-tube configuration, 4 is an anode with a single-tube configuration for the cathode 3, 5 is an inner discharge tube arranged between the electrodes (cathode, anode) 3 and 4 and has a discharge section formed inside, 6 7 is an atmospheric insulation layer such as a wool layer for suppressing heat loss due to radial heat transfer and convection from the discharge inner tube 5, and 7 is a vacuum layer 1.
1 is a seal tube for forming the cathode flange 1, 8 is a laser window for extracting laser light, and 9 is a metal outer tube 9 (jacket) surrounding these.
The cathode side jacket part 9A integrally has the cathode terminal 1 and the cathode 3 and electrically connects the cathode terminal 1 and the cathode 3, and the cathode side jacket part 9A is formed separately to connect the anode terminal 2 and the anode 4. The anode-side jacket part 9B electrically connects the anode-side jacket part 9B, and the insulating member 9C insulates the cathode-side jacket part 9A from the anode-side jacket part 9B. Reference numeral 10 indicates metal grains such as copper particles installed in the inner discharge tube 5 to generate metal vapor; reference numeral 11 indicates a vacuum layer for suppressing heat loss due to radial heat transfer and convection from the seal tube 7;
2 is housed in the vacuum layer 11, and the seal tube 7
13 is a metal spacer that supports these heat reflectors 12, and 14 is the cathode side jacket part. Cathode flange integrated with 9A, 15
is the discharge gas sealed in the discharge inner tube 5. Next, the operation will be explained. When a pulse voltage is applied between the cathode terminal 1 and the anode terminal 2, the connection between the cathode 3 and the anode 4 in the discharge gas 15 atmosphere in the discharge inner tube 5 is caused through the cathode side jacket part 9A and the anode side jacket part 9B. A pulse discharge occurs in between. Figure 5 shows the discharge characteristics of the single-tube electrode 3.
For example, if a discharge occurs at point b, the potential to the right of point b becomes the same potential as point b. Due to the generation of such pulse discharge, the discharge inner tube 5
The inside is in a discharge state. The heat generated by the discharge is conducted to the discharge inner tube 5, and the atmospheric heat insulating layer 6 surrounding the discharge inner tube 5. Vacuum layer 11° heat reflector 12. The metal spacer 13 suppresses heat loss due to convection, conduction, and radiation in the radial direction, so that the discharge inner tube 5
temperature increases. Due to this temperature rise, the metal grains 10 within the discharge inner tube 5 are melted, and metal vapor necessary for obtaining laser oscillation is generated. Then, this metal vapor is excited by the pulse voltage, causing population inversion. Therefore, if an optical resonator (not shown) is placed outside the laser windows 8 at both ends of the inner discharge tube 5, those laser windows 8
Laser light is obtained through the

【発明が解決しようとする課題】[Problem to be solved by the invention]

従来の金属蒸気レーザ装置は以上のように構成されてい
るので、単管構成の電極3.4では、例えば放電発生点
す点より軸方向の内側に高電位点が発生せず、このため
、上記電極3.4の放電管では放電発生点はb点より先
端に移行せず電極の根元で放電するためレーザ発振に寄
与しない放電領域が増加し、レーザ性能が低下するとい
う課題があった。 この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、この発明の請求項1では、電極先端部に放電を
常時安定化させることができ、その安定放電によりレー
ザ性能を向上させることができる電極構成とした金属蒸
気レーザ装置を得ることを目的とする。 また、この発明の請求項2では、放電内管が小口径であ
っても常に安定放電を行うことができる二重電極を容易
に構成することができる金属蒸気レーザ装置を得ること
を目的とする。
Since the conventional metal vapor laser device is constructed as described above, in the single-tube electrode 3.4, a high potential point is not generated axially inside the point where the discharge occurs, for example. In the discharge tube with electrode 3.4, the point of discharge does not move from point b to the tip, but rather discharges at the base of the electrode, which increases the discharge area that does not contribute to laser oscillation, resulting in a decrease in laser performance. This invention has been made to solve the above-mentioned problems, and according to claim 1 of the invention, it is possible to constantly stabilize the discharge at the tip of the electrode, and the stable discharge improves the laser performance. The purpose of the present invention is to obtain a metal vapor laser device with an electrode configuration that allows for. Moreover, the object of claim 2 of the present invention is to obtain a metal vapor laser device that can easily constitute a double electrode that can always perform stable discharge even if the inner discharge tube has a small diameter. .

【課題を解決するための手段】[Means to solve the problem]

この発明の請求項1に係る金属蒸気レーザ装置は、放電
内管の端部側に2層円筒構造の電極を設けたものである
。 この発明の請求項2に係る金属蒸気レーザ装置は、上記
放電内管を絶縁材料で形威し、該放電内管の端部に連結
されて軸方向外方に伸びる導電性管体と、該導電性管体
内に間隙を存して挿入された電極とを、該電極の根元で
電気的に接続したものである。
A metal vapor laser device according to a first aspect of the present invention is provided with an electrode having a two-layer cylindrical structure on the end side of an inner discharge tube. In the metal vapor laser device according to claim 2 of the present invention, the inner discharge tube is made of an insulating material, and a conductive tube body connected to an end of the inner discharge tube and extending outward in the axial direction; An electrode inserted into the conductive tube with a gap is electrically connected at the base of the electrode.

【作 用】[For use]

この発明の請求項1における金属蒸気レーザ装置は、放
電内管の端部側に設けられた電極が2層円筒構造となっ
ているので、上記電極の放電発生点より軸方向内側ある
いは同じ位置に高電位点が発生し、これにより、放電発
生点は常に電極の先端になり、レーザ出力に寄与しない
放電領域が減少することで、レーザ性能が向上する。 この発明の請求項2における金属蒸気レーザ装置では、
絶縁材料より成る放電内管の端部に連結された導電性管
体と、該導電性管体内に間隙を存して挿入された電極と
を、該電極の根元で電気的に接続することにより、先端
が上記放電内管で絶縁された二重電極構成としたので、
上記請求項1の場合と同様に常時安定放電が行えると共
に、上記放電内管が小口径であっても、上記導電性管体
と上記電極とによって二重電極を容易に構成することが
できる。
In the metal vapor laser device according to claim 1 of the present invention, since the electrode provided on the end side of the inner discharge tube has a two-layer cylindrical structure, the electrode is placed axially inside or at the same position as the discharge generation point of the electrode. A high potential point is generated, whereby the discharge generation point is always at the tip of the electrode, and the discharge region that does not contribute to the laser output is reduced, thereby improving laser performance. In the metal vapor laser device according to claim 2 of the invention,
By electrically connecting a conductive tube connected to the end of an inner discharge tube made of an insulating material and an electrode inserted with a gap in the conductive tube at the base of the electrode. , Since we adopted a double electrode configuration with the tip insulated by the discharge inner tube,
As in the case of claim 1, stable discharge can be performed at all times, and even if the inner discharge tube has a small diameter, a double electrode can be easily formed by the conductive tube and the electrode.

【実施例】【Example】

以下、この発明の実施例を図について説明する。 第1図はこの発明の第1実施例による金属蒸気レーザ装
置の断面図であり、第4図と同一または相当部分には同
一符号を付して重複説明を省略する。 図において、3は円筒状の陰極、3aはこの陰極3の外
端部に一体形成された電極フランジ、4は上記陰極3に
対する円筒状の陽極、4aはこの陽極4の外端部に一体
形成された電極フランジであり、放電内管5の両端内側
に2層電極構造を持つ電極3b、3c及び電極4b、4
cが挿入されている。従って、上記陰極3及び上記陽極
4は、上記電極3b、3c及び電極4b、4cによる2
層電極構造となっている。また、電気を導入するフラン
ジ19はそれぞれの電極フランジ3a、4aに放電内管
5の両端にて電気的に接続されている。 6は上記放電内管5の外周を包み込んだ大気断熱層、9
は上記大気断熱層6を包み込んだ真空ジャケット、11
はこの真空ジャケット9の壁部に形成された真空層、1
6は上記陰極3および上記陽極4のそれぞれ外側方対向
でレーザ窓8を支持する絶縁支持部材である。 次に動作について説明する。 放電内管5内における放電ガス15雰囲気中の陰極3と
陽極4との間にパルス放電が発生すると、上記放電内管
5内は放電状態となる。 このときの放電特性を第2図に示す。同図において、上
述のように2層円筒構造とされた電極34(第2図では
陰極3のみ図示)にあって、例えばそのb点で放電が発
生したと仮定すると、Vb=Vc−IR’ 、’、 V d = V b + I R’となり、上
記陰極3の先端より左側で放電が発生すると、その放電
発生点す点より右側に高電位点aが生じる。このため、
上記電極3,4の先端では安定した放電が行われる。 このような安定放電により発生した熱は、上記放電内管
5に伝導し、放電内管5が加熱されると、該放電内管5
内の金属粒10が溶融して蒸気化して金属薫気が発生し
、レーザ窓8から常に安定したレーザ発振を行うことが
可能となる。 第3図はこの発明の第2実施例による金属蒸気レーザ装
置を示す。図において、5はセラミック管による電気絶
縁性の放電内管、17はこの放電内管5の両端にロー付
等により連結された軸方向外方に伸びる金属管よりなる
左右の導電性管体であり、これらの導電性管体17内に
それぞれが円筒状をなす陰極3および陽極4が間隙を存
して挿入され、これらの電極フランジ3a、4aを上記
導電性管体17の端部に電気的に接続している。 従って、この第2実施例では、上記陰極3および陽極4
と上記導電性管体17とによって2層円筒構造の電極が
構成され、上記陰極3および陽極4間の放電発生時には
、電極3.及び4の先端で放電が発生し、レーザ出力に
寄与しない放電領域が減少し放電領域が変動しないため
、レーザ性能が向上するという効果を奏する。また、こ
のような効果に加え、放電内管5が小口径であっても、
上述のように、陰極3および陽極4と導電性管体17と
によって、2層円筒構造の電極を容易に構成できるとい
う効果をも奏する。なお、第3図中において、17aは
この導電性管体17の外端に一体形成されたフランジで
あり、このフランジ17aには、レーザ窓8を支持する
絶縁支持部材16のフランジ16aがメタルパツキン1
8を介して着脱可能に連結されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a metal vapor laser device according to a first embodiment of the present invention, and the same or corresponding parts as in FIG. 4 are given the same reference numerals and redundant explanation will be omitted. In the figure, 3 is a cylindrical cathode, 3a is an electrode flange integrally formed on the outer end of this cathode 3, 4 is a cylindrical anode for the cathode 3, and 4a is integrally formed on the outer end of this anode 4. electrodes 3b, 3c and electrodes 4b, 4 which have a two-layer electrode structure inside both ends of the discharge inner tube 5.
c has been inserted. Therefore, the cathode 3 and the anode 4 are connected to each other by the electrodes 3b, 3c and 4b, 4c.
It has a layered electrode structure. Furthermore, the flanges 19 for introducing electricity are electrically connected to the respective electrode flanges 3a and 4a at both ends of the discharge inner tube 5. 6 is an atmospheric insulation layer surrounding the outer periphery of the discharge inner tube 5; 9
11 is a vacuum jacket surrounding the atmospheric insulation layer 6;
is a vacuum layer formed on the wall of this vacuum jacket 9, 1
Reference numeral 6 denotes an insulating support member that supports the laser window 8 on the outer sides of the cathode 3 and the anode 4, respectively. Next, the operation will be explained. When a pulse discharge occurs between the cathode 3 and the anode 4 in the discharge gas 15 atmosphere within the discharge inner tube 5, the inside of the discharge inner tube 5 enters a discharge state. The discharge characteristics at this time are shown in FIG. In the figure, assuming that a discharge occurs, for example, at point b in the electrode 34 (only the cathode 3 is shown in Figure 2), which has a two-layer cylindrical structure as described above, then Vb = Vc - IR',', V d = V b + I R', and when a discharge occurs to the left of the tip of the cathode 3, a high potential point a is generated to the right of the point where the discharge occurs. For this reason,
Stable discharge occurs at the tips of the electrodes 3 and 4. The heat generated by such stable discharge is conducted to the discharge inner tube 5, and when the discharge inner tube 5 is heated, the discharge inner tube 5 is heated.
The metal particles 10 inside are melted and vaporized to generate metal smoke, making it possible to always perform stable laser oscillation from the laser window 8. FIG. 3 shows a metal vapor laser device according to a second embodiment of the invention. In the figure, 5 is an electrically insulating discharge inner tube made of a ceramic tube, and 17 is a left and right conductive tube body made of a metal tube extending outward in the axial direction connected to both ends of the discharge inner tube 5 by brazing or the like. A cathode 3 and an anode 4 each having a cylindrical shape are inserted into these conductive tubes 17 with a gap between them, and these electrode flanges 3a and 4a are connected to the ends of the conductive tubes 17 with electricity. connected. Therefore, in this second embodiment, the cathode 3 and the anode 4 are
and the conductive tubular body 17 constitute an electrode with a two-layer cylindrical structure, and when a discharge occurs between the cathode 3 and the anode 4, the electrode 3. Discharge occurs at the tips of the laser beams 4 and 4, and the discharge area that does not contribute to the laser output is reduced and the discharge area does not fluctuate, resulting in the effect of improving laser performance. In addition to these effects, even if the inner discharge tube 5 has a small diameter,
As described above, the cathode 3, the anode 4, and the conductive tube 17 have the effect of easily forming an electrode with a two-layer cylindrical structure. In FIG. 3, 17a is a flange integrally formed on the outer end of the conductive tube 17, and the flange 16a of the insulating support member 16 that supports the laser window 8 is attached to the metal packing. 1
They are removably connected via 8.

【発明の効果】【Effect of the invention】

以上のように、この請求項1の発明によれば、放電内管
の端部側に2層円筒構造の電極を設けたので、上記電極
の先端部で常に安定した放電が行われ、レーザ性能が向
上するという効果がある。 また、この請求項2の発明によれば、放電内管を絶縁材
料で形威し、この放電内管の端部に連結された導電性管
体と、該導電性管体内に間隙を存して挿入された電極と
を、該電極の根元で電気的に接続することにより、先端
が上記放電内管で絶縁された二重電極構成としたので、
上記請求項1の場合と同様に常時安定放電が行えると共
に、上記放電内管が小口径であっても、」1記導電性管
体と上記電極とによって二重電極を容易に構成すること
ができるという効果を奏する。
As described above, according to the invention of claim 1, since the electrode with the two-layer cylindrical structure is provided on the end side of the inner discharge tube, a stable discharge is always performed at the tip of the electrode, and the laser performance is improved. This has the effect of improving. Further, according to the invention of claim 2, the inner discharge tube is formed of an insulating material, and the conductive tube body is connected to the end of the inner discharge tube, and a gap is present in the conductive tube body. By electrically connecting the inserted electrode at the base of the electrode, a double electrode structure was created in which the tip was insulated by the discharge inner tube.
As in the case of claim 1, stable discharge can be performed at all times, and even if the inner discharge tube has a small diameter, a double electrode can be easily constructed by the conductive tube body and the electrode. It has the effect of being able to do it.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の第1実施例による金属蒸気レーザ装
置の断面図、第2図は第1図の放電特性を説明するため
の図、第3図はこの発明の第2実施例によ・る金属蒸気
レーザ装置の断面図、第4図は従来の金属蒸気レーザ装
置を示す断面図、第5図は第4図の放電特性を示す図で
ある。 3・・・陰極(電極)、4・・・陽極(電極)、5・・
・放電内管、17・・・導電性管体。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。 三菱電機株式会社
FIG. 1 is a sectional view of a metal vapor laser device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining the discharge characteristics of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of a metal vapor laser device according to a second embodiment of the present invention. 4 is a sectional view showing a conventional metal vapor laser device, and FIG. 5 is a diagram showing the discharge characteristics of FIG. 4. 3... Cathode (electrode), 4... Anode (electrode), 5...
- Discharge inner tube, 17... conductive tube body. In addition, in the figures, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts. Mitsubishi Electric Corporation

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)金属蒸気生成用の金属粒を内蔵して電極間に配置
された放電内管を有する金属蒸気レーザ装置において、
上記放電内管の端部側に2本の同軸円筒を根元で電気的
に接続した2層円筒構造の電極を設けたことを特徴とす
る金属蒸気レーザ装置。
(1) In a metal vapor laser device having an inner discharge tube containing metal particles for metal vapor generation and disposed between electrodes,
A metal vapor laser device characterized in that an electrode having a two-layer cylindrical structure in which two coaxial cylinders are electrically connected at their bases is provided on the end side of the inner discharge tube.
(2)上記放電内管を絶縁材料で形成し、該放電内管の
端部に連結されて軸方向外方に伸びる導電性管体と、該
導電性管体内に間隙を存して挿入された電極とを、該電
極の根元で電気的に接続したことを特徴とする請求項1
記載の金属蒸気レーザ装置。
(2) The discharge inner tube is formed of an insulating material, and the conductive tube is connected to the end of the discharge inner tube and extends axially outward, and the conductive tube is inserted into the conductive tube with a gap. Claim 1, wherein the electrode is electrically connected to the base of the electrode.
The metal vapor laser device described.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4428356A1 (en) * 1994-08-10 1996-03-07 Nwl Laser Tech Gmbh Gas laser resonator with optimum cooling system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE4428356A1 (en) * 1994-08-10 1996-03-07 Nwl Laser Tech Gmbh Gas laser resonator with optimum cooling system

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