JPH0322452A - インキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、インキング装置に関する。

（従来の技術） 例えば、半導体ウェハ上に多数形成された半導体チップ
の電極パッドに次々と探針を接触させてこれらの半導体
チップの電気的な特性の検査を行うプローブ装置゜には
、検査の結果不良と判定された半導体チップに印を付け
る装置として、半導体チップにインクを付着させるイン
キング装置が設けられている。

第２図は、このような従来のインキング装置の要部の構
成を示すもので、円筒状に構成されたスリーブ１は、上
部がインキング用のインク２を収容するインク収容部１
ａとされており、このインク収容部１ａの下端には、小
径のノズル部１ｂが形成されている。また、このスリー
ブ１内には、スリーブ１を貫通する如く、打点用中芯３
が設けられている。この打点用中芯３は、上部に設けら
れた駆動機構４に接続されており、駆動機禍４によって
下端部がノズル部１ｂがら突出する如く上下動可能に椙
成されている。

このようなインキング装置では、ノズル部１ｂ内壁と打
点用中芯３との間の微小な間隙５による毛細管現象によ
り、インク収容部１ａ内のインク２がノズル部１ｂの先
端６に所定量溜る。そして、図示矢印の如く駆動機構４
によって打点用中芯３をノズル部１ｂから突出させ、こ
の打点用中芯３の先端部を例えば半導体ウェハ７等に接
触させることにより、ノズル部１ｂの先端６に溜ったイ
ンク２を半導体ウエハ７に付着させ、インキングを行う
よう構成されている。

このような従来のインキング装置において、ノズル部１
ｂ内壁と打点用中芯３との間の微小な間隙５は、毛細管
現象により円滑にインク２が伝わり、かつ、インキング
を行わない待機時に、この先端６に溜ったインク２が垂
れ落ちることのないように設定する必要かある。また、
このノズル部１ｂは、打点用山芯３のガイドを兼ねてい
るのでこの間隙５は、打点用中芯３が円滑に動作可能な
間隔に設定する必要がある。

このため、従来のインキング装置では、ノズル部１ｂ内
にパイプ８等を押入配置して間隙５が適切な間隔となる
よう調節している。

（発明が解決しようとする課題） 上述したように、第２図に示した従来のインキング装置
では、ノズル部１ｂ内にパイプ８等を挿入配置してノズ
ル部１ｂ内壁と打点用中芯３との間の微小な間隙５が適
切な間隔となるよう調節している。

しかしながら、実際にはインク収容部］ａＭのインク２
の収容量や、打点用中芯３の停止時間、また移動速度の
変化等の影響があるため、このような上記間隙５を適切
な間隔に設定することは困難であり、ノズル部１ｂの先
端６に溜るインク量が不足あるいは多過ぎたり、打点時
以外にインク２が垂れ落ちる等の問題が発生している。

このため、例えばプローブ装置におけるインキング等に
おいて、不良品の半導体チップに付着させるインク２の
量が不足したり、良品の半導体チップにまでインク２が
付着したりしてインク２の有無によって行う半導体チッ
プの良品、不良品の選別に支障をきたす等の問題が発坐
している。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、インキング時のインク量の過不足の発生や、待機時の
インクの垂れの発生等を防止することができ、常に所定
のインク量で確実にインキングを行うことのできるイン
キング装置を提供しようとするものである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） すなわち、本発明のインキング装置は、筒状に形威され
内部にインキング用のインクが収容さるインク収容部お
よびこのインク収容部の下端に設けられた小径のノズル
部を有するスリーブと、前記スリーブ内を貫通する如く
設けられ前記ノズル部の先端から突出可能な如く上下動
自在に構成された打点用中芯とを備えたインキング装置
において、前記打点用中芯の外側を近接して覆う如く前
記ノズル部から前記インク収容部内に延在し、側部に前
記インク収容部内の前記インクを前記打点用中芯に供給
するための細孔を有する内管を設けたことを特徴とする
。

５ （作　用） 本発明のインキング装置では、スリーブ内に、打点用中
芯の外側を近接して覆う如くノズル部からインク収容部
内に延ｒＥ　Ｌ、側部にインク収容部内のインクを打点
用中芯に供給するための細孔を有する内管が設けられて
いる。

したがって、ノズル部内壁と打点用中芯との間のインク
の流路抵抗を増大させるとともに、これらの間に加わる
大気およびインクの自重による圧力を緩和することがで
きる。このため、インキング時のインク量の過不足の発
生や、待機時のインクの垂れの発生等を防止することが
でき、常に所定のインク量で確実にインキングを行うこ
とができる。

（実施例） 以下、本発明のインキング装置の実施例を図面を参照し
て説明する。

円筒状に構成されたスリーブ１１は、上部が内径例えば
数ミリ乃至十数ミリ程度に形成され、インキング用のイ
ンク１２を収容するインク収容部６ １１ａとされている。このインク収容部１１ａの下端に
は、インク収容部１１ａより小径とされたノズル部１１
ｂが形成されている。

また、上記スリーブ１１内には、スリーブ１１を貫通す
る如く、打点用中芯１３が設けられている。この打点用
中芯１３は、上部に設けられた駆動機構１４に接続され
ており、駆動機構１４によって下端部がノズル．部１１
ｂから突出する如く上下動可能に構成されている。

さらに、上記スリーブ１１内には、打点用中芯１３の外
側を近接して覆う如くノズル部１ｌｂからインク収容部
１ｌｂ内に延在する内管１５が設けられており、この内
管１５の側部には、インク収容部１ｌｂ内のインク１２
を内管１５内に導入する如く直径例えば１１以下の細孔
１６が穿設されている。なお、打点用中芯１３と内管１
５との間隙１７は、これらの間で毛細管現象が生じるよ
う例えば１ｍｍ以下に設定されている。

上記構成のこの実施例のインキング装置では、インク収
容部１１ｂ内に収容されたインク１２は、内管１５に設
けられた細孔１６を通ってこの内管１５内に入る。そし
て、内管１５内壁と打点用中芯１３との間の間隙１７に
よる毛細管現象によって導かれ、ノズル部１ｌｂの先端
１８に所定量溜る。

そして、図示矢印の如く駆動機構１４によって打点用中
芯１３をノズル部１ｌｂから突出させ、この打点用中芯
１３の先端部を例えば半導体ウエハ１９等に接触させる
ことにより、ノズル部１ｌｂの先端１８に溜ったインク
１２を半導体ウエハ１９に付着させ、インキングを行う
。

すなわち、この実施例のインキング装置では、打点用中
芯１３の外側を近接して覆う如くノズル部１ｌｂからイ
ンク収容部］．　１　ｂ　ｒａｔに延往する内管１５が
設けられているので、従来のインキング装置に較べてノ
ズル部１ｌｂの先端１８に導かれるインク１２の流路抵
抗を増大させることができるとともに、これらの間に加
わる大気およびインク１２の自重による圧力を緩和する
ことができる。

したがって、インキング時のインク１２の量の過不足の
発生や、待機時のインク１２の垂れの発生等を防止する
ことができ、常に所定のインク量で確実にインキングを
行うことができる。

なお、本発明のインキング装置は、上述したようなプロ
ーブ装置におけるインキング以外にも各種のインキング
に適用することが可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明のインキング装置によれば
、インキング時のインク量の過不足の発生や、待機時の
インクの垂れの発生等を防止することができ、常に所定
のインク量で確実にインキングを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のインキング装置のの要部構
成を示す図、第２図は従来のインキング装置の要部構成
を示す図である。 １１・・・・・・スリーブ、ｌｌａ・・・・・・インク
収容部、１１ｂ・・・・・・ノズル部、１２・・・・・
・インク、１３・・・・・・打点用中芯、１４・・・・
・駆動機構、１５・・・・・・内管、１６・・・・・・
細孔、１７・・・・・・間隙、１８・・・・・・インク
収９ 容部先端、１９・・・・・・半導体ウエノ＼。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）筒状に形成され内部にインキング用のインクが収
   容さるインク収容部およびこのインク収容部の下端に設
   けられた小径のノズル部を有するスリーブと、前記スリ
   ーブ内を貫通する如く設けられ前記ノズル部の先端から
   突出可能な如く上下動自在に構成された打点用中芯とを
   備えたインキング装置において、 前記打点用中芯の外側を近接して覆う如く前記ノズル部
   から前記インク収容部内に延在し、側部に前記インク収
   容部内の前記インクを前記打点用中芯に供給するための
   細孔を有する内管を設けたことを特徴とするインキング
   装置。