JPH0315455U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0315455U JPH0315455U JP7649689U JP7649689U JPH0315455U JP H0315455 U JPH0315455 U JP H0315455U JP 7649689 U JP7649689 U JP 7649689U JP 7649689 U JP7649689 U JP 7649689U JP H0315455 U JPH0315455 U JP H0315455U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- hemispheres
- detection means
- charged particle
- hemispherical
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図が
従来例の断面図である。 １……内半球電極、２……外半球電極、３……
入射孔、４……マルチチヤンネルデイテクター、
５……分割抵抗、６……円弧電極。
従来例の断面図である。 １……内半球電極、２……外半球電極、３……
入射孔、４……マルチチヤンネルデイテクター、
５……分割抵抗、６……円弧電極。
Claims (1)
- 半径の異なる２つの半球電極を同じ側に切口を
向けて同心的に配置し、両半球の切口をなす平面
上で、両半球の縁の中間位置に入射スリツトを設
け、両半球の間の切口面でこの入射スリツトの入
射孔の反対側の位置に半球電極の半径方向に延び
た１次元的な荷電粒子検出手段を設け、両半球の
間の切口面に半球の球心を中心とする円弧電極を
設け、両半球の間の切口面に両半球電極に接続す
る分割抵抗を設け、上記円弧電極の端部を上記荷
電粒子検出手段の両側面に近接させ、上記円弧電
極の他端を上記分割抵抗の円弧電極と同じ半径位
置に接続させたことを特徴とする半球型エネルギ
ー分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7649689U JPH0521254Y2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7649689U JPH0521254Y2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0315455U true JPH0315455U (ja) | 1991-02-15 |
| JPH0521254Y2 JPH0521254Y2 (ja) | 1993-05-31 |
Family
ID=31618019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7649689U Expired - Lifetime JPH0521254Y2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521254Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019215957A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 株式会社荏原製作所 | ビームベンダ |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP7649689U patent/JPH0521254Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019215957A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | 株式会社荏原製作所 | ビームベンダ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0521254Y2 (ja) | 1993-05-31 |