JPH0318883Y2 - - Google Patents

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JPH0318883Y2
JPH0318883Y2 JP17759282U JP17759282U JPH0318883Y2 JP H0318883 Y2 JPH0318883 Y2 JP H0318883Y2 JP 17759282 U JP17759282 U JP 17759282U JP 17759282 U JP17759282 U JP 17759282U JP H0318883 Y2 JPH0318883 Y2 JP H0318883Y2
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drive section
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、光デイスクのうねり量及びデイスク
面に形成されたピツト列等のズレを検出し、光デ
イスクの品質検査を行う光デイスク検査装置に関
する。
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] The present invention relates to an optical disk inspection device for inspecting the quality of an optical disk by detecting the amount of waviness of the optical disk and the deviation of pit rows formed on the disk surface. .

〔考案の技術的背景〕[Technical background of the invention]

一般に光デイスクには周知のように再生専用デ
イスクと記録用デイスクの2種類がある。再生専
用テイスクとしてはDAD(デイジタルオーデイオ
デイスク)、VD(ビデオデイスク)等が知られて
おり、これらのテイスク面には記録情報としての
ピツト列が一定のトラツクピツチでスパイラル状
に形成されている。
Generally speaking, there are two types of optical discs: read-only discs and recording discs. DAD (Digital Audio Disc), VD (Video Disc), etc. are known as playback-only disks, and pit rows as recorded information are formed in a spiral shape on the surface of these disks at a constant track pitch.

記録用デイスクとしてはトスフアイル用デイス
ク、静止画フアイル用デイスク等があり、記録用
デイスクでは再生専用デイスクのように初期(記
録前)にはピツト列は形成されていないが、記録
時にピツト列を形成して行くための案内溝が一定
のトラツクピツチでスパイラル状に形成されてい
る。
There are two types of recording disks: toss file disks, still image file disks, etc. Unlike playback-only disks, recording disks do not initially have pit rows formed (before recording), but pit rows are formed during recording. A guide groove for moving the robot is formed in a spiral shape with a constant track pitch.

ところで、これらの光デイスクを製造する際に
は光デイスクのうねり量やピツト列或るいは案内
溝のズレを測定して製品が許容範囲内にあるか否
かの品質検査が行われている。
By the way, when manufacturing these optical disks, quality inspection is performed to determine whether the product is within an acceptable range by measuring the amount of waviness of the optical disk and the deviation of pit rows or guide grooves.

従来の光デイスクのうねり量を測定する方法と
しては接触式のスライラスによつてデイスク表面
をなぞり、うねり量を測定する方法が一般的であ
つた。また、ピツト列や案内溝のズレについては
例えば顕微鏡とITVを組み合わせて画面上にピ
ツト列又は案内溝を拡大表示させ、デイスクを回
転して回転に伴う左右のズレを測定していた。
A conventional method for measuring the amount of waviness of an optical disk has been to trace the surface of the disk with a contact type sliver and measure the amount of waviness. In addition, as for deviations in pit rows and guide grooves, for example, a microscope and an ITV were combined to enlarge the pit rows or guide grooves on the screen, rotate the disk, and measure the left and right deviations due to rotation.

〔背景技術の問題点〕[Problems with background technology]

ところが、このような方法において、例えばデ
イスク表面のうねり量の場合にはスタイラスの触
針先端の形状によつて測定誤差が生じることがあ
り、また触針にある程度の負荷をかけて常にデイ
スク表面と接触させる必要があるため製品を損傷
させてしまうという欠点がある。
However, with this method, measurement errors may occur due to the shape of the tip of the stylus, for example when measuring the amount of waviness on the disk surface.Also, a certain amount of load is applied to the stylus to ensure that it is always in contact with the disk surface. The disadvantage is that the product may be damaged due to the need for contact.

また、ピツト列や案内溝のズレに関しては目視
によつてピツト列或いは案内溝の動きを追尾して
いくので、時間がかかる上に不正確となり易く、
さらにデイスクの最外周又は最内周の部位しか検
査できないという欠点がある。
Furthermore, regarding the deviation of pit rows and guide grooves, the movement of the pit rows or guide grooves is tracked visually, which is time consuming and tends to be inaccurate.
Another drawback is that only the outermost or innermost portions of the disk can be inspected.

〔考案の目的〕[Purpose of invention]

本考案は上記の欠点を解決するためになされた
ものであり、製品を損傷させることなく短時間
で、しかも正確に光デイスクのうねり量とピツチ
列等のズレを検査し得る光デイスク検査装置を提
供することを目的とする。
The present invention was made to solve the above-mentioned drawbacks, and provides an optical disk inspection device that can accurately inspect the amount of waviness and pitch row of an optical disk in a short period of time without damaging the product. The purpose is to provide.

〔考案の概要〕[Summary of the idea]

本考案は上記目的を達成するために、オートフ
オーカス及びオートトラツキング機構を備えた光
学ヘツドを用いて、これらの機構の駆動部により
電気信号を検出し、この電気信号を上記駆動部の
特性と逆の特性を有する補償部によつて補償した
出力を光デイスクのうねり量及びピツト列のズレ
の測定値とすることを特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention uses an optical head equipped with autofocus and autotracking mechanisms, detects electrical signals from the drive parts of these mechanisms, and converts the electrical signals into characteristics of the drive parts. The present invention is characterized in that the output compensated by a compensator having characteristics opposite to the above is used as the measurement value of the amount of waviness of the optical disk and the deviation of the pit row.

〔考案の実施例〕[Example of idea]

以下、本考案の実施例を図面を参照して詳細に
説明する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図〜第5図はいずれも本考案の一実施例を
説明するもので、第1図は検査装置の概略構成図
を示す図で、第2図は同実施例に用いられる光学
ヘツドの概略構成図を示す図である。又、第4図
及び第5図は補償部の回路例を示す回路図であ
る。
Figures 1 to 5 all illustrate one embodiment of the present invention, with Figure 1 showing a schematic configuration diagram of an inspection device, and Figure 2 showing an optical head used in the same embodiment. FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration diagram. Further, FIGS. 4 and 5 are circuit diagrams showing circuit examples of the compensating section.

第1図において符号1で示すものはオートフオ
ーカス及びオートトラツキング機構を持つ光学ヘ
ツドで、符号2で示すものは光学ヘツド1により
得られた信号からフオーカス方向及びトラツキン
グ方向のズレ量を検出し、光学ヘツド1の各駆動
部を動作させる制御部である。また、符号3で示
すものは補償部、符号4は上記光学ヘツド1を光
デイスク5のデイスク面に対して平行にラジアル
方向に移動させる移動テーブルである。尚、光デ
イスク5は検査時には不図示に回転機構によつて
一定速度で回転させられる。
In FIG. 1, the reference numeral 1 is an optical head with an autofocus and autotracking mechanism, and the reference numeral 2 is an optical head that detects the amount of deviation in the focusing direction and the tracking direction from the signal obtained by the optical head 1. , a control section that operates each drive section of the optical head 1. Further, reference numeral 3 indicates a compensation section, and reference numeral 4 indicates a moving table for moving the optical head 1 in the radial direction parallel to the disk surface of the optical disk 5. Incidentally, during inspection, the optical disk 5 is rotated at a constant speed by a rotation mechanism (not shown).

前記光学ヘツド1は第2図に示すような構成と
なつている。同図中符号11で示すものは光源で
ある半導体レーザで、半導体レーザ11より出射
されたレーザ光はコリメートレンズ12に入射さ
れる。コリメートレンズ12に入射したレーザ光
は平行光束に変換され、偏光プリズム13を透過
して次の1/4波長板14へ導かれる。1/4波長板1
4に入射したレーザ光は円偏光に変換された後、
対物レンズ15に入射し、光デイスク5の面上に
集光照射される。そして、光デイスク5に集光照
射されたレーザ光に光デイスク5の反射膜(記録
膜)によつて反射し、再び同一光路を逆進して偏
光プリズム13に入射される。ここで、偏光プリ
ズム13に入射する光デイスクからのレーザ光
(反射光)は、その前の1/4波長板14で偏光作用
を受けるので、反射して分割受光センサ16に導
かれる。分割受光センサ16に入射された反射光
は光デイスク5の回転に伴うねり量やピツト列或
いは案内溝のズレによつて変化が生じているの
で、分割受光センサ16の出力は制御部2によつ
て信号処理が施され、フオーカス方向及びトラツ
キング方向のズレ量が検出される。
The optical head 1 has a structure as shown in FIG. Reference numeral 11 in the figure indicates a semiconductor laser as a light source, and laser light emitted from the semiconductor laser 11 is incident on a collimating lens 12. The laser light incident on the collimating lens 12 is converted into a parallel light beam, passes through the polarizing prism 13, and is guided to the next 1/4 wavelength plate 14. 1/4 wavelength plate 1
After the laser beam incident on 4 is converted into circularly polarized light,
The light enters the objective lens 15 and is focused onto the surface of the optical disk 5. Then, the laser beam focused on the optical disk 5 is reflected by the reflective film (recording film) of the optical disk 5, travels backward along the same optical path, and enters the polarizing prism 13. Here, the laser light (reflected light) from the optical disk that enters the polarizing prism 13 is polarized by the 1/4 wavelength plate 14 in front of it, so that it is reflected and guided to the split light receiving sensor 16. Since the reflected light incident on the split light receiving sensor 16 changes due to the amount of bending due to the rotation of the optical disk 5 and the misalignment of the pit row or guide groove, the output of the split light receiving sensor 16 is controlled by the control unit 2. Then, signal processing is performed, and the amount of deviation in the focus direction and tracking direction is detected.

制御部2はフオーカツシングエラー及びトラツ
キングエラーが検出されると、フオーカス駆動部
17及びトラツキング駆動部18に制御信号を送
出し、上記駆動部17,18は矢印A,Bで示す
ように対物レンズ15を所定位置に移動させる。
When a focusing error and a tracking error are detected, the control unit 2 sends a control signal to a focus drive unit 17 and a tracking drive unit 18, and the drive units 17 and 18 move the objective as shown by arrows A and B. Move the lens 15 to a predetermined position.

従つて、本実施例では上記駆動部17,18に
より検出された信号から対物レンズ15の変位量
を求めることにより、光デイスク5のうねり量と
ピツト列或るいは案内溝のズレを測定している。
しかしながら、フオーカス駆動部17及びトラツ
キング駆動部18より検出される信号は、各駆動
部の周波数特性に対してフラツトでないため、そ
のままの値では実際の変位量を得ることができな
い。
Therefore, in this embodiment, the amount of waviness of the optical disk 5 and the deviation of the pit row or guide groove are measured by determining the amount of displacement of the objective lens 15 from the signals detected by the drive units 17 and 18. There is.
However, since the signals detected by the focus drive section 17 and the tracking drive section 18 are not flat with respect to the frequency characteristics of each drive section, it is not possible to obtain the actual amount of displacement with the values as they are.

従つて、本実施例においてはフオーカス駆動部
17及びトラツキング駆動部18より検出された
信号を補償部3によつて補償して測定系全体の周
波数特性をフラツトな特性になるようにしてい
る。例えば、上記駆動部17,18の周波数−振
幅の特性が単調増加である場合には補償部3に第
4図に示すような演算増幅器OP1、抵抗R1,
R2及びコンデンサC1,C2とからなる低域フ
イルタ回路を用いればよい。
Therefore, in this embodiment, the signals detected by the focus drive section 17 and the tracking drive section 18 are compensated by the compensator 3 so that the frequency characteristics of the entire measurement system become flat. For example, if the frequency-amplitude characteristics of the driving sections 17 and 18 are monotonically increasing, the compensating section 3 includes an operational amplifier OP1, a resistor R1, and a resistor R1 as shown in FIG.
A low-pass filter circuit consisting of R2 and capacitors C1 and C2 may be used.

又、上記駆動部17,18により検出された信
号は変位量との間で直線性に対する特性の影響が
ある。例えば駆動部17,18により検出された
信号と変位量との関係の特性が第3図に示すよう
に、方向により特性曲線の傾きが異なる場合には
補償部3として第5図に示すような回路を用いれ
ばよい。
Further, the signals detected by the drive units 17 and 18 have a characteristic influence on the linearity with respect to the amount of displacement. For example, if the characteristics of the relationship between the signals detected by the drive parts 17 and 18 and the amount of displacement are different in slope depending on the direction, as shown in FIG. A circuit can be used.

同図に示すように、フオーカス駆動部17及び
トラツキング駆動部18から検出された信号はそ
れぞれ抵抗R3,R4,R5を介して演算増幅器
OP3,OP4,OP5に入力される。演算増幅器
OP3,OP4に入力された駆動部からの信号をそ
れぞれ所定電圧の信号に増幅された後、アナログ
スイツチASのスツチ端S1,S2に印加される。
一方、演算増幅器OP5に入力された駆動部から
の信号は、この信号がプラス側にある場合にはH
レベルとなり、マイナス側にある場合にはLレベ
ルの信号となり、アナログスイツチASのゲート
端に印加される。従つて、アナログスイツチAS
ではゲート端に印加された演算増幅器OP5から
の信号レベルに基づいてスイツチ端S1,S2を
開閉動作する。すなわち、アナログスイツチAS
は演算増幅器OP5からのゲート信号がHレベル
の場合に動作し、駆動部により検出された信号が
プラス側の場合にスイツチ端S1を閉じて、演算
増幅器OP3からの信号を演算増幅器OP6のマイ
ナス入力に供給する。又駆動部から信号がマイナ
ス側の場合にはスイツチ端S2を閉じて、演算増
幅器OP4からの信号を演算増幅器OP6のプラス
入力に供給する。演算増幅器OP6ではマイナス
入力に供給された信号は増幅し、プラス入力し供
給された信号は反転増幅して出力する。従つて、
演算増幅器OP6は駆動部から信号がプラス側と
マイナス側の場合でそれぞれ増幅率の異なる信号
を出力する。これにより演算増幅器OP3,OP4
の増幅率を可変抵抗R9,R10によつて調整す
れば、駆動部の変位量−駆動部により検出された
信号値の特性を一定の傾きを持つ特性直線とする
ことができる。
As shown in the figure, the signals detected from the focus drive section 17 and the tracking drive section 18 are sent to the operational amplifier via resistors R3, R4, and R5, respectively.
Input to OP3, OP4, OP5. operational amplifier
The signals from the drive unit inputted to OP3 and OP4 are respectively amplified into signals of a predetermined voltage and then applied to switch terminals S1 and S2 of the analog switch AS.
On the other hand, the signal from the drive unit input to the operational amplifier OP5 is high when this signal is on the positive side.
If it is on the negative side, it becomes an L level signal and is applied to the gate end of analog switch AS. Therefore, analog switch AS
Then, the switch terminals S1 and S2 are opened and closed based on the signal level from the operational amplifier OP5 applied to the gate terminal. That is, analog switch AS
operates when the gate signal from the operational amplifier OP5 is at H level, and when the signal detected by the drive section is on the positive side, the switch terminal S1 is closed and the signal from the operational amplifier OP3 is input to the negative input of the operational amplifier OP6. supply to. If the signal from the drive section is on the negative side, the switch end S2 is closed and the signal from the operational amplifier OP4 is supplied to the positive input of the operational amplifier OP6. In the operational amplifier OP6, the signal supplied to the minus input is amplified, and the signal supplied to the plus input is inverted and amplified and output. Therefore,
The operational amplifier OP6 outputs signals with different amplification factors when the signal is on the plus side and on the minus side from the drive section. As a result, operational amplifiers OP3 and OP4
By adjusting the amplification factor using variable resistors R9 and R10, the characteristic of the amount of displacement of the driving section - the signal value detected by the driving section can be made into a characteristic straight line with a constant slope.

このように本実施例においては、オートフオー
カス及びオートトラツキング機構を備えた光学ヘ
ツド1を用いて、このオートフオーカス及びオー
トトラツキング機構の駆動部17,18から電気
信号を検出し、この電気信号に基づいて対物レン
ズ15の変位量を光デイスク5のうねり量とピツ
ト列或いは案内溝のズレの測定値としたので、デ
イスク表面を傷つけることなく短時間で、正確に
品質検査を行うことができる。また、本実施例に
よれば、光デイスク5のうねり量とピツト列等の
ズレを同時に測定できるので、検査工程が簡略化
される。
As described above, in this embodiment, the optical head 1 equipped with an autofocus and autotracking mechanism is used to detect electrical signals from the drive parts 17 and 18 of the autofocus and autotracking mechanism, and Since the amount of displacement of the objective lens 15 is used as a measurement value of the amount of waviness of the optical disk 5 and the deviation of the pit row or guide groove based on the electric signal, quality inspection can be performed accurately in a short time without damaging the disk surface. I can do it. Furthermore, according to this embodiment, the amount of waviness of the optical disk 5 and the deviation of pit rows, etc. can be measured at the same time, thereby simplifying the inspection process.

なお、上記実施例においては、オートフオーカ
ス機構として対物レンズ15を移動させる方式の
光学ヘツド1を用いたが回転ミラーを回動させて
トラツキングエラーを修正する方式のものでも勿
論適用できる。
In the above embodiment, the optical head 1 of a type in which the objective lens 15 is moved is used as an autofocus mechanism, but it is of course also applicable to a type of optical head 1 in which a rotating mirror is rotated to correct tracking errors.

〔考案の効果〕[Effect of idea]

以上述べたのべたように本考案によれば、オー
トフオーカス及びオートトラツキング機構を有す
る光学ヘツドと、このオートフオーカス及びオー
トトラツキング機構の駆動部の特性と逆の特性を
有する補償部とを具備した構成としたので、製品
を損傷させることなく短時間で、しかも正確に品
質検査を行う得る光デイスク検査装置を提供でき
る。
As described above, according to the present invention, there is provided an optical head having an autofocus and autotracking mechanism, and a compensation section having characteristics opposite to those of the drive section of the autofocus and autotracking mechanism. With this structure, it is possible to provide an optical disk inspection device that can accurately inspect quality in a short time without damaging the product.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図乃至第5図はいずれも本考案の一実施と
例を示す図で、第1図は本検査装置の概略構成
図、第2図は光学ヘツドの概略構成図、第3図は
駆動部の変位量−信号値特性の一例を示す線図、
第4図及び第5図は補償部の回路例を示す回路図
である。 1……光学ヘツド、2……制御部、3……補償
部、4……移動テーブル、5……光デイスク、1
7……フオーカス駆動部、18……トラツキング
駆動部。
1 to 5 are diagrams showing one implementation and example of the present invention, in which FIG. 1 is a schematic diagram of the inspection device, FIG. 2 is a schematic diagram of the optical head, and FIG. 3 is a drive diagram. A diagram showing an example of the displacement amount-signal value characteristic of the part,
FIGS. 4 and 5 are circuit diagrams showing circuit examples of the compensating section. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Optical head, 2...Control unit, 3...Compensation unit, 4...Movement table, 5...Optical disk, 1
7... Focus drive section, 18... Tracking drive section.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 (1) オートフオーカス及びオートトラツキング機
構を有する光学ヘツドと、これらオートフオー
カス及びオートトラツキング機構の駆動部の特
性と逆の特性を有する補償部とを具備し、前記
駆動部より得られる電気信号を前記補償部を通
じて検出し、この補償部からの信号に基づいて
光デイスクのうねり量とデイスク面のピツト列
等のズレを測定することを特徴とする光デイス
ク検査装置。 (2) 前記駆動部の特性は周波数特性及び変位量と
電気信号値との特性である実用新案登録請求の
範囲第(1)記載の光デイスク検査装置。 (3) 前記駆動部はフオーカス駆動部とトラツキン
グ駆動部である実用新案登録請求の範囲第(1)記
載の光デイスク検査装置。
[Scope of Claim for Utility Model Registration] (1) An optical head having an autofocusing and autotracking mechanism, and a compensating section having characteristics opposite to those of the driving section of these autofocusing and autotracking mechanisms. and detecting an electrical signal obtained from the driving section through the compensating section, and measuring the amount of waviness of the optical disk and the deviation of pit rows, etc. on the disk surface based on the signal from the compensating section. Disk inspection equipment. (2) The optical disk inspection device according to claim 1, wherein the characteristics of the driving section are frequency characteristics, displacement amount, and electric signal value characteristics. (3) The optical disk inspection apparatus according to claim 1, wherein the drive section is a focus drive section and a tracking drive section.
JP17759282U 1982-11-24 1982-11-24 Optical disk inspection equipment Granted JPS5982335U (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17759282U JPS5982335U (en) 1982-11-24 1982-11-24 Optical disk inspection equipment

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JP17759282U JPS5982335U (en) 1982-11-24 1982-11-24 Optical disk inspection equipment

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Publication Number Publication Date
JPS5982335U JPS5982335U (en) 1984-06-04
JPH0318883Y2 true JPH0318883Y2 (en) 1991-04-22

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ID=30385788

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17759282U Granted JPS5982335U (en) 1982-11-24 1982-11-24 Optical disk inspection equipment

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JPS5982335U (en) 1984-06-04

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