JPH03231418A - ステージの支持装置 - Google Patents
ステージの支持装置Info
- Publication number
- JPH03231418A JPH03231418A JP2027507A JP2750790A JPH03231418A JP H03231418 A JPH03231418 A JP H03231418A JP 2027507 A JP2027507 A JP 2027507A JP 2750790 A JP2750790 A JP 2750790A JP H03231418 A JPH03231418 A JP H03231418A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rigidity
- shaft
- stage
- low
- support device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えば半導体露光用のステージのように精密
な位置決めが必要とされるステージの支持装置に関する
ものである。
な位置決めが必要とされるステージの支持装置に関する
ものである。
従来の技術
近年、空間の位置決めステージに要求される精度は、従
来よりさらに微細になってきた。例えば半導体のパター
ンではサブミクロンからクォーターミクロンの加工が必
要であり、この加工に用いるステージには分解能が数ナ
ノメートル程度の極めて精密な位置決めが要求される。
来よりさらに微細になってきた。例えば半導体のパター
ンではサブミクロンからクォーターミクロンの加工が必
要であり、この加工に用いるステージには分解能が数ナ
ノメートル程度の極めて精密な位置決めが要求される。
このような超精密な位置決めをおこなうのにアクチュエ
ータとして積層形の圧電素子を用られることか多いが、
積層形の圧電素子は引っ張り方向の力と、積層に対して
平行な方向っまりせん断方向の力に非常に弱い特性があ
る。したがって、ステージがベースに対してどのような
方向に変位しても積層形の圧電素子には引っ張り力とせ
ん断力がかからない構造をとることが必要となる。この
うち引っ張り方向に関しては例えば予め圧縮方向に圧力
をかけることによって比較的容易に解決できるが、せん
断方向がかからないようなにするには、変位に対して圧
電素子にかかるせん断力を予め考慮に入れた支持機構が
必要になる。
ータとして積層形の圧電素子を用られることか多いが、
積層形の圧電素子は引っ張り方向の力と、積層に対して
平行な方向っまりせん断方向の力に非常に弱い特性があ
る。したがって、ステージがベースに対してどのような
方向に変位しても積層形の圧電素子には引っ張り力とせ
ん断力がかからない構造をとることが必要となる。この
うち引っ張り方向に関しては例えば予め圧縮方向に圧力
をかけることによって比較的容易に解決できるが、せん
断方向がかからないようなにするには、変位に対して圧
電素子にかかるせん断力を予め考慮に入れた支持機構が
必要になる。
このため特開昭６２−８８０８８号公報をみると、第３
図に示すように、積層形圧電素子２１の画植錬 っホｉ
べ一７９Ｕ４菅香工９１小浦ふステージ２３と圧電素子
２１の間に非常に低剛性の球対偶部分２４．２５を設け
ている。
図に示すように、積層形圧電素子２１の画植錬 っホｉ
べ一７９Ｕ４菅香工９１小浦ふステージ２３と圧電素子
２１の間に非常に低剛性の球対偶部分２４．２５を設け
ている。
第３図のように構成された支持装置において、例えばベ
ース２２とステージ２３とが平行に変位するとき、第４
図に示すようにこの球対偶２４．２５の最も剛性の低い
ところで変位は吸収されるため、圧電素子２１にせん断
力として伝わる力は非常に小さくなる。
ース２２とステージ２３とが平行に変位するとき、第４
図に示すようにこの球対偶２４．２５の最も剛性の低い
ところで変位は吸収されるため、圧電素子２１にせん断
力として伝わる力は非常に小さくなる。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような構成では、剛性の低い部分の
剛性値は前記部分の加工時点における精度のみに依存し
、支持装置の組立調整時にその剛性値を変化させること
ができなかった。
剛性値は前記部分の加工時点における精度のみに依存し
、支持装置の組立調整時にその剛性値を変化させること
ができなかった。
上記課題を解決するために、本発明は圧電素子の伸び方
向には非常に高剛性で、それ以外の方向には非常に低剛
性の、しかもその低剛性部分の剛性の調整が可能なステ
ージの支持装置を提供するものである。
向には非常に高剛性で、それ以外の方向には非常に低剛
性の、しかもその低剛性部分の剛性の調整が可能なステ
ージの支持装置を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明のステージ支持装置
は、リンクの低剛性部を構成する部分が、剛性の低い軸
と、この軸と嵌合する部材と、この部材を前記軸の軸心
方向に固定可能な部材とを備えたものである。
は、リンクの低剛性部を構成する部分が、剛性の低い軸
と、この軸と嵌合する部材と、この部材を前記軸の軸心
方向に固定可能な部材とを備えたものである。
作 用
以下、第２図を用いてその作用を説明する。第２図は本
発明のステージ支持装置のうち低剛性部の一例をあられ
したもので、同図において、１はリンクの一方につなが
る剛性の低い軸、２はリンクの他方とつながり、軸１と
嵌合する部材、３は部材２と軸１とを締結するための部
材である。
発明のステージ支持装置のうち低剛性部の一例をあられ
したもので、同図において、１はリンクの一方につなが
る剛性の低い軸、２はリンクの他方とつながり、軸１と
嵌合する部材、３は部材２と軸１とを締結するための部
材である。
ここで低剛性部分の剛性値はほとんど軸１のもっとも細
い部分によりきまり、その大きさは嵌合部材４２が締結
固定されたときの軸１の非嵌合部の長さに依存する。し
たがって軸１の部材２に嵌合する長さを調整すれば、低
剛性部分の剛性の調整が可能となる。
い部分によりきまり、その大きさは嵌合部材４２が締結
固定されたときの軸１の非嵌合部の長さに依存する。し
たがって軸１の部材２に嵌合する長さを調整すれば、低
剛性部分の剛性の調整が可能となる。
実施例
以下本発明の一実施例におけるステージ支持装置につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
第１図および第２図において、１はリンクの一方につな
がる剛性の低い軸、２はリンクの他方とつながり、軸１
と軸心方向移動可能に嵌合する嵌合部材で、先端部外周
におねじが切ってあり、先端に三か所切込みがある。３
は嵌合部材２と軸１とを前記軸心方向において締結する
ための環状の締結部材であり、内周側はめねじになって
いる。
がる剛性の低い軸、２はリンクの他方とつながり、軸１
と軸心方向移動可能に嵌合する嵌合部材で、先端部外周
におねじが切ってあり、先端に三か所切込みがある。３
は嵌合部材２と軸１とを前記軸心方向において締結する
ための環状の締結部材であり、内周側はめねじになって
いる。
軸１を嵌合部材２に挿入し締結部材３で締め付けると、
嵌合部材２のテーパ部分４と締結部材３のテーバ部分５
が当る。このとき嵌合部材２の切込み部分がばねとなり
、嵌合部材２の外周から軸心に向けて締め付は力が働き
、軸１と嵌合部材２は固定される。
嵌合部材２のテーパ部分４と締結部材３のテーバ部分５
が当る。このとき嵌合部材２の切込み部分がばねとなり
、嵌合部材２の外周から軸心に向けて締め付は力が働き
、軸１と嵌合部材２は固定される。
以上のように構成したことにより、軸１を嵌合部材２に
挿入するときその挿入の深さを調節することによって、
軸１のもつ剛性を調整することができる。
挿入するときその挿入の深さを調節することによって、
軸１のもつ剛性を調整することができる。
以上のように本実施例によれば、ステージの支持装置に
おいて、リンクの低剛性部を構成する部分に、剛性の低
い軸１と、この軸１と嵌合する嵌合部材２と、この嵌合
部材を前記軸の軸心方向に締結するための締結部材３と
を備えことによって、低剛性部分の剛性の調整を可能に
することができる。
おいて、リンクの低剛性部を構成する部分に、剛性の低
い軸１と、この軸１と嵌合する嵌合部材２と、この嵌合
部材を前記軸の軸心方向に締結するための締結部材３と
を備えことによって、低剛性部分の剛性の調整を可能に
することができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、低剛性部分の剛性の値が
調整可能となる。
調整可能となる。
第１図は本発明の一実施例におけるステージ支持装置の
要部を示す分解斜視図、第２図はその締結された状態の
縦断側面図、第３図は従来のステージの支持装置の全体
図、第４図はその動作を表す図である。 １・・・・・・軸、２・・・・・・嵌合部材、３・・・
・・・締結部材。
要部を示す分解斜視図、第２図はその締結された状態の
縦断側面図、第３図は従来のステージの支持装置の全体
図、第４図はその動作を表す図である。 １・・・・・・軸、２・・・・・・嵌合部材、３・・・
・・・締結部材。
Claims (1)
- ベースまたはステージとの連結点近傍にこれらをステー
ジおよびベースよりも低い剛性部を持ち、前記ステージ
を前記ベースに対して移動可能に支持するステージの支
持装置において、前記低剛性部を構成する部分が、剛性
の低い軸と、この軸と軸心方向移動可能に嵌合する部材
と、前記部材を前記軸に対してその軸心方向に固定可能
な部材とを備えたことを特徴とするステージの支持装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2027507A JPH03231418A (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | ステージの支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2027507A JPH03231418A (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | ステージの支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03231418A true JPH03231418A (ja) | 1991-10-15 |
Family
ID=12223052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2027507A Pending JPH03231418A (ja) | 1990-02-07 | 1990-02-07 | ステージの支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03231418A (ja) |
-
1990
- 1990-02-07 JP JP2027507A patent/JPH03231418A/ja active Pending
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