JPH0321850A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
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- JPH0321850A JPH0321850A JP15750789A JP15750789A JPH0321850A JP H0321850 A JPH0321850 A JP H0321850A JP 15750789 A JP15750789 A JP 15750789A JP 15750789 A JP15750789 A JP 15750789A JP H0321850 A JPH0321850 A JP H0321850A
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
く産業上の利用分野〉
本発明は湿度検出装置等に用いる感湿素子に関するもの
である。
である。
く従来の技術〉
一般に、湿度検出体としては感湿セラミック等の如く湿
度により電気的特性の変化するものが知られている。こ
の検出体は、気体一同体界面の電気特性を利用するもの
であり、従って、その界面が大気にさらされ、汚染等の
影響を受けやすく、長期安定性の改良が必要であった。
度により電気的特性の変化するものが知られている。こ
の検出体は、気体一同体界面の電気特性を利用するもの
であり、従って、その界面が大気にさらされ、汚染等の
影響を受けやすく、長期安定性の改良が必要であった。
一方、例えば特開昭５８−４２１２８号公報の湿度検出
装置に開示されたような毛髪やナイロン等の感湿伸縮体
は長期的に安定である反面、その伸縮を電気信号に変換
し難いものであった。
装置に開示されたような毛髪やナイロン等の感湿伸縮体
は長期的に安定である反面、その伸縮を電気信号に変換
し難いものであった。
く発明が解決しようとする課題〉
即ち、従来の湿度検出体は安定性の点と電気変換の点に
いまだ難点があった。
いまだ難点があった。
本発明は上記実情に鑑み、感湿伸縮膜を用い、且つその
伸縮を容易にしかも敏感に電気信号に変換しえるように
した感湿素子を提供することを目的としたものである。
伸縮を容易にしかも敏感に電気信号に変換しえるように
した感湿素子を提供することを目的としたものである。
〈課題を解決するための手段〉
本発明の感温素子は、歪ゲージ上に感湿伸縮膜を備えた
ものである。
ものである。
上記伸縮膜は歪ゲージの感度が最大になる方向に配向処
理をするものである。
理をするものである。
また、この歪ゲージの抵抗体は、磁性合金あるいは半導
体薄膜を主構成戊分とする。
体薄膜を主構成戊分とする。
また、感温伸縮膜は、ポリアクリレート類，ポリメタア
クリレート類，ポリアクリルアミド類 ボリメタアクリ
ルアミド類，ポリビニルビロリドン類，ポリエステル類
、又はポリイミド類としたものである。
クリレート類，ポリアクリルアミド類 ボリメタアクリ
ルアミド類，ポリビニルビロリドン類，ポリエステル類
、又はポリイミド類としたものである。
なお、ここで配向とは、上記伸縮膜を構成する分子が特
定方向に並ぶことを意味する。
定方向に並ぶことを意味する。
く作 用〉
上記のような構成のため、感湿伸縮膜が被測定雰囲気の
湿度に応じて伸縮し、その伸縮力が歪ゲージに作用し、
抵抗体（磁性合金あるいは半導体薄膜）の原子間隔が変
化し電気的物性（抵抗）が変化するので電気信号に変換
される。
湿度に応じて伸縮し、その伸縮力が歪ゲージに作用し、
抵抗体（磁性合金あるいは半導体薄膜）の原子間隔が変
化し電気的物性（抵抗）が変化するので電気信号に変換
される。
この感温伸縮膜の伸縮率は、その配向方向に沿って最も
大きく、従って伸縮自由度の大きい方向に一致して配向
された感湿伸縮膜は、被測定雰囲気の湿度に応じて敏感
に伸縮し、効率良くその伸縮力を歪ゲージに伝える。
大きく、従って伸縮自由度の大きい方向に一致して配向
された感湿伸縮膜は、被測定雰囲気の湿度に応じて敏感
に伸縮し、効率良くその伸縮力を歪ゲージに伝える。
く実施例〉
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明すれば、次
の通りである。
の通りである。
第１図，第２図において、ポリイミド等の伸縮材よりな
る基板２の上に、両基端にリード線４を接続してなる抵
抗体１を所定配線して歪ゲージを形成し、該歪ゲージの
表面上に感湿伸縮膜３を、この歪ゲージの感度が最大（
高く）になる方向に向くように配置披着し感湿素子５と
する。この場合、歪ゲージの抵抗体１は、磁性合金ある
いは半導体薄膜を主構成戊分とする。
る基板２の上に、両基端にリード線４を接続してなる抵
抗体１を所定配線して歪ゲージを形成し、該歪ゲージの
表面上に感湿伸縮膜３を、この歪ゲージの感度が最大（
高く）になる方向に向くように配置披着し感湿素子５と
する。この場合、歪ゲージの抵抗体１は、磁性合金ある
いは半導体薄膜を主構成戊分とする。
また、感湿伸縮膜３は、ポリアクリレート類，ポリメタ
アクリレート類，ポリアクリルアミド類，ボリメタアク
リルアミド類，ポリビ．ニルピロリドン類，ポリエステ
ル類、又はポリイミド類を用いるものである。
アクリレート類，ポリアクリルアミド類，ボリメタアク
リルアミド類，ポリビ．ニルピロリドン類，ポリエステ
ル類、又はポリイミド類を用いるものである。
この感湿伸縮樹脂の戒分の実施例として、Ｎ，Ｎ−ジメ
チルアクリルアミド１０ｇ及びメタクリル酸メチル１７
．５ｇに重合開始剤として過酸化ベンゾイル１５０■を
加え、トルエン３０ｇに溶解する。これを重合管に入れ
て、６０℃の温水浴中に２４時間静置して重合反応を行
った。反応後、溶液をエーテル中に注いでポリマを沈殿
させ、乾燥粉末状ボリマを得た。
チルアクリルアミド１０ｇ及びメタクリル酸メチル１７
．５ｇに重合開始剤として過酸化ベンゾイル１５０■を
加え、トルエン３０ｇに溶解する。これを重合管に入れ
て、６０℃の温水浴中に２４時間静置して重合反応を行
った。反応後、溶液をエーテル中に注いでポリマを沈殿
させ、乾燥粉末状ボリマを得た。
感湿伸縮膜の形成は、
上記構成で得たボリマ５ｇにジエチレングリコール一〇
一プチルエーラル２０ｓｒを加え、感湿膜溶液を調製す
る。スピナを用いて高速回転している歪ゲージに調製し
た溶液を滴下した。
一プチルエーラル２０ｓｒを加え、感湿膜溶液を調製す
る。スピナを用いて高速回転している歪ゲージに調製し
た溶液を滴下した。
このとき、液状感湿ボリマは遠心力にて配向し、その後
、１６０℃×３０分 乾燥して感湿伸縮膜を形威した。
、１６０℃×３０分 乾燥して感湿伸縮膜を形威した。
この時の膜厚は約５μｍであった。
ここにおいて、特性測定は第３図に示すようになった。
これは感湿素子をホイーストンブリフジを用い、歪ゲー
ジに加わる伸縮力を電圧として得た。感湿特性は分流式
精密湿度槽内に素子を放置し、２５℃下で測定した。広
範囲の湿度に対して感度を示し、しかも高出力であった
。
ジに加わる伸縮力を電圧として得た。感湿特性は分流式
精密湿度槽内に素子を放置し、２５℃下で測定した。広
範囲の湿度に対して感度を示し、しかも高出力であった
。
また、特性の再現性も良好であった。
く発明の効果〉
上述のように本発明の感湿素子は、歪ゲージの表面上に
感湿伸縮膜を彼着し、且つこの伸縮膜は歪ゲージの感度
が高くなる方向に配向処理したことにより、感湿伸縮膜
を被測定雰囲気の湿度に応じ敏感に伸縮し、効率良く伸
縮力を歪ゲージに伝え得る。即ち電気信号の変換を確実
とするものである。勿論、感湿伸縮膜を彼着した一体構
造のため、汚染等を受けず、長期安定性も向上する効果
を有する。
感湿伸縮膜を彼着し、且つこの伸縮膜は歪ゲージの感度
が高くなる方向に配向処理したことにより、感湿伸縮膜
を被測定雰囲気の湿度に応じ敏感に伸縮し、効率良く伸
縮力を歪ゲージに伝え得る。即ち電気信号の変換を確実
とするものである。勿論、感湿伸縮膜を彼着した一体構
造のため、汚染等を受けず、長期安定性も向上する効果
を有する。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は平面図、
第２図は第１図■一■線の断面図、第３図は感湿素子の
特性図である。 １・・・低抗体、２・・・基仮、３・・・感湿伸縮膜、
４・・・リード線。
第２図は第１図■一■線の断面図、第３図は感湿素子の
特性図である。 １・・・低抗体、２・・・基仮、３・・・感湿伸縮膜、
４・・・リード線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、歪ゲージ上に感湿伸縮膜を備えたことを特徴とする
感湿素子。 ２、上記伸縮膜が歪ゲージの感度が最大になる方向に配
向処理されていることを特徴とする感湿素子。 ３、歪ゲージの抵抗体が、磁性合金あるいは半導体薄膜
を主構成成分とした請求項１記載の感湿素子。 ４、感湿伸縮膜が、ポリアクリレート類、ポリメタアク
リレート類、ポリアクリルアミド類、ポリメタアクリル
アミド類、ポリビニルピロリドン類、ポリエステル類、
又はポリイミド類である請求項１記載の感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15750789A JPH0321850A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15750789A JPH0321850A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 感湿素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321850A true JPH0321850A (ja) | 1991-01-30 |
Family
ID=15651192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15750789A Pending JPH0321850A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0321850A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5482678A (en) * | 1993-05-25 | 1996-01-09 | Rosemount Inc. | Organic chemical sensor |
| US9636609B2 (en) | 2008-07-25 | 2017-05-02 | Smith & Nephew Plc | Controller for an acoustic standing wave generation device in order to prevent clogging of a filter |
| CN110095054A (zh) * | 2019-04-03 | 2019-08-06 | 中国科学院力学研究所 | 一种电阻式应变片 |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP15750789A patent/JPH0321850A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5482678A (en) * | 1993-05-25 | 1996-01-09 | Rosemount Inc. | Organic chemical sensor |
| US9636609B2 (en) | 2008-07-25 | 2017-05-02 | Smith & Nephew Plc | Controller for an acoustic standing wave generation device in order to prevent clogging of a filter |
| CN110095054A (zh) * | 2019-04-03 | 2019-08-06 | 中国科学院力学研究所 | 一种电阻式应变片 |
| CN110095054B (zh) * | 2019-04-03 | 2020-06-30 | 中国科学院力学研究所 | 一种电阻式应变片 |
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