JP2703073B2 - Conversion element driving device - Google Patents

Conversion element driving device

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JP2703073B2
JP2703073B2 JP27160189A JP27160189A JP2703073B2 JP 2703073 B2 JP2703073 B2 JP 2703073B2 JP 27160189 A JP27160189 A JP 27160189A JP 27160189 A JP27160189 A JP 27160189A JP 2703073 B2 JP2703073 B2 JP 2703073B2
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好文 松田
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気デイスク装置,磁気テープ装置,光磁
気デイスク装置,磁気カード装置等の情報記録装置の変
換素子駆動装置に係り、目的のデータトラツクに高精度
に位置決めする必要のある、特に高トラツク密度を狙う
大容量記憶装置に適用される変換素子駆動装置に関す
る。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conversion element driving device of an information recording device such as a magnetic disk device, a magnetic tape device, a magneto-optical disk device, a magnetic card device, and the like. The present invention relates to a conversion element driving device applied to a large-capacity storage device which needs to be positioned on a track with high accuracy, particularly, a high track density.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来の情報記録装置、例えば磁気デイスク装置は、大
容量化に伴いビツト密度と共にトラツク密度も高くなつ
ている。トラツクの高密度化により、トラツクピツチは
今や数μmのオーダーとなつており、変換素子(磁気ヘ
ツド)位置決めの高精度化はますます重要な課題となつ
てきている。従来の比較的位置決め精度の高いサーボ面
サーボ方式は、装置内の局部的な温度変化やアクチュエ
ータ等の変形などによつて、サーボ情報読み出し用変換
素子(以下サーボヘツド)とデータ読み出し、書き込み
用変換素子(以下データヘツド)との位置決め偏差が生
じることにより、位置決め誤差が発生する。そこでサー
ボ方式の位置決め高精度化の一つの手法に、サーボヘツ
ドとデータヘツドとの位置偏差の補正手段として、ヘツ
ドアクチュエータによる位置決め手段とは別に、ヘツド
素子部分のみの位置決め手段を設ける方法があり、例え
ば「特開昭62−250570」に示されている。これは従来の
VCMによるアクチュエータ駆動を粗動の位置決め用に使
用し、磁気ヘツドに近い部分に微動の位置決め用アクチ
ュエータを配するものである。
2. Description of the Related Art In a conventional information recording apparatus, for example, a magnetic disk apparatus, a track density as well as a bit density has been increased with an increase in capacity. Due to the increase in track density, track pitches are now on the order of a few μm, and increasing the accuracy of positioning the transducer (magnetic head) is becoming an increasingly important issue. The conventional servo surface servo method, which has relatively high positioning accuracy, uses a conversion element for reading servo information (hereinafter referred to as "servo head") and a conversion element for reading and writing data due to local temperature changes in the apparatus or deformation of an actuator. (Hereinafter referred to as a data head), a positioning error occurs. Therefore, as one method of increasing the positioning accuracy of the servo system, there is a method of providing positioning means only for the head element portion, separately from the positioning means using the head actuator, as a means for correcting the positional deviation between the servo head and the data head. It is shown in "JP-A-62-250570". This is the traditional
The actuator drive by VCM is used for coarse movement positioning, and a fine movement positioning actuator is arranged near the magnetic head.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

ところが上記技術は、データ面以外にサーボ面を持つ
ことが前提であり、サーボヘツドにより位置決めしたヘ
ツド位置と、実際のデータトラツクとの位置偏差とを比
較して補正することを目的としているため、サーボヘツ
ドからデータヘツド間の振動伝達特性や温度差等を考慮
したトラツク巾設計、制御系設計が必要となり、高トラ
ツク密度化に対しては伝達関数や補償回路の条件は厳し
いものとなつている。
However, the above technology is based on the premise that a servo surface is provided in addition to the data surface, and the purpose is to compare and correct the head position determined by the servo head with the positional deviation from the actual data track. Therefore, it is necessary to design a track width and a control system in consideration of vibration transfer characteristics between data heads, temperature differences, and the like, and the conditions of a transfer function and a compensation circuit are severe for high track density.

本発明の目的は、上記位置偏差を小さくし、伝達特性
を良好にした変換素子駆動装置を提供するところにあ
る。
An object of the present invention is to provide a conversion element driving device in which the above-mentioned positional deviation is reduced and transmission characteristics are improved.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記目的は次のようにして達成させることができる。
同一スライダ上にサーボヘツドとデータヘツドを搭載し
たヘツドを構成する。ここで、サーボヘツドはスライダ
上に固定され、データヘツドはマイクロアクチュエータ
によつて、サーホヘツドに対して相対移動が可能な構成
となつている。この際、マイクロアクチュエータの動作
特性は、100Hz〜数十kHzと広帯域である必要がある。こ
れに対して粗動用アクチュエータのサーボ帯域は、その
可動質量の大きさやベアリングガイドの摩擦などの機械
的特性によつて、最大でも数百Hz〜数kHzのクロスオー
バー周波数を持つ。このため、アクセスは粗動用アクチ
ュエータが担当し、整定時のセトリング振動や、フォロ
イング追従動作はマイクロアクチュエータが担当する構
成にする。
The above object can be achieved as follows.
A servo head and a data head are mounted on the same slider. Here, the servo head is fixed on the slider, and the data head is configured to be movable relative to the surf head by a microactuator. At this time, the operating characteristics of the microactuator need to be in a wide band of 100 Hz to several tens kHz. On the other hand, the servo band of the coarse actuator has a crossover frequency of several hundred Hz to several kHz at the maximum depending on the size of the movable mass and mechanical characteristics such as friction of the bearing guide. For this reason, a configuration is adopted in which the coarse actuator is in charge of the access, and the micro-actuator is in charge of the settling vibration at the time of settling and the following following operation.

一方、データ面上には、例えば所定の巾のデータゾー
ン間に、サーボ情報が1トラツクずつ記録されるような
パターンが媒体に記録される。または2層膜媒体におい
て、データ情報とサーボ情報を各々別の層に記録するこ
とも考えられ、媒体面の利用効率を考えると、後者の方
が有望である。
On the other hand, on the data surface, a pattern in which servo information is recorded one track at a time between data zones having a predetermined width is recorded on the medium. Alternatively, in a two-layer film medium, data information and servo information may be recorded on different layers, respectively. The latter is more promising in view of the efficiency of use of the medium surface.

〔作用〕[Action]

目標トラツクへのアクセス指令を受けたサーボヘツド
は、所定の速度カーブに従つて、目標データトラツクゾ
ーンを受け持つ目標サーボトラツクへ、位置決め動作を
行なう。サーボヘツドが目標位置へ整定時、データヘツ
ドを動かすマイクロアクチュエータにも目標データトラ
ツクへのアクセス指令が出され、それを受けてデータヘ
ツドが所定のアドレス情報をもとに、マイクロアクチュ
エータの動作によつて目標データトラツクへ高速、高精
度に整定される。フォロイング時には、サーボヘツドは
粗動用アクチュエータの伝達特性に従つてサーボトラツ
クへの追従を行い、データヘツドはマイクロアクチュエ
ータの伝達特性に従つて目標データトラツクへの追従を
行う。
The servo head that has received the command to access the target track performs a positioning operation on the target servo track that covers the target data track zone according to a predetermined speed curve. When the servo head has settled to the target position, a command to access the target data track is also issued to the microactuator that moves the data head, and the data head receives the command by the operation of the microactuator based on the predetermined address information. High-speed, high-accuracy settling to the target data track. At the time of following, the servo head follows the servo track according to the transfer characteristic of the coarse actuator, and the data head follows the target data track according to the transfer characteristic of the microactuator.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の第1〜第3実施例の基本構成を示し
た図である。サーボヘツド1はデータヘツド2と微動マ
イクロアクチュエータ3を介して接続されており、これ
らがひとつの剛体、例えばスライダ6上に搭載されてい
る。このスライダ6は、粗動用の、例えばVCMアクチュ
エータ4にシンバルバネ7等を介して接続されている。
VCMアクチュエータ4は、筐体5に直接、またはバネ9
を介して固定されている。また、サーボヘツド1及びデ
ータヘツド2は、記憶媒体、例えば高速回転する磁気デ
ィスク8と所定の間隔で保持されている。ここでサーボ
ヘツド1はスライダ6に固定されているが、データヘツ
ド2は微動マイクロアクチュエータ3によつてスライダ
6及びサーボヘツド1と相対的に運動することが可能で
ある。相対運動のストロークの望ましい値は、サーボ情
報とデータ情報のパターンに関係し、これについては次
に述べる。
FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of the first to third embodiments of the present invention. The servo head 1 is connected to the data head 2 via a fine movement microactuator 3, and these are mounted on one rigid body, for example, a slider 6. The slider 6 is connected to, for example, a VCM actuator 4 for coarse movement via a cymbal spring 7 or the like.
The VCM actuator 4 is directly attached to the housing 5 or a spring 9
Has been fixed through. The servo head 1 and the data head 2 are held at a predetermined interval from a storage medium, for example, a high-speed rotating magnetic disk 8. Here, the servo head 1 is fixed to the slider 6, but the data head 2 can move relative to the slider 6 and the servo head 1 by the fine movement microactuator 3. The desired value of the relative motion stroke is related to the servo information and data information patterns, which will be described below.

第2図は、磁気ディスク8上のサーボトラツクとデー
タトラツクのパターンを模式的に表わした図である。サ
ーボトラツク9a,9b,9cは所定の間隔で規則的に並び、定
まつた数のデータトラツク本数n本を含むデータゾーン
10a,10bがそれらの間に配される。データゾーンの巾
は、データのトラツクピツチをpとすれば、ほぼn×p
で表わされる。この大きさは、該マイクロアクチュエー
タ3のストロークにほぼ等しい。
FIG. 2 is a diagram schematically showing patterns of servo tracks and data tracks on the magnetic disk 8. The servo tracks 9a, 9b, 9c are regularly arranged at predetermined intervals, and include a data zone including a fixed number n of data tracks.
10a, 10b are arranged between them. The width of the data zone is approximately n × p, where p is the data track pitch.
Is represented by This size is substantially equal to the stroke of the microactuator 3.

サーボ信号の高品質化を考えると、サーボトラツク幅
は、データトラツク幅に対して比較的広くした方が都合
がよい。この場合、サーボ領域に多く面積を取られるた
めに、媒体面の利用効率が悪くなる。有効な媒体面利用
については、後ほど詳しく述べる。
In consideration of improving the quality of the servo signal, it is more convenient to make the servo track width relatively wider than the data track width. In this case, since the servo area requires a large area, the efficiency of using the medium surface is deteriorated. Effective use of the medium surface will be described later in detail.

第3図は、本発明の2段結合サーボ系のブロツク図で
ある。目標値X、データヘツド2の変位をXsとし、誤差
をXer、微動アクチュエータの安定性を補償する補償回
路31の特性をGc1(s)とする。その出力をesとし、微
動マイクロアクチュエータ系では、特性がGc2(s)の
補償回路32とこれに加わる外乱Fd、微動マイクロアクチ
ュエータの伝達関数33をGfine(s)とすると、微動マ
イクロアクチュエータによる変位はXfとなる。一方、粗
動アクチュエータ系は、特性がGc3(s)の補償回路34
とこれに加わる外乱Fd′、粗動アクチュエータの伝達関
数35をGcoarse(s)とすると、粗動アクチュエータに
よる変位はXcとなる。出力Xsは、微動アクチュエータに
よるデータヘツドの移動量Xfと、粗動アクチュエータに
よるサーボヘツドの移動量Xcの和として表せる。このよ
うな構成にすると、アクチュエータの摩擦、外部からの
振動といつた低周波の変動を、粗動アクチュエータの制
御ループによつて抑圧することが出来る。
FIG. 3 is a block diagram of a two-stage coupled servo system according to the present invention. The target value X, the displacement of the data head 2 is Xs, the error is Xer, and the characteristic of the compensation circuit 31 for compensating the stability of the fine actuator is G c1 (s). In the micro-actuator micro-actuator system, assuming that the output is e s and the compensation circuit 32 having the characteristic of G c2 (s), the disturbance Fd added thereto, and the transfer function 33 of the fine- movement micro-actuator are G fine (s), Is Xf. On the other hand, the coarse actuator system has a compensation circuit 34 having a characteristic of G c3 (s).
And the disturbance Fd 'added thereto and the transfer function 35 of the coarse actuator are G coarse (s), the displacement by the coarse actuator is Xc. The output Xs can be expressed as the sum of the movement amount Xf of the data head by the fine movement actuator and the movement amount Xc of the servo head by the coarse movement actuator. With such a configuration, low-frequency fluctuations such as friction of the actuator and external vibrations can be suppressed by the control loop of the coarse actuator.

また、例えばディスクリート媒体のような媒体面に固
定されたサーボパターントラツクへの追従が要求される
場合、トラツク偏心の主成分である低周波大振幅成分
に、粗動アクチュエータが追従することが出来る。
Further, for example, when it is required to follow a servo pattern track fixed on a medium surface such as a discrete medium, the coarse movement actuator can follow a low-frequency large-amplitude component which is a main component of the track eccentricity.

第4図(a)には、従来のサーボ面サーボ方式のアク
チュエータのオープンループ特性を模式的に示し、第4
図(b)には本発明の粗動用アクチュエータのオープン
ループ特性を、(c)には本発明の微動用マイクロアク
チュエータのオープンループ特性を、各々模式的に表し
た。従来のアクチュエータの伝達特性は、1kHz弱のクロ
スオーバー周波数41で、50゜以上の位相余裕をもたせて
いる。本発明においては、粗動用のアクチュエータは第
4図(a)に近い特性をもたせるが、特に低域周波数42
のゲインを高くとつておく。一方、微動用のアクチュエ
ータは、クロスオーバー周波数43が数kHzで、数十゜の
位相余裕をもたせることができる。低域周波数領域を、
粗動用アクチュエータに分担させ、高域周波数領域を微
動用アクチュエータに分担させるようにすれば、広い帯
域に渡つて常に安定した特性が得られる。従つて、これ
ら(a)と(b)の特性を組み合わせれば、十分帯域の
大きいサーボ系を設計することができる。
FIG. 4 (a) schematically shows the open loop characteristics of a conventional servo surface servo type actuator.
FIG. 7B schematically shows the open-loop characteristics of the coarse actuator according to the present invention, and FIG. 7C schematically shows the open-loop characteristics of the fine actuator according to the present invention. The transfer characteristics of the conventional actuator are such that a crossover frequency 41 of slightly less than 1 kHz has a phase margin of 50 ° or more. In the present invention, the actuator for coarse movement has characteristics close to those shown in FIG.
The gain of is kept high. On the other hand, the actuator for fine movement can have a crossover frequency 43 of several kHz and a phase margin of several tens of degrees. Low frequency range
If the actuator is assigned to the coarse actuator and the high frequency region is assigned to the actuator for fine movement, stable characteristics can always be obtained over a wide band. Therefore, by combining these characteristics (a) and (b), a servo system having a sufficiently large bandwidth can be designed.

第5図は、本発明の第1実施例のスライダ部分を模式
的に表わした図である。サーボヘツド51は、スライダ55
上に固定されており、データヘツド52は積層ピエゾ素子
等のアクチュエータ53を介して、可動部材54上に搭載さ
れている。可動部材54は、アクチュエータ53と衝撃吸収
材56によつて支持されており、スライダの走行方向、す
なわちトラツク方向に直角に動くことができる。しか
し、アクチュエータとしての積層ピエゾ素子は、スライ
ダ55上にこの実施例の方法で実装できる程度の大きさの
ものであると、ストロークが数μmと非常に小さく、機
械振動等に起因するサブミクロン程度の位置決め誤差を
吸収することは可能であるが、データトラツクのアクセ
スや、偏心等への追従に不向きである。
FIG. 5 is a diagram schematically showing a slider portion of the first embodiment of the present invention. Servo head 51 is attached to slider 55
The data head 52 is mounted on a movable member 54 via an actuator 53 such as a laminated piezo element. The movable member 54 is supported by the actuator 53 and the shock absorbing material 56, and can move at right angles to the running direction of the slider, that is, the track direction. However, if the laminated piezo element as an actuator is of a size that can be mounted on the slider 55 by the method of this embodiment, the stroke is as small as several μm, and is about submicron due to mechanical vibration and the like. Although it is possible to absorb the positioning error described above, it is not suitable for accessing the data track or following eccentricity.

第6図(a)は、本発明の第2実施例のスライダ部分
を模式的に表わした図である。サーボヘツド61は、スラ
イダ64上に固定されており、データヘツド62はマイクロ
アクチュエータ63上に搭載されている。マイクロアクチ
ュエータ63は、半導体技術を応用したマイクロファブリ
ケーション技術によつて作られた、静電リニアモータの
可動部である。このアクチュエータだと、数mm角の寸法
でストロークが数mmと稼げるため、アクセス用のアクチ
ュエータとして十分使用できる。
FIG. 6A is a diagram schematically showing a slider portion according to a second embodiment of the present invention. The servo head 61 is fixed on a slider 64, and the data head 62 is mounted on a microactuator 63. The microactuator 63 is a movable portion of an electrostatic linear motor made by a microfabrication technology using a semiconductor technology. With this actuator, a stroke of several mm can be obtained with a dimension of several mm square, so that it can be sufficiently used as an actuator for access.

第6図(b)は、本発明の第3実施例のスライダ部分
を模式的に表わした図である。サーボヘツド65はスライ
ダ68上に固定されており、データヘツド66a,66b,66c,…
は、上記と同様のマイクロアクチュエータ67上に搭載さ
れている。角データヘツド間の距離は、データトラツク
ピツチの整数倍とすると、一つのデータヘツドが所定の
トラツクに整定されたときに、他の残りのデータヘツド
も同時にそれぞれのデータトラツクに整定させることが
できる。即ち、位置決めされたデータヘツドはあたかも
全て一つのシリンダ上にあるかのごとくみなすことがで
きる。従つて、この構成にした場合、スループツトの向
上が期待される。
FIG. 6B is a diagram schematically showing a slider portion according to a third embodiment of the present invention. The servo head 65 is fixed on a slider 68, and the data heads 66a, 66b, 66c,.
Are mounted on a microactuator 67 similar to the above. If the distance between the angle data heads is an integral multiple of the data track pitch, when one data head is settled to a predetermined track, the other data heads can be settled to the respective data tracks at the same time. . That is, the positioned data heads can be regarded as if they were all on one cylinder. Therefore, with this configuration, an improvement in throughput is expected.

第7図は、本発明の微動マイクロアクチュエータとし
て使用されるリニア静電モータの例を、模式的に表した
図である。第7図(a)はその第1例で、リニア静電モ
ータの断面を表した図である。サーボヘツド71は静電モ
ータのいわゆるステータ部分74上、またはステータ74と
ともにスライダ73に固定される。データヘツド72は、静
電モータのいわゆるロータ部分75上に形成される。ロー
タ75は、適当な剛性を持つバネ部材76によつて、スライ
ダ73上に結合されている。ステータ74とロータ75に電荷
を蓄えることにより、静電力によつてロータ74とステー
タ75との電極の有効電場面積が変化し、バネ76と釣り合
いを保ちつつロータ72が移動する。
FIG. 7 is a diagram schematically showing an example of a linear electrostatic motor used as the fine movement microactuator of the present invention. FIG. 7 (a) is a first example showing a cross section of a linear electrostatic motor. The servo head 71 is fixed to a slider 73 on a so-called stator portion 74 of the electrostatic motor or together with the stator 74. The data head 72 is formed on a so-called rotor part 75 of the electrostatic motor. The rotor 75 is connected to the slider 73 by a spring member 76 having appropriate rigidity. By storing the electric charges in the stator 74 and the rotor 75, the effective electric field area of the electrodes of the rotor 74 and the stator 75 changes due to the electrostatic force, and the rotor 72 moves while maintaining balance with the spring 76.

第7図(b)はリニア静電モータの第2例で、スライ
ダ上に形成する形状を正面から見た図である。データヘ
ツド77はガイドレール80に沿つて直線移動する静電モー
タのロータ78上に形成されており、ステータ79はスライ
ダ上に固定される。ロータ78上に形成されている電極78
1,782,…は、ステータ上に形成されている電極791,792,
793,…と少しずつ位相がずれており、隣あう電極の極性
を順次切り替えることによつて、静電力によりロータ78
が移動する。このような構造は、半導体技術により磁気
ヘツド77とともに一度に形成することができる。
FIG. 7 (b) is a second example of the linear electrostatic motor, and is a view of the shape formed on the slider viewed from the front. The data head 77 is formed on a rotor 78 of an electrostatic motor that moves linearly along a guide rail 80, and a stator 79 is fixed on a slider. Electrode 78 formed on rotor 78
, Are electrodes 791,792, formed on the stator.
The phases are slightly shifted from 793,... By sequentially switching the polarities of the adjacent electrodes, so that the rotor 78
Moves. Such a structure can be formed at once with the magnetic head 77 by semiconductor technology.

第8図は、本発明の適用方法の一実施例を示した図で
ある。まず、所定のデータトラツクへのアドレス指定81
が出されたとき、そのデータトラツクを含むゾーンを受
け持つサーボトラツクへ、サーボヘツドがクロストラツ
クカウントしながらアクセス82する。サーボヘツドがサ
ーボトラツクへ位置決め83し、閉ループ制御しながら整
定してから後、データヘツドは所定のアドレス情報に従
つて、サーボヘツドを基準とした位置からの距離を算出
して移動84し、位置決め、整定85する。この方法は、サ
ーボヘツドがサーボトラツクへ整定83してから先が開ル
ープ制御となつており、超高トラツク密度化には不向き
である。
FIG. 8 is a diagram showing one embodiment of an application method of the present invention. First, addressing a given data track 81
Is issued, the servo head accesses 82 to the servo track serving the zone including the data track while counting the cross track. After the servo head has positioned 83 on the servo track and settled while performing closed loop control, the data head calculates the distance from the position based on the servo head according to the predetermined address information and moves 84 to position, set, and settle. 85. In this method, the servo head is set to the servo track 83 and then the open loop control is performed first, which is not suitable for ultra-high track density.

第9図は、本発明の適用方法の別の実施例を示した図
である。まず、所定のデータトラツクへのアドレス指令
91が出されたとき、そのデータトラツクを含むゾーンを
受け持つサーボトラツクへ、サーボヘツドがアクセス92
する。サーボヘツドがサーボトラツクへ位置決め93し、
閉ループ制御しながら整定してから後、データヘツド
は、ゾーン内のセクタサーボ情報、または埋め込みサー
ボ情報をもとに所定のデータトラツクに移動94して精密
位置決めし、閉ループ制御しながら整定する。
FIG. 9 is a diagram showing another embodiment of the application method of the present invention. First, the address command to the specified data track
When 91 is issued, the servo head accesses the servo track that covers the zone containing the data track.
I do. The servo head positions 93 to the servo track,
After settling under closed loop control, the data head is moved 94 to a predetermined data track based on sector servo information or embedded servo information in the zone to perform precise positioning, and settled under closed loop control.

第10図は、本発明の適用方法の別の実施例を示した図
である。まず、所定のデータトラツクへのアドレス指令
101が出されたとき、そのデータトラツクを含むゾーン
を受け持つサーボトラツクへ、サーボヘツドがアクセス
102する。サーボヘツドはサーボトラツクへ粗位置決め1
03し、閉ループ制御しながら整定する。これと並行して
データヘツドは所定のデータトラツクへアクセス動作10
4を行ない、精密位置決めをゾーン内のセクタサーボ情
報、または埋め込みサーボ情報をもとに、閉ループ制御
しながら行ない、整定する。
FIG. 10 is a diagram showing another embodiment of the application method of the present invention. First, the address command to the specified data track
When 101 is issued, the servo head accesses the servo track that covers the zone containing the data track.
102. Servo head is roughly positioned on servo track 1
03, and settle under closed loop control. At the same time, the data head accesses the specified data track.
Step 4 is performed, and precise positioning is performed while performing closed loop control based on sector servo information or embedded servo information in the zone, and settled.

第11図は、第9図、または第10図で示した実施例に適
用される媒体面のフオーマツト例の一つを模式的に表わ
した図である。記録情報のパターンは、本発明のサーボ
トラツクゾーン111と、セクタサーボ情報112と、データ
ゾーン113とで構成される。アクセス時は、サーボヘツ
ドがサーボトラツク111をクロストラツクカウントする
ので、従来のセクタサーボ方式に比べて、シーク時間は
大幅に短縮される。
FIG. 11 is a diagram schematically showing one example of a medium surface format applied to the embodiment shown in FIG. 9 or FIG. The recording information pattern includes a servo track zone 111, sector servo information 112, and a data zone 113 according to the present invention. At the time of access, the servo head counts the cross track of the servo track 111, so that the seek time is greatly reduced as compared with the conventional sector servo system.

第12図は、第9図、または第10図に示した実施例に適
用される媒体の、別の例の構造を表した図である。媒体
の表層部にはデータ121を、下層部にサーボ情報122を記
録する構造になつている。各ゾーンを受け持つサーボト
ラツクは、媒体表層部123にも記録される。すなわち、
サーボトラツク123はサーボヘツドが追従するためのト
ラツクであり、サーボトラツク122はデータヘツドが正
しくトラツク上にフォロイングするためとトラツクであ
る。
FIG. 12 is a diagram showing the structure of another example of the medium applied to the embodiment shown in FIG. 9 or FIG. The structure is such that data 121 is recorded on the surface layer of the medium and servo information 122 is recorded on the lower layer. The servo tracks for each zone are also recorded on the medium surface layer 123. That is,
The servo track 123 is a track for the servo head to follow, and the servo track 122 is a track for the data head to correctly follow on the track.

第13図は、第9図,または第10図で示した実施例に適
用される媒体の別の構造の例を表わした図である。媒体
表層部にはデータ131のみを記録する。この方法では、
下層のサーボ情報132の上にもデータ情報を記録するこ
とができ、媒体面の利用効率がよい。尚、第12図〜第13
図で説明した埋込サーボ方式を使用する場合には、デー
タ信号とサーボ信号の書き込み周波数を変え、一度に読
み込まれる両方の信号をフィルター回路によつて選り分
ける必要がある。また、データ層とサーボ層の磁性膜の
特性、例えば保磁力や飽和磁化を変えたり、データヘツ
ドとサーボヘツドの形状や材質、例えばギャツプ長や飽
和磁束密度を適当に設定することによつて、品質のよい
サーボ信号を取り出すことができる。一例として、下層
のサーボ層の磁性膜には上層のデータ層の磁性膜に比べ
て、保磁力の小さいものを使い、サーボヘツドのギャツ
プ長と飽和磁束密度が、データヘツドのギャツプ長と飽
和磁束密度に比べて大きいものを使用すると、特性の良
いヘツド/媒体系が得られる。
FIG. 13 is a diagram showing another example of the structure of the medium applied to the embodiment shown in FIG. 9 or FIG. Only the data 131 is recorded on the medium surface layer. in this way,
Data information can also be recorded on the lower-layer servo information 132, and the efficiency of using the medium surface is good. FIG. 12 to FIG. 13
In the case of using the embedded servo system described in the drawing, it is necessary to change the write frequency of the data signal and the servo signal, and to select both signals read at a time by a filter circuit. The quality can be improved by changing the properties of the magnetic films of the data layer and the servo layer, for example, the coercive force and the saturation magnetization, and by appropriately setting the shapes and materials of the data head and the servo head, for example, the gap length and the saturation magnetic flux density. A good servo signal. As an example, the magnetic film of the lower servo layer should be smaller in coercive force than the magnetic film of the upper data layer, and the gap length of the servo head and the saturation magnetic flux density should be equal to the gap length of the data head and the saturation magnetic flux density. Use of a head / medium system having a larger characteristic than that of the above can provide a head / medium system having good characteristics.

媒体がスタツク(積層)された装置においては、デー
タ面サーボにおいて問題点が生じる。第14図はスタツク
装置におけるデータ面サーボ方式の問題点を説明するた
めの図である。サーボヘツド141aが所定のサーボトラツ
ク142aに位置決めされたとしても、他のサーボヘツド14
1b,141cは、熱変位等の原因により、サーボトラツク142
b,142cに正確に位置決めするとは限らない。各ヘツドが
同一シリンダ上にあれば、各ヘツドより情報を一度に読
み出すことによつて、スループツトは向上する。従つて
サーボヘツド位置ずれを起こしたとしても、各データヘ
ツドが同一シリンダ上にあればよい。従つて、サーボヘ
ツドは最適の位置に位置決めされていなくても、データ
ヘツドが所定トラツクに位置決めされれば良いのである
から、各サーボヘツドは、各々のサーボヘツドの位置ず
れ量に基づいたデータヘツドの位置決めを、各々のスラ
イダごとに行なえばよい。この時、サーボヘツドの位置
ずれ量がデータヘツドの可動範囲にあるならば、データ
ヘツドは位置決めできる。しかし、位置ずれ量がデータ
ヘツドの可動範囲よりも大きいところにあると、データ
ヘツドの位置決めはできなくなる。
In an apparatus in which media are stacked (stacked), a problem occurs in data surface servo. FIG. 14 is a diagram for explaining a problem of the data surface servo system in the stack device. Even if the servo head 141a is positioned at the predetermined servo track 142a, the other servo head 14a
1b and 141c are the servo tracks 142
It is not always the case that it is accurately positioned at b, 142c. If each head is on the same cylinder, the throughput is improved by reading information from each head at once. Therefore, even if the servo head position shifts, each data head only needs to be on the same cylinder. Therefore, even if the servo head is not positioned at the optimum position, it is sufficient that the data head is positioned at a predetermined track, and each servo head determines the position of the data head based on the amount of displacement of each servo head. , For each slider. At this time, if the amount of displacement of the servo head is within the movable range of the data head, the data head can be positioned. However, if the displacement is larger than the movable range of the data head, the data head cannot be positioned.

上記データ面サーボ方式の問題点の別の解決方法とし
ては、第15図に示されるように、第1の粗動用アクチュ
エータ151に、磁気ディスク157a,157b,157c上に浮上す
る各スライダ156a,156b,156c,…,に接続するスライダ
支持部材上に粗動用の第2のアクチュエータ152a,152b,
152c,…を設け、各スライダ上に設けられたサーボヘツ
ド154a,154b,154c,…,微動アクチュエータ153a,153b,1
53c,…,データヘツド155a,155b,155c,…,を、該粗動
用アクチュエータ152a,152b,152c,…,によつて、それ
ぞれのスライダごとに個別に動かすものとする。各サー
ボヘツドの位置ずれ量は検知され、それぞれのスライダ
ごとに粗動用第2アクチュエータによつてただちに補正
される。この時、粗動用アクチュエータ152a,152b,152
c,…は、サーボヘツドの位置ずれが生じたときにのみ移
動する。または、第1の粗動用アクチュエータ151と、
第2の粗動用アクチュエータ152a,152b,152c,…,及び
微動用アクチュエータ153a,153b,153c,…に、各々低周
波数領域、中周波数領域、高周波数領域を受け持たせて
駆動する、3段アクチュエータとして使用することも考
えられるが、回路構造が複雑になる。
As another solution to the above-mentioned problem of the data surface servo method, as shown in FIG. 15, a first coarse movement actuator 151 is provided with sliders 156a, 156b floating above magnetic disks 157a, 157b, 157c. , 156c,..., The second coarse actuators 152a, 152b,
, And servo heads 154a, 154b, 154c,..., Fine movement actuators 153a, 153b, 1 provided on each slider.
The data heads 155a, 155b, 155c,... Are individually moved for each slider by the coarse movement actuators 152a, 152b, 152c,. The amount of displacement of each servo head is detected and immediately corrected by the second coarse movement actuator for each slider. At this time, the coarse movement actuators 152a, 152b, 152
c,... move only when the servo head is displaced. Or, a first coarse actuator 151,
, And fine movement actuators 153a, 153b, 153c,..., Respectively, are driven in a low frequency region, a medium frequency region, and a high frequency region, respectively. However, the circuit structure becomes complicated.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、例えばスタツクされた磁気ディスク
装置のデータトラツクへの位置決め精度を著しく向上さ
せ、また高TPIにおけるデータのアクセス速度の向上が
期待できる。これは、磁気記録ファイルのトラツク密度
を高める可能性を大きくする重要な技術要因であり、装
置の高性能化に大きく寄与するものである。
According to the present invention, for example, the positioning accuracy of a stacked magnetic disk device with respect to a data track can be significantly improved, and an improvement in data access speed at a high TPI can be expected. This is an important technical factor for increasing the possibility of increasing the track density of the magnetic recording file, and greatly contributes to the high performance of the device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の第1〜第3実施例の模式図、第2図は
本発明の実施例のサーボトラツクとデータトラツクの書
き込みパターンの基本構成を模式的に表した図、第3図
は本発明の2段結合サーボ系のブロツク図、第4図は各
サーボ系のオープンループ特性を表すグラフの図、第5
図及び第6図は、本発明の第1から第3実施例の2段結
合サーボ系の構成を模式的に表した図、第7図は本発明
の微動マイクロアクチュエータの構造と動作を説明する
ための模式図、第8図〜第10図は、本発明の実施例の適
用方法を表した流れ図、第11図及び第12図、第13図は、
本発明のサーボ及びデータトラツクパターンの種々の例
を模式的に表した図、第14図は、媒体スタツク装置にお
ける本発明適用の問題点を説明するための模式図、第15
図は、上記問題点の解決方法の一例を説明するための装
置の構成図である。 1……サーボヘツド、2……データヘツド、3……微動
マイクロアクチュエータ、4……粗動マイクロアクチュ
エータ、5……筐体、6……スライダ、8……ディス
ク、9a,9b,9c……サーボトラツク、10a,10b……データ
トラツクゾーン、31,32,34……補償回路、33……微動ア
クチュエータの伝達関数、35……粗動アクチュエータの
伝達関数、41……従来装置のクロスオーバー周波数、43
……本発明微動マイクロアクチュエータのクロスオーバ
ー周波数、51,61,65……サーボヘツド、52,62,66a,66b,
66c……データヘツド、53,63,67……アクチュエータ、5
5,64,68……スライダ、71……サーボヘツド、72,77……
データヘツド、74,79……ステータ、72,78……ロータ、
81,94,111……アドレス指定、82,92,112……アクセス
(クロストラツクカウント)、83,93,113……サーボヘ
ツド整定、84,94,114……データヘツドシーク動作、85,
95,115……データヘツド整定、101,123……サーボトラ
ツク、102……セクタサーボ情報、122,132……埋込サー
ボ情報、103,121,131……データトラツク、141a,141b,1
41c,154a,154b,154c,……サーボヘツド、142a,142b,142
c……サーボトラツク、151……第1の粗動用アクチュエ
ータ、152a,152b,152c,……第2の粗動用アクチュエー
タ、153a,153b,153c,……微動用アクチュエータであ
る。
FIG. 1 is a schematic diagram of the first to third embodiments of the present invention, and FIG. 2 is a diagram schematically showing a basic configuration of a servo track and a data track write pattern of the embodiment of the present invention. FIG. 4 is a block diagram of a two-stage coupled servo system of the present invention, FIG. 4 is a graph showing open loop characteristics of each servo system, and FIG.
FIGS. 6 and 7 are diagrams schematically showing the configuration of a two-stage coupled servo system according to the first to third embodiments of the present invention, and FIG. 7 explains the structure and operation of the fine movement microactuator of the present invention. FIGS. 8 to 10 are schematic diagrams for illustrating a method of applying the embodiment of the present invention, FIGS. 11 and 12, and FIG.
FIG. 14 is a diagram schematically showing various examples of the servo and data track patterns of the present invention. FIG. 14 is a schematic diagram for explaining the problem of applying the present invention to a medium stack device, and FIG.
FIG. 1 is a configuration diagram of an apparatus for explaining an example of a method for solving the above problem. 1 ... servo head, 2 ... data head, 3 ... fine movement microactuator, 4 ... coarse movement microactuator, 5 ... housing, 6 ... slider, 8 ... disk, 9a, 9b, 9c ... servo Track, 10a, 10b… Data track zone, 31, 32, 34… Compensation circuit, 33… Transfer function of fine actuator, 35… Transfer function of coarse actuator, 41… Crossover frequency of conventional device, 43
...... Crossover frequency of the micro-actuator of the present invention, 51, 61, 65 ...... Servo head, 52, 62, 66a, 66b,
66c …… Data head, 53, 63, 67 …… Actuator, 5
5, 64, 68 ... slider, 71 ... servo head, 72, 77 ...
Data head, 74,79 …… Stator, 72,78 …… Rotor,
81,94,111… Address designation, 82,92,112… Access (cross track count), 83,93,113… Servo head set, 84,94,114… Data head seek operation, 85,
95,115… Data head setting, 101,123… Servo track, 102… Sector servo information, 122,132… Embedded servo information, 103,121,131… Data track, 141a, 141b, 1
41c, 154a, 154b, 154c, ... servo heads, 142a, 142b, 142
c: servo track, 151: first actuator for coarse movement, 152a, 152b, 152c,... actuator for second coarse movement, 153a, 153b, 153c, actuator for fine movement.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮村 芳徳 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 ▲高▼野 公史 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 松田 好文 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 鈴木 幹夫 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 仲尾 武司 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献 実開 昭61−199761(JP,U) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Yoshinori Miyamura 1-280 Higashi Koikekubo, Kokubunji-shi, Tokyo Inside the Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd. Hitachi Central Research Laboratory Co., Ltd. (72) Yoshifumi Matsuda, Inventor 1-280 Higashi Koikekubo, Kokubunji-shi, Tokyo Tokyo Central Research Laboratory Co., Ltd. Inside the Central Research Laboratory (72) Inventor Takeshi Nakao 1-280 Higashi Koikekubo, Kokubunji-shi, Tokyo Inside the Central Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (56) Reference Reference

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】サーボ情報の書き込まれた記録媒体上に配
置され、上記記録媒体と相対的に移動する変換素子を用
いて情報の読み出し又は書き込みを行う情報記録装置に
用いる変換素子駆動装置において、データ読み出し、書
き込み用の変換素子と、サーボ情報読み出し用の変換素
子が一つの剛体上に搭載され、かつ該データ用変換素子
が該サーボ用変換素子に対して相対移動するように構成
されていることを特徴とする、変換素子駆動装置。
1. A conversion element driving apparatus used in an information recording apparatus for reading or writing information using a conversion element which is arranged on a recording medium on which servo information is written and moves relatively to the recording medium, A conversion element for reading and writing data and a conversion element for reading servo information are mounted on one rigid body, and the data conversion element is configured to move relative to the servo conversion element. A conversion element driving device, characterized in that:
【請求項2】情報を記録したデータトラツクが、定まつ
たトラック数で記録データ領域を形成し、各領域間にサ
ーボ情報を記録したサーボトラツクが配されている記録
媒体に、請求項1記載の変換素子駆動装置を用いてデー
タ用変換素子を所定のデータトラツク上に位置決めする
ことを特徴とする変換素子位置決め装置。
2. The recording medium according to claim 1, wherein the data track on which the information is recorded forms a recording data area with a fixed number of tracks, and a servo track on which servo information is recorded is arranged between each area. A conversion element positioning apparatus for positioning a data conversion element on a predetermined data track by using the conversion element driving device.
【請求項3】記録媒体上の記録データ領域にデータ読み
出し、書き込み用変換素子を位置決めするサーボ装置で
あつて、上記記録媒体上にあつてサーボ情報を有するサ
ーボトラツクに位置決めするためのサーボ用変換素子
と、該サーボ用変換素子に近接して配置され、これと相
対的に移動可能なデータ用変換素子と上記サーボ用変換
素子及びデータ用変換素子を搭載する剛体と、該剛体を
移動させるための粗動機構と、上記サーボ用変換素子を
上記記録媒体上の所定のサーボトラツクに位置決めして
整定する第1のサーボ手段と、上記データ用変換素子を
所定のデータトラツクに位置決めする第2のサーボ手段
を有することを特徴とするサーボ装置。
3. A servo device for positioning a data read / write conversion element on a recording data area on a recording medium, and a servo conversion for positioning on a servo track having servo information on the recording medium. An element, a data conversion element which is arranged in proximity to the servo conversion element and is relatively movable, and a rigid body on which the servo conversion element and the data conversion element are mounted, and for moving the rigid body. Coarse movement mechanism, first servo means for positioning and setting the servo conversion element on a predetermined servo track on the recording medium, and second servo means for positioning the data conversion element on a predetermined data track. A servo device comprising servo means.
【請求項4】前記記録データ領域内に、一定のトラツク
間隔でサーボ情報を含むサーボトラツクを設け、前記サ
ーボ用変換素子がサーボトラツクに追随し、データ用変
換素子が目的のデータトラツクに位置決めする際、上記
サーボ変換素子の位置を基準として、該データ用変換素
子を予め定められた距離だけ相対移動させる手段を有す
ることを特徴とする特許請求範囲第1項から第3項に記
載のサーボ装置。
4. A servo track including servo information is provided at a fixed track interval in the recording data area, the servo conversion element follows the servo track, and the data conversion element positions the target data track. 4. The servo device according to claim 1, further comprising means for relatively moving the data conversion element by a predetermined distance based on the position of the servo conversion element. .
【請求項5】前記記録データ領域内に、サーボ情報を含
むセクタ領域を複数設け、前記サーボ用変換素子がサー
ボトラツクに追随し、データ用変換素子が目的のデータ
トラツクに位置決めする際、上記サーボ用変換素子の位
置を基準として上記データ用変換素子を複数のセクタに
分けられた位置決め情報により位置決めする手段を有す
ることを特徴とする特許請求範囲第3項に記載のサーボ
装置。
5. A plurality of sector areas including servo information are provided in the recording data area, and the servo conversion element follows a servo track, and when the data conversion element is positioned at a target data track, the servo conversion element is used. 4. The servo device according to claim 3, further comprising means for positioning the data conversion element based on the positioning information divided into a plurality of sectors based on the position of the data conversion element.
【請求項6】少なくとも前記記録データ領域内は、サー
ボ情報を記録した層とデータを記録した層の2層構造と
し、前記サーボ用変換素子がサーボトラツクに追随し、
データ用変換素子が目的のデータトラツクに位置決めす
る際、該サーボ変換素子の位置を基準として該データ変
換素子をサーボ層の位置決め情報により位置決めする手
段を有することを特徴とする特許請求範囲第3項に記載
のサーボ装置。
6. At least the recording data area has a two-layer structure of a layer on which servo information is recorded and a layer on which data is recorded, wherein the servo conversion element follows a servo track.
4. The apparatus according to claim 3, further comprising means for positioning said data conversion element based on the servo layer positioning information with reference to the position of said servo conversion element when the data conversion element positions the target data track. The servo device according to item 1.
【請求項7】前記サーボ用変換素子と相対的に移動する
前記データ用変換素子は、圧電素子を用いた圧電アクチ
ュエータ又は、微細加工技術や半導体技術を用いた静電
モータにより相対移動されるこことを特徴とする特許請
求範囲第1項から第6項のうちいずれかに記載のサーボ
装置。
7. The data conversion element, which moves relatively to the servo conversion element, is relatively moved by a piezoelectric actuator using a piezoelectric element or an electrostatic motor using fine processing technology or semiconductor technology. The servo device according to any one of claims 1 to 6, characterized in that:
【請求項8】前記データ用変換素子は、前記剛体上に複
数個実装されることを特徴とする特許請求範囲第1項か
ら第7項のうちいずれかに記載のサーボ装置。
8. The servo device according to claim 1, wherein a plurality of said data conversion elements are mounted on said rigid body.
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