JPH03134873A - Converter driving device - Google Patents

Converter driving device

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JPH03134873A
JPH03134873A JP27160189A JP27160189A JPH03134873A JP H03134873 A JPH03134873 A JP H03134873A JP 27160189 A JP27160189 A JP 27160189A JP 27160189 A JP27160189 A JP 27160189A JP H03134873 A JPH03134873 A JP H03134873A
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servo
conversion element
data
track
head
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Kyo Akagi
協 赤城
Masaaki Futamoto
二本 正昭
Fumio Kugiya
文雄 釘屋
Yoshinori Miyamura
宮村 芳徳
Koji Takano
公史 高野
Yoshifumi Matsuda
松田 好文
Mikio Suzuki
幹夫 鈴木
Takeshi Nakao
武司 仲尾
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve accuracy for positioning to a data track and to improve the performance of a converter driving device by loading a converter for data read / write and a converter for servo information read on one rigid body and relatively moving the converter for data to the converter for servo. CONSTITUTION:A servo head 1 is connected through a fine move micro-actuator 3 to a data head 2 and they are loaded on one rigid body such as a slider 6, for example. In such a case, the servo head 1 is fixed to the slider 6 and the data head 2, however, can be moved relatively to the slider 6 and the servo head 1 by the fine move microactuator 3. Thus, when the servo head 1 is settled to a target position, the head can be settled to the target data track at high speed with high accuracy by the operation of the microactuator 3.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ディスク装置、磁気テープ装置。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a magnetic disk device and a magnetic tape device.

光磁気ディスク装置、磁気カー1〜装置等の情報記録装
置の変換素子駆動装置に係り、目的のデータトラックに
高精度に位置決めする必要のある、特に高1〜ランク密
度を狙う大容量記憶装置に適用される変換素子駆動装置
に関する。
Concerning the conversion element drive device of information recording devices such as magneto-optical disk devices and magnetic car 1-devices, it is necessary to position the target data track with high precision, especially for large-capacity storage devices aiming at high 1-rank density. The present invention relates to an applied conversion element driving device.

(4) 〔従来の技術〕 従来の情報記録装置、例えば磁気ディスク装置は、大容
量化に伴いビット密度と共にトラック密度も高くなって
いる。1へラックの高密度化により、トラックピッチは
今や数μmのオーダーとなっており、変換素子(磁気ヘ
ッド)位置決めの高精度化はますます重要な課題となっ
てきている。従来の比較的位置決め精度の高いサーボ面
サーボ方式は、装置内の局部的な温度変化やアクチュエ
ータ等の変形などによって、サーボ情報読み出し用変換
素子(以下サーボヘッド)とデータ読み出し、書き込み
用変換素子(以下データヘッド)との位置決め偏差が生
じることにより、位置決め誤差が発生する。そこでサー
ボ方式の位置決め高精度化の一つの手法に、サーボヘッ
ドとデータヘッドとの位置偏差の補正手段として、ヘッ
ドアクチュエータによる位置決め手段とは別に、ヘッド
素子部分のみの位置決め手段を設ける方法があり、例え
ば「特開昭62−250570Jに示されている。これ
は従来のVCMによるアクチュエータ駆動を粗動の位(
5) 置決め用に使用し、磁気ヘッドに近い部分に微動の位置
決め用アクチュエータを配するものである。
(4) [Prior Art] As the capacity of conventional information recording devices, such as magnetic disk devices, increases, both the bit density and the track density become higher. Due to the increased density of racks, the track pitch is now on the order of several μm, and increasing the accuracy of positioning the transducer element (magnetic head) is becoming an increasingly important issue. In the conventional servo surface servo method, which has relatively high positioning accuracy, the servo information reading conversion element (hereinafter referred to as servo head) and the data reading/writing conversion element ( A positioning error occurs due to a positioning deviation with respect to the data head (hereinafter referred to as a data head). Therefore, one method for improving the positioning accuracy of the servo system is to provide a positioning means for only the head element, separate from the positioning means by the head actuator, as a means for correcting the positional deviation between the servo head and the data head. For example, it is shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-250570J.
5) It is used for positioning, and a fine positioning actuator is placed near the magnetic head.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

ところが上記技術は、データ面以外にサーボ面を持つこ
とが前提であり、サーボヘッドにより位置決めしたヘッ
ド位置と、実際のデータトラックとの位置偏差とを比較
して補正することを目的としているため、サーボヘッド
からデータヘッド間の振動伝達特性や温度差等を考慮し
た1〜ラックl−1]設計、制御系設計が必要となり、
高トラツク密度化に対しては伝達関数や補償回路等の条
件は厳しいものとなっている。
However, the above technology is based on the premise of having a servo surface in addition to the data surface, and its purpose is to compare and correct the positional deviation between the head position determined by the servo head and the actual data track. 1 to rack l-1] design and control system design that takes into consideration the vibration transmission characteristics and temperature difference between the servo head and the data head,
Conditions for transfer functions, compensation circuits, etc. are becoming stricter for higher track densities.

本発明の目的は、上記位置偏差を小さくし、伝達特性を
良好にした変換素子駆動装置を提供するところにある。
An object of the present invention is to provide a conversion element drive device that reduces the above-mentioned positional deviation and improves transmission characteristics.

〔課題を解決するための手段〕 上記目的は次のようにして達成させることができる。同
一スライダ上にサーボヘッドとデータヘッドとを搭載し
たヘッドを構成する。ここで、サーボヘッドはスライダ
上に固定され、データヘラ(6) ドはマイクロアクチュエータによって、サーボヘッドに
対して相対移動が可能な構成となっている。
[Means for solving the problem] The above objective can be achieved as follows. A head is configured in which a servo head and a data head are mounted on the same slider. Here, the servo head is fixed on the slider, and the data head (6) is configured to be movable relative to the servo head by a microactuator.

この際、マイクロアクチュエータの動作特性は、100
Hz〜数十k Hzと広帯域である必要がある。これに
対して粗動用アクチュエータのサーボ帯域は、その可動
質量の大きさやベアリングガイドの摩擦などの機械的特
性によって、最大でも数百Hz〜数k Hzのクロスオ
ーバー周波数を持つ。
At this time, the operating characteristics of the microactuator are 100
It is necessary to have a wide band of Hz to several tens of kilohertz. On the other hand, the servo band of a coarse motion actuator has a crossover frequency of several hundred Hz to several kHz at most, depending on the size of its movable mass and mechanical characteristics such as friction of the bearing guide.

このため、アクセスは粗動用アクチュエータが担当し、
整定時のセl−リング振動や、フォロイング追従動作は
マイクロアクチュエータが担当する構成にする・ 一方、データ面上には、例えば所定のl]のデータゾー
ン間に、サーボ情報が1トラツクずつ記録されるような
パターンが媒体に記録される。または2層膜媒体におい
て、データ情報とサーボ情報を各々別の層に記録するこ
とも考えられ、媒体面の利用効率を考えると、後者の方
が有望である。
Therefore, the coarse movement actuator is responsible for access.
The configuration is such that the micro-actuator is in charge of the cell-ring vibration during settling and the following operation. On the other hand, on the data surface, for example, servo information is recorded one track at a time between data zones of a predetermined number. A pattern is recorded on the medium. Alternatively, in a two-layer film medium, it is also possible to record data information and servo information in separate layers, and the latter is more promising when considering the utilization efficiency of the medium surface.

〔作用〕[Effect]

目標トラックへのアクセス指令を受けたサーボ(7) ヘッドは、所定の速度カーブに従って、目標データトラ
ックゾーンを受は持つ目標サーボトラックへ、位置決め
動作を行なう。サーボヘッドが目標位置へ整定時、デー
タヘッドを動かすマイクロアクチュエータにも目標デー
タトラックへのアクセス指令が出され、それを受けてデ
ータヘッドが所定のアドレス情報をもとに、マイクロア
クチュエータの動作によって目標データトラックへ高速
、高精度に整定される。フォロイング時には、サーボヘ
ッドは粗動用アクチュエータの伝達特性に従ってサーボ
トラックへの追従を行い、データヘッドはマイクロアク
チュエータの伝達特性に従って目標データトラックへの
追従を行う。
The servo (7) head that receives the instruction to access the target track performs a positioning operation to the target servo track having the target data track zone according to a predetermined speed curve. When the servo head settles to the target position, an access command to the target data track is also issued to the microactuator that moves the data head, and in response, the data head moves to the target data track by operating the microactuator based on the predetermined address information. It is settled to the data track at high speed and with high precision. During following, the servo head follows the servo track according to the transmission characteristics of the coarse movement actuator, and the data head follows the target data track according to the transmission characteristics of the microactuator.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は本発明の第1〜第3実施例の基本構成を示した
図である。サーボヘッド1はデータヘッド2と微動マイ
クロアクチュエータ3を介して接続されており、これら
がひとつの剛体、例えばス(8) ライダ6上に搭載されている。このスライダ6は、粗動
用の、例えばVCMアクチュエータ4にシンバルバネ7
等を介して接続されている。VCMアクチュエータ4は
、筐体5に直接、またはバネ9を介して固定されている
。また、サーボヘッド1及びデータヘッド2は、記憶媒
体、例えば高速回転する磁気ディスク8と所定の間隔で
保持されている。ここでサーボヘッド1はスライダ6に
固定されているが、データヘッド2は微動マクロアクチ
ュエータ3によってスライダ6及びサーボヘッド1と相
対的に運動することが可能である。相対運動のストロー
クの望ましい値は、サーボ情報とデータ情報のパターン
に関係し、これについては次に述べる。
FIG. 1 is a diagram showing the basic configuration of first to third embodiments of the present invention. The servo head 1 is connected to a data head 2 via a fine movement microactuator 3, and these are mounted on one rigid body, for example, a slider 6. This slider 6 is connected to a cymbal spring 7 for coarse movement, for example, to a VCM actuator 4.
etc. are connected via. The VCM actuator 4 is fixed to the housing 5 directly or via a spring 9. Further, the servo head 1 and the data head 2 are held at a predetermined distance from a storage medium, for example, a magnetic disk 8 that rotates at high speed. Here, the servo head 1 is fixed to the slider 6, but the data head 2 can be moved relative to the slider 6 and the servo head 1 by a fine movement macro actuator 3. The desired value of relative motion stroke is related to the pattern of servo and data information, which will be discussed next.

第2図は、磁気ディスク8上のサーボ1−ラックとデー
タトラックのパターンを模式的に表わした図である。サ
ーボトラック9a、9b、9cは所定の間隔で規則的に
並び、定まった数のデータトラック本数n本を含むデー
タゾーン10a、10bがそれらの間に配される。デー
タゾーンの巾は、(9) データのトラックピッチをpとすれば、はぼnXpで表
わされる。この大きさは、該マイクロアクチュエータ3
のストロークにほぼ等しい。
FIG. 2 is a diagram schematically showing the pattern of the servo 1-rack and data tracks on the magnetic disk 8. As shown in FIG. Servo tracks 9a, 9b, 9c are regularly arranged at predetermined intervals, and data zones 10a, 10b each including a predetermined number n of data tracks are arranged between them. The width of the data zone is expressed as (9) where p is the data track pitch, nXp. This size is the size of the microactuator 3.
approximately equal to the stroke of

サーボ信号の高品質化を考えると、サーボトラック幅は
、データトラック幅に対して比較的広くした方が都合が
よい。この場合、サーボ領域に多く面積を取られるため
、媒体面の利用効率が悪くなる。有効な媒体面利用につ
いては、後はど詳しく述べる。
In consideration of improving the quality of servo signals, it is convenient to make the servo track width relatively wider than the data track width. In this case, a large area is taken up in the servo area, resulting in poor utilization efficiency of the medium surface. Effective use of media will be discussed in detail later.

第3図は、本発明の2段結合サーボ系のブロック図であ
る。目標値X、データヘッドの変位をXsとし、誤差を
Xer、微動アクチュエータの安定性を補償する補償回
路31の特性をacl(s)とする。その出力をeSと
し、微動マイクロアクチュエータ系では、特性がa 1
4(S )の補償回路32とこれに加わる外乱Fcl、
微動マイクロアクチュエータの伝達関数33をGf+n
e(S)とすると微動マイクロアクチュエータによる変
位はXfとなる。一方、粗動アクチュエータ系は、特性
がGc3(s)の補償回路34とこれに加わる外乱(1
0) Fd ’、粗動アクチュエータの伝達関数35をGco
arse(s) とすると、粗動アクチュエータによる
変位はXcとなる。出力Xsは、微動アクチュエータに
よるデータヘッドの移動量Xfと、粗動アクチュエータ
によるサーボヘッドの移動量Xcの和として表せる。こ
のような構成にすると、アクチュエータの摩擦、外部か
らの振動といった低周波の変動を、粗動アクチュエータ
の制御ループによって抑圧することが出来る。
FIG. 3 is a block diagram of the two-stage coupled servo system of the present invention. Let the target value be X, the displacement of the data head be Xs, the error be Xer, and the characteristic of the compensation circuit 31 that compensates for the stability of the fine movement actuator be acl(s). The output is eS, and in the fine movement microactuator system, the characteristic is a 1
4(S) compensation circuit 32 and the disturbance Fcl added to it,
The transfer function 33 of the fine movement microactuator is Gf+n
If e(S), the displacement caused by the fine movement microactuator will be Xf. On the other hand, the coarse movement actuator system includes a compensation circuit 34 with a characteristic of Gc3(s) and a disturbance (1
0) Fd', the transfer function 35 of the coarse actuator is Gco
arse(s), the displacement by the coarse movement actuator will be Xc. The output Xs can be expressed as the sum of the amount of movement Xf of the data head by the fine movement actuator and the amount of movement Xc of the servo head by the coarse movement actuator. With this configuration, low-frequency fluctuations such as friction of the actuator and external vibrations can be suppressed by the control loop of the coarse movement actuator.

また、例えばディスクリート媒体のような媒体面に固定
されたサーボパターントラックへの追従が要求される場
合、トラック偏心の主成分である低周波大振幅成分に、
粗動アクチュエータが追従することが出来る。
In addition, when it is required to follow a servo pattern track fixed on the surface of a medium such as a discrete medium, the low frequency large amplitude component which is the main component of track eccentricity,
The coarse actuator can follow.

第4図(a)には、従来のサーボ面サーボ方式のアクチ
ュエータのオープンループ特性を模式的に示し、第4図
(b)には本発明の粗動用アクチュエータのオープンル
ープ特性を、(c)には本発明の微動用マイクロアクチ
ュエータのオープンループ特性を、各々模式的に表した
。従来のアクチュエ(11) −タの伝達特性は、1 k、 Hz弱のクロスオーバー
周波数41で、50°以」−の位相余裕をもたせている
。本発明においては、粗動用のアクチュエータは第4図
(a)に近い特性をもたせるが、特に低域周波数42の
ゲインを高くとっておく。一方、微動用のアクチュエー
タは、クロスオーバー周波数43が数k Hzで、数十
〇の位相余裕をもたせることができる。低域周波数領域
を、粗動用アクチュエータに分担させ、高域周波数領域
を微動用アクチュエータに分担させるようにすれば、広
い帯域に渡って常に安定した特性が得られる。従って、
これら(a)と(b)の特性を組み合わせれば、十分帯
域の大きいサーボ系を設計することができる。
FIG. 4(a) schematically shows the open loop characteristics of the conventional servo surface servo type actuator, FIG. 4(b) shows the open loop characteristics of the coarse movement actuator of the present invention, and FIG. 4(c) The open-loop characteristics of the micro-actuator for fine movement of the present invention are each schematically shown in FIG. The transfer characteristics of the conventional actuator (11) have a crossover frequency 41 of a little less than 1 kHz, and a phase margin of 50 degrees or more. In the present invention, the actuator for coarse movement has characteristics similar to those shown in FIG. 4(a), but the gain is set particularly high at the low frequency range 42. On the other hand, the actuator for fine movement has a crossover frequency 43 of several kHz and can have a phase margin of several tens of degrees. By assigning the low frequency range to the coarse movement actuator and the high frequency range to the fine movement actuator, stable characteristics can always be obtained over a wide band. Therefore,
By combining these characteristics (a) and (b), it is possible to design a servo system with a sufficiently large band.

第5図は、本発明の第1実施例のスライダ部分を模式的
に表わした図である。サーボヘッド51は、スライダ5
5」二に固定されており、データヘッド52は積層ピエ
ゾ素子等のアクチュエータ53を介して、可動部材54
」二に搭載されている。
FIG. 5 is a diagram schematically showing the slider portion of the first embodiment of the present invention. The servo head 51 has a slider 5
The data head 52 is fixed to a movable member 54 via an actuator 53 such as a laminated piezo element.
” is installed in the second.

可動部材54は、アクチュエータ53と衝撃吸収(12
) 材56によって支持されており、スライダの走行方向、
すなわち1−ラック方向に直角に動くことができる。し
かし、アクチュエータとしての積層ピエゾ素子は、スラ
イダ55上にこの実施例の方法で実装できる程度の大き
さのものであると、ストロークが数μmと非常に小さく
、機械振動等に起因するサブミクロン程度の位置決め誤
差を吸収することは可能であるが、データトラックのア
クセスや、偏心等への追従には不向きである。
The movable member 54 includes an actuator 53 and a shock absorber (12
) is supported by the material 56, and the running direction of the slider,
That is, it can move at right angles to the 1-rack direction. However, if the laminated piezo element used as an actuator is large enough to be mounted on the slider 55 using the method of this embodiment, the stroke is very small, several μm, and the stroke is about submicron due to mechanical vibrations. Although it is possible to absorb positioning errors, it is not suitable for accessing data tracks or following eccentricity.

第6図(a)は、本発明の第2実施例のスライダ部分を
模式的に表わした図である。サーボヘッド61は、スラ
イダ64上に固定されており、データヘッド62はマイ
クロアクチュエータ63上に搭載されている。マイクロ
アクチュエータ63は、半導体技術を応用したマイクロ
ッアプリケーション技術によって作られた、静電リニア
モータの可動部である。このアクチュエータだと、数m
ln角の寸法でストロークが数mmと稼げるため、アク
セス用のアクチュエータとして十分使用できる。
FIG. 6(a) is a diagram schematically showing a slider portion of a second embodiment of the present invention. The servo head 61 is fixed on a slider 64, and the data head 62 is mounted on a microactuator 63. The microactuator 63 is a movable part of an electrostatic linear motor made by microapplication technology applying semiconductor technology. With this actuator, several meters
Since the stroke is several millimeters with the ln square dimension, it can be used as an access actuator.

第6図(b)は、本発明の第3実施例のスライダ(13
) 部分を模式的に表わした図である。サーボヘッド65は
スライダ68上に固定されており、データヘッド66 
a 、 66 b 、 66 c 、−は、上記と同様
のマイクロアクチュエータ67−1−に搭載されている
。各データヘッド間の距離は、データ1〜ラツクピツチ
の整数倍とすると、一つのデータヘッドが所定のトラッ
クに整定されたときに、他の残りのデータヘッドも同時
にそれぞれのデータトラックに整定させることができる
。即ち、位置決めされたデータヘッドはあたかも全て一
つのシリンダ上にあるかのごとくみなすことができる。
FIG. 6(b) shows the slider (13) of the third embodiment of the present invention.
) FIG. The servo head 65 is fixed on the slider 68, and the data head 66
a, 66b, 66c, - are mounted on the same microactuator 67-1- as above. Assuming that the distance between each data head is an integer multiple of data 1 to rack pitch, when one data head is set on a predetermined track, the remaining data heads can also be set on their respective data tracks at the same time. can. That is, the positioned data heads can be regarded as if they were all on one cylinder.

従って、この構成にした場合、スループットの向上が期
待される。
Therefore, with this configuration, an improvement in throughput is expected.

第7図は、本発明の微動マイクロアクチュエータとして
使用されるリニア静電モータの例を、模式的に表した図
である。第7図(a)はその第1例で、リニア静電モー
タの断面を表した図である。
FIG. 7 is a diagram schematically showing an example of a linear electrostatic motor used as a fine movement microactuator of the present invention. FIG. 7(a) is a first example, which is a cross-sectional view of a linear electrostatic motor.

サーボヘッド71は静電モータのいわゆるステータ部分
74上、またはステータ74とともにスライダ73に固
定される。データヘッド72は、静(14) 電モータのいわゆるロータ部分75上に形成される。ロ
ータ75は、適当な剛性を持つバネ部材76によって、
スライダ73上に結合されている。
The servo head 71 is fixed on the so-called stator part 74 of the electrostatic motor or together with the stator 74 on the slider 73. The data head 72 is formed on a so-called rotor part 75 of a static (14) electric motor. The rotor 75 is supported by a spring member 76 having appropriate rigidity.
It is coupled onto the slider 73.

ステータ74とロータ75に電荷を蓄えることにより、
静電力によってロータ74とステータ75との電極の有
効電場面積が変化し、バネ76と釣り合いを保ちつつロ
ータ72が移動する。
By storing electric charge in the stator 74 and rotor 75,
The effective electric field areas of the electrodes of the rotor 74 and stator 75 change due to the electrostatic force, and the rotor 72 moves while maintaining balance with the spring 76.

第7図(b)はリニア静電モータの第2例で、スライダ
上に形成する形状を正面から見た図である。
FIG. 7(b) shows a second example of a linear electrostatic motor, and is a front view of the shape formed on the slider.

データヘッド77はガイドレール80に沿って直線移動
する静電モータのロータ78上に形成されており、ステ
ータ79はスライダ上に固定される。
The data head 77 is formed on a rotor 78 of an electrostatic motor that moves linearly along a guide rail 80, and a stator 79 is fixed on a slider.

ロータ78上に形成されている電極781 、782゜
・・は、ステータ上に形成されている電極791゜79
2.793.・・・と少しずつ位相がずれており、隣あ
う電極の極性を順次切り替えることによって、静電力に
よりロータ78が移動する。このような構造は、半導体
技術により磁気ヘッド77とともに一度に形成すること
ができる。
Electrodes 781, 782°, etc. formed on the rotor 78 are similar to electrodes 791°, 79°, formed on the stator.
2.793. ..., and the rotor 78 is moved by electrostatic force by sequentially switching the polarity of adjacent electrodes. Such a structure can be formed at the same time as the magnetic head 77 using semiconductor technology.

第8図は、本発明の適用方法の一実施例を示しく15) た図である。まず、所定のデータトラックへのアドレス
指定81が出されたとき、そのデータトラックを含むゾ
ーンを受は持つサーボトラックへ、サーボヘッドがクロ
ストラックカウントしながらアクセス82する。サーボ
ヘッドがサーボトラックへ位置決め83し、閉ループ制
御しながら整定してから後、データヘッドは所定のアド
レス情報に従って、サーボヘッドを基準とした位置から
の距離を算出して移動84し1位置決め、整定85する
。この方法は、サーボヘッドがサーボトラックへ整定8
3してから先が開ループ制御となっており、超高トラッ
ク密度化には不向きである。
FIG. 8 is a diagram showing an embodiment of the application method of the present invention. First, when an address designation 81 to a predetermined data track is issued, the servo head accesses 82 a servo track having a zone including the data track while counting cross-tracks. After the servo head is positioned to the servo track 83 and settled under closed-loop control, the data head is moved 84 by calculating the distance from the position with respect to the servo head according to predetermined address information, and is then positioned and settled. 85. In this method, the servo head is set to the servo track 8.
After 3, open-loop control is performed, which is not suitable for ultra-high track density.

第9図は、本発明の適用方法の別の実施例を示した図で
ある。まず、所定のデータトラックへのアドレス指令9
1が出されたとき、そのデータトラックを含むゾーンを
受は持つサーボ1〜ラツクへ、サーボヘッドがアクセス
92する。サーボヘッドがサーボl−ラックへ位置決め
93し、閉ループ制御しながら整定してから後、データ
ヘッドは、ゾーン内のセクタサーボ情報、または埋め込
みサー(16) ボ情報をもとに所定のデータゾーラツクに移動94して
精密位置決めし、閉ループ制御しながら整定する。
FIG. 9 is a diagram showing another embodiment of the application method of the present invention. First, an address command 9 to a predetermined data track is given.
When a 1 is issued, the servo head accesses 92 the servo 1-rack whose receiver has the zone containing that data track. After the servo head has positioned 93 to the servo l-rack and settled under closed-loop control, the data head moves to a predetermined data rack based on the sector servo information in the zone or the embedded servo information. It is moved 94 for precise positioning and settled under closed loop control.

第10図は、本発明の適用方法の別の実施例を示した図
である。まず、所定のデータトラックへのアドレス指令
101が出されたとき、そのデータトラックを含むゾー
ンを受は持つサーボトラックへ、サーボヘッドがアクセ
ス102する。サーボヘッドはサーボトラックへ粗位置
決め103し、閉ループ制御しながら整定する。これと
並行してデータヘッドは所定のデータトラックへアクセ
ス動作104を行ない、精密位置決めをゾーン内のセク
タサーボ情報、または埋め込みサーボ情報をもとに、閉
ループ制御しながら行ない、整定する。
FIG. 10 is a diagram showing another embodiment of the application method of the present invention. First, when an address command 101 to a predetermined data track is issued, the servo head accesses 102 a servo track that has a zone including that data track. The servo head is coarsely positioned 103 to the servo track and settled under closed loop control. In parallel with this, the data head performs an access operation 104 to a predetermined data track, performs precise positioning under closed loop control based on sector servo information within the zone or embedded servo information, and settles.

第11図は、第9図、または第10図で示した実施例に
適用される媒体面のフォーマツ1へ例の一つを模式的に
表わした図である。記録情報のパターンは、本発明のサ
ーボトラックゾーン111と、セクタサーボ情報112
と、データゾーン113とで構成される。アクセス時は
、サーボヘッドが(]7) サーボトラック111をクロストラックカウントするの
で、従来のセクタサーボ方式に比べて、シーク時間は大
幅に短縮される。
FIG. 11 is a diagram schematically showing one example of the format 1 of the medium surface applied to the embodiment shown in FIG. 9 or FIG. 10. The pattern of recorded information is the servo track zone 111 of the present invention and the sector servo information 112.
and a data zone 113. During access, the servo head cross-track counts the (7) servo tracks 111, so the seek time is significantly reduced compared to the conventional sector servo system.

第12図は、第9図、または第10図に示した実施例に
適用される媒体の、別の例の構造を表わした図である。
FIG. 12 is a diagram showing the structure of another example of the medium applied to the embodiment shown in FIG. 9 or FIG. 10.

媒体の表層部にはデータ121を、下層部にサーボ情報
122を記録する構造になっている。各ゾーンを受は持
つサーボ1へランクは、媒体表層部123にも記録され
る。すなわち、サーボトラック123はサーボヘッドが
追従するためのトラックであり、サーボトラック122
はデータヘッドが正しくトラック」二にフオロイングす
るためのトラックである。
The structure is such that data 121 is recorded on the surface layer of the medium, and servo information 122 is recorded on the lower layer. The rank of servo 1, which has a receiver for each zone, is also recorded on the medium surface layer 123. That is, the servo track 123 is a track for the servo head to follow, and the servo track 122
is the track for the data head to correctly follow track '2'.

第13図は、第9図、または第10図で示した実施例に
適用される媒体の別の構造の例を表わした図である。媒
体表層部にはデータ131のみを記録する。この方法で
は、下層のサーボ情報132の」二にもデータ情報を記
録することができ、媒体面の利用効率がよい。尚、第1
2図〜第13図で説明した埋込サーボ方式を使用する場
合には、デ(18) −タ信号とサーボ信号の書き込み周波数を変え、−度に
読み込まれる両方の信号をフィルター回路によって選り
分ける必要がある。また、データ層とサーボ層の磁性膜
の特性、例えば保磁力や飽和磁化を変えたり、データヘ
ラI−とサーボヘッドの形状や材質、例えばギャップ長
や飽和磁束密度を適当に設定することによって、品質の
よいサーボ信号を取り出すことができる。−例として、
下層のサーボ層の磁性膜には上層のデータ層の磁性膜に
比べて、保磁力の小さいものを使い、サーボヘッドのギ
ャップ長と飽和磁束密度が、データヘッドのギャップ長
と飽和磁束密度に比べて大きいものを使用すると、特性
の良いヘラ1り/媒体系が得られる。
FIG. 13 is a diagram showing an example of another structure of the medium applied to the embodiment shown in FIG. 9 or FIG. 10. Only data 131 is recorded on the surface layer of the medium. With this method, data information can also be recorded on the second layer of the servo information 132 in the lower layer, and the medium surface is used efficiently. Furthermore, the first
When using the embedded servo method explained in Figures 2 to 13, the writing frequencies of the data signal and servo signal are changed, and both signals read at a time are separated by a filter circuit. There is a need. In addition, quality can be improved by changing the characteristics of the magnetic films of the data layer and servo layer, such as coercive force and saturation magnetization, and by appropriately setting the shape and material of the data spatula I- and servo head, such as gap length and saturation magnetic flux density. A good servo signal can be extracted. -For example,
The magnetic film of the lower servo layer has a smaller coercive force than the magnetic film of the upper data layer, and the gap length and saturation magnetic flux density of the servo head are smaller than those of the data head. If a large one is used, a spatula/medium system with good characteristics can be obtained.

媒体がスタック(積層)された装置においては、データ
面サーボにおいて問題点が生じる。第14図はスタック
装置におけるデータ面サーボ方式の問題点を説明するた
めの図である。サーボヘッド141aが所定のサーボト
ラック142aに位置決めされたとしても、他のサーボ
ヘッド14 ]、 b 。
In devices with stacked media, problems arise in data plane servo. FIG. 14 is a diagram for explaining the problems of the data surface servo method in the stack device. Even if the servo head 141a is positioned on a predetermined servo track 142a, other servo heads 14], b.

(19) 14−1 cは、熱変位等の原因により、サーボトラッ
ク14.2b、14.2cに正確に位置決めするとは限
らない。各ヘッドが同一シリンダ上にあれば、各ヘッド
より情報を一度に読みだすことによって、スループット
は向上する。従ってサーボヘッド位置ずれを起こしたと
しても、各データヘッドが同一シリンダ上にあればよい
。従って、サーボヘッドは最適の位置に位置決めされて
いなくても、データヘッドが所定トラックに位置決めさ
れれば良いのであるから、各サーボヘッドは、各々のサ
ーボヘッドの位置ずれ量に基づいたデータヘッドの位置
決めを、各々のスライダごとに行なえばよい。
(19) 14-1c is not always accurately positioned on the servo tracks 14.2b and 14.2c due to thermal displacement or the like. If each head is on the same cylinder, throughput is improved by reading information from each head at once. Therefore, even if the servo head position shifts, it is sufficient that each data head is on the same cylinder. Therefore, even if the servo head is not positioned at the optimal position, it is sufficient as long as the data head is positioned on a predetermined track. Positioning may be performed for each slider.

この時、サーボヘッドの位置ずれ量がデータヘッドの可
動範囲にあるならば、データヘッドは位置決めできる。
At this time, if the amount of positional deviation of the servo head is within the movable range of the data head, the data head can be positioned.

しかし、位置ずれ量がデータヘッドの可動範囲よりも大
きいところにあると、データヘッドの位置決めはできな
くなる。
However, if the amount of positional deviation is greater than the movable range of the data head, the data head cannot be positioned.

上記データ面サーボ方式の問題点の別の解決方法として
は、第15図に示されるように、第1の粗動用アクチュ
エータ151に、磁気ディスク(20) 157a、157b、157c上に浮上する各スライダ
156 a 、 156 b 、 1−56 c 、 
−、に接続するスライダ支持部材上に粗動用の第2のア
クチュエータ]−52a 、 152 b 、  15
2 c 、 −を設け、各スライダ上に設けられたサー
ボヘッド154 a、154b、154c、−、微動ア
クチュエータ153 a 、 153 b 、 153
 c 、 −、データヘッド155a、155b、15
5c。
As another solution to the problem of the data surface servo method, as shown in FIG. 156a, 156b, 1-56c,
- second actuator for coarse movement on the slider support member connected to -52a, 152b, 15
2c, -, servo heads 154a, 154b, 154c, -, fine movement actuators 153a, 153b, 153 provided on each slider.
c, -, data heads 155a, 155b, 15
5c.

を、該粗動用アクチュエータ1.52 a 、 ]、 
52 b 。
, the coarse movement actuator 1.52 a , ],
52b.

152c、・・・、によって、ぞれぞれのスライダごと
に個別に動かすものとする。各サーボヘッドの位置ずれ
量は検知され、それぞれのスライダごとに粗動用第2ア
クチユエータによってただちに補正される。この時、粗
動用アクチュエータ152a。
152c, . . . , each slider is individually moved. The amount of positional deviation of each servo head is detected and immediately corrected for each slider by the coarse movement second actuator. At this time, the coarse movement actuator 152a.

152b、152c、・・・は、サーボヘッドの位置ず
れが生じたときにのみ移動する。または、第1の粗動用
アクチュエータ151と、第2の粗動用アクチュエータ
1.52 a 、  152 b 、 152 c 。
152b, 152c, . . . move only when a positional shift of the servo head occurs. Or, the first coarse movement actuator 151 and the second coarse movement actuator 1.52 a , 152 b , 152 c .

・・・、及び微動用アクチュエータ1.53a、153
b。
..., and fine movement actuators 1.53a, 153
b.

153c、  ・・に、各々低周波数領域、中周波数頭
(21) 域、高周波数領域を受は持たせて駆動する、3段アクチ
ュエータとして使用することも考えられるが、回路構成
が複雑になる。
153c, . . . may be used as a three-stage actuator, each having a low frequency region, a middle frequency region (21) region, and a high frequency region for driving, but the circuit configuration would be complicated.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、例えばスタックされた磁気ディスク装
置のデータ1〜ランクへの位置決め精度を著しく向上さ
せ、また高TPIにおけるデータのアクセス速度の向上
が期待できる。これは、磁気記録ファイルのトラック密
度を高める可能性を大きくする重要な技術要因であり、
装置の高性能化に大きく寄与するものである。
According to the present invention, for example, it is possible to significantly improve the positioning accuracy of data 1 to rank in stacked magnetic disk drives, and to improve the data access speed at high TPI. This is an important technical factor that greatly increases the possibility of increasing the track density of magnetic recording files.
This greatly contributes to improving the performance of the device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の第1〜第3実施例の模式図、第2図は
本発明の実施例のサーボトラックとデータトラックの書
き込みパターンの基本構成を模式的に表した図、第3図
は本発明の2段結合サーボ系のブロック図、第4図は各
サーボ系のオーブンループ特性を表すクラブの図、第5
図及び第6図は、本発明の第1から第3実施例の2段結
合サーボ系の構成を模式的に表した図、第7図は本発明
(22) の微動マイクロアクチュエータの構造と動作を説明する
ための模式図、第8図〜第10図は、本発明の実施例の
適用方法を表した流れ図、第11図及び第12図、第1
3図は、本発明のサーボ及びデータトラックパターンの
種々の例を模式的に表した図、第14図は、媒体スタッ
ク装置における本発明適用の問題点を説明するための模
式図、第15図は、上記問題点の解決方法の一例を説明
するための装置の構成図である。 トサーボヘッド、2・・・データヘラl−’、3・微動
マイクロアクチュエータ、4・・粗動マイクロアクチュ
エータ、5・・筐体、6・・スライダ、8・ディスク、
9 a 、 9 b 、 9 c−サーボトラック、1
0a。 10b・データ1ヘラツクゾーン、31,32.34・
・・補償回路、33・・・微動アクチュエータの伝達関
数、35・・・粗動アクチュエータの伝達関数、41・
従来装置のクロスオーバー周波数、43・本発明微動マ
イクロアクチュエータのクロスオーバー周波数、51.
.61.65・・サーボヘッド、52゜62 、66 
a 、 66 b 、 66 c−データヘッド、(2
3) 53.63.67・・・アクチュエータ、55,64゜
68・・スライダ、71・・・サーボヘッド、72゜7
7・・・データヘッド、74.79  ・ステータ、7
2.78・ ロータ、81. 94.、 111−・ 
アドレス指定、82,92,112  アクセス(クロ
ス1〜ランクカウント)、83,93,113 ・サー
ボヘッド整定、84..94..114  ・データへ
ラドシーク動作、85,95,11.5・・データヘッ
ド整定、101..123・・サーボ1〜ラツク、10
2・・・セクタサーボ情報、122,132・・・埋込
サーボ情報、103,1.21,131・・データトラ
ック、14]a、14−1.b、141c、154a。 1541) 、 154c、−サーボ八ツ1く、1.4
2 a 。 ]−42b 、 142 c−サーボ1〜ラツク、1.
51−第」−の粗動用アクチュエータ、1.52a、1
52b、、]、、52o、・・・第2の粗動用アクチュ
エータ、]、 53 a 、 ] 53 b 、 1−
53 c 、 −微動用アクチュエータである。 (24) 第 U 図 図 ((2−) Zf二Z (b) 奮 ■ 図 (0−ジ ¥9 図 特開平 134873 (10) 冨 1 図 ll
FIG. 1 is a schematic diagram of the first to third embodiments of the present invention, FIG. 2 is a diagram schematically showing the basic structure of the writing pattern of the servo track and data track of the embodiment of the present invention, and FIG. is a block diagram of the two-stage coupled servo system of the present invention, FIG. 4 is a club diagram showing the oven loop characteristics of each servo system, and FIG.
6 and 6 are diagrams schematically representing the configurations of the two-stage coupled servo systems of the first to third embodiments of the present invention, and FIG. 7 is the structure and operation of the fine movement microactuator of the present invention (22). FIGS. 8 to 10 are schematic diagrams for explaining the method, and FIGS.
3 is a diagram schematically showing various examples of servo and data track patterns of the present invention, FIG. 14 is a schematic diagram for explaining problems in applying the present invention to a medium stacking device, and FIG. 15 is a diagram schematically showing various examples of servo and data track patterns of the present invention. FIG. 1 is a configuration diagram of an apparatus for explaining an example of a method for solving the above problem. servo head, 2... data spatula l-', 3... fine movement micro actuator, 4... coarse movement micro actuator, 5... housing, 6... slider, 8... disk,
9a, 9b, 9c - servo track, 1
0a. 10b・Data 1 Herakku Zone, 31, 32.34・
... Compensation circuit, 33... Transfer function of fine movement actuator, 35... Transfer function of coarse movement actuator, 41.
Crossover frequency of conventional device, 43. Crossover frequency of fine movement microactuator of the present invention, 51.
.. 61.65... Servo head, 52°62, 66
a, 66 b, 66 c - data head, (2
3) 53.63.67...actuator, 55,64°68...slider, 71...servo head, 72°7
7...Data head, 74.79 - Stator, 7
2.78・Rotor, 81. 94. , 111-・
Address specification, 82, 92, 112 Access (cross 1 to rank count), 83, 93, 113 - Servo head setting, 84. .. 94. .. 114 ・Rad seek operation to data, 85, 95, 11.5...Data head setting, 101. .. 123... Servo 1 ~ Easy, 10
2... Sector servo information, 122, 132... Embedded servo information, 103, 1.21, 131... Data track, 14]a, 14-1. b, 141c, 154a. 1541), 154c, - Servo Yatsu 1ku, 1.4
2 a. ]-42b, 142c-Servo 1~Rack, 1.
51-th” coarse movement actuator, 1.52a, 1
52b, ], 52o, ... second coarse movement actuator, ], 53 a, ] 53 b, 1-
53 c, - Fine movement actuator. (24) Figure U ((2-) Zf2Z (b) Figure 0-Z ¥9 Figure JP-A-134873 (10) Tomi 1 Figure ll

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、サーボ情報の書き込まれた記録媒体上に配置され、
上記記録媒体と相対的に移動する変換素子を用いて情報
の読み出し又は書き込みを行う情報記録装置に用いる変
換素子駆動装置において、データ読み出し、書き込み用
の変換素子と、サーボ情報読み出し用の変換素子が一つ
の剛体上に搭載され、かつ該データ用変換素子が該サー
ボ用変換素子に対して相対移動するように構成されてい
ることを特徴とする、変換素子駆動装置。 2、情報を記録したデータトラックが、定まつたトラッ
ク数で記録データ領域を形成し、各領域間にサーボ情報
を記録したサーボトラックが配されている記録媒体に、
請求項1記載の変換素子駆動装置を用いてデータ用変換
素子を所定のデータトラック上に位置決めすることを特
徴とする変換素子位置決め装置。 3、記録媒体上の記録データ領域にデータ読み出し、書
き込み用変換素子を位置決めするサーボ装置であつて、
上記記録媒体上にあつてサーボ情報を有するサーボトラ
ックに位置決めするためのサーボ用変換素子と、該サー
ボ用変換素子に近接して配置され、これと相対的に移動
可能なデータ用変換素子と上記サーボ用変換素子及びデ
ータ用変換素子を搭載する剛体と、該剛体を移動させる
ための粗動機構と、上記サーボ用変換素子を上記記録媒
体上の所定のサーボトラックに位置決めして整定する第
1のサーボ手段と、上記データ用変換素子を所定のデー
タトラックに位置決めする第2のサーボ手段を有するこ
とを特徴とするサーボ装置。 4、前記記録データ領域内に、一定のトラック間隔でサ
ーボ情報を含むサーボトラックを設け、前記サーボ用変
換素子がサーボトラックに追随し、データ用変換素子が
目的のデータトラックに位置決めする際、上記サーボ変
換素子の位置を基準として、該データ用変換素子を予め
定められた距離だけ相対移動させる手段を有することを
特徴とする特許請求範囲第1項から第3項に記載のサー
ボ装置。 5、前記記録データ領域内に、サーボ情報を含むセクタ
領域を複数設け、前記サーボ用変換素子がサーボトラッ
クに追随し、データ用変換素子が目的のデータトラック
に位置決めする際、上記サーボ用変換素子の位置を基準
として上記データ用変換素子を複数のセクタに分けられ
た位置決め情報により位置決めする手段を有することを
特徴とする特許請求範囲第3項に記載のサーボ装置。 6、少なくとも前記記録データ領域内は、サーボ情報を
記録した層とデータを記録した層の2層構造とし、上記
サーボ用変換素子がサーボトラックに追随し、データ用
変換素子が目的のデータトラックに位置決めする際、該
サーボ変換素子の位置を基準として該データ変換素子を
サーボ層の位置決め情報により位置決めする手段を有す
ることを特徴とする特許請求範囲第3項に記載のサーボ
装置。 7、前記サーボ用変換素子と相対的に移動する前記デー
タ用変換素子は、圧電素子を用いた圧電アクチュエータ
又は、微細加工技術や半導体技術を用いた静電モータに
より相対移動されるこことを特徴とする特許請求範囲第
1項から第6項のうちいずれかに記載のサーボ装置。 8、前記データ用変換素子は、前記剛体上に複数個実装
されることを特徴とする特許請求範囲第1項から第7項
のうちいずれかに記載のサーボ装置。
[Claims] 1. Arranged on a recording medium on which servo information is written,
In a conversion element driving device used in an information recording device that reads or writes information using a conversion element that moves relative to the recording medium, a conversion element for reading and writing data and a conversion element for reading servo information are provided. 1. A conversion element driving device, which is mounted on one rigid body and configured such that the data conversion element moves relative to the servo conversion element. 2. A recording medium in which data tracks on which information is recorded form a recording data area with a fixed number of tracks, and servo tracks on which servo information is recorded are arranged between each area,
A conversion element positioning apparatus, characterized in that the conversion element driving apparatus according to claim 1 is used to position a data conversion element on a predetermined data track. 3. A servo device for positioning a conversion element for reading and writing data in a recorded data area on a recording medium,
a servo conversion element for positioning on a servo track having servo information on the recording medium; a data conversion element disposed close to the servo conversion element and movable relative to the servo conversion element; a rigid body on which a servo conversion element and a data conversion element are mounted; a coarse movement mechanism for moving the rigid body; and a first part for positioning and settling the servo conversion element on a predetermined servo track on the recording medium. A servo device comprising: a servo means; and a second servo means for positioning the data conversion element on a predetermined data track. 4. In the recording data area, servo tracks containing servo information are provided at regular track intervals, and when the servo conversion element follows the servo track and the data conversion element positions the target data track, the above-mentioned 4. The servo apparatus according to claim 1, further comprising means for relatively moving the data conversion element by a predetermined distance with respect to the position of the servo conversion element. 5. A plurality of sector areas containing servo information are provided in the recording data area, and when the servo conversion element follows a servo track and the data conversion element positions the target data track, the servo conversion element 4. The servo apparatus according to claim 3, further comprising means for positioning the data conversion element using positioning information divided into a plurality of sectors based on the position of the data conversion element. 6. At least the recorded data area has a two-layer structure of a layer in which servo information is recorded and a layer in which data is recorded, so that the servo conversion element follows the servo track, and the data conversion element follows the target data track. 4. The servo apparatus according to claim 3, further comprising means for positioning the data conversion element based on the position of the servo conversion element based on positioning information of the servo layer. 7. The data conversion element that moves relative to the servo conversion element is moved relatively by a piezoelectric actuator using a piezoelectric element or an electrostatic motor using microfabrication technology or semiconductor technology. A servo device according to any one of claims 1 to 6. 8. The servo device according to any one of claims 1 to 7, wherein a plurality of the data conversion elements are mounted on the rigid body.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6115223A (en) * 1996-12-04 2000-09-05 Seagate Technology, Inc. Elongate microactuator spanning leading edge surface of slider
US6600634B1 (en) * 1999-10-21 2003-07-29 Samsung Electronics Co., Ltd. Micro actuator
US6768610B1 (en) * 1997-08-27 2004-07-27 Seagate Technology Llc Microactuator servo system in a disc drive

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