JPH03223801A - Optical waveguide array - Google Patents

Optical waveguide array

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JPH03223801A
JPH03223801A JP1999990A JP1999990A JPH03223801A JP H03223801 A JPH03223801 A JP H03223801A JP 1999990 A JP1999990 A JP 1999990A JP 1999990 A JP1999990 A JP 1999990A JP H03223801 A JPH03223801 A JP H03223801A
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JP
Japan
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base material
waveguide array
optical waveguide
core
materials
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JP1999990A
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Japanese (ja)
Inventor
Takao Iwasaki
岳雄 岩崎
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Brother Industries Ltd
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Brother Industries Ltd
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Abstract

PURPOSE:To arrange cores at fine pitches by combining specific-pitch projection parts of clads zigzag opposite one another and forming core materials in hollow places formed between the projection parts of both the clad materials. CONSTITUTION:Clad layers 12 with specific thickness T are formed on the surfaces of a base material 11 where recessed parts 11a and projection parts 11b are formed and two base materials in the same shape where clad layers 12 are formed are set opposite each other the projection parts 11b of one base material 11 intrude into the recessed parts 11a of the other base material 11 and the projection parts 11b of both the base materials 11 are arranged zigzag. Core materials having a larger refractive index than the clad layers 12 are injected into the parts surrounded with the clad layers 12 by capillarity of a wiping method to form cores 13. Consequently, the optical waveguide array 10 equipped with the cores 13 at the fine pitches is obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光プリンターの光走査装置等に用いられる光導
波路アレイに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an optical waveguide array used in an optical scanning device of an optical printer or the like.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

近年、コンピューターの出力装置として従来から用いら
れているラインプリンターにかわり、光記録装置を用い
た光プリンターが出現している。
In recent years, optical printers using optical recording devices have appeared in place of line printers that have traditionally been used as output devices for computers.

このような光プリンターには多数の光導波路が列設形成
された先導波路アレイを用いた光記録装置が備えられて
いる。
Such an optical printer is equipped with an optical recording device using a leading waveguide array in which a large number of optical waveguides are arranged in a row.

このような光導波路アレイを製造する方法として、公知
の光ファイバーを横一列に並べて端部を固定する方法が
ある。しかしながら、このような方法によって光導波路
アレイを形成する場合、光ファイバーをアレイ状に配列
する行程において極めて多数の極細の光ファイバーを取
扱うため、作業が煩雑であり、生産性に問題があった。
As a method of manufacturing such an optical waveguide array, there is a known method of arranging optical fibers in a horizontal row and fixing their ends. However, when forming an optical waveguide array by such a method, an extremely large number of extremely thin optical fibers are handled in the process of arranging the optical fibers in an array, which makes the work complicated and poses problems in productivity.

このような問題を解決するためには第6図に示されるよ
うに、多数の凹部61aと凸部61bが連続して形成さ
れた基材61及び平板状の基材62に透光性材料でクラ
ッド63.64を形成し、これらの基材61.62をク
ラッド6364が対向するように接着し、クラッド63
.64により囲まれる空隙部にコア65を充填する方法
がある。
In order to solve this problem, as shown in FIG. 6, a base material 61 in which a large number of concave portions 61a and convex portions 61b are continuously formed and a flat base material 62 are made of a transparent material. The cladding 63 and 64 are formed, and these base materials 61 and 62 are adhered so that the cladding 6364 faces each other.
.. There is a method of filling the void surrounded by the core 65 with the core 65 .

このような凹161aと凸部61bが形成された基材6
1は、エンジニアプラスチックを射出成形等の成形方法
で成形することにより、または、金属基材のエツチング
により形成される。また、クラッドが形成された基材は
平面を有する基材に紫外線硬化性樹脂を塗布し、その後
所定のフォトマスクを介して凸部としたい部分を紫外線
硬化させ、未硬化部分を除去することによっても形成さ
れる。
A base material 6 in which such concave portions 161a and convex portions 61b are formed
1 is formed by molding engineered plastic using a molding method such as injection molding, or by etching a metal base material. In addition, the base material on which the cladding is formed is obtained by applying an ultraviolet curable resin to a flat base material, then curing the parts that are desired to be convex parts with UV light through a predetermined photomask, and removing the uncured parts. is also formed.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、上記したような方法で基材61に凹部6
1aと凸部61bを形成する際、凹部61aの間口幅が
小さくなるにつれて四辺形の断面形状が得られず、かつ
、凹部61aの深さを深くすることができないといった
問題があった。すなわち、コア65のピッチPは100
μm程度が限界となり、この場合コア65の深さdも5
0μm程度に限定される。これは、射出成形により凹部
を形成する際成形型の強度を十分に得られないこと、金
属材のエツチングにより成形型を製造する場合、成形型
の凹部の深さを間口幅より大きくすると、凹部の形状が
曲面となってしまうことに起因する。これは基材として
金属をエツチングしたものを用いる場合も同様である。
However, the recess 6 is formed in the base material 61 by the method described above.
1a and the convex portion 61b, there was a problem that as the width of the concave portion 61a became smaller, a quadrilateral cross-sectional shape could not be obtained, and the depth of the concave portion 61a could not be increased. That is, the pitch P of the core 65 is 100
The limit is about μm, and in this case the depth d of the core 65 is also 5
It is limited to about 0 μm. This is because the strength of the mold cannot be obtained sufficiently when forming recesses by injection molding, and when manufacturing molds by etching metal materials, if the depth of the recess of the mold is larger than the width of the opening, the recess This is due to the fact that the shape becomes a curved surface. This also applies to the case where etched metal is used as the base material.

また、紫外線硬化性樹脂をフォトマスク露光より凹部を
形成する場合にも、紫外線硬化性樹脂の厚さがある程度
厚くなると正しく光重合が行われず、凹部の形状は同様
に曲面となってしまう。
Furthermore, even when a recess is formed by exposing an ultraviolet curable resin to a photomask, if the ultraviolet curable resin becomes thick to a certain extent, photopolymerization will not be performed correctly, and the shape of the recess will similarly become a curved surface.

本発明は、上述した問題点を解決するためになされたも
のであり、ピッチが細かく配設されたコアを備えた先導
波路アレイ及び横幅に対して縦幅が大きいコアを備えた
光導波路アレイを提供することを目的とする。
The present invention was made in order to solve the above-mentioned problems, and provides a leading waveguide array with cores arranged at a fine pitch and an optical waveguide array with a core having a vertical width larger than the horizontal width. The purpose is to provide.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

この目的を達成するため本発明の先導波路アレイは所定
ピッチで凸部を突出せしめたクラッド材を形成し、これ
らのクラッド材をその凸部が互いに千鳥状に配設される
ように対向して組合わせ、両クラッド材の凸部間に形成
される空所内にコア材を形成するように構成した。
In order to achieve this object, the leading waveguide array of the present invention forms a cladding material having convex portions projected at a predetermined pitch, and these cladding materials are arranged facing each other so that the convex portions are arranged in a staggered manner. When combined, the core material was formed in the space formed between the convex portions of both cladding materials.

また、所定ピッチで凸部を突出せしめたクラッド材を形
成し、これらのクラッド材をその凸部が互いに対向する
ように組合せて凸部間に空所を形成し、この空所内にコ
ア材を形成するように構成した。
In addition, a cladding material having protrusions projected at a predetermined pitch is formed, and these cladding materials are combined so that the protrusions face each other to form a space between the protrusions, and a core material is inserted into this space. Configured to form.

〔作用〕[Effect]

上記の構成を有する本発明によれば、所定ピッチで凸部
が形成された2つのクラッド材をその凸部が互いに千鳥
状に配設されるように対向して組合わせ、両クラッド材
の凸部間に形成される空所内にコアが形成されているの
でピッチが細かく配設されたコアを備えた光導波路アレ
イを提供することが可能になる。
According to the present invention having the above configuration, two cladding materials having convex portions formed at a predetermined pitch are combined facing each other so that the convex portions are arranged in a staggered manner, and the convex portions of both cladding materials are combined. Since the core is formed within the space formed between the parts, it is possible to provide an optical waveguide array having cores arranged at a fine pitch.

また、所定ピッチで凸部が形成された2つのクラッドを
その凸部が互いに対向するように組合せて凸部間に空所
を形成し、この空所内にコア部が形成されているので横
幅に対して縦幅が大′きいコアを備えた光導波路アレイ
を提供することが可能になる。
In addition, two claddings each having convex portions formed at a predetermined pitch are combined so that the convex portions face each other to form a space between the convex portions, and since the core portion is formed within this void, the width can be reduced. In contrast, it becomes possible to provide an optical waveguide array having a core with a large vertical width.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して説
明する。
An embodiment embodying the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明に係る光導波路アレイ10の断面を示し
、この光導波路アレイ10は基材11と、クラッド層1
2と、コア13とを備えている。
FIG. 1 shows a cross section of an optical waveguide array 10 according to the present invention, which includes a base material 11 and a cladding layer 1.
2 and a core 13.

基材11は従来の光導波路と同様にプラスチックや金属
により形成され、この基材11の片面には多数の凹11
1aと凸部11bが連続して形成されている。
The base material 11 is made of plastic or metal like a conventional optical waveguide, and one side of the base material 11 has many recesses 11.
1a and the convex portion 11b are formed continuously.

基材11の凹部11a及び凸部11bの形成面には所定
の厚さTのクラッド層12が形成されている。そして、
本発明に係る光導波路アレイ10はクラッド層12が形
成された2つの同一形状の基材11を対向せしめ、一方
の基材11の凹部11a内に他方の基材11の凸部11
bが入り込み、両基材11の凸部11bが千鳥状に配設
している。そして、クラッド層12によって囲まれる部
分にはクラッド層12より屈折率の大きいコア材が毛管
現象あるいはワイピング法により注入又は射出されコア
13が形成されている。
A cladding layer 12 having a predetermined thickness T is formed on the surface of the base material 11 on which the concave portions 11a and the convex portions 11b are formed. and,
The optical waveguide array 10 according to the present invention has two base materials 11 of the same shape on which a cladding layer 12 is formed, facing each other, and a convex portion 11 of the other base material 11 is placed in a concave portion 11a of one base material 11.
b enters, and the convex portions 11b of both base materials 11 are arranged in a staggered manner. A core material having a higher refractive index than the cladding layer 12 is injected or injected into a portion surrounded by the cladding layer 12 by capillary action or a wiping method to form a core 13.

以下、このような光導波路アレイ1oの製造方法につい
て説明する。
A method of manufacturing such an optical waveguide array 1o will be described below.

第2図はクラッド層12が形成された基材11の断面を
示す。第2図において、凹部11aと凸部11bが形成
された基材11は従来の光導波路アレイの製造方法と同
様にエンジニアプラスチックを射出成形等の成形方法を
用いて成形することにより、または、金属基材のエツチ
ングにより形成される。
FIG. 2 shows a cross section of the base material 11 on which the cladding layer 12 is formed. In FIG. 2, a base material 11 on which concave portions 11a and convex portions 11b are formed is formed by molding engineered plastic using a molding method such as injection molding, similar to the conventional manufacturing method of optical waveguide arrays, or by molding a metal material using a molding method such as injection molding. Formed by etching the base material.

基材11の凹部11aと凸部11bが形成された表面に
は、クラッド材として溶剤により希釈された屈折率1.
4程度のフッ素系樹脂がコーティングされ、これを乾燥
することによってクラッド層12が形成される。また、
クラッドが形成された基材は平面を有する基材に紫外線
硬化性樹脂を塗布し、その後所定のフォトマスクを介し
てコアとしたい部分を紫外線硬化させ、未硬化部分を除
去することによっても形成される。
The surface of the base material 11 on which the concave portions 11a and the convex portions 11b are formed is coated with a cladding material having a refractive index of 1.5 diluted with a solvent.
The cladding layer 12 is formed by coating the fluororesin with a coating of about 40% and drying it. Also,
The base material on which the cladding is formed can also be formed by applying an ultraviolet curable resin to a flat base material, then curing the part that is desired to be the core with UV light through a predetermined photomask, and removing the uncured part. Ru.

そして、クラッド層12が形成された基材11はその凸
部11bが互いに千鳥状に配列されるように対向して組
み合される。そして、クラッド層12により囲まれた空
隙部に屈折率1.49のメタクリル系樹脂モノマーが流
し込まれ上下から圧着される。その後、メタクリル系樹
脂モノマーを重合反応させて固化し、コア13を形成す
ると同時にクラッド層12と接着される。
Then, the base materials 11 on which the cladding layers 12 are formed are assembled facing each other so that the convex portions 11b are arranged in a staggered manner. Then, a methacrylic resin monomer having a refractive index of 1.49 is poured into the gap surrounded by the cladding layer 12 and pressed from above and below. Thereafter, the methacrylic resin monomer is polymerized and solidified to form the core 13, which is simultaneously bonded to the cladding layer 12.

以上の過程を経て本発明に係る光導波路アレイ10が形
成される。
Through the above process, the optical waveguide array 10 according to the present invention is formed.

一般的に、光導波路アレイのコアの縦幅はコア横幅より
大きくすることが困難であると言われている。これはコ
アの縦幅が横幅より大きくなると基材の成形に用いられ
る成形型の強度が十分に得られず成形後に基材と成形型
と剥離することが困難であること、成形型を製造する方
法として金属材のエツチングを用いる場合、エツチング
における化学反応が異方性をもって進行するため成形型
の四部の断面形状が正しく四辺形状とならず曲面となっ
てしまうことに起因する。
Generally, it is said that it is difficult to make the vertical width of the core of an optical waveguide array larger than the core width. This is because if the vertical width of the core is larger than the horizontal width, the mold used for molding the base material will not have sufficient strength, making it difficult to separate the base material from the mold after molding. When etching a metal material is used as a method, the chemical reaction during etching proceeds anisotropically, so that the cross-sectional shape of the four parts of the mold is not properly quadrilateral, but instead becomes a curved surface.

しかしながら、本発明に係る光導波路アレイ10のコア
13の横幅W′、縦幅D′及びピッチP′を基材の凹部
のピッチP1深さD、間口幅W及びクラッドの厚さTを
用いてを表すと、W= =W−P/2−2 T II)′=D P ゛ =P/2 となる。
However, the horizontal width W', vertical width D', and pitch P' of the core 13 of the optical waveguide array 10 according to the present invention are determined using the pitch P1 of the recessed portion of the base material, the depth D, the frontage width W, and the cladding thickness T. Expressing this, W==WP/2-2 T II)'=D P ゛=P/2.

すなわち、形成されたコア13は理想的には、横幅W′
を基材11の凹部11aの間口幅Wより格段に小さくす
ることができ、コア13のピッチP″(50μm程度)
は基材11の凹部11aのピッチPの半分にすることが
でき、コア13の縦幅り一は基材11の凹部11aの深
さDと変わらないといった形状になる。
That is, the formed core 13 ideally has a width W'
can be made much smaller than the width W of the recess 11a of the base material 11, and the pitch P'' of the core 13 (approximately 50 μm)
can be made half the pitch P of the recesses 11a of the base material 11, and the vertical width of the core 13 is the same as the depth D of the recesses 11a of the base material 11.

ここで、基材11として凹部11aの深さDが120μ
m1間口幅Wが120μm、ピッチPが160μm1ク
ラッド層12の厚さTが10μmというものを用いたと
する。このとき、上式より、コア13の形状は横幅W−
が20μm1縦幅D′が100μm、:+713のピッ
チP′が80μmという値が算出される。これは従来の
光導波路アレイの製造方法によれば実現不可能な値であ
る。
Here, as for the base material 11, the depth D of the recess 11a is 120 μm.
Assume that m1 has a frontage width W of 120 μm, a pitch P of 160 μm, and a thickness T of the cladding layer 12 of 10 μm. At this time, from the above formula, the shape of the core 13 has a width W−
is 20 μm, the vertical width D' is 100 μm, and the pitch P' of :+713 is 80 μm. This is a value that cannot be achieved using conventional optical waveguide array manufacturing methods.

次に、本発明に係る光導波路アレイ10を用いた光記録
装置について第3図を参照して説明する。
Next, an optical recording device using the optical waveguide array 10 according to the present invention will be explained with reference to FIG.

第3図は本発明に係る光導波路アレイ10を用いた光記
録装置30を示し、この光走査装置30において、光源
31から発せられた光ビームはコリメートレンズ32に
より平行ビームとされた後、一定速度で回転するポリゴ
ンミラー33によっての等角速度で偏向される。
FIG. 3 shows an optical recording device 30 using an optical waveguide array 10 according to the present invention. In this optical scanning device 30, a light beam emitted from a light source 31 is made into a parallel beam by a collimating lens 32, and then It is deflected at a constant angular velocity by a polygon mirror 33 that rotates at a constant angular velocity.

この偏向された光ビームは本発明に係る光導波路アレイ
10の入射端10aに導かれて、コアに入射される。コ
アに入射された光ビームはコアとクラッドとの界面を全
反射してコア内で伝搬され、先導波路アレイ10の出射
端10bがら出射され、感光ドラム34上をその回転軸
と平行な直線に沿って等速度で走査される。
This deflected light beam is guided to the input end 10a of the optical waveguide array 10 according to the present invention and is incident on the core. The light beam incident on the core is totally reflected at the interface between the core and the cladding, is propagated within the core, is emitted from the output end 10b of the leading waveguide array 10, and travels on the photosensitive drum 34 in a straight line parallel to its rotation axis. scanned at a constant speed.

そして、感光ドラム34上で1ライン分の光走査が済む
たびに感光ドラム12を図示しない駆動源により間欠的
に回転させ、光ライン走査を繰り返すことにより画像記
録が行われる。
Each time one line of optical scanning is completed on the photosensitive drum 34, the photosensitive drum 12 is intermittently rotated by a drive source (not shown), and image recording is performed by repeating the optical line scanning.

尚、本発明は上述した実施例に限定されるものではなく
適宜変更を加えることが可能である。例えば、上述した
実施例においてはクラッド層12が形成された基材11
を組み合わせて光導波路アレイ10を形成していたが、
これに限定されるものではなく、例えばメタクリル樹脂
(PMMA)等の光通過性材料を射出成形等の成形方法
により基材とクラッドとを一体成形するように構成する
ことも可能である。
It should be noted that the present invention is not limited to the embodiments described above, and can be modified as appropriate. For example, in the embodiment described above, the base material 11 on which the cladding layer 12 is formed
The optical waveguide array 10 was formed by combining the
The present invention is not limited to this, and it is also possible to configure the base material and the cladding to be integrally molded using a light-transmitting material such as methacrylic resin (PMMA) by a molding method such as injection molding.

また、第4図に示されるように基材41の凹部41aの
みに(凸部41bの先端面にはクラッドなし)クラッド
層42を形成した2つの基材を凹部と凸部が噛み合うよ
うに配置して光導波路アレイを製造することも可能であ
る。
Further, as shown in FIG. 4, two base materials each having a cladding layer 42 formed only on the concave portion 41a of the base material 41 (no cladding on the tip surface of the convex portion 41b) are arranged so that the concave portion and the convex portion engage with each other. It is also possible to manufacture an optical waveguide array.

さらに、第5図に示されるように2つの基材51の浅い
凹部51a及び凸部5 l b同志を対向するように配
置し、クラッド層52で囲まれる空隙にコア53を形成
することも可能である。
Furthermore, as shown in FIG. 5, it is also possible to arrange the shallow concave portions 51a and convex portions 5lb of the two base materials 51 to face each other, and form the core 53 in the gap surrounded by the cladding layer 52. It is.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上詳述したことから明らかなように、本発明によれば
、ピッチが細かく配設されたコアを備えた光導波路アレ
イ及び横幅に対して縦幅の大きいコアを備えた光導波路
アレイが安価にしかも手軽に製造できるという効果を奏
する。
As is clear from the detailed description above, according to the present invention, an optical waveguide array having cores arranged at a fine pitch and an optical waveguide array having cores having a larger vertical width than the horizontal width can be produced at low cost. Moreover, it has the effect of being easily manufactured.

【図面の簡単な説明】 第1図は本発明に係る光導波路アレイの概略を示す断面
図、第2図はクラッドが形成された基材を示す断面図、
第3図は本発明に係る光導波路アレイを用いた光記録装
置の概略を示す斜視図、第4図及び第5図はそれぞれ本
発明の他の実施例の概略を示す断面図、第6図は従来の
先導波路アレイの概略を示す断面図である。 10・・・光導波路アレイ、11.41.51・・・基
材、11 a 、 41 a 、  51 a ・・・
凹部、11b。 41b、51b・・・凸部、12,42.52・・・ク
ラッド層、13.53・・・コア。
[BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS] FIG. 1 is a sectional view schematically showing an optical waveguide array according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view showing a base material on which a cladding is formed,
FIG. 3 is a perspective view schematically showing an optical recording device using an optical waveguide array according to the present invention, FIGS. 4 and 5 are cross-sectional views schematically showing other embodiments of the present invention, and FIG. 6 1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional leading waveguide array. 10... Optical waveguide array, 11.41.51... Base material, 11 a, 41 a, 51 a...
Recessed portion, 11b. 41b, 51b... Convex portion, 12, 42.52... Cladding layer, 13.53... Core.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、所定ピッチで凸部を突出せしめたクラッド材を形成
し、これらのクラッド材をその凸部が互いに千鳥状に配
設されるように対向して組合わせ、両クラッド材の凸部
間に形成される空所内にコア材を形成したことを特徴と
する光導波路アレイ。 2、所定ピッチで凸部を突出せしめたクラッド材を形成
し、これらのクラッド材をその凸部が互いに対向するよ
うに組合せて凸部間に空所を形成し、この空所内にコア
材を形成したことを特徴とする光導波路アレイ。
[Claims] 1. Forming cladding materials having convex portions protruding at a predetermined pitch, combining these cladding materials facing each other so that the convex portions are arranged in a staggered manner, and combining both cladding materials. An optical waveguide array characterized in that a core material is formed in a cavity formed between convex portions of the material. 2. Form a cladding material with protrusions projected at a predetermined pitch, combine these cladding materials so that the protrusions face each other to form a space between the protrusions, and insert the core material into this space. An optical waveguide array characterized by forming an optical waveguide array.
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