JPH03130401U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03130401U JPH03130401U JP3896490U JP3896490U JPH03130401U JP H03130401 U JPH03130401 U JP H03130401U JP 3896490 U JP3896490 U JP 3896490U JP 3896490 U JP3896490 U JP 3896490U JP H03130401 U JPH03130401 U JP H03130401U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- air
- air cylinder
- valve
- control valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例に係るアクチユエータ
の全体構成を示す図である。 1……エアシリンダ、2……制御弁、3……真
空ポンプ、11……ロツド側圧力室、12……ヘ
ツド側圧力室、P……給気ポート、R……排気ポ
ート。
の全体構成を示す図である。 1……エアシリンダ、2……制御弁、3……真
空ポンプ、11……ロツド側圧力室、12……ヘ
ツド側圧力室、P……給気ポート、R……排気ポ
ート。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 2つの圧力室を有するエアシリンダと、該エア
シリンダの各圧力室への圧気の給排を制御する制
御弁と、作動源としての真空ポンプとを備え、 上記制御弁の給気ポートは大気に開放されてい
る一方、排気ポートは真空ポンプに接続されてい
ることを特徴とする負圧作動アクチユエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3896490U JPH03130401U (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3896490U JPH03130401U (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03130401U true JPH03130401U (ja) | 1991-12-27 |
Family
ID=31547440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3896490U Pending JPH03130401U (ja) | 1990-04-10 | 1990-04-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03130401U (ja) |
-
1990
- 1990-04-10 JP JP3896490U patent/JPH03130401U/ja active Pending