JPH03150503A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、固体撮像素子、液晶表示装置等に用いるカラ
ーフィルタの製造方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、カラーフィルタとしては高分子物質からなる媒染
層を設けその媒染層をリソグラフィー法によってパター
ニングした後、色素槽に浸漬する事によって染色して着
色層を形成する工程を少なくとも３回行うことによって
カラーフィルタを作製する染色カラーフィルタ、が知ら
れている。染色法では、染色工程の制御が難しく、また
各色の混色を防止するγ′めに、各色間には防染用中間
層を設ける必要があるという複雑な工程を有している。

また、媒染層のリソグラフィーによるパターニングを各
色ごとに行なうために工程がより複雑になっている。

その他のカラーフィルタの作製方法としで、着色材を透
明樹脂中に分散させて塗布を行ない、続いてリソグラフ
ィー法によってパターニングしてカラーフィルタを作製
するリソグラフィー法がある。この方法では、混色防止
の中間層は必要ではなく、また制御の難しい染色工程も
含まないため、より信転性の高い方法である。しかし、
リソグラフィー法を用いるため、工程が複雑になる事は
避は難い。

さらに印刷によってカラーフィルタを作る印刷法は、被
印刷体への転写工程が有るため印刷時の画素の伸縮によ
る位置の歪が往じ易く位置精度の維持が難しい、さらに
印刷装置も特殊で複雑なものになる。

また静電印刷法によるカラーフィルタの製造に関する方
法が特開昭４８−１６５２９号公報、特開昭５６−６９
６０４号公報、特開昭５６−１１７２１０号公報、特開
昭６３−２３４２０３号公報に示されている。しかし、
これらの方法に於いては支持体上に導電層と光導電層を
設け、帯電を行った後に、露光を行って不要の帯電を除
去して画素部分だけにトナーが付着するようするための
露光工程が含まれている。このために画素の形状と精度
は露光によって決定されることになる。また露光工程が
含まれているために工程が複雑になる。

〔発明が解決しようとする課題〕

既存の、カラーフィルタ製造方法は工程が複雑であり、
このために製作に長い時間が必要である。

本発明はこれらの既存のカラーフィルタ製造方法の有す
る複雑な工程を経ることなしにカラーフィルタを作製す
る簡便な方法を提供する。

〔課題を解決するための手段〕

本発明はマスクを用いて誘電体を部分的に帯電させ、こ
の帯電部分にカラートナーを付着させることを少なくと
も３回繰り返してカラーフィルタを作製する事を特徴と
するカラーフィルタの製造方法に関するものである。

以下に本発明の詳細な説明する。

本発明のカラーフィルタ製造方法を第１図（ａ）〜（ｃ
Ｉ）および第２図（ａ）〜（ｅ）に示す。

本発明に使用する基体は、導電体１上に誘電体２の層を
設けたものである。

導電体１としては、カラーフィルタの特性上から透明体
であることが望ましい。このためには金、銅、ニッケル
、パラジウム、アルミニウム、クロム等の金属をスパッ
タ法、あるいは蒸着法などによって成膜して薄膜を形成
したものが使用可能である。またさらにはＩＴ○、酸化
錫等の金属酸化物の薄膜も導電体として望ましい。

誘電体２としては、透明であれば種々のポリマーまたは
無機化合物が使用可能であるが、特にポリエチレン、ポ
リカーボネート、ポリイミド、ポリエステル、ポリアミ
ド、等が使い易い。誘電体は、帯電を保持する必要があ
り、比抵抗値が小さい場合には帯電の減衰の移動が大き
くなり十分な帯電が得られない。このために比抵抗値が
１０１１Ωｃｍ以上であることが望ましい。また誘電体
は帯電電位の保持のために０．５μｍ以上の厚さを有す
る必要があり、さらに基材の強度が必要な場合には誘電
体は０．０５ｍｍ〜３ｍｍ程度の厚さにする事も可能で
ある。

また強度をより増す必要がある場合には、導電体側に支
持用の材料を張り付けたものを基体として使用する事が
可能である。

この基体の誘電体２を帯電させて表面に部分的に帯電を
生成させるために、 表面に細孔の開いたマスク３を設置後、非画素部に帯電
が存在しないように、比抵抗値が１０１０Ωｃｍ以下の
導電性マスクを密着させる。

次に帯電器４を用いて帯電を行う（第１図（ａ）参照）
。誘電体を帯電させる方法としてはコロナ放電、スタイ
ラス方式等の放電を用いることができる。帯電の極性は
主として使用する誘電体の性質によって決定できるが、
正負いずれの極性を用いる事も可能である。第１図（ａ
）には帯電器４によって正帯電を行なった場合を示して
いるが、本発明はこの図によって限定されるものではな
い。またマスクの接地は帯電を行なった後に行ってもよ
く、その場合にも同様の効果が得られる。

また、誘電体全体を帯電させた後（第２図（ａ）参照）
、細孔の開いた導電性マスク３を重ねて非画素部の帯電
を取り去る方法を採ることもできる（第２図（１））参
照）。

誘電体２の表面を帯電させた後にマスクを取り去り、残
った帯電による電荷１０と反対の極性を存する１色目の
トナー７を用いて潜像を可視化しく第１図（ｂ）、第２
図（ｃ）参照）、カラーフィルタの１色目を完成する（
第１図（ｃ）、第２図（ｄ）参照）。

続いて同様の工程によって２色目のトナー８と３色目の
トナー９を用いて画素を形成してカラーフィルタ（第１
図（ｄ）、第２図（ｅ）参照）とする。トナーとしては
市販の乾式、または湿式のトナーが使用可能である。

〔実施例１〕 ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）　、０゜１ｍｍ
厚の裏面にＩＴＯをスパッタ法により成膜した（表面抵
抗率１０５Ω／ｃｍ２）。このフィルムを基体として１
７０層を接地した後に、ステンレス製のマスクをＰＥＴ
側に密着した。マスクは一辺０．１ｍｍ角の穴が０．３
３ｍｍピッチで形成されたものを用いた。続いてコロナ
帯電器を用いて＋６ｋＶを印加し、ＰＥＴ側に正のコロ
ナ放電を行い帯電をおこなった。

帯電の終了したフィルムの上からマスクを取り去り、続
いてラテックスに色素を含有させてアイソパーＧ中に分
散させた特開昭６２−２６９１０１記載の負帯電液体ト
ナーの内で色素成分がレンドのトナー液中に上記フィル
ムを浸漬して現像を行なった。

次にレッドの画素の隣の部分に帯電が行えるようにマス
クを重ねてコロナ放電を行いグリーントナー液によって
現像を行なった。さらに同様の工程をブルートナー液に
就いて行なった。

以上の工程によりＲＧＢの３色によるストライブ状のカ
ラーフィルタを得た。

〔実施例２〕 厚さが０．１ｍｍのＰＥＴの裏面に、スパッタ法により
、銅を成膜して基体を作成した（表面抵抗率１０４Ω／
ｃｍ”）。

前記基体のＰＥＴ側全側合体ロナ帯電器で帯電させた後
、実施例１記載のものと同様のマスク３を重ねて、マス
クと基体の導電体をそれぞれ接地し、非画素部の電荷を
取り去った。

その後、実施例１と同様な工程でＲＯＢの３色によるス
トライプ状のカラーフィルりを得た。

〔発明の効果〕

本発明のカラーフィルタの製造方法におし）で、画素の
形成工程は帯電と現像のみであり、従来法のような露光
工程を必要としない、このため露光工程が原因で起こる
画素のボケなどの問題を除くことができる。

さらに完成した各画素の寸法精度はマスクの精度によっ
て決まるため、マスクの精度を上げておくことによって
画素の形状を高い精度で形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｄ）は本発明のカラーフィルタの製造
方法の一実施例の説明図である。第２図（ａ）〜（ｅ）
は本発明のカラーフィルタの製造方法の他の実施例の説
明図である。 ｌ・・・導電体 ２・・・誘電体 ３・・・マスク ４・・・帯電器 ５・・・高電圧発生機 ６・・・アース ７・・・１色目のトナー ８・・・２色目のトナー ９・・・３色目のトナー １０・・・電荷 特　　許　　出　　願　　人 凸版印刷株式会社 代表者　鈴木和夫 ＼才 （′ｖ）（’Ｊ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）カラーフィルタの製造工程に於て、 （ａ）導電体上に誘電体を設けた基体上に細孔の開いた
   導電性のマスクを設置する工程、（ｂ）上記マスク上か
   ら帯電器により帯電を行う工程、 （ｃ）上記マスクを取り去って誘電体上に部分的に帯電
   を残す工程、 （ｄ）上記の帯電部分にトナーを付着させることにより
   画素を形成する工程、 を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
2. （２）カラーフィルタの製造工程に於て、 （ａ）導電体上に誘電体を設けた基体上に帯電器により
   帯電を行う工程、 （ｂ）上記の帯電した誘電体上に細孔の開いた導電性の
   マスクを設置して非画素部の帯 電を逃がす工程、 （ｃ）上記マスクを取り去って誘電体上に部分的に帯電
   を残す工程、 （ｄ）上記の帯電部分にトナーを付着させることにより
   画素を形成する工程、 を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。