JPH03231135A - Linearity measuring device of optical power meter - Google Patents
Linearity measuring device of optical power meterInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光パワーメータの光源に対するリニアリティ
の測定に用いられる機器に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a device used for measuring linearity of an optical power meter with respect to a light source.
（従来の技術）
光パワーメータの光源に対するリニアリティの測定をす
る場合には、光源のパワーの絶対値（光源の本当のパワ
ー値）がわからないので、先ず、カロリーメータを用い
て光源のパワーの絶対値を測定することがなされる。そ
して、この光源のパワーの絶対値に対して、光パワーメ
ータが検出する値を調べることによって、光パワーメー
タの光源に対するリニアリティが測定できる。(Prior art) When measuring the linearity of a light source with an optical power meter, the absolute value of the power of the light source (the true power value of the light source) is not known, so first, a calorimeter is used to measure the absolute power of the light source. Measuring the value is done. Then, by checking the value detected by the optical power meter with respect to the absolute value of the power of the light source, the linearity of the optical power meter with respect to the light source can be measured.
この場合、小パワー領域のりニアリティを測定する際に
は、光源として白色光源を用い、大パワー領域のリニア
リティを測定する際には、光源としてレーザ光源が用い
られている。In this case, a white light source is used as a light source when measuring linearity in a small power region, and a laser light source is used as a light source when measuring linearity in a large power region.
（発明が解決しようとする課題）
上記構成の従来例において、多数の領域でのパワーレベ
ルでのりニアリティを測定する場合には、各領域でカロ
リーメタ−を用いて光源の絶対値を測定しなければなら
ない。しかし、カロリーメータの測定には時間がかかる
という問題点がある。(Problem to be Solved by the Invention) In the conventional example with the above configuration, when measuring linearity at power levels in multiple regions, it is necessary to measure the absolute value of the light source in each region using a calorimeter. Must be. However, there is a problem in that measurement using a calorimeter takes time.
更に、カロリーメータを用いて光源の測定をする場合に
は、室温に変化があると、正確な測定ができす、室温の
管理が繁雑であるという問題点もある。Furthermore, when measuring a light source using a calorimeter, there are also problems in that accurate measurements cannot be made if there is a change in room temperature, and room temperature management is complicated.
又、光源にレーザ光源を用いる場合には、レーザ光源を
長時間安定させることが難しい問題点もある。Further, when a laser light source is used as a light source, there is also the problem that it is difficult to stabilize the laser light source for a long time.
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的
は、短時間で光パワーメータのリニアリティの測定がで
きる測定器を提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a measuring instrument that can measure the linearity of an optical power meter in a short time.
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決する本発明は、略同一のパワーを存する
第１及び第２のレーザ光線を生成する光源部と、前記第
１及び第２のレーザ光線のパワを調節するアッテネータ
部と、前記第１及び第２のレーザ光線の光路上に各々配
設され、前記レザ光線をオン／オフする第１及び第２の
ンヤンタ部と、前記第１及び第２のレーザ光線を合成す
る合成部とを設けたものである。(Means for Solving the Problems) The present invention for solving the above problems includes a light source section that generates first and second laser beams having substantially the same power, and a power source section that generates first and second laser beams having substantially the same power. an attenuator section that adjusts the laser beam; first and second attenuator sections that are respectively disposed on the optical paths of the first and second laser beams and turn on/off the laser beam; A combining section for combining laser beams is provided.
（作用）
本発明の光パワーメータのリニアリティ測定器において
、レーザ光源から生成され、アッテネータによってパワ
ーが調整されたた第１及び第２のレーザ光線は、第１及
び第２のンヤッタ部で、オン／オフされ、合成部に至る
。ここで、第１及び第２のレーザ光線は合成され、光パ
ワーメータに照射される。(Function) In the optical power meter linearity measuring device of the present invention, the first and second laser beams generated from the laser light source and whose powers are adjusted by the attenuator are turned on at the first and second attenuators. / is turned off and reaches the synthesis section. Here, the first and second laser beams are combined and irradiated onto the optical power meter.
（実施例） 次に図面を用いて本発明の一実施例を説明する。(Example) Next, one embodiment of the present invention will be described using the drawings.
第１図は本発明の第１の実施例を示す構成図、第２図は
本発明の第２の実施例を示す構成図、第３図は本発明の
第３の実施例を示す構成図である。Fig. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention, Fig. 2 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention, and Fig. 3 is a block diagram showing a third embodiment of the present invention. It is.
先ず、第１図を用いて本発明の第１の実施例を説明する
。図において、１はレーザ光源、２はレザ光源より出射
されるレーザ光線のパワーを規制するアッテネータ、３
はアッテネータ２を通過したレーザ光線の径を規制して
、レーザ光線の断面形状を小さなスポットに成形するピ
ンホールである。４はピンホール３を通過したレーザ光
線の５０％を反射して第１のレーザ光線をＬ１生成し、
残りの５０％を透過して第２のレーザ光線Ｌ２を生成す
る第１のハーフミラ−１５は第２のレーザ光線Ｌ２を全
反射する全反射ミラーである。尚、本実施例においては
、第１のハーフミラ−４の裏面には、反射防止コートが
コーティングされている。そして、レーザ光源１と第１
のハーフミラ−とて、略同一のパワーを有する第１のレ
ーザ光線Ｌ１及び第２のレーザ光線Ｌ２を生成する光源
Ｈを構成している。First, a first embodiment of the present invention will be described using FIG. In the figure, 1 is a laser light source, 2 is an attenuator that regulates the power of the laser beam emitted from the laser light source, and 3
is a pinhole that regulates the diameter of the laser beam that has passed through the attenuator 2 and shapes the cross-sectional shape of the laser beam into a small spot. 4 reflects 50% of the laser beam that passed through the pinhole 3 to generate a first laser beam L1;
The first half mirror 15 that transmits the remaining 50% and generates the second laser beam L2 is a total reflection mirror that totally reflects the second laser beam L2. In this embodiment, the back surface of the first half mirror 4 is coated with an antireflection coating. Then, the laser light source 1 and the first
The half mirror constitutes a light source H that generates a first laser beam L1 and a second laser beam L2 having substantially the same power.
６は第１のハーフミラ−４で反射された第１のレーザ光
線Ｌ１のオン／オフを行なう第１のシャッタ、７は第１
のハーフミラ−４を透過した第２のレーザ光線Ｌ２のオ
ン／オフを行なう第２のシャッタである。6 is a first shutter that turns on/off the first laser beam L1 reflected by the first half mirror 4; 7 is a first shutter;
This is a second shutter that turns on/off the second laser beam L2 that has passed through the half mirror 4.
８は、駆動アンプ９によって駆動され、第１のレーザ光
線Ｌ１が反射することにより、第１のレーザ光線Ｌ１の
位相を変化させるＰＺＴ素子である。8 is a PZT element that is driven by the drive amplifier 9 and changes the phase of the first laser beam L1 by reflecting the first laser beam L1.
１０は一方の面からは第１のレーザ光線Ｌ１が入射し、
他方の面からは第２のレーザ光線Ｌ２が入射し、これら
２つのレーザ光線Ｌ１、Ｌ２を合成する第２のハーフミ
ラ−（合成部）である。尚、本実施例においては、第２
のハーフミラ−１０の裏面にも反射防止コートがコーテ
ィングされている。10, the first laser beam L1 enters from one surface,
A second laser beam L2 enters from the other surface, and is a second half mirror (synthesizer) that combines these two laser beams L1 and L2. In addition, in this example, the second
The back surface of the half mirror 10 is also coated with an antireflection coating.
１１は、被測定対象である光パワーメータ、１２はこの
光パワーメータの受光素子である。Reference numeral 11 indicates an optical power meter to be measured, and reference numeral 12 indicates a light receiving element of this optical power meter.
次に、上記構成の作動を説明する。レーザ光源１から出
たレーザ光線は、アッテネータ２により、所望のパワー
に制御され、ピンホール３によって、断面形状が小さな
スポット径に成形される。そして、第１のハーフミラ−
４にて、第１のレーザ光線Ｌ１と第２のレーザ光線Ｌ２
が生成される。Next, the operation of the above configuration will be explained. A laser beam emitted from a laser light source 1 is controlled to a desired power by an attenuator 2, and its cross-sectional shape is shaped into a small spot diameter by a pinhole 3. And the first half mirror
4, the first laser beam L1 and the second laser beam L2
is generated.
第１のレーザ光線Ｌ１は第１のシャッタ６を介して、Ｐ
ＺＴ素子８に至る。ここで、第１のレーザ光線Ｌ１の位
相が調整され、第２のハーフミラ−１０に至る。The first laser beam L1 passes through the first shutter 6,
This leads to the ZT element 8. Here, the phase of the first laser beam L1 is adjusted and reaches the second half mirror 10.
一方、第２のレーザ光線Ｌ２は、第２のシャッタ７を介
して全反射ミラー５に至る。ここで、第２のレーザ光線
Ｌ２は全反射され、光路が変更され、第２のハーフミラ
−１０に至る。On the other hand, the second laser beam L2 reaches the total reflection mirror 5 via the second shutter 7. Here, the second laser beam L2 is totally reflected, its optical path is changed, and it reaches the second half mirror 10.
第２のハーフミラ−１０において、第１及び第２のレー
ザ光線Ｌ１、Ｌ２の５０％は反射し、５０％は透過する
。そして、第１のレーザ光線Ｌ１の反射光線と、第２の
レーザ光線Ｌ２の透過光線とが合成されて、光パワーメ
ータ１１の受光素子１２に至り、光パワーメータ１１に
よって、パワが読み取られる。In the second half mirror 10, 50% of the first and second laser beams L1 and L2 are reflected and 50% are transmitted. Then, the reflected light beam of the first laser beam L1 and the transmitted light beam of the second laser beam L2 are combined, reach the light receiving element 12 of the optical power meter 11, and the power is read by the optical power meter 11.
上記構成によれば、第１のシャッタ６と、第２のシャッ
タ７を両方ともオン（オーブン）したときは、第１のシ
ャッタ６及び第２のシャッタ７をそれぞれ片方ずつオン
（オーブン）して読み取ったパワー値の和と考えられる
が、実際には、光パワーメータのリニアリティによって
、誤差が生じる。よって、アッテネータ２を用いて、い
ろいろなパワーに対するこの誤差を求めると、光パワー
メータ１１のリニアリティを測定することができる。そ
して、カロリーメータ用いることなく、リニアリティの
測定を行なうことができるので、測定時間が短時間です
む。According to the above configuration, when both the first shutter 6 and the second shutter 7 are turned on (oven), the first shutter 6 and the second shutter 7 are turned on (oven) one by one. Although it is considered to be the sum of the read power values, in reality, an error occurs due to the linearity of the optical power meter. Therefore, by finding this error for various powers using the attenuator 2, the linearity of the optical power meter 11 can be measured. Furthermore, since linearity can be measured without using a calorimeter, the measurement time can be shortened.
又、レーザ光線は、干渉性を有しているので、同一の光
源より２つのレーザ光線を生成し、再び合成すると、各
々のレーザ光線の光路差によって、パワーが強めあった
り、弱めあったりする。しがし、本実施例においては、
ＰＺＴ素子８によって、一方のレーザ光線である第１の
レーザ光線Ｌ１の位相が調整され、２つのレーザ光線Ｌ
１、Ｌ２の光路差が同じか、又は、波長の整数倍だけず
れるようにすることかできる。Also, since laser beams have coherency, when two laser beams are generated from the same light source and combined again, their powers may become stronger or weaker depending on the optical path difference between the respective laser beams. . However, in this example,
The phase of one laser beam, the first laser beam L1, is adjusted by the PZT element 8, and the two laser beams L
1. The optical path difference between L2 and L2 can be the same, or can be shifted by an integral multiple of the wavelength.
具体的には、２つのシャッタ６．７をオン（オーブン）
にした状態で、駆動アンプ９を駆動し、光パワーメータ
１１ので読み取ったパワーが最大になった時が、この状
態である。Specifically, turn on the two shutters 6.7 (oven)
This state occurs when the drive amplifier 9 is driven in the state shown in FIG. 1, and the power read by the optical power meter 11 becomes maximum.
また、２つのレーザ光線Ｌ１、Ｌ２の光路差が仮にあっ
て、第１のシャッタ６及び第２シヤツタ７を片方づつオ
ン（オーブン）にした時の和と、第１のシャッタ６及び
第２のシャッタ７を片方づつオン（オーブン）にした時
のに差が生じても、この差の大きさはし〜ザ光線のパワ
ーにががゎらず、一定であるので、パワーレベルを変化
させた時の、この差の変化量はパワーメータのリニアリ
ティを示す。Furthermore, if there is an optical path difference between the two laser beams L1 and L2, the sum when the first shutter 6 and the second shutter 7 are turned on (oven) one by one, and the sum when the first shutter 6 and the second shutter 7 are turned on (oven), respectively. Even if there is a difference when the shutter 7 is turned on (oven) one by one, the size of this difference is small.The power of the light beam remains constant, so when the power level is changed, The amount of change in this difference indicates the linearity of the power meter.
次に、第２図を用いて本発明の第２の実施例を説明する
。この図において、２１はレーザ光源、２２はレーザ光
源２１より出射されるレーザ光線のパワーを規制するア
ッテネータ、２３はアッテネータ２を通過したレーザ光
線の径を規制して、レーザ光線の断面形状を小さなスポ
ットに成形するピンホールである。２４はピンホール２
３を通過したレーザ光線の５０％を反射して第１のレー
ザ光線Ｌ１を生成し、残りの５０％を透過して第２のレ
ーザ光線Ｌ２を生成する第１のハーフミラ、２５は第２
のレーザ光線Ｌ２を全反射する全反射ミラーである。尚
、本実施例においては、第１のハーフミラ−２４の裏面
には、反射防止コートがコーティングされている。そし
て、レーザ光源２１と第１のハーフミラ−２４とて、略
同一のパワーを有する第１のレーザ光線Ｌ１及び第２の
レーザ光線Ｌ２を生成する光源Ｈを構成している。Next, a second embodiment of the present invention will be described using FIG. In this figure, 21 is a laser light source, 22 is an attenuator that regulates the power of the laser beam emitted from the laser light source 21, and 23 is an attenuator that regulates the diameter of the laser beam that has passed through the attenuator 2 to reduce the cross-sectional shape of the laser beam. It is a pinhole formed into a spot. 24 is pinhole 2
25 is a first half mirror that reflects 50% of the laser beam that has passed through 3 to generate a first laser beam L1, and transmits the remaining 50% to generate a second laser beam L2;
This is a total reflection mirror that totally reflects the laser beam L2. In this embodiment, the back surface of the first half mirror 24 is coated with an antireflection coating. The laser light source 21 and the first half mirror 24 constitute a light source H that generates a first laser beam L1 and a second laser beam L2 having substantially the same power.
２６は第１のハーフミラ−２４で反射された第１のレー
ザ光線Ｌ１のオン／オフを行なう第１のシャッタ、２７
は第１のハーフミラ−２４を透過した第２のレーザ光線
Ｌ２のオン／オフを行なう第２のシャッタである。26 is a first shutter that turns on/off the first laser beam L1 reflected by the first half mirror 24; 27;
is a second shutter that turns on/off the second laser beam L2 transmitted through the first half mirror 24.
２８は第１のシャッタ２６を通過した第１のレーザ光線
Ｌ１の５０％を反射し、残りの５０％を透過する第３の
ハーフミラ−である。28 is a third half mirror that reflects 50% of the first laser beam L1 that has passed through the first shutter 26 and transmits the remaining 50%.
２９は、駆動アンプ３０によって駆動され、第１のレー
ザ光線Ｌ１が反射することにより、第１のレーザ光線Ｌ
１の位相を変化させるＰＺＴ素子である。29 is driven by the drive amplifier 30, and the first laser beam L1 is reflected, so that the first laser beam L1 is reflected.
This is a PZT element that changes the phase of 1.
３１は一方の面からは第１のレーザ光線Ｌ１が入射し、
他方の面からは第２のレーザ光線Ｌ２が入射し、これら
２つのレーザ光線Ｌ１、Ｌ２を合成する第３のハーフミ
ラ−（合成部）である。31, the first laser beam L1 enters from one surface,
The second laser beam L2 enters from the other surface, and is a third half mirror (synthesizer) that combines these two laser beams L1 and L2.
尚、本実施例においては、第３のハーフミラ−３１の裏
面には、反射防止コートがコーティングされている。In this embodiment, the back surface of the third half mirror 31 is coated with an antireflection coating.
３２は、被測定対象である光パワーメータ、３３はこの
光パワーメータの受光素子である。32 is an optical power meter to be measured, and 33 is a light receiving element of this optical power meter.
次に、上記構成の作動を説明する。レーザ光源２１から
出たレーザ光線は、アッテネータ２２により、所望のパ
ワーに制御され、ピンホール２３によって、断面形状が
小さなスポット径に成形される。そして、第１のハーフ
ミラ−２４にて、第１のレーザ光線Ｌ１と第２のレーザ
光線Ｌ２が生成される。Next, the operation of the above configuration will be explained. The laser beam emitted from the laser light source 21 is controlled to a desired power by an attenuator 22, and its cross-sectional shape is shaped into a small spot diameter by a pinhole 23. Then, the first half mirror 24 generates a first laser beam L1 and a second laser beam L2.
第１のレーザ光線Ｌ１は第１のシャッタ２６を介して、
第２のハーフミラ−２８に至る。ここで、入射光線の５
０％は反射され、ＰＺＴ素子２９へ行く。そして、第１
のレーザ光線Ｌ１の位相か調整され、再び、第２のハー
フミラ−２８へ至り、入射光の５０％が第３のハーフミ
ラ−へ行く。The first laser beam L1 passes through the first shutter 26,
The second half mirror 28 is reached. Here, 5 of the incident ray
0% is reflected and goes to PZT element 29. And the first
The phase of the laser beam L1 is adjusted and reaches the second half mirror 28 again, and 50% of the incident light goes to the third half mirror.
一方、第２のレーザ光線Ｌ２は、第２のシャッタ２７を
介して全反射ミラー２５に至る。ここで、第２のレーザ
光線Ｌ２は全反射され、光路が変更され、第３のハーフ
ミラ−３１に至る。On the other hand, the second laser beam L2 reaches the total reflection mirror 25 via the second shutter 27. Here, the second laser beam L2 is totally reflected, its optical path is changed, and it reaches the third half mirror 31.
この第３のハーフミラ−３１において、第１及び第２の
レーザ光線Ｌ１、Ｌ２の５０％は反射し、５０％は透過
する。そして、第１のレーザ光線Ｌ１の反射光線と、第
２のレーザ光線Ｌ２の透過光線とが合成されて、光パワ
ーメータ３２の受光素子３３に至り、光パワーメータ３
２によって、パワーが読み取られる。In this third half mirror 31, 50% of the first and second laser beams L1 and L2 are reflected and 50% are transmitted. Then, the reflected light beam of the first laser beam L1 and the transmitted light beam of the second laser beam L2 are combined and reach the light receiving element 33 of the optical power meter 32.
2, the power is read.
上記構成によれば、第１の実施例の効果に加えて、ＰＺ
素子２９の移動によって、第１のレーザ光線Ｌ１が横に
ずれないので、受光素子３３ての各レーザ光線Ｌ１、Ｌ
２のスポット位置を同じくすることができるので、横ず
れによる干渉を緩和することができる。According to the above configuration, in addition to the effects of the first embodiment, PZ
Since the first laser beam L1 does not shift laterally due to the movement of the element 29, each of the laser beams L1 and L of the light receiving element 33
Since the two spot positions can be made the same, interference due to lateral shift can be alleviated.
次に、第３図を用いて本発明の第３の実施例を説明する
。図において、４１．４２は各々独立したレーザ光線Ｌ
１、Ｌ２を生成する第１のレーザ光源、第２のレーザ光
源である。４３．４４はレーザ光源４１．４２より出射
されるレーザ光線Ｌ１、Ｌ２のパワーを規制する第１及
び第２のアッテネータ、４５．４６はレーザ光線Ｌ１、
Ｌ２のオン／オフを行なう第１及び第２のシャッタであ
る。４７は第２のレーザ光線Ｌ２の光路上に配設され、
入射光線の５０％は反射し、残りの５０％は透過するハ
ーフミラ−である。４８は第２のレーザ光線Ｌ１の光路
上に配設され、第２のレーザ光線Ｌ２を反射して、光路
をノ＼−フミラー４７方向にする全反射ミラーである。Next, a third embodiment of the present invention will be described using FIG. In the figure, 41 and 42 are each independent laser beam L
1, a first laser light source that generates L2, and a second laser light source. 43.44 are first and second attenuators that regulate the power of the laser beams L1 and L2 emitted from the laser light source 41.42; 45.46 is the laser beam L1;
These are first and second shutters that turn on/off L2. 47 is arranged on the optical path of the second laser beam L2,
It is a half mirror that reflects 50% of the incident light beam and transmits the remaining 50%. A total reflection mirror 48 is disposed on the optical path of the second laser beam L1, reflects the second laser beam L2, and directs the optical path toward the nof mirror 47.
４９は、被測定対象である光パワーメータ、５０はこの
光パワーメータ４９の受光素子である。49 is an optical power meter to be measured, and 50 is a light receiving element of this optical power meter 49.
次に、上記構成の作動を説明する。第１及び第２のレー
ザ光源４１．４２から出たレーザ光線Ｌ１、Ｌ２は、第
１及び第２のアッテネータ４３゜４４により、所望のパ
ワーに制御される。そして、第１のレーザビームＬ１は
第１のシャッタ４５を介して、全反射ミラー４８て反射
し、ハーフミラ−４７へ至る。一方１．第２のレーザ光
線Ｌ２は第２のシャッタ４６を介してハーフミ乏−４７
へ至る。ここで、第１のレーザ光線Ｌ１と第２のレーザ
光線Ｌ２は合成されて、光パワーメータ４９の受光素子
５０上に集光し、光パワーメータ４９によって、パワー
が読み取られる。Next, the operation of the above configuration will be explained. Laser beams L1 and L2 emitted from the first and second laser light sources 41 and 42 are controlled to desired powers by first and second attenuators 43 and 44, respectively. The first laser beam L1 passes through the first shutter 45, is reflected by the total reflection mirror 48, and reaches the half mirror 47. On the other hand 1. The second laser beam L2 passes through the second shutter 46 and the half-mirror beam L2 passes through the second shutter 46.
leading to. Here, the first laser beam L1 and the second laser beam L2 are combined and focused on the light receiving element 50 of the optical power meter 49, and the power is read by the optical power meter 49.
上記構成によれば、第１のシャッタ４５と、第２のシャ
ッタ４６を両方ともオン（オーブン）したときは、第１
のシャッタ４５及び第２のシャッタ４６７をそれぞれ片
方ずつオン（オーブン）して読み取ったパワー値の和と
考えられるが、実際には、光パワーメータのりニアリテ
ィによって、誤差が生じる。よって、第１及び第２のア
ッテネータ４３．４４を用いて、いろいろなパワーに対
するこの誤差を求めると、光パワーメータ４９のリニア
リティを測定することができる。そして、カロリーメー
タ用いることなく、リニアリティの測定を行なうことが
できるので、測定時間が短時間ですむ。According to the above configuration, when both the first shutter 45 and the second shutter 46 are turned on (oven), the first shutter 45 and the second shutter 46 are turned on (oven).
This is considered to be the sum of the power values read by turning on (oven) the shutter 45 and the second shutter 467 one by one, but in reality, an error occurs depending on the linearity of the optical power meter. Therefore, by finding this error for various powers using the first and second attenuators 43 and 44, the linearity of the optical power meter 49 can be measured. Furthermore, since linearity can be measured without using a calorimeter, the measurement time can be shortened.
又、本実施例においては、独立したレーザ光源４１．４
２を用いているので、干渉が生じることはない。Further, in this embodiment, an independent laser light source 41.4
2 is used, so no interference occurs.
（発明の効果）
以上述べたように本発明によれば、時間−のパワーを有
する第１及び第２のレーザ光線を生成する光源部と、前
記第１及び第２のレーザ光線のパワーを調節するアッテ
ネータ部と、前記第１及び第２のレーザ光線の光路上に
各々配設され、前記レーザ光線をオン／オフする第１及
び第２のシャッタ部と、前記第１及び第２のレーザ光線
を合成する合成部とを設けたことにより、短時間で光パ
ワーメータのりニアリティの測定ができる測定器を実現
できる。(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, there is provided a light source section that generates first and second laser beams having powers of - and that adjusts the powers of the first and second laser beams. an attenuator section that turns on/off the laser beams, first and second shutter sections that are respectively disposed on the optical paths of the first and second laser beams and turn on/off the laser beams; By providing a synthesizing section for synthesizing the optical power meters, it is possible to realize a measuring instrument that can measure the linearity of an optical power meter in a short time.
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１の実施例を示す構成図、第２図は
本発明の第２の実施例を示す構成図、第３図は本発明の
第３の実施例を示す構成図である。
これらの図において、
２．２２，４３．４４・・・アッテネータ６．７，２６
，２７，４５．４６・ シャッタ（シャッタ部）
１０．３１．４７・・ハーフミラ−（合成部）Ｌ１、Ｌ
２・・レーザ光線
Ｈ・・光源部
第
図[Brief Description of the Drawings] Fig. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention, Fig. 2 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention, and Fig. 3 is a block diagram showing a third embodiment of the present invention. FIG. In these figures, 2.22, 43.44...attenuators 6.7, 26
,27,45.46・Shutter (Shutter part) 10.31.47・・Half mirror (Composition part) L1, L
2. Laser beam H... Light source section diagram
Claims (1)
１、Ｌ２）を生成する光源部（Ｈ）と、前記第１及び第
２のレーザ光線（Ｌ１、Ｌ２）のパワーを調節するアッ
テネータ部（２）と、前記第１及び第２のレーザ光線（
Ｌ１、Ｌ２）の光路上に各々配設され、前記レーザ光線
（Ｌ１、Ｌ２）をオン／オフする第１及び第２のシャッ
タ部（６、７）と、 前記第１及び第２のレーザ光線（Ｌ１、Ｌ２）を合成す
る合成部（１０）とを設けたことを特徴とする光パワー
メータのリニアリティ測定器。[Claims] First and second laser beams (L
1, L2); an attenuator unit (2) that adjusts the powers of the first and second laser beams (L1, L2);
first and second shutter parts (6, 7) respectively disposed on the optical paths of the laser beams (L1, L2) and turning on/off the laser beams (L1, L2); and the first and second laser beams (L1, L2). A linearity measuring device for an optical power meter, characterized in that a combining section (10) for combining (L1, L2) is provided.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2680090A JPH03231135A (en) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | Linearity measuring device of optical power meter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2680090A JPH03231135A (en) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | Linearity measuring device of optical power meter |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03231135A true JPH03231135A (en) | 1991-10-15 |
Family
ID=12203389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2680090A Pending JPH03231135A (en) | 1990-02-06 | 1990-02-06 | Linearity measuring device of optical power meter |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03231135A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0712678A (en) * | 1993-06-28 | 1995-01-17 | Nec Corp | Inspecting apparatus for characteristic of photodetector |
| JP2003005108A (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-08 | Ricoh Co Ltd | Scanning optical device and image forming device provided with it |
| CN102053392A (en) * | 2010-12-16 | 2011-05-11 | 福州高意光学有限公司 | High-power laser attenuator |
| CN103292980A (en) * | 2013-05-17 | 2013-09-11 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | Measuring device for straightness and surface response uniformity of photodetector |
-
1990
- 1990-02-06 JP JP2680090A patent/JPH03231135A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0712678A (en) * | 1993-06-28 | 1995-01-17 | Nec Corp | Inspecting apparatus for characteristic of photodetector |
| JP2003005108A (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-08 | Ricoh Co Ltd | Scanning optical device and image forming device provided with it |
| JP4619576B2 (en) * | 2001-06-25 | 2011-01-26 | 株式会社リコー | Scanning optical device and image forming apparatus having the same |
| CN102053392A (en) * | 2010-12-16 | 2011-05-11 | 福州高意光学有限公司 | High-power laser attenuator |
| CN103292980A (en) * | 2013-05-17 | 2013-09-11 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | Measuring device for straightness and surface response uniformity of photodetector |
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