JPH03176834A - Optical disk - Google Patents

Optical disk

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Publication number
JPH03176834A
JPH03176834A JP1316247A JP31624789A JPH03176834A JP H03176834 A JPH03176834 A JP H03176834A JP 1316247 A JP1316247 A JP 1316247A JP 31624789 A JP31624789 A JP 31624789A JP H03176834 A JPH03176834 A JP H03176834A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
monomer
photopolymer
agent
stamper
information recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP1316247A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuya Iida
哲哉 飯田
Takanobu Higuchi
隆信 樋口
Kunizo Ogoshi
国三 尾越
Shinichi Yokozeki
横関 伸一
Satoru Tsuchida
悟 土田
Masami Abe
阿部 真美
Takehiko Ishibashi
石橋 武彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pioneer Corp
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Pioneer Electronic Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd, Pioneer Electronic Corp filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP1316247A priority Critical patent/JPH03176834A/en
Publication of JPH03176834A publication Critical patent/JPH03176834A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To allow production of diversified kinds in a small amount with relatively simple process by constituting the optical disk of an information recording layer consisting of a specific photopolymer agent for replicas and a replica substrate for holding the information record. CONSTITUTION:The photopolymer agent for replicas consists of the 1st polymer which is the acrylate or methacrylate expressed by formula I and contg. no polar group and benzene ring, the 2nd monomer which is the acrylate or methacrylate expressed by formula II and having low shrinkability on curing and the 3rd monomer which is the acrylate or methacrylate expressed by formu la III and having a low dilution viscosity, and a photopolymn. initiator of 1 to 10wt.% of the entire part. The weight rations of this photopolymer agent are the 1st monomer:the 2nd monomer:the 3rd monomer=5 to 30:20 to 70:10 to 60. This optical disk consists of the information recording layer consisting of the above-mentioned photopolymer agent and the replica substrate which holds the information recording layer. In the formula I, R1 is H or CH3; m is 1 to 3 integer; (a) is 1 to 6 integer; (b) is 0 to 6 integer; the sum of (a) and (b) is 6. The production process is simplified in this way and the production of diversified kinds in a small amount is facilitated.

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、ビデオディスク、コンパクトディスク等の光
ディスクに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Technical Field The present invention relates to optical discs such as video discs and compact discs.

背景技術 従来から光ディスクの製造方法としては、第5図のフロ
ーチャートに示す如き方法が知られている。
BACKGROUND ART Conventionally, as a method for manufacturing an optical disc, a method as shown in the flowchart of FIG. 5 has been known.

かかる製造方法によれば、まず、第6図(a、)に示す
ようにガラス盤1の主面上に一様にフォトレジスト層2
を形成したフォトレジスト原盤を用意して、レーザーカ
ッティング工程Soにおいて、レーザービームLaによ
りフォトレジスト層2上に、所定情報に対応したスポッ
ト列の潜像を螺旋又は同心円状に形成する。
According to this manufacturing method, first, as shown in FIG. 6(a), a photoresist layer 2 is uniformly formed on the main surface of the glass disk 1.
A photoresist master disk having been formed thereon is prepared, and in a laser cutting step So, a latent image of a spot array corresponding to predetermined information is formed in a spiral or concentric shape on the photoresist layer 2 using a laser beam La.

次に、現像工程S1において、現像装置に露光したフォ
トレジスト原盤を装着しこれを現像して、フォトレジス
ト原盤上に記録すべき信号に対応する微小凹凸(以下ピ
ットと称する)の列を設け、第6図(a2)に示す如き
、情報記録層であるピットを有するフォトレジスト層2
とガラス盤1とからなる現像原盤を得る。
Next, in the developing step S1, the exposed photoresist master disk is mounted on a developing device and developed, thereby forming a row of minute irregularities (hereinafter referred to as pits) corresponding to the signal to be recorded on the photoresist master disk, A photoresist layer 2 having pits, which is an information recording layer, as shown in FIG. 6(a2)
A developing master disk consisting of the glass disk 1 and the glass disk 1 is obtained.

次に、ポストベーク工程S2において、かかる現像原盤
のフォトレジスト層2を乾燥させガラス盤1上に定着さ
せて、第6図(b)に示す如き乾燥した原盤を得る。
Next, in a post-baking step S2, the photoresist layer 2 of the development master is dried and fixed on the glass disk 1 to obtain a dry master as shown in FIG. 6(b).

次に、銀スバツタ工程S3において、銀によりスパッタ
リングを施し、フォトレジスト層2上に銀導電膜3を形
成して、第6図(C)に示す如き積層されたマスタリン
グ原盤3aを得る。このように、ピットを有するフォト
レジスト層上に金属をスパッタリングすることによりピ
ットを有する情報記録面を導電化している。以上の工程
がマスタリング原盤作成工程である。
Next, in a silver sputtering step S3, silver is sputtered to form a silver conductive film 3 on the photoresist layer 2, thereby obtaining a laminated mastering master 3a as shown in FIG. 6(C). In this manner, the information recording surface having pits is made conductive by sputtering metal onto the photoresist layer having pits. The above process is the mastering master creation process.

次に、N1スタンパ作成工程については、まずNi電鋳
工程S4において、ニッケル電鋳槽中に得られたマスタ
リング原盤を浸してニッケル(Nl)を銀導電膜3上に
メツキして肉厚のニッケル層4すなわちニッケルスタン
パを形成して、第6図(d)に示す如き構成のものを得
る。
Next, regarding the N1 stamper creation process, first in the Ni electroforming process S4, the obtained mastering master is immersed in a nickel electroforming bath and nickel (Nl) is plated on the silver conductive film 3 to form a thick nickel Layer 4, ie, a nickel stamper, is formed to obtain a structure as shown in FIG. 6(d).

次に、スタンパ分離工程S5においては、第6図(e)
に示す如くニッケル層4であるスタンパをガラス盤1か
ら分離する。
Next, in the stamper separation step S5, as shown in FIG.
As shown in the figure, the stamper, which is the nickel layer 4, is separated from the glass disk 1.

次に、フォトレジスト剥離工程S6においてニッケル層
4上に残ったフォトレジスト層2を剥離して、第6図(
f)に示す如き構成のものを得る。
Next, in a photoresist stripping step S6, the photoresist layer 2 remaining on the nickel layer 4 is stripped off, as shown in FIG.
A structure as shown in f) is obtained.

フォトレジスト剥離にはアルカリ溶液または市販の有機
溶剤が用いられている。
Alkaline solutions or commercially available organic solvents are used to remove photoresists.

次に、銀剥離工程S7において銀導電膜3をニッケル層
4から剥離して、スタンパ加工工程S8において得られ
たニッケル層4の周囲を加工して、第6図(g)に示す
如きニッケルスタンバを得る。
Next, in a silver peeling step S7, the silver conductive film 3 is peeled off from the nickel layer 4, and in a stamper processing step S8, the periphery of the nickel layer 4 obtained is processed to form a nickel stamper as shown in FIG. 6(g). get.

以上の工程がニッケルスタンパ作成工程である。The above process is the nickel stamper manufacturing process.

次に、レプリカ作成工程としての射出成形工程に入る前
に、第6図(h)に示す如く、射出成形装置5の所定位
置にニッケルスタンバを取り付ける(スタンパ取付工程
S9)。
Next, before starting the injection molding process as a replica production process, as shown in FIG. 6(h), a nickel stamper is attached to a predetermined position of the injection molding apparatus 5 (stamper attachment process S9).

次に、第6図(i)に示す如く型締め後に、かかる射出
成形装置5を作動させて溶融したPMMA(ポリメタア
クリレ−1−)、PC(ポリカーボネート)等の透明樹
脂材料をニッケルスタンパ上に射出して、樹脂材料の硬
化後これを取り出して、第6図(j)に示す如き所定情
報記録面を有した光デイスクレプリカが作成される(射
出成形工程510)。以上の工程がレプリカ作成工程で
ある。
Next, as shown in FIG. 6(i), after the mold is clamped, the injection molding device 5 is operated to inject molten transparent resin materials such as PMMA (polymethacrylate-1-) and PC (polycarbonate) onto the nickel stamper. After the resin material has hardened, it is taken out to create an optical disk replica having a predetermined information recording surface as shown in FIG. 6(j) (injection molding step 510). The above process is the replica creation process.

このようにして得られたレプリカは、公知の方法によっ
て、レプリカの情報記録面上にアルミニウム等により反
射膜を形成して(S 11) 、さらに反射膜上に保護
膜をオーバーコートして(S12)、光ディスクが形成
される。また、この光ディスクを2枚貼り合わせ(31
3)、仕上げ工程を経て(S14)、通常、両面光ディ
スクとしている。
For the thus obtained replica, a reflective film of aluminum or the like is formed on the information recording surface of the replica by a known method (S11), and a protective film is further overcoated on the reflective film (S12). ), an optical disc is formed. In addition, two of these optical discs are pasted together (31
3) After a finishing process (S14), the disc is usually made into a double-sided optical disc.

かかる従来の製造方法において光ディスクは、レプリカ
の射出成形によって形成されおり、溶融PMMAやPC
等を成形材料としている。溶融成形材料からなる光ディ
スクを製造するため、スタンパは射出成形においても耐
久性に優れるニッケル(Ni)で作られている。このた
めに、ニッケルスタンパの製造までに上記の如く電鋳工
程の工程数が多くメツキに時間が掛かる。また、射出成
形装置のほか電鋳槽も大型であるために工場設備が大規
模化する。したがって、光ディスクの製造コストが上が
るという問題がある。従来光ディスクでは大量生産には
問題がないが、近年の少量多品種の映像音声ソフトに対
応した光ディスクの製造には十分適しているとはいえな
い。
In such conventional manufacturing methods, optical disks are formed by injection molding of replicas, and are made of molten PMMA or PC.
etc. are used as molding materials. In order to manufacture optical discs made of molten molding material, the stamper is made of nickel (Ni), which has excellent durability even in injection molding. For this reason, as described above, the number of electroforming steps is large and plating takes time until the nickel stamper is manufactured. In addition to the injection molding equipment, the electroforming tank is also large, so the factory equipment becomes large-scale. Therefore, there is a problem that the manufacturing cost of the optical disc increases. Conventional optical discs have no problem in mass production, but they are not suitable for producing optical discs that are compatible with the recent small-volume production of a wide variety of video and audio software.

発明の概要 [発明の目的] 本発明の目的は、比較的簡素な工程にて少量多品種及び
大量生産に適する光ディスクを提供することにある。
Summary of the Invention [Object of the Invention] An object of the present invention is to provide an optical disk suitable for small-lot, wide-variety production and mass production using a relatively simple process.

[発明の構成及び作用] 本発明による光ディスクは、R1はH若しくはCH3で
あり、mは工ないし3の整数であり、aは1ないし6の
整数であり、bはOないし6の整数であり、a及びbの
和は6である下式(B1)で示される極性基ベンゼン理
非含有多官能性アクリレト又はメタクリレ−1・である
第1モノマ、される硬化特低収縮性アクリレート又はメ
タクリレ−1・である第2モノマ、 と、 RはH若しくはCH3である下式(B3)で示される稀
釈低粘度アクリレート又はメタクリレ−1・である第3
モノマ、 と、 R1はH若しくはCH3であり、R2は一0C9H,、
CO−であり、m及びnの和は2ないし10の整数(m
≧1.n≧1)である下式(B2)で示と、 全体に対して1〜10vt、%の光重合開始剤とからな
り、前記第1、第2及び第3モノマの重量比が、 第1モノマ:第2モノマ:第3モノマ =5〜30 : 20〜70:10〜60であるレプリ
カ用フォトポリマ剤からなる情報記0 銀層、並びに 前記情報記録層を保持するレプリカ基板からなることを
特徴とする。
[Structure and operation of the invention] In the optical disc according to the present invention, R1 is H or CH3, m is an integer from 0 to 3, a is an integer from 1 to 6, and b is an integer from 0 to 6. , the sum of a and b is 6. A first monomer which is a polyfunctional acrylate or methacrylate without polar group benzene group represented by the following formula (B1), wherein the sum of a and b is 6. A second monomer which is 1. and a third monomer which is a diluted low viscosity acrylate or methacrylate represented by the following formula (B3) where R is H or CH3.
monomer, R1 is H or CH3, R2 is -0C9H,,
CO-, and the sum of m and n is an integer from 2 to 10 (m
≧1. represented by the following formula (B2) where n≧1), and a photopolymerization initiator in an amount of 1 to 10 vt% of the total, and the weight ratio of the first, second, and third monomers is the first monomer. Monomer: Second monomer: Third monomer = 5-30: 20-70: information recording layer 0 consisting of a photopolymer agent for replicas having a ratio of 10-60; a silver layer; and a replica substrate holding the information recording layer. Features.

ここで、フォトポリマ剤は、紫外線線等の放射線照射に
より流動体から固体に硬化する物質である。
Here, the photopolymer agent is a substance that hardens from a fluid to a solid upon irradiation with radiation such as ultraviolet rays.

このレプリカ用フォトポリマ剤は、−OH基。This replica photopolymer agent has an -OH group.

C0OH基、−NH基等の極性基を含むモノマを使用し
ていないので、樹脂スタンバに対して剥離性が高い。樹
脂スタンパの成分モノマと分子構造が類似したモノマに
よるレプリカは、樹脂スタンパからの剥離性が悪くなる
。このため、レプリカ用フォトポリマ剤は樹脂スタンパ
の成分モノマと異る分子構造を有するモノマを使用して
いる。
Since it does not use monomers containing polar groups such as COOH groups and -NH groups, it has high releasability to resin standbars. A replica made of a monomer having a similar molecular structure to the component monomer of the resin stamper has poor releasability from the resin stamper. For this reason, photopolymer agents for replicas use monomers that have a different molecular structure from the component monomers of the resin stamper.

樹脂スタンパの主成分モノマはベンゼン骨格を有するの
で、レプリカ用フォトポリマ剤は、脂肪族モノマ、脂環
族モノマ等のベンゼン骨格を含まぬ系が用いられる。
Since the main component monomer of the resin stamper has a benzene skeleton, the photopolymer agent for the replica uses a system that does not contain a benzene skeleton, such as an aliphatic monomer or an alicyclic monomer.

また、上記のレプリカ用フォトポリマ剤は、硬化性に優
れている。硬化性向上のために、該フォ1 1・ポリマ剤には、第1モノマとして2〜6官能性の多
官能モノマを使用している。
Moreover, the photopolymer agent for replicas described above has excellent curability. In order to improve curability, a 2- to 6-functional polyfunctional monomer is used as the first monomer in the pho-11 polymer agent.

さらにまた、上記のレプリカ用フォトポリマ剤は、硬化
収縮率が低く、PMMA基板との接着力に優れている。
Furthermore, the photopolymer agent for replicas has a low curing shrinkage rate and excellent adhesive strength with the PMMA substrate.

硬化収縮率を抑制するために第2モノマとして低収縮モ
ノマを使用している。上記(B2)式のR2の第2モノ
マの骨格が硬化時の収縮を抑制するからである。この低
収縮モノマの含有により、レプリカ用フォトポリマ剤は
レプリカ基板のPMMA基板との接着力が向上する。硬
化時に両者のズレが発生が少なくなるからである。該フ
ォトポリマ剤は、弾性率を低下する機能を有しているの
で、樹脂スタンパからの剥離性、転写性がよい。
A low shrinkage monomer is used as the second monomer in order to suppress the curing shrinkage rate. This is because the skeleton of the second monomer R2 in the formula (B2) suppresses shrinkage during curing. By containing this low-shrinkage monomer, the replica photopolymer agent has improved adhesive strength with the PMMA substrate of the replica substrate. This is because the occurrence of misalignment between the two during curing is reduced. Since the photopolymer agent has the function of lowering the elastic modulus, it has good peelability and transferability from the resin stamper.

また、上記のレプリカ用フォトポリマ剤は、第3モノマ
として脂肪族の稀釈モノマを含んでいるので、濾過速度
が大きい。濾過速度の向上、転写精度の向上には、モノ
マの低粘度化で必要があるからである。稀釈モノマの組
成比率により、粘度調整が可能となる。第3モノマとし
て脂肪族、同2 様脂環族モノマを用いても紫外線領域の吸収が少ないた
め、樹脂スタンパのフォトポリマ剤層の耐光性(iJ変
色性)が優れるので望ましい。また、第1、第2及び第
3モノマの重量比は、第1モノマ:第2モノマ:第3モ
ノマが5〜30 : 20〜70:10〜60の範囲で
構成されることが望ましい。
Furthermore, since the photopolymer agent for replicas described above contains an aliphatic diluent monomer as the third monomer, the filtration rate is high. This is because it is necessary to reduce the viscosity of the monomer in order to improve the filtration speed and transfer accuracy. The viscosity can be adjusted by changing the composition ratio of the diluting monomer. Even if an aliphatic or 2-like alicyclic monomer is used as the third monomer, it is desirable because it has low absorption in the ultraviolet region and the photopolymer agent layer of the resin stamper has excellent light resistance (iJ discoloration). Further, the weight ratio of the first, second and third monomers is preferably in the range of 5 to 30:20 to 70:10 to 60 (first monomer: second monomer: third monomer).

ここで、上記樹脂スタンパを形成する金属に対して剥離
性の高いスタンバ用フ]トボリマ剤は、R1はH若しく
はCH,であり、R2はCH。
Here, in the resin stamper resin stamper-use resin stamper agent that has high releasability to the metal forming the resin stamper, R1 is H or CH, and R2 is CH.

CH2CH20−若しくは−CH2CHO−であり、m
及びnの和は2ないし10の整数(m≧l、n≧1)で
ある下式(AI)で示されるベンゼン環含有2官能性ア
クリレート又はメタクリレートである主成分モノマ、 3 と、 R1はH若しくはCH,であり、kは1ないし8の整数
であり、gは3ないし8の整数である下式(A2)で示
される弗素含有1官能性アクリレート又はメタクリレー
トである副成分モノマ、と、 全体に対して1〜10wL、%の光重合開始剤と、から
なり、前記主成分モノマと前記副成分モノマとの重量比
が、 主成分モノマ:副成分モノマ =90〜99.9:10〜0.1 であるフォトポリマ剤である。
CH2CH20- or -CH2CHO-, m
and the sum of n is an integer of 2 to 10 (m≧l, n≧1), a main component monomer which is a benzene ring-containing bifunctional acrylate or methacrylate represented by the following formula (AI), and R1 is H or CH, where k is an integer of 1 to 8, and g is an integer of 3 to 8, a subcomponent monomer that is a fluorine-containing monofunctional acrylate or methacrylate represented by the following formula (A2); 1 to 10 wL% of a photopolymerization initiator to .1 is a photopolymer agent.

上記の金属に対して剥離性の高いスタンバ用フォトポリ
マ剤は、弗素やベンゼン環が無極性のため、疎水性を有
する。このように疎水性を有する4 弗素やベンゼン環の原子団、分子骨格を副及び主成分モ
ノマの分子構造に含むので、スタンパ用フォトポリマ剤
は、硬化後金属に対して剥離性が高くなり望ましい。ま
た、副成分の弗素含有モノマは、フォトポリマ剤層表面
に弗素原子を配向させた方が疎水性について効果がある
。そのため、弗素含有モノマは1官能が良い。弗素を架
橋構造中でフリーにするためである。この弗素含有モノ
マは、レプリカ作成時にもレプリカを形成するフォトポ
リマ剤との剥離性をも向上させる。
The photopolymer agent for standbars, which is highly removable to the above-mentioned metals, has hydrophobicity because the fluorine and benzene rings are nonpolar. As described above, since the molecular structures of the sub- and main component monomers include the hydrophobic atomic groups and molecular skeletons of 4 fluorine and benzene rings, photopolymer agents for stampers are desirable because they have high releasability to metals after curing. . Further, the fluorine-containing monomer as a subcomponent is more effective in terms of hydrophobicity if the fluorine atoms are oriented on the surface of the photopolymer agent layer. Therefore, the fluorine-containing monomer is preferably monofunctional. This is to free fluorine in the crosslinked structure. This fluorine-containing monomer also improves releasability from the photopolymer agent that forms the replica during replica creation.

さらに、上記のスタンパ用フォトポリマ剤は、転写工程
のフォトポリマ剤の展開の際の転写性を向上させる。す
なわち弗素含有モノマは、界面活性材としての機能も有
しており、銀やアルミニウム等の金属膜との濡れ性を向
上させ、転写時の動的接触角を下げる効果がある。これ
はまた、ボイド(空孔)の発生を防止し、硬化後の転写
精度を向上させる。一方、フォトポリマ側糸の表面張力
が低下するため、同粘度モノマと比較して、濾過速度は
大きくなる。
Furthermore, the photopolymer agent for stampers described above improves the transferability during development of the photopolymer agent in the transfer step. That is, the fluorine-containing monomer also has a function as a surfactant, and has the effect of improving wettability with metal films such as silver and aluminum, and lowering the dynamic contact angle during transfer. This also prevents the generation of voids and improves transfer accuracy after curing. On the other hand, since the surface tension of the photopolymer side threads decreases, the filtration rate increases compared to monomers of the same viscosity.

5 さらにまた、上記のスタンパ用フォトポリマ剤は、スタ
ンパとしての耐久性を有し、硬化収縮率が低い。上記(
A1)式のR2の主成分モノマ骨格が硬化時の収縮を抑
制するからである。また耐久性を持たせるために、主成
分モノマは架橋する必要がある。しかし架橋のため主成
分モノマは多官能(2官能以上)モノマを使用する必要
があるが、3官能以上のモノマは硬化速度が速くなる反
面、硬化収縮率が著しく大きくなり、転写精度低下、カ
ップリングとの接着力が低下する。したがって、主成分
モノマとして2官能モノマが最もバランスがとれている
5 Furthermore, the photopolymer agent for stampers has durability as a stamper and has a low curing shrinkage rate. the above(
This is because the main component monomer skeleton of R2 in formula A1) suppresses shrinkage during curing. Furthermore, in order to provide durability, the main component monomer needs to be crosslinked. However, for crosslinking, it is necessary to use a polyfunctional (bifunctional or higher) monomer as the main component monomer, but while trifunctional or higher functional monomers increase the curing speed, they also significantly increase the curing shrinkage rate, lower transfer accuracy, and reduce cupping. The adhesive strength with the ring decreases. Therefore, the bifunctional monomer is the most well-balanced main component monomer.

また、上記のスタンパ用フォトポリマ剤は、低粘度モノ
マ例えば光重合開始剤の添加を10wt、%以下に止ど
めている故にマスタリング原盤のフォトレジストを侵す
ことがない。低粘度モノマ(モノマの種類を問わず、1
00cps以下)を10vt、%以上含むフォトポリマ
側糸は、フォトレジストを侵す傾向を示すからである。
Furthermore, since the photopolymer agent for the stamper contains a low-viscosity monomer, such as a photopolymerization initiator, at less than 10% by weight, it does not attack the photoresist of the mastering master. Low viscosity monomer (regardless of the type of monomer, 1
This is because photopolymer side yarns containing 10vt, % or more of (00 cps or less) tend to attack the photoresist.

さらに、上記のスタンパ用フォトポリマ剤は、6 紫外線硬化性が良い。ベンゼン骨格を有する主成分モノ
マは、紫外線領域に強い吸収を示すため、薄膜(フォト
ポリマ剤層)においては、紫外線吸収効率が高くなり、
紫外線による硬化速度が増す。
Furthermore, the above photopolymer agent for stampers has good UV curability. The main component monomer having a benzene skeleton exhibits strong absorption in the ultraviolet region, so in a thin film (photopolymer agent layer), the ultraviolet absorption efficiency is high,
Increases curing speed with UV light.

また、主成分モノマと副成分モノマとの重量比は、主成
分モノマ:副成分モノマが90〜99.9:]0〜0.
1の範囲で構成されることが望ましい。
The weight ratio of the main component monomer to the subcomponent monomer is 90 to 99.9:]0 to 0.
It is desirable that the number be within the range of 1.

以下に、本発明を図面を参照しつつ説明する。The present invention will be explained below with reference to the drawings.

第1図は本発明による樹脂スタンパの直径方向断面図を
示している。樹脂スタンパ13aは、スタンパ用フォト
ポリマ剤11の情報記録層とそれを担持したスタンパ基
板であるガラス盤13とからなる。さらに、第2図は本
発明による樹脂スタンパから製造された光デイスクレプ
リカの直径方向断面図を示している。光デイスクレプリ
カ23aは、レプリカ用フォトポリマ剤21の情報記録
層とそれを担持したレプリカ基板であるPMMA盤23
とからなる。
FIG. 1 shows a diametrical cross-sectional view of a resin stamper according to the invention. The resin stamper 13a consists of an information recording layer of a stamper photopolymer agent 11 and a glass disk 13 which is a stamper substrate supporting the information recording layer. Furthermore, FIG. 2 shows a diametrical cross-sectional view of an optical disk replica manufactured from a resin stamper according to the present invention. The optical disk replica 23a includes an information recording layer made of a replica photopolymer agent 21 and a PMMA disk 23 that is a replica substrate supporting the information recording layer.
It consists of.

第3図は本発明による樹脂スタンパを使用した光デイス
クレプリカの製造工程のフローチャート7 を示している。
FIG. 3 shows a flowchart 7 of the manufacturing process of an optical disk replica using the resin stamper according to the present invention.

この製造工程においては、マスタリング原盤を得る銀ス
バツタ工程S3までは第5図に示す従来の方法と同様に
行われる。本実施例の光ディスクの製造工程は、ニッケ
ルスタンパ及びレプリカを製造する工程において従来の
方法と異なる。
In this manufacturing process, steps up to the silver sputtering step S3 for obtaining a mastering master are carried out in the same manner as in the conventional method shown in FIG. The optical disc manufacturing process of this embodiment differs from the conventional method in the process of manufacturing a nickel stamper and a replica.

まず、スタンパ製造工程においては、硬化フォトポリマ
剤を転写層とする所謂2P転写法を用いて、銀スバツタ
工程S3で得られた銀被覆マスタリング原盤を成形型と
して、スタンパ用フォトポリマ剤によって情報記録面を
スタンパ基板すなわちガラス盤上に転写して、ニッケル
スタンパではなく、樹脂スタンパを成形する。
First, in the stamper manufacturing process, using the so-called 2P transfer method in which a cured photopolymer agent is used as a transfer layer, information is recorded using a photopolymer agent for the stamper using the silver-coated mastering master obtained in the silver sputtering process S3 as a mold. The surface is transferred onto a stamper substrate, that is, a glass plate, and a resin stamper is formed instead of a nickel stamper.

具体的にかかる2P転写法は、第4図(a)に示す如く
、情報記録面を金属膜で被覆したマスクリング原盤3a
をその情報記録面が上方へ向くように転写装置のテーブ
ル10に水平に載せる(原盤固定工程521)。
Specifically, the 2P transfer method uses a mask ring master 3a whose information recording surface is coated with a metal film, as shown in FIG. 4(a).
is placed horizontally on the table 10 of the transfer device so that its information recording surface faces upward (master fixing step 521).

その後、第4図(b)に示す如く、マスタリング原盤3
aの情報記録面の上に、金属膜に対して8 剥離性の高い液状のスタンパ用フォトポリマ剤11を付
与する(フォトポリマ剤供給工程522)。
After that, as shown in FIG. 4(b), the mastering master 3
On the information recording surface of a, a liquid photopolymer agent 11 for a stamper with high releasability is applied to the metal film (photopolymer agent supply step 522).

次に、第4図(c)に示す如く、基板前処理としてシラ
ンカップリング剤12をコートした透明ガラス盤13を
転写装置のスタンパ基板治具14上に置きガラス盤13
を水平に保ちつつ治具14を下降させ、マスタリング原
盤3aの上にスタンパ用フォトポリマ剤11を介して同
心的に載置し、位置決めをしてガラス盤13及びマスタ
リング原盤3a間全体にスタンパ用フォトポリマ剤11
を行き亘らせる(フォトポリマ剤展開工程823)。
Next, as shown in FIG. 4(c), a transparent glass disk 13 coated with a silane coupling agent 12 as a substrate pretreatment is placed on a stamper substrate jig 14 of a transfer device.
While keeping the jig 14 horizontal, lower the jig 14, place it concentrically on the mastering master disk 3a via the stamper photopolymer agent 11, position it, and place the stamper on the entire space between the glass disk 13 and the mastering master disk 3a. Photopolymer agent 11
(photopolymer agent development step 823).

その後、第4図(d)に示す如く、ガラス盤13側から
スタンパ用フォトポリマ剤11へ紫外線(矢印)を照射
してスタンパ用フォトポリマ剤11を硬化させてガラス
盤13の主面上に硬化スタンパ用フォトポリマ剤からな
る情報記録層を形成すなわち転写させる(紫外線照射工
程524)。
Thereafter, as shown in FIG. 4(d), the stamper photopolymer agent 11 is cured by irradiating ultraviolet rays (arrow) from the glass disk 13 side to the stamper photopolymer agent 11, and is coated on the main surface of the glass disk 13. An information recording layer made of a photopolymer agent for a cured stamper is formed or transferred (ultraviolet irradiation step 524).

次に、第4図(e)に示す如く、マスクリング原盤3a
からスタンパ用フォトポリマ剤の情報記録層と共にガラ
ス盤13を剥離して、スタンパ用フ9 オドポリマ剤11の情報記録層とそれを担持したガラス
盤13とからなる樹脂スタンパ13aが得られる(剥離
工程525)。この樹脂スタンパ製造工程では、従来か
ら知られている2P転写法を実行する所謂2P転写装置
が用いられ、マスクリング原盤3aの固定の次から樹脂
スタンパ13aの取り出しまで自動的に行われる。
Next, as shown in FIG. 4(e), the mask ring master 3a
By peeling off the glass disk 13 together with the information recording layer of the photopolymer agent for stamper from the stamper film 9, a resin stamper 13a consisting of the information recording layer of the photopolymer agent 11 for stamper and the glass disk 13 supporting it is obtained (peeling step 525). In this resin stamper manufacturing process, a so-called 2P transfer device that executes a conventionally known 2P transfer method is used, and the process from fixing the mask ring master 3a to taking out the resin stamper 13a is automatically performed.

続いて、得られた樹脂スタンパ13aを成形型として用
いてレプリカを製造する。このレプリカ製造工程は、従
来の溶融PMMA、PCによる射出成形ではなく、上記
樹脂スタンパ製造工程と同様に2P転写法及び装置を用
いて、レプリカ基板すなわち硬化PMMA基板上に情報
記録面をレプリカ用フォトポリマ剤によって転写して光
デイスクレプリカを成形する。
Subsequently, a replica is manufactured using the obtained resin stamper 13a as a mold. This replica manufacturing process does not involve conventional injection molding using molten PMMA and PC, but uses a 2P transfer method and equipment similar to the resin stamper manufacturing process described above to transfer the information recording surface onto a replica substrate, that is, a hardened PMMA substrate, using a replica photo. An optical disk replica is formed by transferring with a polymer agent.

具体的には、第4図(f)に示す如く、得られた樹脂ス
タンパ13aをその情報記録面が上方へ向くように転写
装置のテーブル10に水平に載せる(スタンパ固定工程
526)。
Specifically, as shown in FIG. 4(f), the obtained resin stamper 13a is placed horizontally on the table 10 of the transfer device so that its information recording surface faces upward (stamper fixing step 526).

その後、第4図(g)に示す如く、樹脂スタン0 バ13aの情報記録面の上に、硬化スタンパ用フォトポ
リマ剤11に対して剥離性の高い液状のレプリカ用フォ
トポリマ剤21を付与する(フォトポリマ剤供給工程5
27)。次に、第4図(h)に示す如く、基板前処理と
してシランカップリング剤12をコートした透明PMM
A盤23を転写装置のスタンパ基板治具14上に置きP
MMA盤23盤木3に保ちつつ治具14を下降させ、樹
脂スタンパ13aの上にレプリカ用フォトポリマ剤21
を介して同心的に載置し、位置決めをしてPMMA盤2
3盤木3脂スタンパ13a間全体にレプリカ用フォトポ
リマ剤21を行き亘らせる(フォトポリマ剤展開工程5
28)。その後、第4図(i)に示す如く、PMMA盤
23側からレプリカ用フォトポリマ剤21へ紫外線(矢
印)を照射してレプリカ用フォトポリマ剤21を硬化さ
せてPMMA盤23盤木3上に硬化レプリカ用フォトポ
リマ剤からなる情報記録層を形成すなわち転写させる(
紫外線照射工程529)。次に、第4図(j)に示す如
く、樹脂スタンパ13aからレプ1 リカ用フォトポリマ剤の情報記録層と共にPMMA盤2
3盤木3して、レプリカ用フォトポリマ剤21の情報記
録層とそれを担持したPMMA盤23盤木3なる光デイ
スクレプリカ23a1所謂2Pレプリカが得られる(剥
離工程530)。この2Pレプリカ製造工程でも、2P
転写装置が用いられ、樹脂スタンパ13aの固定の次か
ら樹脂スタンパの取り出しまで自動的に行われる。
Thereafter, as shown in FIG. 4(g), a liquid replica photopolymer agent 21 having high releasability with respect to the cured stamper photopolymer agent 11 is applied onto the information recording surface of the resin stamper 13a. (Photopolymer agent supply step 5
27). Next, as shown in FIG. 4(h), a transparent PMM was coated with a silane coupling agent 12 as a substrate pretreatment.
Place the A plate 23 on the stamper substrate jig 14 of the transfer device P
Lower the jig 14 while keeping the MMA board 23 at board 3, and place the replica photopolymer agent 21 on the resin stamper 13a.
PMMA board 2 is placed concentrically through the
Spread the replica photopolymer agent 21 all over the space between the three stampers 13a (photopolymer agent development step 5)
28). Thereafter, as shown in FIG. 4(i), ultraviolet rays (arrow) are irradiated from the PMMA board 23 side to the replica photopolymer agent 21 to harden the replica photopolymer agent 21, and the PMMA board 23 is placed on the board 3. Forming or transferring an information recording layer made of a photopolymer agent for a cured replica (
Ultraviolet irradiation step 529). Next, as shown in FIG. 4(j), from the resin stamper 13a, the PMMA disk 2 together with the information recording layer of the photopolymer agent for the replica.
3, a so-called 2P replica of the optical disk replica 23a1, which is the information recording layer of the replica photopolymer agent 21 and the PMMA disk 23 supporting the information recording layer 3, is obtained (peeling step 530). Even in this 2P replica manufacturing process, 2P
A transfer device is used to automatically perform the process from fixing the resin stamper 13a to removing the resin stamper.

このようにして得られたレプリカは、公知の方法によっ
て、レプリカの情報記録面上にアルミニウム等により反
射膜を形成して、さらに反射膜上に保護膜をオーバーコ
ートして、また、この光デイスクレプリカを2枚貼り合
わせ、仕上げ工程を経て、両面光ディスクを得る。
The thus obtained replica is manufactured by forming a reflective film of aluminum or the like on the information recording surface of the replica using a known method, and then overcoating the reflective film with a protective film. Two replicas are pasted together and a finishing process is performed to obtain a double-sided optical disc.

発明の効果 以上のように、本発明の光ディスクによれば、金属に対
して剥離性を有するフォトポリマ剤からなる樹脂スタン
パに対して高い剥離性を有するフォトポリマ剤からなる
光ディスクを得ることができる故に、光デイスク製造工
程において、該樹脂2 スタンパより2P転写法を用いてレプリカを作成するこ
とができ、更に、正確な情報記録面の転写を達成しつつ
光ディスクの製造工程が簡略化せしめ、少量多品種の映
像音声ソフトに対応した光ディスクの製造を容易にする
Effects of the Invention As described above, according to the optical disc of the present invention, it is possible to obtain an optical disc made of a photopolymer agent that has high releasability to a resin stamper made of a photopolymer agent that has releasability to metals. Therefore, in the optical disc manufacturing process, replicas can be created using the 2P transfer method from the resin 2 stamper, and furthermore, the optical disc manufacturing process can be simplified while achieving accurate transfer of the information recording surface. To facilitate the manufacture of optical discs compatible with a wide variety of video and audio software.

実施例 スタンパ用フォトポリマ剤として一般式(A1)におい
てR+ =CH3、R2= −CH2CH2−0−m+
n−6であるメタクリレートモノマ97重量部、一般式
(A2)においてR+=H。
Example Photopolymer agent for stamper In general formula (A1), R+ = CH3, R2 = -CH2CH2-0-m+
97 parts by weight of methacrylate monomer which is n-6, R+=H in general formula (A2).

K−1,F=3であるアクリレートモノマ3重量部およ
び光重合開始剤としてベンゾフェノンと1ヒドロキシシ
クロへキシルケトン2重量部を混合し粘度が400cp
sの溶液を調製した。
Mix 3 parts by weight of acrylate monomer with K-1, F = 3 and 2 parts by weight of benzophenone and 1-hydroxycyclohexyl ketone as photopolymerization initiators to obtain a viscosity of 400 cp.
A solution of s was prepared.

この溶液を第4図に示した工程に従って、情報記録面か
銀被覆されたマスタリンク原盤3aの周縁にリング状に
注いた後、厚さが1,2■の透明ガラス盤1−3を間隙
が150μmになるように押しあてガラス盤13および
マスタリング原盤3a間にスタンパ用フォトポリマ剤1
1を行き亘らせ、3 ついでガラス盤13上からメタルノーライドランプ(5
0W/cm)により線ff1150nJ/c+# (波
長365nm)の紫外線照射をおこないフォトポリマ剤
11を硬化させた。
After pouring this solution in a ring shape around the periphery of the master link master disk 3a whose information recording surface is coated with silver according to the process shown in FIG. A stamper photopolymer agent 1 is pressed between the glass disk 13 and the mastering master disk 3a so that the distance is 150 μm.
1 over the glass plate 13, then place a metal noride lamp (5
The photopolymer agent 11 was cured by irradiating ultraviolet rays with a line of ff 1150 nJ/c+# (wavelength: 365 nm) at a wavelength of 0 W/cm.

次にマスタリング原盤3aからガラス盤13を剥離して
フォトポリマからなる情報記録層を有する樹脂スタンパ
13aを作成した。
Next, the glass disk 13 was peeled off from the mastering master disk 3a to create a resin stamper 13a having an information recording layer made of photopolymer.

続いて得られた樹脂スタンパ13aの上にレプリカ用フ
ォトポリマ剤(日立化成工業■製0V−1,022)を
リング状に注いだ後、厚さが1.2mmの透明なPMM
A盤23盤間3が50μ川になるように押しあて、PM
MA盤23盤間3樹脂スタンパ13a間にレプリカ用フ
ォトポリマ剤21を行き亘らせ、ついでPMMMA盤2
3上から線ff1150 mJ/ am (波長3B5
nm)の照射をおこないフォトポリマ剤21を硬化させ
た。
Subsequently, a photopolymer agent for replicas (0V-1,022 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was poured in a ring shape onto the obtained resin stamper 13a, and then a transparent PMM with a thickness of 1.2 mm was poured.
Press A board 23 so that the distance between boards 3 is 50μ, PM
The photopolymer agent 21 for replica is spread between the three resin stampers 13a between the MA boards 23, and then the PMMMA board 2.
3 Line from above ff1150 mJ/am (wavelength 3B5
The photopolymer agent 21 was cured by irradiating the photopolymer agent 21 (nm).

続いて樹脂スタンパ13aかららPMMA盤23盤間3
しフォトポリマからなる情報記録層を有する光デイスク
レプリカ23aを得た。
Next, from the resin stamper 13a to the PMMA board 23
An optical disk replica 23a having an information recording layer made of photopolymer was obtained.

その結果、本発明の樹脂スタンパを用いた光デ4 ィスク製造方法では、電鋳によりニッケルスタンパを作
成し該ニッケルスタンバより射出成形法を用いてレプリ
カを作成する従来の製造方法の約半分以下の時間で光デ
ィスクのレプリカを製造できた。
As a result, the optical disk manufacturing method using the resin stamper of the present invention is about half or less of the conventional manufacturing method in which a nickel stamper is created by electroforming and a replica is created from the nickel stamper by injection molding. It was possible to manufacture a replica of an optical disc in just a few hours.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明による樹脂スタンパの直径方向断面図、
第2図は本発明による樹脂スタンパから製造された光デ
イスクレプリカの直径方向断面図、第3図は本発明によ
る樹脂スタンパを用いた光ディスクの製造方法の要部の
工程を示すフローチャート、第4図は第3図の2P転写
工程における部材の概略断面図、第5図は従来の光ディ
スクの製造方法を示すフローチャート、第6図は第5図
の各工程における部材の概略断面図である。 主要部分の符号の説明 3a・・・・・・マスタリング原盤 11・・・・・・スタンパ用フォトポリマ剤13・・・
・・・ガラス盤 21・・・・・・レプリカ用フォトポリマ剤5 23・・・・・・PMMA盤
FIG. 1 is a diametrical cross-sectional view of a resin stamper according to the present invention;
FIG. 2 is a diametrical cross-sectional view of an optical disk replica manufactured from the resin stamper according to the present invention, FIG. 3 is a flowchart showing the main steps of the method for manufacturing an optical disk using the resin stamper according to the present invention, and FIG. 3 is a schematic sectional view of members in the 2P transfer step, FIG. 5 is a flowchart showing a conventional optical disc manufacturing method, and FIG. 6 is a schematic sectional view of members in each step of FIG. 5. Explanation of symbols of main parts 3a...Mastering mastering disc 11...Stamper photopolymer agent 13...
... Glass disk 21 ... Photopolymer agent for replica 5 23 ... PMMA disk

Claims (1)

【特許請求の範囲】 R_1はH若しくはCH_3であり、mは1ないし3の
整数であり、aは1ないし6の整数であり、bは0ない
し6の整数であり、a及びbの和は6である下式(B1
)で示される極性基ベンゼン環非含有多官能性アクリレ
ート又はメタクリレートである第1モノマ、 ▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼・・・(B1) と、 R_1はH若しくはCH_3であり、R_2は−OC_
5H_1_0CO−であり、m及びnの和は2ないし1
0の整数(m≧1、n≧1)である下式(B2)で示さ
れる硬化時低収縮性アクリレート又はメタクリレートで
ある第2モノマ、 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・(B2) と、 RはH若しくはCH_3である下式(B3)で示される
稀釈低粘度アクリレート又はメタクリレートである第3
モノマ、 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・(B3) と、 全体に対して1〜10wt.%の光重合開始剤とからな
り、前記第1、第2及び第3モノマの重量比が、 第1モノマ:第2モノマ:第3モノマ =5〜30:20〜70:10〜60 であるレプリカ用フォトポリマ剤からなる情報記録層、
並びに 前記情報記録層を保持するレプリカ基板からなることを
特徴とする光ディスク。
[Claims] R_1 is H or CH_3, m is an integer from 1 to 3, a is an integer from 1 to 6, b is an integer from 0 to 6, and the sum of a and b is 6, the following formula (B1
) The first monomer is a polyfunctional acrylate or methacrylate that does not contain a polar group benzene ring. R_1 is H or CH_3, R_2 is -OC_
5H_1_0CO-, and the sum of m and n is 2 to 1
The second monomer is an acrylate or methacrylate with low shrinkage during curing, represented by the following formula (B2), which is an integer of 0 (m≧1, n≧1), ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼...( B2) and a third diluted low viscosity acrylate or methacrylate represented by the following formula (B3) where R is H or CH_3
There are monomers, ▲mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼...(B3) and 1 to 10 wt. % photopolymerization initiator, and the weight ratio of the first, second and third monomers is: first monomer: second monomer: third monomer = 5-30:20-70:10-60. Information recording layer made of photopolymer agent for replicas,
and an optical disc comprising a replica substrate holding the information recording layer.
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