JPH03130570U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るＬＳＩテスタのテストヘ
ツド側のコンタクトリングの一実施例を示す側断
面図、第２図は第１図のＤ−Ｄ′面の断面図、第
３図は本考案に用いられるスプリングプランジヤ
ーの要部を示す構成図、第４図はガイド穴とピン
の嵌合の状態を示す構成断面図、第５図は従来の
ＬＳＩテスタの一例を示す構成側面図、第６図は
コンタクトリングとインサートリングの要部を示
す断面図、第７図は第６図のＢ−Ｂ′面の断面図
である。 １……テストヘツド、１１……コンタクトリン
グ、１２……ガイド穴、１３……ホルダー、１４
……回転テーブル、１５……回転ローラー、１６
……接触ピン、１８……スプリングプランジヤー
、１８１……ネジ部、１８２……ナツト部、１８
３……スプリング部、１８４……ボール部、２…
…プローバ、２１……インサートリング、２２…
…ピン、２７……ウエハー、２８……ステージ、
３……回転軸支持台。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 テストヘツド先端に取り付けられたコンタクト
   リングを、プローバに設けられたインサートリン
   グに連結することによつてテストヘツドをプロー
   バに装着し、プローバのステージ上に載置された
   ウエハーを検査するＬＳＩテスタにおいて、 前記コンタクトリングは、 円筒形状をしていて、前記テストヘツドに固定
   されたホルダーと、 前記ホルダーに対して回転可能になつていて、
   前記インサートリングに対してピンと穴の関係で
   連結される連結部が設けられた回転テーブルと、 前記ホルダーの円周を等分割する位置に少なく
   とも３個固定されていて、内部に、半径方向に弾
   性力を持ち先端にボールが取り付けられたスプリ
   ングを有するスプリングプランジヤーと、 を具備することを特徴とするＬＳＩテスタ。