JPH0320200A - 薬液供給管 - Google Patents
薬液供給管Info
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- JPH0320200A JPH0320200A JP15539189A JP15539189A JPH0320200A JP H0320200 A JPH0320200 A JP H0320200A JP 15539189 A JP15539189 A JP 15539189A JP 15539189 A JP15539189 A JP 15539189A JP H0320200 A JPH0320200 A JP H0320200A
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- pipe
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Landscapes
- Pipeline Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は薬液．特に半導体装置を製造するためにエッチ
ングや洗浄等に用いる薬液を薬液処理装置に供給する薬
液供給管に関するものである。
ングや洗浄等に用いる薬液を薬液処理装置に供給する薬
液供給管に関するものである。
従来の技術
近年、薬液処理装置への薬液の投入は、薬液供給タンク
に窒素ガスなどの不活性ガスによる圧送またはポンプ稼
動によって薬液を送液する、いわゆる自，動薬液供給シ
ステムが利用されている。
に窒素ガスなどの不活性ガスによる圧送またはポンプ稼
動によって薬液を送液する、いわゆる自，動薬液供給シ
ステムが利用されている。
第２図に従来の自動薬液供給システムを示し、これを参
照して薬液供給管を説明する。薬液供給ボックス１と薬
液処理装置２は、同じ床３もしくは別の床に配置されて
いる。薬液タンク４には薬液５が充填されており、薬液
６を圧送するために薬液供給タンク４内に窒素ガスを送
シ込む加圧用窒素供給管６が設けられている。薬液供給
タンク４から薬液処理装置２の間には薬液６の通る内飼
管８を内包している外側管７の二重管で構或されている
薬液供給管がある。
照して薬液供給管を説明する。薬液供給ボックス１と薬
液処理装置２は、同じ床３もしくは別の床に配置されて
いる。薬液タンク４には薬液５が充填されており、薬液
６を圧送するために薬液供給タンク４内に窒素ガスを送
シ込む加圧用窒素供給管６が設けられている。薬液供給
タンク４から薬液処理装置２の間には薬液６の通る内飼
管８を内包している外側管７の二重管で構或されている
薬液供給管がある。
この薬液供給管が二重管構造になっているのは、供給す
る多種多様な薬液、例えば硫酸，アン手ニア水．弗酸，
発煙硝酸などの危険物が、万一伺らかの原因で長い薬液
供給管の内側管よシ漏洩したとき、外側管７に薬液６が
漏，洩するだけで、外側管７の外すなわち床３などに薬
液を漏洩拡大させない様にするためである。
る多種多様な薬液、例えば硫酸，アン手ニア水．弗酸，
発煙硝酸などの危険物が、万一伺らかの原因で長い薬液
供給管の内側管よシ漏洩したとき、外側管７に薬液６が
漏，洩するだけで、外側管７の外すなわち床３などに薬
液を漏洩拡大させない様にするためである。
薬液供給管の材質は、内側管８は耐薬品性に優れたフッ
素樹脂が用いられ、外側管７は内側管８の様子及び外側
管への薬液の漏洩が目視できる様に透明な塩化ビニール
管が用いられている。
素樹脂が用いられ、外側管７は内側管８の様子及び外側
管への薬液の漏洩が目視できる様に透明な塩化ビニール
管が用いられている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記従来の薬液供給管では外側管と内側
管の間隙に空気が滞溜しているだけで、その空気は外気
と置換されることがなく、特に発煙硝酸の場合は長時間
使用するうちに、内側管のフッ素系樹脂の管壁を薬液が
透過して内側管の表面が凸凹状態になるプリスター現象
が発生してフッ素系配管の寿命を著しく短かくする問題
があった。
管の間隙に空気が滞溜しているだけで、その空気は外気
と置換されることがなく、特に発煙硝酸の場合は長時間
使用するうちに、内側管のフッ素系樹脂の管壁を薬液が
透過して内側管の表面が凸凹状態になるプリスター現象
が発生してフッ素系配管の寿命を著しく短かくする問題
があった。
本発明はかかる点に鑑みグリスター現象を防止できる薬
液供給管を提供せんとするものである。
液供給管を提供せんとするものである。
本発明は上記のような従来の問題点を解決するもので薬
液供給管のグリスター現象を解消し、かつ内側管の交換
頻度を低減できる薬液供給管を提供することを目的とし
ているものである。
液供給管のグリスター現象を解消し、かつ内側管の交換
頻度を低減できる薬液供給管を提供することを目的とし
ているものである。
課題を解決するための手段
この目的を違戊するために本発明の薬液供給管は、薬液
を供給する内側管と、内側管を内包する外側管と、外側
管の中に気体を外側管の一方の端部附近から流入させる
流入管と外側管の他の端部附近から気体を排出させる排
出管とを備えたものである。
を供給する内側管と、内側管を内包する外側管と、外側
管の中に気体を外側管の一方の端部附近から流入させる
流入管と外側管の他の端部附近から気体を排出させる排
出管とを備えたものである。
作用
との構戊によって、流入管よシ外側管と内側管の間隙に
窒素などの不活性な気体を流し込むことによって、上記
間隙にフッ素系配管から透過した薬液ミストが滞溜する
ことがなく、この結果内側管のフッ素系配管の寿命が延
び、交換頻度を著しく低減することができる。
窒素などの不活性な気体を流し込むことによって、上記
間隙にフッ素系配管から透過した薬液ミストが滞溜する
ことがなく、この結果内側管のフッ素系配管の寿命が延
び、交換頻度を著しく低減することができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図は本発明による薬液供給装置の概略構或図を示す
ものである。第１図において、１は薬液供給ボックス、
４は薬液タンク、６は薬液であり、薬液５を圧送するた
めに薬液タンク上部に加圧用窒素供給管６が設けられて
いる。２ぱ薬液処理装置、薬液ボックス１と薬液処理装
置２の間には薬液６の通る内側管８と内側管８を内包し
ている外側管７の二重管で構戊されてしる薬液供給管が
ある。そして外側管７に流し込む流入管１ｏが薬液供給
ボックス附近に設けられ、気体を排出する排出管１１が
薬液処理装置附近に設けられている。
ものである。第１図において、１は薬液供給ボックス、
４は薬液タンク、６は薬液であり、薬液５を圧送するた
めに薬液タンク上部に加圧用窒素供給管６が設けられて
いる。２ぱ薬液処理装置、薬液ボックス１と薬液処理装
置２の間には薬液６の通る内側管８と内側管８を内包し
ている外側管７の二重管で構戊されてしる薬液供給管が
ある。そして外側管７に流し込む流入管１ｏが薬液供給
ボックス附近に設けられ、気体を排出する排出管１１が
薬液処理装置附近に設けられている。
流入管１０よシ外側管７の中に窒素などの不活性な気体
を常時少量流す。
を常時少量流す。
発明の効果
本発明の薬液供給管によれば、外側管に不活性な気体を
流すことによって、薬液ミストの滞溜がなくなシ内側管
のフッ素配管の寿命が延び交換頻度が著しく低減される
。
流すことによって、薬液ミストの滞溜がなくなシ内側管
のフッ素配管の寿命が延び交換頻度が著しく低減される
。
第１図は本発明の一実施例にかける薬液供給管を示す薬
液供給装置の概略構戎図、第２図は従来の薬液供給管を
示す薬液供給装置の概略構戊図である。 １・・・・・・薬液ボックス、２・・・・・・薬液処理
装置、３・・・・・・床、４・・・・・・薬液供給タン
ク、６・・・・・・薬液、６・・・・・・加圧用窒素供
給管、７・−・・・外側管、８・・・・・・内側管、９
・−・・・・薬液処理槽、１０・・・・・・流入管、１
１・・・・・・排出管。
液供給装置の概略構戎図、第２図は従来の薬液供給管を
示す薬液供給装置の概略構戊図である。 １・・・・・・薬液ボックス、２・・・・・・薬液処理
装置、３・・・・・・床、４・・・・・・薬液供給タン
ク、６・・・・・・薬液、６・・・・・・加圧用窒素供
給管、７・−・・・外側管、８・・・・・・内側管、９
・−・・・・薬液処理槽、１０・・・・・・流入管、１
１・・・・・・排出管。
Claims (1)
- 薬液供給タンクから薬液処理装置へ薬液を供給する内側
管と、前記内側管を内包する外側管と、前記外側管の一
方の端部附近から前記外側管の内へ気体を流入させる流
入管と、前記外側管の他方の端部附近から前記気体を排
出させる排出管とを備えたことを特徴とする薬液供給管
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15539189A JPH0320200A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 薬液供給管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15539189A JPH0320200A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 薬液供給管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320200A true JPH0320200A (ja) | 1991-01-29 |
Family
ID=15604929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15539189A Pending JPH0320200A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 薬液供給管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320200A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008208877A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 二重配管の液漏れ検知方法及び装置 |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP15539189A patent/JPH0320200A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008208877A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 二重配管の液漏れ検知方法及び装置 |
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