JPH03142888A - Manufacture of laminated piezoelectric ceramic element - Google Patents
Manufacture of laminated piezoelectric ceramic elementInfo
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Abstract
Description
［産業上の利用分野１
本発明は、積層サーミスタ素子の製造方法に係’）ｌに
、厚み滑り効果による変位や振動を利用する８を層圧型
セラミックス素子の製造方法に関するものである。
［従来技術Ｊ
従来、インクジェットや超音波モータなどの７クチエエ
ータとしてサーミスタ素子が利用されているが、このよ
うなサーミスタ素子の一種に、サーミスタ層と内部電極
層とをｔｙ五ｒ４！Ｊ１雇 １ ト請ｒ璽ｉ工堂、ｂ
号 こ 、 り １ 畳ニーぜ東 又そして、このよう
な積層サーミスタ素子の製造に際して、近隼、サーミス
タ材料をシート状に成形するとともに、そのシートの一
方または両方の面に金属電極材料を印刷し、これを複数
積み重りて圧着した後一体焼成してセラミックス化し、
その後、その焼成体の側面に上記金属電極材料に１層お
きに接続された一対の外部電極を形成し、その外部電極
を用いて上記焼成されたサーミスタの分極処理を行うよ
うにしたものがある。このような製造方法によれば、予
め焼成されたサーミスタの薄板に電極を塗布して分極し
たものを接着剤で複数接合する場合に比較して、製造工
程が少なく生産性が大幅に向上するとともに、サーミス
タ層を薄くすることが可能で分極電圧を下げることがで
きるなど、種々の優れた効果を享受できる。
の優れた効果を享受できる。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、かかる製造方法によって製造される積層
サーミスタ素子は、内部電極層の存在により上記分極処
理を行う際の電圧および駆動するための電圧がその内部
電極層に印加されるため、縦効果の変位による積層方向
の変位や振動しか得られないという問題があった。すな
わち、複数のサーミスタ層および内部電極層が交互に積
層されるとともに、サーミスタ層が積層方向に分極させ
られ、厚み滑り効果により積層方向に対して垂直な方向
の変位や振動が得られる積層サーミスタ素子の製造に際
しては、
上記！ｌ！！遣方法全方法できないため、従来通り予め
厚さ方向に分極処理されたサーミスタの薄板に、分極方
向に対して平行な面に電極を塗布したものを接着剤で複
数接合して製造しなければならなかったのである。
本発明は以上の事情を背景として為されたもので、その
目的とするところは、複数のサーミスタ層および内部電
極層が交互に積層され且つそのサーミスタ層は積層方向
に対して垂直な方向に厚み滑り変位又は振動する積層サ
ーミスタ素子の製造に際しても上記製造方法を適用でき
るようにすることにある。
［課題を解決するための手段１
かかる目的を達成するために、本発明は、複数のサーミ
スタ層および内部電極層が交互に積層され且つそのサー
ミスタ層は積層方向に対して垂直な方向に厚み滑り変位
又は振動する積層サーミスタ素子の製造方法であって、
（ａ）前記サーミスタ層を構成するサーミスタ材料を用
意する工程と、（ｂ）そのサーミスタ材料のキュリー温
度よりも低い所定の温度以上で電気抵抗が減少して導電
体となる負温度特性のサーミスタ材料を前記内部電極層
の構成材料として用意する工程と、（ｅ）前記サーミス
タ材料および前記サーミスタ材料をシート状に成形して
交互に積層する積層工程と、（ｄ）その積層工程によっ
て作製された積層体を一体に焼成する焼成工程と、（ｅ
）前記サーミスタ材料の導電体となる温１度よりも高く
且つ前記サーミスタ材料のキュリー温度よりも低い温度
により、前記Ｍ肩体の積層方向に前記内部電極層を介し
て電界ラミックスに分極処理を行う分極工程と、（ｆ）
その分極工程に上る分極方向に対して平行な面に駆動用
外部電極を形成する外部電極形成工程とを有することを
特徴とする。
することを特徴とする。
ここで、上記サーミスタ層を構成するサーミスタ材料と
しては、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）糸、チ
タン酸鉛（ＰＴ）系等の強誘電性を有するセラミックス
材料が用いられる。
また、内部電極層を構成するサーミスタ材料としては、
例えば酸化ニッケル（Ｎ ｉｏ ）、酸化フバル）（Ｃ
ｏｏ）、酸化マンガン（ＭｎＯ）等を主成分とするスピ
ネル形材料や酸化バナジウム（Ｖ −０’）′ｉ？、の
急変サーミスタ材料等が好適に用いられる。
［作用および効果１
すなわち、本発明方法は、内部電極層としてサーミスタ
材料のキュリー温度よりも低い所定の温度以上で電気抵
抗が減少して導電体となる負温度特性のサーミスタ材料
を用い、そのサーミスタ材料およびサーミスタ材料をシ
ート状に、サーミスタ材料が導電体となる温度よりら高
く且つサーミスタ材料のキュリー温度よりも低い温度、
換言すればサーミスタ材料が導電体となる一方圧電セラ
ミフクス材料が未だ強誘電性を有する温度により、前記
積層体の積層方向に電界を印加して分極処理を行うよう
にしたのである。
この場合に、上記サーミスタ材料は分極処理を行う際に
は導電体であるため、分極用電極として働きサーミスタ
は積層方向に良好に分極させられる一方、その分極処理
後にサーミスタ材料の導電体となる温度以下まで温度が
低下すると、そのサーミスタ材料は絶縁体として機能す
るようになり、分極方向に対して平行な面に形成した外
部電極に駆動電圧が印加されることにより、厚み滑り効
果により積層方向に対して垂直な方向の変位や振動が得
られるのである。
このように、本発明方法によれば、複数のサーミスタ層
および内部電極層が交互に積層されるとともに、サーミ
スタ層が積層方向に分極させられ、分極方向に対して平
行な面に形成した外部電極に電圧を印加することにより
厚み滑り効果による積層方向に対して垂直な方向の変位
や振動が得られる積層サーミスタ素子が、
層の厚さ方向に分極させられたサーミスタ層と内部７４
極層とが交互に積層された縦効果による積層方向の変位
や振動をする積層サーミスタ素子を製造する場合と同様
にして製造できるようになり、製造工程が少なくなって
生産性が大幅に向上するのである。また、サーミスタ層
を薄くすることが可能で、分極電圧を下げたり変位部の
部分の面積を小さくしたりすることがでさる一方、サー
ミスタ材料やサーミスタ材料を適当に選択することによ
りサーミスタ層と内部電極層との接合強度を高めること
ができるなど、種々の優れた効果が得られる。
［実施例１
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。
先ず第３図は、本発明方法に従って製造された積層サー
ミスタ素子の一例を説明する構成図で、この積層サーミ
スタ素子１０は、交互に積層された複数のサーミスタ／
［１２、
内部電極［１４および外部電極３０から威り、サーミス
タＷ１１２は積層方向に、すなわち図の上下方向に分極
させられている。また、サーミスタ層１２は、強誘電性
を有するチタン酸ノルコン酸鉛系のセラミックス１こて
構成されている一方、内部電極１１４は、上記チタン酸
ジルコン酸鉛系のセラミックスのキュリー温度よりも低
い所定の温度以上で電気抵抗が急激に減少して導電体と
なる酸化バナジウム系の急変サーミスタ材料セラミック
ス、また外部電極３０はニッケル等の金属材料にて構成
されている。なお、図のサーミスタ層１２に示されてい
る矢印は分極方向を表している。
向を表している。
次に、かかる積層サーミスタ素子１０の製造方法を説明
する。
先ず、上記サーミスタ／［１２をＷＩｔ或するチタン酸
ジルコン酸鉛系のセラミックス材料、お） Ｉｔ山ｇ’
Ｊｌ？浴贋１１番縛青ナス階イＰパ＋リリＡ巽のセラミ
ックス材料を用意し、それ等をドクターブレード法など
によりそれぞれ所定の厚さのシート状に成形して交互に
積層した後加熱圧着し、所定の寸法形状に切断して一体
焼成する。これにより、第１図に示されているように前
記積層サーミスタ素子１０と同様な一体焼結１層体１６
が得られるが、この段階では、サーミスタ層１２の自発
分極の方向はランダムであり、内部７を極／１１４は絶
縁体である。なお、上記サーミスタ層１２を構成するチ
タン酸ノルコン酸鉛系のセラミックス材料はサーミスタ
材料に相当し、内部電極Ｍ１４を構成する酸化バナノウ
ム系のセラミックス材料は、圧電セラミ・ンクス材料の
キュリー温度よりも低い所定の温度以上で電気抵抗が急
激に減少して導電体となる負温度特性の急変サーミスタ
材料に相当する。
次に、第２図に示されているように、上記積層体１６の
積層方向に、・シリコンオイル等の絶縁オイル２０が満
たされたオイルバス２２中において、０５蕾高９ＪＩ雫
トｎしや山鰍習成展１ＡＬ春ｊイ電圧を印加する。上記
絶縁オイル２０の温度は、内部電極層１４の導電体とな
る温度よりも高く且つサーミスタ層１２のキュリー温度
よりも低い温度、例えば７０℃程度に定められており、
内部電極Ｎ１４は導電体となるのに対しサーミスタ層１
２は未だ強誘電性を有する。このため、内部１！極Ｗ１
１４間に電圧が印加されることにより、積層体１６には
その積層方向に電層が印加され、サーミスタＮ１２はそ
の積層方向に良好に分極させられる。そして、上記積層
体１６に分極方向に対して平行な面に１対の外部電極３
０を例えばニッケルを無電解メツキ法により形成するこ
とにより前記積層サーミスタ素子１０が得られる。この
積層サーミスタ素子１０の通常の使用温度は内部電極層
１４の導電性となる温度よりも充分に低く、その内部電
極層１４は絶縁体となりサーミスタ４１２の接着層とし
てのみ機能する。例えば第４図に示されている圧電アク
チュエータは、分割した外部電極３０間に直接駆動電源
２６を接続したもので、積層方向にバイアス電界が印加
されることにより、厚み滑り効果により積層方向に対し
て垂直な方向の変位が発生する。また、ｆｊＳ５図に示
されている圧電アクチュエータは、外部電極３０に交流
電源３２を接続して交流電圧を印加するようにしたもの
で、
積層方向と直角な方向に定在波を発生し、超音波モータ
等に利用される。
このように、本実施例では、サーミスタ層１２を構成す
るセラミックス材料と内部電極層１４を構成するセラミ
ックス材料とを交互に積層して一体焼成した後分極処理
を行ってサーミスタ素子１０を製造するようになってい
るため、
予め厚さ方向に分極処理されたサーミスタの薄板に、分
極方向に対して平行な面に電極を塗布したものを接着剤
で複数接合して製造する場合に比較して、製造工程が少
なくなって生産性が大幅に向上するのである。
また、このような製造方法を採用することにより、サー
ミスタ層１２の厚さを従来品に比較して薄くすることが
可能となり、分極電圧を下げたり変位部分の面積を小さ
くしたりすることができる。これにより、例えばドロッ
プオンデマンド方式の圧電インクジェットによるプリン
タヘッドのマルチノズルに前記第４図の圧電アクチエエ
ータを利用する場合には、その解像度を大幅に向上させ
ることができる。また、第５図の圧電７クチユエータを
超音波モータに利用する場合には、その超小型化を図る
ことが可能となる。
更に、本実施例の積層サーミスタ素子１０は、サーミス
タ層１２と内部電極／！１４とを一体焼結することで得
ているところから、結合強度が高く、接着剤で接合して
いた従来品に比較して接合強度の劣化が少なくなり、優
れた耐久性が得られる利点がある。
なお、上述したのはあく虫でも本発明の一兵体例であり
、例えばサーミスタ材料やサーミスタ材料を適宜変更し
たり、それ等の材料に必要に応じてバインダ等を加えた
りしても差支えないなど、本発明は当業者の知識に基づ
いて種々の変′＆ｒ −か １１８１ 色 ｈけ
二 ｈ 舎−峰 岬１り才もシ −−テ リ Ｌ ユ
Ｉ→も 匁 マ４、[Industrial Application Field 1] The present invention relates to a method for manufacturing a laminated thermistor element. [Prior Art J Conventionally, a thermistor element has been used as a cutter for ink jets, ultrasonic motors, etc., but one type of thermistor element is a combination of a thermistor layer and an internal electrode layer. J1 employment 1 contracted company, b
In addition, when manufacturing such a laminated thermistor element, Kinhayabusa molds the thermistor material into a sheet and prints metal electrode material on one or both sides of the sheet. After stacking multiple pieces and pressing them together, they are fired as a single piece to make ceramics.
Thereafter, a pair of external electrodes connected to the metal electrode material every other layer is formed on the side surface of the fired body, and the fired thermistor is polarized using the external electrodes. . According to this manufacturing method, compared to the case where multiple electrodes are coated on pre-fired thermistor thin plates and polarized and bonded together with adhesive, there are fewer manufacturing steps and productivity is greatly improved. , it is possible to enjoy various excellent effects such as being able to make the thermistor layer thinner and lowering the polarization voltage. You can enjoy the excellent effects of [Problems to be Solved by the Invention] However, in the multilayer thermistor element manufactured by this manufacturing method, due to the presence of the internal electrode layer, the voltage for performing the polarization process and the voltage for driving are applied to the internal electrode layer. Therefore, there was a problem in that only displacement and vibration in the stacking direction due to longitudinal effect displacement could be obtained. That is, a laminated thermistor element in which multiple thermistor layers and internal electrode layers are alternately laminated, the thermistor layers are polarized in the lamination direction, and displacement and vibration in a direction perpendicular to the lamination direction are obtained due to the thickness shear effect. When manufacturing the above! l! ! Since it is not possible to use all the methods, it must be manufactured by bonding multiple thin plates of thermistors that have been previously polarized in the thickness direction with electrodes coated on the plane parallel to the polarization direction using adhesive. There wasn't. The present invention has been made against the background of the above circumstances, and its object is to provide a structure in which a plurality of thermistor layers and internal electrode layers are alternately laminated, and the thermistor layers have a thickness in a direction perpendicular to the lamination direction. It is an object of the present invention to enable the above manufacturing method to be applied to the manufacturing of laminated thermistor elements that undergo sliding displacement or vibration. [Means for Solving the Problems 1] In order to achieve the above object, the present invention provides a structure in which a plurality of thermistor layers and internal electrode layers are alternately laminated, and the thermistor layers have thickness slippage in a direction perpendicular to the lamination direction. A method for manufacturing a laminated thermistor element that is displaced or vibrates, comprising: (a) preparing a thermistor material constituting the thermistor layer; and (b) increasing the electrical resistance at a predetermined temperature or higher lower than the Curie temperature of the thermistor material. (e) a step of preparing a thermistor material with negative temperature characteristics that becomes a conductor by reducing the amount of the thermistor material as a constituent material of the internal electrode layer; (d) a firing step of integrally firing the laminate produced by the lamination step;
) Polarizing the electric field lamix through the internal electrode layer in the stacking direction of the M shoulder body at a temperature higher than 1 degree Celsius and lower than the Curie temperature of the thermistor material, which becomes a conductor of the thermistor material. (f) a polarization step to be carried out;
The method is characterized by comprising an external electrode forming step of forming a driving external electrode on a plane parallel to the polarization direction above the polarization step. It is characterized by Here, as the thermistor material constituting the thermistor layer, a ferroelectric ceramic material such as lead zirconate titanate (PZT) thread or lead titanate (PT) type is used. In addition, as the thermistor material that constitutes the internal electrode layer,
For example, nickel oxide (N io ), fvar oxide (C
oo), spinel-shaped materials mainly composed of manganese oxide (MnO), vanadium oxide (V -0')'i? Sudden change thermistor materials such as , etc. are preferably used. [Operations and Effects 1] That is, the method of the present invention uses a thermistor material with negative temperature characteristics that reduces electrical resistance and becomes a conductor above a predetermined temperature lower than the Curie temperature of the thermistor material as the internal electrode layer; material and thermistor material in a sheet form at a temperature higher than the temperature at which the thermistor material becomes a conductor and lower than the Curie temperature of the thermistor material;
In other words, the polarization process is performed by applying an electric field in the stacking direction of the laminate at a temperature at which the thermistor material becomes a conductor while the piezoelectric ceramic Fuchs material still has ferroelectric properties. In this case, since the thermistor material is a conductor during the polarization process, it acts as a polarization electrode and the thermistor is well polarized in the stacking direction, while the temperature at which the thermistor material becomes a conductor after the polarization process is When the temperature drops to below, the thermistor material begins to function as an insulator, and by applying a driving voltage to the external electrode formed on the plane parallel to the polarization direction, the thickness slip effect causes the thermistor material to function as an insulator. Displacement and vibration in the direction perpendicular to the direction can be obtained. As described above, according to the method of the present invention, a plurality of thermistor layers and internal electrode layers are alternately stacked, the thermistor layers are polarized in the stacking direction, and the external electrodes are formed on a plane parallel to the polarization direction. The laminated thermistor element, which can obtain displacement and vibration in the direction perpendicular to the lamination direction due to the thickness slip effect by applying a voltage to the thermistor layer polarized in the thickness direction of the layer and the internal 74
It can now be manufactured in the same way as when manufacturing a laminated thermistor element, which has displacement and vibration in the lamination direction due to the longitudinal effect in which pole layers are laminated alternately, reducing the number of manufacturing steps and greatly improving productivity. It is. In addition, it is possible to make the thermistor layer thinner, lowering the polarization voltage and reducing the area of the displacement part, and by appropriately selecting the thermistor material and thermistor material, the thermistor layer and internal Various excellent effects can be obtained, such as being able to increase the bonding strength with the electrode layer. [Embodiment 1] Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail based on the drawings. First, FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a laminated thermistor element manufactured according to the method of the present invention.
[12. From the internal electrode [14] and the external electrode 30, the thermistor W112 is polarized in the stacking direction, that is, in the vertical direction in the figure. The thermistor layer 12 is made of lead titanate norconate ceramics having ferroelectric properties, while the internal electrode 114 is formed at a predetermined Curie temperature lower than the Curie temperature of the lead titanate zirconate ceramics. The external electrode 30 is made of a vanadium oxide-based rapidly changing thermistor material ceramic, which rapidly decreases its electrical resistance and becomes a conductor at a temperature higher than , and the external electrode 30 is made of a metal material such as nickel. Note that the arrow shown on the thermistor layer 12 in the figure represents the polarization direction. It represents the direction. Next, a method for manufacturing such a laminated thermistor element 10 will be explained. First, the above-mentioned thermistor/[12 is a lead zirconate titanate ceramic material;
Jl? Ceramic materials are prepared and formed into sheets of a predetermined thickness using the doctor blade method, layered alternately, and then heat-pressed. , cut into a predetermined size and shape, and integrally fired. As a result, as shown in FIG.
is obtained, but at this stage, the direction of spontaneous polarization of the thermistor layer 12 is random, and the inside pole 7/114 is an insulator. The lead titanate norconate ceramic material that constitutes the thermistor layer 12 corresponds to the thermistor material, and the vananium oxide ceramic material that constitutes the internal electrode M14 has a Curie temperature lower than that of the piezoelectric ceramic nx material. It corresponds to a rapidly changing thermistor material with negative temperature characteristics whose electrical resistance rapidly decreases above a predetermined temperature and becomes a conductor. Next, as shown in FIG. 2, in the stacking direction of the laminate 16, in an oil bath 22 filled with insulating oil 20 such as silicone oil, 05 bud height 9JI drops and Apply the voltage in the spring of 1AL. The temperature of the insulating oil 20 is set to be higher than the temperature at which the internal electrode layer 14 becomes a conductor and lower than the Curie temperature of the thermistor layer 12, for example, about 70°C.
The internal electrode N14 becomes a conductor, whereas the thermistor layer 1
2 still has ferroelectric properties. For this reason, internal 1! Extreme W1
By applying a voltage across the stack 14, an electric layer is applied to the stack 16 in the stack direction, and the thermistor N12 is polarized well in the stack direction. A pair of external electrodes 3 are provided on the layered body 16 on a plane parallel to the polarization direction.
The laminated thermistor element 10 is obtained by forming 0 with, for example, nickel by an electroless plating method. The normal operating temperature of the laminated thermistor element 10 is sufficiently lower than the temperature at which the internal electrode layer 14 becomes conductive, and the internal electrode layer 14 becomes an insulator and functions only as an adhesive layer for the thermistor 412. For example, the piezoelectric actuator shown in FIG. 4 has a driving power source 26 directly connected between the divided external electrodes 30, and by applying a bias electric field in the stacking direction, the piezoelectric actuator is displacement in the vertical direction occurs. In addition, the piezoelectric actuator shown in Fig. Used in sonic motors, etc. As described above, in this embodiment, the thermistor element 10 is manufactured by alternately laminating the ceramic material constituting the thermistor layer 12 and the ceramic material constituting the internal electrode layer 14, firing them together, and then subjecting them to polarization treatment. , compared to manufacturing by bonding multiple thin plates of thermistors that have been polarized in the thickness direction with electrodes applied on the plane parallel to the polarization direction using adhesive. This reduces the number of manufacturing steps and greatly improves productivity. Furthermore, by adopting such a manufacturing method, it is possible to reduce the thickness of the thermistor layer 12 compared to conventional products, and it is possible to lower the polarization voltage and reduce the area of the displaced portion. . As a result, when the piezoelectric actuator shown in FIG. 4 is used, for example, in a multi-nozzle of a drop-on-demand type piezoelectric inkjet printer head, the resolution can be greatly improved. Furthermore, when the piezoelectric seven cutuator shown in FIG. 5 is used in an ultrasonic motor, it is possible to miniaturize the ultrasonic motor. Furthermore, the multilayer thermistor element 10 of this embodiment has the thermistor layer 12 and internal electrodes/! 14 is obtained by integrally sintering, the bonding strength is high, and there is less deterioration in bonding strength compared to conventional products that are bonded with adhesive, and the advantage is that excellent durability can be obtained. be. In addition, the above-mentioned worms are an example of the present invention, and for example, the thermistor material or thermistor material may be changed as appropriate, or a binder etc. may be added to such materials as necessary. , the present invention may be modified in various ways based on the knowledge of those skilled in the art.
第１図は本発明方法による製造過程において製造された
一体焼結積層体を示す構造図である。第２図は第１図の
積層体のサーミスタ層に分極処理を行う工程を説明する
図である。第３図は第１図および＄２図の工程を経て製
造された積層サーミスタ素子のＩｉＩ！或図である。第
４図および第５図は、それぞれ第３図の積層サーミスタ
素子を利用した圧電アクチュエータの一例を示す図であ
る。
示す図である。
１０・・・積層サーミスタ素子、１２・・・サーミスタ
層、１４・・・内部電極層、３０・・・外部電極。
極。FIG. 1 is a structural diagram showing an integrally sintered laminate manufactured in the manufacturing process according to the method of the present invention. FIG. 2 is a diagram illustrating a process of polarizing the thermistor layer of the laminate shown in FIG. 1. FIG. Figure 3 shows IiI! of the laminated thermistor element manufactured through the steps shown in Figures 1 and 2. This is a diagram. 4 and 5 are diagrams each showing an example of a piezoelectric actuator using the laminated thermistor element of FIG. 3. FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Laminated thermistor element, 12... Thermistor layer, 14... Internal electrode layer, 30... External electrode. very.
Claims (1)
され且つ該圧電セラミックス層は積層方向に対して垂直
な方向に厚み滑り変位又は振動する積層圧電セラミック
ス素子の製造方法であって、前記圧電セラミックス層を
構成する圧電セラミックス材料を用意する工程と、 該圧電セラミックス材料のキュリー温度よりも低い所定
の温度以上で電気抵抗が減少して導電体となる負温度特
性のサーミスタ材料を前記内部電極層の構成材料として
用意する工程と、 前記圧電セラミックス材料および前記サーミスタ材料を
シート状に成形して交互に積層する積層工程と、 該積層工程によって作製された積層体を一体に焼成する
焼成工程と、 前記サーミスタ材料の導電体となる温度よりも高く且つ
前記圧電セラミックス材料のキュリー温度よりも低い温
度により、前記積層体の積層方向に電界を印加し、前記
焼成工程において焼成された圧電セラミックスに分極処
理を行う分極工程と、該分極工程による分極方向に対し
て平行な面に駆動用外部電極を形成する外部電極形成工
程と、を有することを特徴とする積層圧電セラミックス
素子の製造方法。[Claims] A method for manufacturing a laminated piezoelectric ceramic element in which a plurality of piezoelectric ceramic layers and internal electrode layers are alternately laminated, and the piezoelectric ceramic layers undergo thickness sliding displacement or vibration in a direction perpendicular to the lamination direction. a step of preparing a piezoelectric ceramic material constituting the piezoelectric ceramic layer; and a thermistor material with negative temperature characteristics that decreases electrical resistance and becomes a conductor above a predetermined temperature lower than the Curie temperature of the piezoelectric ceramic material. a step of preparing the piezoelectric ceramic material and the thermistor material as a constituent material of the internal electrode layer; a laminating step of forming the piezoelectric ceramic material and the thermistor material into a sheet shape and laminating them alternately; and integrally firing the laminate produced by the laminating step. an electric field is applied in the stacking direction of the laminate at a temperature higher than the temperature at which the thermistor material becomes a conductor and lower than the Curie temperature of the piezoelectric ceramic material, and the laminate is fired in the firing step. Manufacturing a laminated piezoelectric ceramic element comprising: a polarization step of subjecting piezoelectric ceramics to polarization treatment; and an external electrode forming step of forming driving external electrodes on a plane parallel to the polarization direction resulting from the polarization step. Method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28151889A JP2855709B2 (en) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | Manufacturing method of laminated piezoelectric ceramic element |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP28151889A JP2855709B2 (en) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | Manufacturing method of laminated piezoelectric ceramic element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03142888A true JPH03142888A (en) | 1991-06-18 |
| JP2855709B2 JP2855709B2 (en) | 1999-02-10 |
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| JP (1) | JP2855709B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100242242A1 (en) * | 2009-03-27 | 2010-09-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for manufacturing piezoelectric actuator |
-
1989
- 1989-10-27 JP JP28151889A patent/JP2855709B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100242242A1 (en) * | 2009-03-27 | 2010-09-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for manufacturing piezoelectric actuator |
| US8375538B2 (en) * | 2009-03-27 | 2013-02-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for manufacturing piezoelectric actuator |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2855709B2 (en) | 1999-02-10 |
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