JPH03172775A - 波形解析装置のレベル校正方法 - Google Patents

波形解析装置のレベル校正方法

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JPH03172775A
JPH03172775A JP1312367A JP31236789A JPH03172775A JP H03172775 A JPH03172775 A JP H03172775A JP 1312367 A JP1312367 A JP 1312367A JP 31236789 A JP31236789 A JP 31236789A JP H03172775 A JPH03172775 A JP H03172775A
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JP
Japan
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calibrated
level
frequency
detector
output level
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JP1312367A
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English (en)
Inventor
Shigemi Komagata
重己 駒形
Masahisa Hirai
平井 正久
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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Priority to EP90122879A priority patent/EP0430256B1/en
Priority to DE69025277T priority patent/DE69025277T2/de
Priority to US07/647,593 priority patent/US5138267A/en
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、入力波形を周期的に標本化し、その各標本
値をデジタルデータに変換してメモリに取込み、その取
込まれたデータを高速フーリエ変換して周波数領域に変
換し、入力波形の周波数成分とその各成分のレベルとを
出力する、デジタイザと称される波形解析装置や矩形波
信号、正弦波信号の両方を測定可能なデジタルポルトメ
ータと称される簡易形の波形解析装置の出力レベルを校
正する方法に関する。
「従来の技術」 従来は第6図に示すように校正済の標準信号発生器11
から設定した周波数及び設定したレベルの交流信号を波
形解析装置12へ供給し、その時の波形解析装置12の
出力レベルと入力交流信号の設定レベルとの比から、そ
の周波数及びレベルに対する補正係数を求め、各周波数
に対し複数のレベルについてこのような補正係数を求め
て波形解析装置12のレベル校正を行っていた。なお校
正終了後に波形解析装置12で入力波形を解析した際に
、その周波数及びレベルに対する前記補正係数を対応す
る出力レベルに掛算して測定結果として出力する。
「発明が解決しようとする課題」 このように従来は波形解析装置のレベル校正に高価な標
準信号発生器を使用する必要がある欠点があった。IC
テスタのアナログ試験部に設けられている波形解析装置
に対してレベル校正を行う場合は、テスタの制御部から
CP−18バスを通じて標準信号発生器11を制′4J
IIすることになるが、CP−I Bバスは伝送速度が
遅い上、各14波数に対し複数のレベルについて校正を
行う必要から標準信号発生器11を多数回制御しなけれ
ばならず、レベル校正に多くの時間がかかる欠点があっ
た。
[課題を解決するための手段」 請求項1の発明によれば絶対レベルの保証された矩形波
信号を比較的低い周波数で波形解析装置へ入力し、その
時の波形解析装置の出力レベルを、上記絶対レベルで校
正し、その校正された波形解析装置と検波器とに上記周
波数とほぼ等しい周波数の交流信号を信号発生器から入
力し、その時の検波器の出力レベルを校正された波形解
析装置の出力レベルで校正し、この校正された検波器と
、上記校正された波形解析装置とに、上記周波数より高
い周波数の交流信号を信号発生器から入力し、その時の
校正された検波器の出力レベルで上記校正された波形解
析装置の出力レベルを校正する。
つまりレベルが既知の比較的周波数が低い矩形波信号の
発生は容易で、かつ安価なものとして得られ、よって低
い周波数帯については矩形波信号を利用して波形解析装
置の出力レベルを校正し、この校正された波形解析装置
を利用して検波器の出力レベルを校正する。検波器の入
出力周波数特性は広帯域にわたり平坦であるから、比較
的低い周波数でのレベル補正係数は、そのまま高い周波
数のレベル補正に適用できる。従って、このレベル校正
された検波器を用いて波形解析装置の高い周波数につい
てのレベル校正を行うことができる。
請求項2の発明では請求項1の発明における検波器の出
力レベルの校正に、校正された波形解析装置を用いる代
りに、校正ずみの交流測定可能なデジタルボルトメータ
を使用する。検波器の入出力特性は低周波で平坦でない
ため、低周波では既知レベルの矩形波信号による波形解
析装置の校正を行う。
「実施例」 まず請求項Iの発明の実施例を述べる。第1図に示すよ
うに矩形波発生器21から絶対レベルが保証された比較
的低い周波数の矩形波信号22が出力される。矩形波発
生器21は例えば電圧設定回路23より設定したレベル
の直流電圧が出力されてアナログスイッチ24へ供給さ
れ、周波数設定回路25からの設定された周波数の制御
信号でアナログスイッチ24がオンオフ制御され、入力
された直流測定電圧とゼロ電圧との間を交互にとるデユ
ティ50%の矩形波信号22が一出力される。
この矩形波信号22は波形解析装置12に入力される。
波形解析装置12は入力矩形波信号22を高速フーリエ
変換し、第2図に示すように1火成分(基本波)のレベ
ル、2次、3次・・・の各高周波成分のレベルを出力す
る。例えばその1火成分のレベルを矩形波信号22のレ
ベル、つまり電圧設定回路23での設定電圧■、で校正
する。即ち電の比をとってその周波数、そのレベルに対
する補正係数とする。このようにして電圧設定回路23
の設定レベル、周波数設定回路25の設定周波数を調整
して、各周波数に対しいくつかのレベルについて補正係
数を決定する。この校正は100Ktlz程度以下の周
波数について行う。なお100K11z以上の高い周波
数になるとレベル保証された矩形波信号の発生が困難に
なってくる。
次に第3図に示すように未校正の信号発生2S26から
、第1図の校正に用いた周波数の何れがとほぼ同一周波
数でかつ望ましくはほぼ同一レベルの交流信号(正弦波
信号)を発生させ、この交流信号を、第1図の手法で校
正された波形解析装置12と検波器27とへ入力し、そ
の時の検波器27の出力レベルを校正された波形解析装
置12の出力レベルで校正する。つまり検波器27の出
力レベルを例えばデジタルボルトメータ28で測定した
値と、波形解析装置12の出力レベル値との比を求めて
補正係数とする。検波器27は一般にダイオードとコン
デンサとなどの簡単な構成であって、入出力周波数特性
が平坦であって、ある1つの周波数、例えば5’0KI
Izでレベル校正すれば、その補正係数を高周波信号の
検波器出力レベルに対して掛算しても、正しいレベルと
なる。
レベルについては複数校正する。信号発生器26はおお
よそのレベルは設定可能である。
次に第4図に示すように、信号発生器29(これは第3
図の信号発生器26と同一のものでもよい)から第11
11において校正した比較的低い周波数(例えば100
 KHz以下)よりも高い周波数でかつ望ましくは第1
図、第3図での校正とほぼ同一レベルの交流信号(正弦
波信号)を発生し、第3図で校正された検波器27と第
1図で校正された波形解析装置1Z12とへ入力し、そ
の時の検波器27の出力レベルで波形解析装置I2の出
力レベルの校正を行う。この校正は各周波数に対し、各
レベルについて行う。必要に応じて点線で示すように高
周波用信号発生器31を設け、校正周波数の低域側と高
域側とで信号発生器29.31を切替え使用してもよい
以上のようにして波形解析装置12を低周波から高周波
までレベル校正することができる。
請求項2の発明の実施例では第1図及び第4図の校正を
請求項1の発明の実施例と同様に行うが、箸3図の校正
の代りに、第5図に示すように、信号発生器26から第
1図での校正時に使用した周波数とほぼ同−周波数及び
ほぼ同一レベルの交流信号を発生し、この交流信号を校
正済みの交流測定可能なデジタルボルトメータ32と検
波器27とへ供給し、その時の検波器27の出力レベル
を、デジタルボルトメータ32の測定値で校正する。
上述において第1図の校正時に、第2次、第3次・・・
成分の各レベルも、矩形波信号22の電圧■、で決る値
であるから、これらの周波数成分についてもレベル校正
してもよい。ICテスタのアナログ試験部の波形解析装
置をレベル校正する場合は、ICテスタは各種の設定レ
ベル、及び各種の設定周波数でそのドライバから矩形波
信号を出力することができるから、その矩形波信号を第
1図の校正に利用してもよい。更に上述ではデジタイザ
のレベル較正にこの発明を適用したが、矩形波信号、正
弦波信号の両方を入力測定可能なデジタルボルトメータ
、つまり筒易形波形解析装置のレベル校正にもこの発明
を適用できる。
「発明の効果」 以上述べたようにこの発明によれば低い周波数において
は絶対レベル保証された矩形波信号を用いてレベル校正
し、また検波器をレベル校正し、その検波器の広帯域特
性を利用して、高い周波数でのレベル校正をするため、
上記矩形波信号の発生は簡単な構成で安価なものであり
、かつ検波器も安価なものであり、使用する信号発生器
も安価なものでよく、高価な標準信号発生器を必要とし
ない。
ICテスタのアナログ試験部内の波形解析装置のレベル
校正にこの発明を適用する場合は、矩形波信号22は前
述したようにICテスタで発生することができ、信号発
生器26.29,31.デジタルボルトメータ28(3
2も含む場合あり)はICテスタのアナログ試験部内に
含まれており検波器27のみを用意すればよく安価に行
うことができ、しかもアナログ試験部内に含まれている
から専用の高速バスを利用して校正作業を行うことがで
き、短時間で校正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例における低周波域での校正を
行うための構成例を示すブロック図、第2図は矩形波信
号のスペクトラムを示す図、第3図は検波器のレベル校
正を行うための構成例を示すブロック図、第4図は高周
波域での校正を行うための構成例を示すブロック図、第
5図は検波器のレベル校正を行う他の構成例を示すブロ
ック図、第6図は従来の校正法の構成を示すブロック図
である。 ヤ2圓 ヤ3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)絶対レベルの保証された矩形波信号を比較的低い
    周波数で波形解析装置に入力し、その時の波形解析装置
    の出力レベルを、上記絶対レベルで校正し、 信号発生器から上記周波数とほぼ等しい周波数の交流信
    号を発生して上記校正された波形解析装置と検波器とに
    入力し、その時の検出器の出力レベルを上記校正された
    波形解析装置の出力レベルで校正し、 この校正された検波器と上記校正された波形解析装置と
    に、上記周波数より高い周波数の交流信号を信号発生器
    から入力し、その時の上記校正された検波器の出力レベ
    ルで上記校正された波形解析装置の出力レベルを校正す
    る、 波形解析装置のレベル校正方法。
  2. (2)絶対レベルの保証された矩形波信号を比較的低い
    周波数で波形解析装置に入力し、その時の波形解析装置
    の出力レベルを上記絶対レベルで校正し、 信号発生器から交流信号を校正ずみの交流測定可能なデ
    ジタルボルトメータと検波器とに入力し、その検波器の
    出力レベルを上記デジタルボルトメータの測定値で校正
    し、 この校正された検波器と上記校正された波形解析装置と
    に、上記周波数より高い周波数の交流信号を信号発生器
    から入力し、その時の上記校正された検波器の出力レベ
    ルで上記校正された波形解析装置の出力レベルを校正す
    る、 波形解析装置のレベル校正方法。
JP1312367A 1989-12-01 1989-12-01 波形解析装置のレベル校正方法 Pending JPH03172775A (ja)

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EP90122879A EP0430256B1 (en) 1989-12-01 1990-11-29 Method and equipment for cablibrating output levels of waveform analyzing apparatus
DE69025277T DE69025277T2 (de) 1989-12-01 1990-11-29 Verfahren und Anordnung zur Kalibrierung von Ausgangssignalen für einen Wellenformanalyse-Apparat
US07/647,593 US5138267A (en) 1989-12-01 1990-11-29 Method of calibrating output levels of a waveform analyzing apparatus
KR1019900019706A KR940002720B1 (ko) 1989-12-01 1990-12-01 파형해석장치의 레벨교정방법 및 교정장치

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010044084A (ja) * 2003-05-12 2010-02-25 Powersense As 簡潔な光ファイバ・ファラデー効果センサの補償
JP2010117338A (ja) * 2008-10-16 2010-05-27 Advantest Corp 信号処理装置、試験システム、歪検出装置、信号補償装置、解析信号生成装置、プログラム、記憶媒体、歪検出方法、信号補償方法、および、解析信号生成方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010044084A (ja) * 2003-05-12 2010-02-25 Powersense As 簡潔な光ファイバ・ファラデー効果センサの補償
JP2010117338A (ja) * 2008-10-16 2010-05-27 Advantest Corp 信号処理装置、試験システム、歪検出装置、信号補償装置、解析信号生成装置、プログラム、記憶媒体、歪検出方法、信号補償方法、および、解析信号生成方法

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