JPH03209683A - Magnetic recording and reproducing device - Google Patents

Magnetic recording and reproducing device

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Publication number
JPH03209683A
JPH03209683A JP526890A JP526890A JPH03209683A JP H03209683 A JPH03209683 A JP H03209683A JP 526890 A JP526890 A JP 526890A JP 526890 A JP526890 A JP 526890A JP H03209683 A JPH03209683 A JP H03209683A
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JP
Japan
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magnetic
head
magnetic head
magnetic recording
slider
Prior art date
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Pending
Application number
JP526890A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Monjirou Momoi
桃井 紋次郎
Kazumasa Fukuda
一正 福田
Takamitsu Tsuna
隆満 綱
Kiichirou Ezaki
江崎 城一朗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP526890A priority Critical patent/JPH03209683A/en
Publication of JPH03209683A publication Critical patent/JPH03209683A/en
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To attain high density recording, high speed accessing and crash prevention and to improve durability and a floating property by providing recessed parts along a longitudinal direction at the both edges of the cross direction of the medium facing face of a slider and providing a reading and writing element between the recessed parts of the one end of the slider. CONSTITUTION:At the both edge of the cross direction of a medium facing face 211 of a slider 21 of a magnetic head, recessed parts 213 and 214 along a longitudinal direction are provided and a part between the concave parts 213 and 214 becomes an air bearing face 215 which does not have a stage part. A reading and writing element 22 is arranged so that a gap may be positioned at the air bearing face 215 between the recessed parts 213 and 214 in the one end of the slider 21.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、硬質の磁気ディスクを高速回転させながら、
磁気ディスクと対向するように配置させた磁気ヘッドに
より磁気記録及び再生を行なう磁気記録再生装置に関し
、スライダの媒体対向面の幅方向両端縁に凹部を設け、
凹部間を空気ベアリング面として利用するようにした磁
気ヘッドを用いることにより、高密度記録、高速アクセ
ス、クラッシュ防止、耐久性向上及び浮上特性向上に極
めて有効な磁気記録再生装置を提供できるようにしたも
のである。
[Detailed Description of the Invention] <Industrial Application Field> The present invention provides a method for rotating a hard magnetic disk at high speed.
Regarding a magnetic recording and reproducing device that performs magnetic recording and reproducing using a magnetic head arranged to face a magnetic disk, recesses are provided at both widthwise edges of the medium facing surface of the slider,
By using a magnetic head that uses the space between the recesses as an air bearing surface, it has become possible to provide a magnetic recording and reproducing device that is extremely effective in high-density recording, high-speed access, crash prevention, improved durability, and improved flying characteristics. It is something.

〈従来の技術〉 この種の磁気記録再生装置は、周知のように、アルミニ
ウムでなる剛性基体上に、磁性微粒子塗布法、メツキ法
またはスパッタ法等の手段によって、磁性薄膜を形成し
た硬質の磁気ディスクを、高速回転(例えば3600r
pm)させることにより、磁気ディスクと浮上型磁気ヘ
ッドとの間に動圧を発生させ、磁気ヘッドを、微小な空
気ベアリングによる浮上量を保って浮上させながら、磁
気記録再生を行なう。
<Prior Art> As is well known, this type of magnetic recording/reproducing device uses a hard magnetic material in which a magnetic thin film is formed on a rigid substrate made of aluminum by means such as magnetic fine particle coating method, plating method, or sputtering method. Rotate the disc at high speed (e.g. 3600 rpm)
pm), dynamic pressure is generated between the magnetic disk and the floating magnetic head, and magnetic recording and reproduction are performed while the magnetic head is kept floating while maintaining the flying height due to the minute air bearing.

従来、この種の磁気ヘッドは、セラミック構造体でなる
スライダの磁気ディスクと対向する媒体対向面側に、2
本のレール部を間隔を隔てて設け、このレール部の表面
を空気ベアリング面として作用させると共に、磁気ディ
スクとの組合せにおいて、空気流入端となるレール部の
一端部側に、テーパ部を設けた構造となっていた。読み
書き素子は、テーパ部とは反対側の空気流出端部側に付
着される。
Conventionally, this type of magnetic head has a slider made of a ceramic structure, on the side facing the medium, which faces the magnetic disk.
The rail sections of the book are provided at intervals, and the surface of the rail section acts as an air bearing surface, and a tapered section is provided at one end of the rail section that becomes the air inflow end in combination with a magnetic disk. It had a structure. The read/write element is attached to the air outflow end side opposite to the tapered portion.

ところで、この種の磁気記録再生装置において、高密度
磁気記録を達成するためには、磁気ヘッドの浮上量をで
きるだけ小さくし、スペーシングロスを減少させる必要
がある。浮上量を低下させて、スペーシングロスを減少
させようとする場合、解決しなければならない2つの問
題がある。一つは磁気ディスクに関して生じる問題であ
り、もう一つは磁気ヘッドに関して生じる問題である。
By the way, in order to achieve high-density magnetic recording in this type of magnetic recording/reproducing device, it is necessary to reduce the flying height of the magnetic head as much as possible to reduce spacing loss. When attempting to reduce spacing loss by lowering the flying height, there are two problems that must be solved. One is a problem that occurs with magnetic disks, and the other is a problem that occurs with magnetic heads.

まず、磁気ディスクにおいては、その表面性や高速回転
時の振動等の影響を受けて、磁気ディスクの表面に磁気
ヘッドが衝突し、磁気ディスクの損傷及びヘッドクラッ
シュ等の問題を生じ易くなり、耐久性が低下するという
問題を解決しなければならない。この問題点解決を狙フ
た従来技術としては、特開昭64−55072号公報が
知られている。この従来技術では、磁気ディスクの表面
粗さRMAxを100Å以下とし、磁気ヘッドの浮上開
始浮上量を0.01μm〜0.04μmの範囲に設定す
ることにより、低浮上量領域での磁気記録再生時の高速
回転時に、磁気ディスクの表面に磁気ヘッドが接触する
のを阻止し、耐久性を向上させると共に、スペーシング
ロスを減少させるようにしてあった。
First, due to the surface properties of magnetic disks and the effects of vibrations during high-speed rotation, the magnetic head collides with the surface of the magnetic disk, which can easily cause problems such as damage to the magnetic disk and head crashes. We must solve the problem of declining sexuality. Japanese Patent Laid-Open No. 64-55072 is known as a conventional technique aimed at solving this problem. In this conventional technology, the surface roughness RMAx of the magnetic disk is set to 100 Å or less, and the flying height at the start of flying of the magnetic head is set in the range of 0.01 μm to 0.04 μm. This prevents the magnetic head from coming into contact with the surface of the magnetic disk during high-speed rotation, improving durability and reducing spacing loss.

次に、磁気ヘッドにおいては、主として、小型化によっ
て、高密度記録に対応している。小型化は、浮上量減少
、スペーシングロス低下に有効である上に、ジンバルと
の組合せにおいて、共振周波数を高め、クラッシュ防止
及び耐久性向上に効果があり、しかも、動圧と支持バネ
圧との間の適正なバランスを保ち、フライト姿勢を良好
に保ち、安定な浮上特性が得られるからである。更に、
小型化によるヘットの質量減少は、ジンバルを支持する
アームのアクセス運動の高速化をもたらす。
Next, magnetic heads are compatible with high-density recording mainly through miniaturization. Miniaturization is effective in reducing flying height and spacing loss, and when combined with a gimbal, it increases the resonance frequency, prevents crashes, and improves durability. Moreover, it reduces dynamic pressure and support spring pressure. This is because it is possible to maintain an appropriate balance between the two, maintain a good flight attitude, and obtain stable levitation characteristics. Furthermore,
The reduction in mass of the head due to miniaturization results in faster access movement of the arm supporting the gimbal.

しかし、従来型の磁気ヘッドは、媒体対向面側にレール
部及びテーパ部を有する複雑な構造となっており、小型
化には限界があった。これを解決する手段として、特開
昭64−21713号公報には、スライダの媒体対向面
を、レール部のない平面状とした磁気ヘッドが開示され
ている。
However, the conventional magnetic head has a complicated structure having a rail portion and a tapered portion on the medium facing surface side, and there is a limit to miniaturization. As a means to solve this problem, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-21713 discloses a magnetic head in which the medium facing surface of the slider is made flat without a rail portion.

第15図はかかる磁気ヘッドの一例の斜視図であり、2
1はスライダ、22は読み書き素子、23.24は取出
電極を示す。
FIG. 15 is a perspective view of an example of such a magnetic head;
1 is a slider, 22 is a read/write element, and 23 and 24 are extraction electrodes.

スライダ21は媒体対向面211が、レール部及びテー
パ面を持たない平面状となっており、この面211の全
体を空気ベアリング面として作用させるようになってい
る。
The slider 21 has a medium facing surface 211 that is flat without a rail portion or a tapered surface, and the entire surface 211 functions as an air bearing surface.

読み書き素子22は、磁気ディスクとの組合せにおいて
、空気流出端部側となる端面に付着させである。読み書
き素子22は幅方向の略中間部に配置されている。
The read/write element 22 is attached to the end surface that is the air outflow end side in combination with the magnetic disk. The read/write element 22 is arranged approximately in the middle in the width direction.

取出電8i23.24は、読み書き素子22を構成する
導体コイル膜の両端に接続されている。
The power outputs 8i23 and 24 are connected to both ends of the conductor coil film that constitutes the read/write element 22.

磁気ディスク装置として使用する場合は、媒体対向面2
11とは反対側の面212を、図示しないヘッド支持装
置(ジンバル)に接着し、媒体対向面211を磁気ディ
スクの表面にバネ接触させ、この状態で起動及び停止を
行なう、いわゆる、コンタクト、スタート、ストップ方
式によって駆動される。磁気ディスクが静止していると
きは、ヘッド支持装置のバネ圧により媒体対向面211
が磁気ディスクの表面に押付けられているが、磁気ディ
スクが回転すると、スライダ1の媒体対向面211に揚
力動圧が発生し、この動圧とヘッド支持装置のバネ圧と
釣り合う浮上量で動作する。
When used as a magnetic disk device, the medium facing surface 2
The surface 212 opposite to 11 is adhered to a head support device (gimbal) (not shown), and the medium facing surface 211 is brought into spring contact with the surface of the magnetic disk, and startup and stop are performed in this state. , driven by stop method. When the magnetic disk is stationary, the medium facing surface 211 is moved by the spring pressure of the head support device.
is pressed against the surface of the magnetic disk, but when the magnetic disk rotates, lift dynamic pressure is generated on the medium facing surface 211 of the slider 1, and the slider operates with a flying height that balances this dynamic pressure with the spring pressure of the head support device. .

第15図に示す磁気ヘッドは、スライダ21の媒体対向
面2!1がレール部のない単純な平面状となっているた
め、小型化が容易であり、小型化による上記利点を確保
できる。
In the magnetic head shown in FIG. 15, since the medium facing surface 2!1 of the slider 21 has a simple planar shape without a rail portion, it is easy to downsize, and the above-mentioned advantages of downsizing can be secured.

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した磁気ヘッドは、加工歪等の影響
を受けて、媒体対向面211が、第16図に誇張して示
すように、幅方向の中間部で凹となることがある。媒体
対向面211が凹面になると、磁気ディスクとの組合せ
において、ヘッドタッチが悪くなり、スペーシングロス
が大きくなると共に、ヘッドクラッシュを生じ易くなり
、耐久性が低下する。このため、特開昭64−5507
2号公報に開示された磁気ディスクとの組合せにおいて
も、浮上最減少、スペーシングロス低下、クラッシュ防
止及び耐久性向上に、充分な成果を上げることができな
かった。
<Problems to be Solved by the Invention> However, in the above-described magnetic head, the medium facing surface 211 becomes concave in the middle part in the width direction due to the influence of processing distortion and the like, as shown exaggeratedly in FIG. It may become. When the medium facing surface 211 is concave, in combination with a magnetic disk, head touch becomes poor, spacing loss increases, head crashes are more likely to occur, and durability decreases. For this reason, JP-A-64-5507
Even in combination with the magnetic disk disclosed in Publication No. 2, sufficient results could not be achieved in terms of minimum flying height, reduction in spacing loss, prevention of crashes, and improvement in durability.

更に、全体形状が立方体状であるため、媒体対向面21
1の面積縮小により、媒体対向面211とは反対側の面
212の面積も縮小されてしまう。面212は、ヘッド
支持装置が取付けられる部分であるので、面212の面
積縮小により、ヘッド支持装置の取付は面積が小さくな
る。このため、小型化するほど、ヘッド支持装置を取付
けるのに必要な面積が小さくなり、取付けが困難になる
Furthermore, since the overall shape is cubic, the medium facing surface 21
1, the area of the surface 212 opposite to the medium facing surface 211 is also reduced. Since the surface 212 is a portion to which the head support device is attached, the reduction in the area of the surface 212 reduces the area to which the head support device is attached. For this reason, the smaller the head support device is, the smaller the area required to install the head support device becomes, and the more difficult it becomes to install it.

そこで本発明の課題は、上述する従来の問題点を解決し
、高密度記録、高速アクセス、クラッシュ防止、耐久性
向上及び浮上特性向上に極めて有効な磁気記録再生装置
を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and provide a magnetic recording/reproducing device that is extremely effective in high-density recording, high-speed access, crash prevention, improved durability, and improved flying characteristics.

〈課題を解決するための手段〉 上述する課題を解決するため、本発明は、磁気ディスク
と、磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを支持するヘッド支
持装置とを含み、前記磁気ディスクを回転させながら前
記磁気ヘッドと前記磁気ディスクとの間で磁気記録再生
を行なう磁気記録再生装置であフて、 前記磁気ディスクは、剛性基体上に磁気記録層を有して
おり、 前記磁気ヘッドは、スライダに読み書き素子を備えてお
り、 前記スライダは、媒体対向面に長さ方向及び幅方向を仮
想したとき、前記媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方
向に沿う凹部を有し、前記凹部間が空気ベアリング面と
なっており、 前記読み書き素子は、長さ方向の一端側において前記凹
部間に配置されていること を特徴とする。
<Means for Solving the Problems> In order to solve the above-mentioned problems, the present invention includes a magnetic disk, a magnetic head, and a head support device that supports the magnetic head. A magnetic recording and reproducing device that performs magnetic recording and reproducing between a magnetic head and the magnetic disk, the magnetic disk having a magnetic recording layer on a rigid base, and the magnetic head reading and writing on a slider. The slider has recesses extending in the length direction at both ends of the medium facing surface in the width direction, when the medium facing surface is assumed to have a longitudinal direction and a width direction, and the recesses are spaced apart from each other. It is an air bearing surface, and the read/write element is arranged between the recesses on one end side in the length direction.

〈作用〉 スライダは、媒体対向面に長さ方向及び幅方向を仮想し
たとき、媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方向に沿う
凹部を有しているので、凹部によって加工歪が削除され
、媒体対向面の凹面化が補正される。このため、ヘッド
タッチが良好で、スペーシングロスが小さく、ヘッドク
ラッシュ等を生じにくい耐久性の高い磁気ヘッドが得ら
れる。
<Function> When the length and width directions are assumed to be on the medium facing surface, the slider has recesses along the length at both ends of the medium facing surface in the width direction, so the recesses eliminate machining distortion. The concavity of the medium facing surface is corrected. Therefore, a magnetic head with good head touch, small spacing loss, and high durability that is resistant to head crashes and the like can be obtained.

特に、表面粗さRMAXを100Å以下とした磁気ディ
スクとの組合せにおいては、浮上開始点を相対速度2 
m/s以下に設定し、CSS (コンタクト、スタート
、ストップ)耐久性を10万回以上パスまで向上させる
ことができる。このことは、低浮上量領域でも、磁気デ
ィスクの表面に磁気ヘッドが接触することがなくなり、
耐久性が上がることを意味する。
In particular, in combination with a magnetic disk with a surface roughness RMAX of 100 Å or less, the starting point of levitation should be set at a relative speed of 2
m/s or less, CSS (contact, start, stop) durability can be improved to over 100,000 passes. This means that even in low flying height areas, the magnetic head will not come into contact with the surface of the magnetic disk.
This means increased durability.

スライダは、媒体対向面の幅方向の両+4縁に長さ方向
に沿う凹部を有し、空気ベアリング面を構成する中間部
の幅が狭くなり、面積が縮小される。このため、低浮上
量で、スペーシングロスが少なく、高密度記録に適した
磁気ヘッドが得られる。
The slider has concave portions extending along the length at both +4 edges in the width direction of the medium facing surface, and the width of the intermediate portion constituting the air bearing surface is narrowed to reduce the area. Therefore, a magnetic head with a low flying height, little spacing loss, and suitable for high-density recording can be obtained.

スライダの媒体対向面とは反対側の面は、空気ベアリン
グ面の縮小化による影響を受けないので、ヘッド支持装
置との間に充分な接着面積を確保し、接着強度を上げる
ことができる。
Since the surface of the slider opposite to the medium facing surface is not affected by the reduction in size of the air bearing surface, a sufficient adhesive area can be secured between the slider and the head support device, and adhesive strength can be increased.

〈実施例〉 第1図は本発明に係る磁気記録再生装置の正面図、第2
図は同じくその平面図、第3図及び第4第は磁気ヘッド
とヘッド支持装置の組立構造を拡大して示す図である。
<Example> FIG. 1 is a front view of a magnetic recording and reproducing device according to the present invention, and FIG.
The figure is also a plan view thereof, and FIGS. 3 and 4 are enlarged views showing the assembled structure of the magnetic head and head support device.

図において、1は磁気ディスク、2は磁気ヘッド、3は
ジンバル系ヘッド支持装置、4は位置決め装置である。
In the figure, 1 is a magnetic disk, 2 is a magnetic head, 3 is a gimbal type head support device, and 4 is a positioning device.

磁気ディスク1は図示しない回転駆動機構により、矢印
aの方向に回転駆動される。磁気ヘッド2はヘッド支持
装置3によって支持され、位置決め装置4により、回転
直径01上で、矢印b1またはb2の方向に駆動されて
位置決めされ、所定のシリンダにおいて、磁気記録が行
なわれる。磁気ヘッド2の駆動方式としては、上述の直
線駆動の他に、回転駆動も採用できる。
The magnetic disk 1 is rotationally driven in the direction of arrow a by a rotational drive mechanism (not shown). The magnetic head 2 is supported by a head support device 3, and is driven and positioned by a positioning device 4 in the direction of arrow b1 or b2 on a rotational diameter 01, and magnetic recording is performed in a predetermined cylinder. As a driving method for the magnetic head 2, in addition to the above-mentioned linear drive, rotational drive can also be adopted.

磁気ディスク1は表面粗さRMA×が100Å以下、望
ましくは50Å以下の表面性の良好な媒体とする。磁気
ディスク1は、第5図に示すように、剛性基体1010
表面に真空成膜法によって磁気記録層102を形成しで
ある。磁気記録層102はy−Fe203またはCo−
Ni 、 Go−Cr等の磁性薄膜として形成する。真
空成膜法によって形成される磁気記録層102の膜厚は
0.5μm程度以下であるので、剛性基体101の表面
性がそのまま記録層102の表面性として反映される。
The magnetic disk 1 is a medium with good surface roughness, with a surface roughness RMAx of 100 Å or less, preferably 50 Å or less. As shown in FIG. 5, the magnetic disk 1 has a rigid base 1010.
A magnetic recording layer 102 is formed on the surface by a vacuum film forming method. The magnetic recording layer 102 is made of y-Fe203 or Co-
It is formed as a magnetic thin film of Ni, Go-Cr, etc. Since the thickness of the magnetic recording layer 102 formed by the vacuum deposition method is about 0.5 μm or less, the surface properties of the rigid base 101 are directly reflected as the surface properties of the recording layer 102.

従って、剛性基体102としては、表面粗さR、AXが
100Å以下のものを使用する。そのような剛性基体の
具体例としては、ガラス、化学強化されたソーダアルミ
ノ珪酸ガラスまたはセラミックを主成分とする剛性基体
が通している。
Therefore, the rigid base 102 used has a surface roughness R and AX of 100 Å or less. Specific examples of such rigid substrates include rigid substrates whose main component is glass, chemically strengthened soda aluminosilicate glass, or ceramic.

磁気記録層102は、γ−Fe2O3等の磁性酸化鉄や
磁性窒化物で構成することができる。また、磁性層が金
属や合金などの場合には、第5図に示すように、表面に
酸化物層、窒化物層102aを設けるか、または第6図
に示すように、表面を酸化度[102bとするのが望ま
しい。こうすることにより、磁気記録層102の耐久性
が向上し、掻く低浮上量で記録再生する場合や、コンタ
クト。
The magnetic recording layer 102 can be made of magnetic iron oxide or magnetic nitride such as γ-Fe2O3. When the magnetic layer is made of metal or alloy, an oxide layer or a nitride layer 102a is provided on the surface as shown in FIG. 5, or the surface is coated with an oxidation degree [ 102b is desirable. By doing this, the durability of the magnetic recording layer 102 is improved, and when recording and reproducing at a low flying height, or when contacting.

スタート、ストップ時においても、磁気ディスク1の損
傷を防止できる。酸化物層及び窒化物層102aは、反
応性スパッタ、反応性蒸着等によって形成できる。また
、酸化皮膜102bは、Go−Ni またはGo−Cr
等のように、鉄、コバルト、ニッケルのうち、少なくと
も一種を含む金属または合金でなる磁気記録層102の
表面を、反応性プラズマ処理等により、意図的に酸化し
て形成できる。磁気ディスク1は、磁気記録層102の
記録残留磁化が膜面に対して垂直方向の成分を主成分と
する垂直記録、膜面的成分を主成分とする面内記録のい
ずれであってもよい。図示は省略したが、磁気記録層1
02の表面に潤滑剤を塗布してもよい。
Damage to the magnetic disk 1 can be prevented even when starting and stopping. The oxide layer and nitride layer 102a can be formed by reactive sputtering, reactive vapor deposition, or the like. Further, the oxide film 102b is made of Go-Ni or Go-Cr.
The magnetic recording layer 102 can be formed by intentionally oxidizing the surface of the magnetic recording layer 102 made of a metal or alloy containing at least one of iron, cobalt, and nickel by reactive plasma treatment or the like. The magnetic disk 1 may be of either perpendicular recording, in which the recorded residual magnetization of the magnetic recording layer 102 has a component perpendicular to the film surface as its main component, or in-plane recording, in which the main component is a film-plane component. . Although not shown, the magnetic recording layer 1
A lubricant may be applied to the surface of 02.

第7図は磁気ヘッド2の拡大斜視図を示している。図に
おいて、第15図と同一の参照符号は同一性ある構成部
分を示している。スライダ21は、媒体対向面211の
幅方向の両端縁に、長さ方向に沿う凹部213.214
を有し、凹部213−214間が段部を持たない空気ベ
アリング面215となっている。凹部213.214の
深さhs&び幅d、は、スライダ21の全幅W2を1.
2mm、全長を1.1mm、厚みを0.55mmに選定
した具体例では、0.1mm程度が適当である。
FIG. 7 shows an enlarged perspective view of the magnetic head 2. As shown in FIG. In the figure, the same reference numerals as in FIG. 15 indicate the same components. The slider 21 has recesses 213 and 214 along the length direction at both ends of the medium facing surface 211 in the width direction.
The space between the recesses 213 and 214 forms an air bearing surface 215 without a step. The depth hs and width d of the recesses 213 and 214 are such that the total width W2 of the slider 21 is 1.
In a specific example where the length is 2 mm, the total length is 1.1 mm, and the thickness is 0.55 mm, approximately 0.1 mm is appropriate.

読み書ぎ素子22は、長さ方向の一端側において凹部2
13−214間の空気ベアリング面215にギャップが
位置するように配置されている。読み書き素子22は、
メタル、イン、ギャップ型または薄膜素子の何れでもよ
い。本実施例では薄膜素子を使用した薄膜磁気ヘッドの
例を示す。図示は省略したが、読み書き素子22を設け
た端面と向き合う他端面側にも凹部を設けることができ
る。
The read/write element 22 has a recess 2 at one end in the length direction.
13-214 with a gap located at the air bearing surface 215. The read/write element 22 is
It may be a metal, in, gap type, or thin film element. This embodiment shows an example of a thin film magnetic head using a thin film element. Although not shown, a recess can also be provided on the other end face side facing the end face where the read/write element 22 is provided.

スライダ21の媒体対向面211のうち、凹部213−
214間の空気ベアリング面215の一端側に配置され
た読み書き素子22と、磁気ディスクとの間で、磁気記
録再生が行なわれる。ここで、中間部の空気ベアリング
面215は、その幅w、が媒体対向面211の全幅w2
に比較して狭くなるので、その面積が縮小される。この
ため、低浮上量でスペーシングロスが少なく、高密度記
録に通した磁気ヘッドが得られる。
In the medium facing surface 211 of the slider 21, the recess 213-
Magnetic recording and reproducing is performed between the read/write element 22 disposed on one end side of the air bearing surface 215 between the magnetic disks 214 and the magnetic disk. Here, the width w of the air bearing surface 215 at the intermediate portion is the total width w2 of the medium facing surface 211.
Since it is narrower compared to , its area is reduced. Therefore, a magnetic head with a low flying height, little spacing loss, and capable of high-density recording can be obtained.

また、加工歪の残り易い幅方向の両端縁に、長さ方向に
沿って凹部213.214が設けられていて、加工歪部
分が除去される。このため、ヘッドタッチが良好で、ス
ペーシングロスが小さく、ヘッドクラッシュ等を生じに
くい耐久性の高い磁気ヘッドが得られる。表面粗さRM
AXを100Å以下とした磁気ディスクとの組合せにお
いては、後で実証するように、浮上開始点を相対速度2
 m/s以下に設定し、CSS酎久耐を10万回以上パ
スまで向上させることができた。
In addition, recesses 213 and 214 are provided along the length direction at both edges in the width direction where machining strain tends to remain, and the machining strain portion is removed. Therefore, a magnetic head with good head touch, small spacing loss, and high durability that is resistant to head crashes and the like can be obtained. Surface roughness RM
In combination with a magnetic disk with AX of 100 Å or less, as will be demonstrated later, the starting point of levitation is set at a relative velocity of 2.
By setting the speed below m/s, we were able to improve the CSS shu durability to over 100,000 passes.

更に、スライダ21の媒体対向面211とは反対側の面
212は、スライダ21の全幅W2に対応した面積とな
り、空気ベアリング面215の縮小化による影響を受け
ない、このため、ヘッド支持装置との間に充分な接着面
積を確保し、接着強度を増大できる。
Furthermore, the surface 212 of the slider 21 opposite to the medium facing surface 211 has an area corresponding to the full width W2 of the slider 21, and is not affected by the reduction of the air bearing surface 215. It is possible to secure a sufficient bonding area between the two and increase the bonding strength.

空気ベアリング面215は、コンタクト、スタート時に
おける磁気ディスクの表面との引掛りをなくすため、空
気流入端及び流出端となる長さ方向の両端縁、幅方向の
両端縁及び隅部を弧状に形成するのが望ましい。
The air bearing surface 215 has both edges in the length direction, both edges in the width direction, and corners, which are the air inflow and outflow ends, formed in an arc shape in order to eliminate hooking with the surface of the magnetic disk at the time of contact and start. It is desirable to do so.

第8図は薄膜読み書き素子22を中心とした拡大斜視図
、第9図は同じくその拡大断面図である。図において、
221は下部磁性膜、222はアルミナ等でなるギャッ
プ膜、223は上部磁性膜、224は導体コイル膜、2
25はノボラック樹脂等の有機樹脂で構成された絶縁膜
、226.227はリード電極、228は保護膜である
FIG. 8 is an enlarged perspective view centered on the thin film read/write element 22, and FIG. 9 is an enlarged sectional view thereof. In the figure,
221 is a lower magnetic film, 222 is a gap film made of alumina or the like, 223 is an upper magnetic film, 224 is a conductor coil film, 2
25 is an insulating film made of organic resin such as novolac resin, 226 and 227 are lead electrodes, and 228 is a protective film.

下部磁性膜221及び上部磁性膜223の先端部は微小
厚みのギャップ膜222を隔てて対向するボール部とな
っており、ボール部にギャップ膜222による変換ギャ
ップが形成されている。また、下部磁性膜221及び上
部磁性膜223は後方ギャップ閉鎖部によって互いに結
合されて、所要の磁気回路を構成している。
The tips of the lower magnetic film 221 and the upper magnetic film 223 are ball portions that face each other with a gap film 222 of very small thickness in between, and a conversion gap formed by the gap film 222 is formed in the ball portion. Further, the lower magnetic film 221 and the upper magnetic film 223 are coupled to each other by a rear gap closing portion to form a required magnetic circuit.

絶縁膜225は複数層となっていて、その内部に下部磁
性膜221及び上部磁性膜223の後方ギャップ閉鎖部
を渦巻状にまわるように、導体コイル膜224が形成さ
れている。リード電極226.227は、一端側が導体
コイル膜224の両端にそれぞれ導通接続されており、
他端側に取出電極23.24が形成されている。
The insulating film 225 has a plurality of layers, and a conductive coil film 224 is formed therein so as to spiral around the rear gap closing portions of the lower magnetic film 221 and the upper magnetic film 223. The lead electrodes 226 and 227 have one end electrically connected to both ends of the conductor coil film 224, respectively, and
Extracting electrodes 23 and 24 are formed on the other end side.

第10図〜第12図は本発明に係る磁気ヘッドの別々の
実施例を示している。まず、第10図の実施例では、凹
部213.214は空気ベアリング面215に連なる傾
斜面と段面とで構成されている。
10 to 12 show different embodiments of the magnetic head according to the present invention. First, in the embodiment shown in FIG. 10, the recesses 213 and 214 are composed of an inclined surface and a step surface that are connected to the air bearing surface 215.

第11図の実施例では、凹部213.214は、空気ベ
アリング面215に連なる凸状の円弧面と段面とで構成
されている。
In the embodiment of FIG. 11, the recesses 213, 214 are comprised of convex arcuate surfaces and step surfaces that are continuous with the air bearing surface 215.

第12図の実施例では、凹部213.214は凹曲面状
となっている。
In the embodiment of FIG. 12, the recesses 213, 214 are concavely curved.

何れの実施例においても、第7図に示す磁気ヘッドと同
様の作用効果が得られる。
In either embodiment, the same effects as the magnetic head shown in FIG. 7 can be obtained.

上記各実施例では、面内記録再生用の磁気ヘッドを示し
たが、−垂直磁気記録再生用の磁気ヘッドにも、本発明
は適用できる。更に、実施例に示す2端子型の磁気ヘッ
ドに限らず、センタータップを有する3端子型の磁気ヘ
ッド、ウエンチェスタ型磁気ヘッドまたはコンポジット
型磁気ヘッドにも適用できる。
In each of the above embodiments, a magnetic head for in-plane recording/reproduction is shown, but the present invention can also be applied to a magnetic head for perpendicular magnetic recording/reproduction. Furthermore, the invention is not limited to the two-terminal magnetic head shown in the embodiment, but can also be applied to a three-terminal magnetic head having a center tap, a Wenchester type magnetic head, or a composite type magnetic head.

次に、磁気ヘッド2とヘッド支持装置3の組立構造は、
第3図及び第4図に詳しく示されている。磁気ヘット2
は、位置決め装置4(第1図、第2図参照)によって駆
動されるヘッド支持装置3により、媒体対向面211と
は反対側の面212に荷重を加えてピッチ運動及びロー
ル運動を許容するように支持する。
Next, the assembly structure of the magnetic head 2 and head support device 3 is as follows.
This is shown in detail in FIGS. 3 and 4. magnetic head 2
The head support device 3 driven by the positioning device 4 (see FIGS. 1 and 2) applies a load to the surface 212 opposite to the medium facing surface 211 to allow pitch and roll motion. support.

ヘッド支持装置3は、位置決め装置に取付けられる剛性
アーム部31に、弾性金属薄板でなる支持体32の一端
を、結合具311.312によって取付は固定すると共
に、支持体32の長手方向の一端にある自由端に、同じ
く金属薄板でなる可撓体33を取付け、この可撓体33
の下面に、磁気ヘッド2を取付けた構造となっている。
In the head support device 3, one end of a support body 32 made of an elastic thin metal plate is attached and fixed to a rigid arm portion 31 attached to a positioning device using connectors 311 and 312, and one end of the support body 32 in the longitudinal direction is fixed. A flexible body 33 made of a thin metal plate is attached to a certain free end, and this flexible body 33
It has a structure in which a magnetic head 2 is attached to the bottom surface of the magnetic head.

支持体32は剛性アーム部31に取付けられる部分が弾
性バネ部321となっていて、この弾性バネ部321に
連続して剛性ビーム部322を形成しである。剛性ビー
ム部322は両側に折曲げ形成したフランジ322a、
322bを有している。可撓体33は支持体32の長手
方向軸線と略平行して伸びる2つの外側可撓性枠部33
1.332と、支持体32から離れた端において外側可
撓性枠部331.332を連結する横枠333と、横枠
333の略中央部から外側可撓性枠部331.332に
略平行するように伸びていて先端を自由端とした中央舌
状部334とを有して構成され、横枠333のある方向
とは反対側の一端を、支持体32の自由端付近に溶接等
の手段によって取付けである。
The support body 32 has an elastic spring section 321 at a portion attached to the rigid arm section 31, and a rigid beam section 322 is formed continuously to the elastic spring section 321. The rigid beam portion 322 has flanges 322a bent on both sides,
322b. The flexible body 33 has two outer flexible frames 33 extending substantially parallel to the longitudinal axis of the support body 32.
1.332, a horizontal frame 333 that connects the outer flexible frame portion 331.332 at the end remote from the support body 32, and a horizontal frame 333 that connects the outer flexible frame portion 331.332 from approximately the center of the horizontal frame 333 to approximately parallel to the outer flexible frame portion 331.332. The structure has a central tongue-shaped part 334 that extends in the direction of the horizontal frame 333 and has a free end. By means of installation.

可撓体33の中央舌状部334の上面には、例えば半球
状等の荷重用突起335が設けられていて、この荷重用
突起335により、支持体32の自由端から中央舌状部
334へ荷重を伝えるようにしである。中央舌状部33
4の下面には磁気ヘッド2の面212を接着等の手段に
よって固着しである。
A loading protrusion 335 having a hemispherical shape, for example, is provided on the upper surface of the central tongue 334 of the flexible body 33, and this loading protrusion 335 allows the support 32 to be moved from the free end of the support body 32 to the central tongue 334. It is designed to transmit the load. Central tongue 33
The surface 212 of the magnetic head 2 is fixed to the lower surface of the magnetic head 4 by adhesive or other means.

次に、100人の表面粗さRMAXを有する磁気ディス
ク1と、第7図〜第12図に示した磁気ヘッド及びヘッ
ド支持装置との組合せを含む磁気記録再生装置について
、具体的なデータを参照して説明する。第13図は磁気
ディスクの表面粗さと磁気ヘッドの浮上を開始する相対
速度との関係を示すデータである。このデータに示すよ
うに、磁気ディスクの表面粗さが100Å以下の領域で
は、浮上を開始する相対速度がlll1/s前後となる
。このことは、コンタクト、スタート、ストップ方式に
よって駆動する場合に、起動初期の周速が低い領域で、
磁気ヘッドが浮上を開始し、磁気ヘッドと磁気ディスク
との間のクラッシュが非常に生じにくくなることを意味
する。この点は、第14図のデータによっても裏付けら
れている。
Next, refer to specific data regarding a magnetic recording/reproducing apparatus including a combination of a magnetic disk 1 having a surface roughness RMAX of 100, and the magnetic head and head support device shown in FIGS. 7 to 12. and explain. FIG. 13 shows data showing the relationship between the surface roughness of the magnetic disk and the relative speed at which the magnetic head starts flying. As shown in this data, in a region where the surface roughness of the magnetic disk is 100 Å or less, the relative speed at which the magnetic disk starts flying is around 11/s. This means that when driving using the contact, start, and stop method, in the region where the circumferential speed is low at the initial stage of startup,
This means that the magnetic head begins to fly, and a crash between the magnetic head and the magnetic disk becomes much less likely to occur. This point is also supported by the data shown in FIG.

第14図は浮上を開始する相対速度とC5S耐久性との
関係を示す実測データである。10万回C5Sテストに
おいて、クラッシュを生じることなく終了したサンプル
については○印を付し、クラッシュを生じたものについ
てはX印を付しである。
FIG. 14 shows measured data showing the relationship between the relative speed at which levitation begins and C5S durability. Samples that completed the 100,000-cycle C5S test without crashing are marked with a circle, and samples that did experience a crash are marked with an x.

第14図から明らかなように、浮上を開始する相対速度
2 rn/sを境にして、それよりも相対速度の低い領
域では、10万回C3Sテストバスのサンプルが著しく
多くなっており、2Lo/s付近に耐久性を飛躍的に向
上させる相対速度の臨界値が存在することが理解される
。従って、浮上を開始する相対速度を2 m/s以下に
設定することにより、耐久性の高い磁気記録再生装置を
実現することかできる。
As is clear from Fig. 14, in the region where the relative speed is lower than the relative speed of 2 rn/s at which levitation starts, the number of samples of the 100,000-cycle C3S test bus increases significantly, and the number of samples of the 2Lo It is understood that there is a critical value of relative velocity around /s that dramatically improves durability. Therefore, by setting the relative speed at which levitation starts to 2 m/s or less, a highly durable magnetic recording/reproducing device can be realized.

〈発明の効果〉 以上述べたように、本発明によれば、次のような効果が
得られる。
<Effects of the Invention> As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.

(a)スライダは、媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ
方向に沿う凹部を有し、凹部間が空気ベアリング面とな
っており、読み書き素子は、長さ方向の一端側において
凹部間に配置されているので、空気ベアリング面の面積
を縮小し、低浮上量で、スペーシングロスが少なく、高
密度記録に適し、ジンバルとの組合せにおいては、共振
周波数を高め、クラッシュを防止し、耐久性を向上させ
た磁気ヘッドを提供できる。また、ジンバルとの組合せ
において、動圧と支持バネ圧との間の適正なバランスを
保ち、フライト姿勢を良好に保ち、浮上特性を安定させ
、更にアクセス運動の高速化を図り得る磁気ヘットを提
供できる。
(a) The slider has recesses along the length direction on both edges in the width direction of the medium facing surface, and the space between the recesses is an air bearing surface, and the read/write element is located between the recesses at one end side in the length direction. This reduces the area of the air bearing surface, resulting in a low flying height and low spacing loss, making it suitable for high-density recording.When combined with a gimbal, it increases the resonant frequency and prevents crashes. A magnetic head with improved durability can be provided. In addition, in combination with a gimbal, we provide a magnetic head that can maintain an appropriate balance between dynamic pressure and support spring pressure, maintain a good flight attitude, stabilize flying characteristics, and further speed up access movements. can.

(b)加工歪等に起因するスライダの媒体対向面の凹面
を補正し、ヘッドタッチが良好で、スベーシンロスが小
さく、ヘッドクラッシュ等を生じにくい耐久性の高い磁
気ヘッドを提供できる。
(b) It is possible to correct the concavity of the medium-facing surface of the slider caused by processing distortion, etc., and provide a highly durable magnetic head with good head touch, low spacing loss, and less tendency to cause head crashes.

(C)スライダの媒体対向面とは反対側の面は、空気ベ
アリング面の縮小化に影響を受けないので、ヘッド支持
装置との間に充分な接着面積を確保し、接着強度を向上
させた磁気ヘッドを提供できる。
(C) The surface of the slider opposite to the medium facing surface is not affected by the reduction of the air bearing surface, so a sufficient adhesive area is secured between it and the head support device, improving adhesive strength. We can provide magnetic heads.

(d)磁気ディスクは、表面粗さRMAxが100Å以
下であり、磁気ヘッドの浮上開始点は磁気ディスクに対
する磁気ヘッドの相対速度が2 m/s以下となる範囲
にあるので、低浮上領域でもクラッシュを生じにくく、
きわめて耐久性の高い磁気記録再生装置を提供できる。
(d) The magnetic disk has a surface roughness RMAX of 100 Å or less, and the starting point of the magnetic head's levitation is within a range where the relative speed of the magnetic head to the magnetic disk is 2 m/s or less, so crashes can occur even in low-flying areas. less likely to cause
A highly durable magnetic recording/reproducing device can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る磁気記録再生装置の正面図、第2
図は同じくその平面図、第3図及び第4図は磁気ヘッド
とヘッド支持装置との間の組立構造を示す図、第5図は
本発明に係る磁気記録再生装置を構成する磁気ディスク
の一部拡大断面図、第6図は同じく別の実施例における
一部拡大断面図、第7図は本発明に係る磁気記録再生装
置を構成する磁気ヘッドの拡大斜視図、第8図は本発明
に係る磁気ヘッドの薄膜読み書き素子を中心とした拡大
斜視図、第9図は同じくその拡大断面図、第10図〜第
12図は本発明に係る磁気ヘッドの別々の実施例を示す
図、第13図は媒体表面粗さと浮上を開始する相対速度
との関係を示す図、第14図は浮上を開始する相対速度
とCSS耐久性との関係を示す図、第15図は従来の磁
気記録再生装置に使用されていた磁気ヘッドの斜視図、
第16図は同じくその問題点を示す図である。 1・・・磁気ディスク  2・・・磁気ヘッド21・・
・スライダ  22・・・読み書き素子211・・・媒
体対向面 213.214・・・凹部 215・・・空気ベアリング面 第 【2: どl 第 図 2 第 図 第 5 図 第 図 O ρ0 00 00 00 飄ρ 00 沫体表面組之R□。8 、λ] 第 4 図 4土ta4fitj6柿杜り戻 〔m/sec〕
FIG. 1 is a front view of a magnetic recording/reproducing device according to the present invention, and FIG.
3 and 4 are views showing the assembled structure between the magnetic head and the head support device, and FIG. 6 is a partially enlarged sectional view of another embodiment, FIG. 7 is an enlarged perspective view of a magnetic head constituting a magnetic recording/reproducing apparatus according to the present invention, and FIG. 8 is a partially enlarged sectional view of another embodiment. FIG. 9 is an enlarged perspective view centered on the thin film read/write element of such a magnetic head, FIG. 9 is an enlarged sectional view thereof, FIGS. 10 to 12 are views showing separate embodiments of the magnetic head according to the present invention, and FIG. Figure 14 shows the relationship between the medium surface roughness and the relative speed at which levitation starts, Figure 14 shows the relationship between the relative speed at which levitation starts and CSS durability, and Figure 15 shows a conventional magnetic recording/reproducing device. A perspective view of the magnetic head used in
FIG. 16 is a diagram similarly showing the problem. 1...Magnetic disk 2...Magnetic head 21...
・Slider 22...Read/write element 211...Medium facing surface 213.214...Concavity 215...Air bearing surface No.飄ρ 00 沫体面绋之R□. 8, λ] Fig. 4 Sat ta 4 fitj 6 Kakimori return [m/sec]

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)磁気ディスクと、磁気ヘッドと、前記磁気ヘッド
を支持するヘッド支持装置とを含み、前記磁気ディスク
を回転させながら前記磁気ヘッドと前記磁気ディスクと
の間で磁気記録再生を行なう磁気記録再生装置であって
、 前記磁気ディスクは、剛性基体上に磁気記録層を有して
おり、 前記磁気ヘッドは、スライダに読み書き素子を備えてお
り、 前記スライダは、媒体対向面に長さ方向及び幅方向を仮
想したとき、前記媒体対向面の幅方向の両端縁に長さ方
向に沿う凹部を有し、前記凹部間が空気ベアリング面と
なっており、 前記読み書き素子は、長さ方向の一端側において前記凹
部間に配置されていること を特徴とする磁気記録再生装置。
(1) A magnetic recording and reproducing device that includes a magnetic disk, a magnetic head, and a head support device that supports the magnetic head, and performs magnetic recording and reproducing between the magnetic head and the magnetic disk while rotating the magnetic disk. In the apparatus, the magnetic disk has a magnetic recording layer on a rigid substrate, the magnetic head includes a read/write element on a slider, and the slider has a length and width on a surface facing the medium. When the direction is assumed, the medium facing surface has recesses along the length direction at both ends in the width direction, the space between the recesses is an air bearing surface, and the read/write element is located at one end side in the length direction. A magnetic recording and reproducing device, characterized in that it is disposed between the recesses.
(2)前記磁気ディスクは、表面粗さR_M_A_Xが
100Å以下であること を特徴とする請求項1に記載の磁気記録再生装置。
(2) The magnetic recording/reproducing apparatus according to claim 1, wherein the magnetic disk has a surface roughness R_M_A_X of 100 Å or less.
(3)前記磁気ヘッドの浮上開始点は、前記磁気ディス
クに対する前記磁気ヘッドの相対速度が2m/s以下と
なる範囲にあること を特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録再生装
置。
(3) The magnetic recording/reproducing apparatus according to claim 1 or 2, wherein the flying start point of the magnetic head is within a range where the relative velocity of the magnetic head with respect to the magnetic disk is 2 m/s or less.
(4)前記基体はガラスを主成分とすることを特徴とす
る請求項1、2または3に記載の磁気記録再生装置。
(4) The magnetic recording/reproducing device according to claim 1, 2 or 3, wherein the base body is mainly composed of glass.
(5)前記基体は、セラミックでなること を特徴とする請求項1、2または3に記載の磁気記録再
生装置。
(5) The magnetic recording/reproducing device according to claim 1, 2 or 3, wherein the base is made of ceramic.
(6)前記磁気記録層は、少なくとも表面層が酸化物層
または窒化物層となっていることを特徴とする請求項1
、2、3、4または5に記載の磁気記録再生装置。
(6) Claim 1, wherein at least a surface layer of the magnetic recording layer is an oxide layer or a nitride layer.
, 2, 3, 4 or 5.
(7)前記磁気ヘッドは、薄膜磁気ヘッドであること を特徴とする請求項1、2、3、4、5または6に記載
の磁気記録再生装置。
(7) The magnetic recording and reproducing apparatus according to claim 1, 2, 3, 4, 5, or 6, wherein the magnetic head is a thin film magnetic head.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6452750B1 (en) * 1999-04-30 2002-09-17 Tdk Corporation Slider including a rail having a concave end and method of manufacturing same

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