JPH03126300A - Electronic component mounting device - Google Patents

Electronic component mounting device

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JPH03126300A
JPH03126300A JP1266881A JP26688189A JPH03126300A JP H03126300 A JPH03126300 A JP H03126300A JP 1266881 A JP1266881 A JP 1266881A JP 26688189 A JP26688189 A JP 26688189A JP H03126300 A JPH03126300 A JP H03126300A
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positional deviation
lead
transfer head
electronic component
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Shingo Tsuzuki
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  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable positional deviation, lifting, etc., to be detected accurately by roughly correcting the positional deviation of a chip by a rough correction device and then by measuring the lead of this chip using a fine measuring device. CONSTITUTION:The tip part of a lead L of a chip P contacts press-contact parts 44 and 45 and the positional deviation can be corrected by enabling an X table 21 to slide in XY direction. When the chip P is roughly corrected in this manner, a transfer head 7 arrives at the upper part of the chip P, moves this chip P to an area directly above a laser device C by taking it up, moves in XY direction there, and then performs scanning of laser light in direction S crossing the lead L protruding from four sides (a), (b), (c) and (d) of a molded body M, thus enabling a precise positional deviation, lifting, presence/absence, etc., of the lead L to be measured precisely, and the positional deviation of the tip P to be corrected, and them mounting it onto a printed circuit board 1.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は電子部品実装装置に関し、殊にQFPのような
リードを有するチップを、高速高精度で基板に実装する
ための装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to an electronic component mounting apparatus, and more particularly to an apparatus for mounting a chip having leads such as a QFP on a board at high speed and with high precision.

(従来の技術) ICチップ、LS’lチップのような電子部品(以下チ
ップという)を基板に実装する電子部品実装装置は、例
えばトレイ等のチップ供給部のチップを、移載ヘッドの
ノズルに吸着してティクアップし、XYθ方向の位置ず
れを補正したうえで、位置決め部に位置決めされた基板
に搭載するようになっている。
(Prior Art) An electronic component mounting apparatus that mounts electronic components (hereinafter referred to as chips) such as IC chips and LS'l chips on a substrate is configured to transfer chips from a chip supply section such as a tray to a nozzle of a transfer head. The device is picked up by suction, corrected for positional deviation in the XYθ directions, and then mounted on a board positioned in a positioning section.

xyθ方向の位置ずれ補正手段としては、従来、第9図
に示すように、トレイなどのチップ供給部101と基板
102の位置決め部1030間に、チップPの位置ずれ
観察テーブル104を設けたものが知られている。
Conventionally, as a means for correcting positional deviation in the xyθ directions, as shown in FIG. Are known.

その動作を説明すると、まずサブ移載ヘッド105がX
Y力方向移動してチップ供給部101のチップPをテー
ブル104に移載し、このテーブル104に設けられた
CCDカメラ106により、チップPのXYθ方向の位
置ずれを検出する。次いで移載ヘッド107のノズル1
08がチップPのセンターに着地してこのチップPをテ
ィクアップし、基板102に移送搭載する。その際、チ
ップPのXY力方向位置ずれは、移載ヘッド107のX
Y方向ストロークに、上記のようにして検出されたXY
力方向位置すれに基く補正値を加えることにより補正し
、またθ方向の位置ずれは、移載ヘッド107に装備さ
れたモータ109により、ノズル108をθ方向(ノズ
ル108の軸心を中心とする回転方向)に回転させるこ
とにより補正する。
To explain its operation, first, the sub transfer head 105
The chip P in the chip supply section 101 is transferred to the table 104 by moving in the Y force direction, and the positional shift of the chip P in the XYθ directions is detected by the CCD camera 106 provided on the table 104. Next, nozzle 1 of transfer head 107
08 lands on the center of the chip P, picks up the chip P, and transfers and mounts the chip P on the board 102. At this time, the positional deviation of the chip P in the XY force direction is caused by the
In the Y direction stroke, the XY detected as above
This is corrected by adding a correction value based on the positional deviation in the force direction, and the positional deviation in the θ direction is corrected by moving the nozzle 108 in the θ direction (centered on the axis of the nozzle 108) by a motor 109 installed in the transfer head 107. Correct by rotating in the rotation direction).

(発明が解決しようとする課題) しかしながら上記従来手段は、次のような問題があった
(Problems to be Solved by the Invention) However, the above conventional means has the following problems.

(1)QFPのようなリードを有するチップPにあって
は、リードを基板に印刷された回路パターンのランド(
電極部)に一致させて実装するものであるが、近年はリ
ードの本数は益々増加する傾向にあって、極細のリード
が小ピンチで多数本突設されているので、リードの位置
ずれを正確に検出する必要がある。しかしながら上記C
CDカメラ106による観察手段では、リードの位置ず
れを正確に検出することは困難であった。
(1) In a chip P having leads such as a QFP, the leads are connected to the lands of the circuit pattern printed on the substrate (
However, in recent years, the number of leads has been increasing, and many extremely thin leads are protruding with a small pinch, so it is possible to accurately detect lead misalignment. need to be detected. However, the above C
With the observation means using the CD camera 106, it is difficult to accurately detect positional deviation of the lead.

(2)サブ移載ヘッド105が観察テーブル104上に
到来して、チップPをテーブル104上に搭載している
時に、移載ヘッド107がチップPをティクアップする
為にテーブル104上に到来すると、サブ移載ヘッド1
05と移載ヘッド107は衝突してしまう。したがって
両ヘッド105,107がテーブル104上に到来する
タイミングをずらさねばならず、それだけデッドタイム
を生じて作業能率が低下する。
(2) When the sub transfer head 105 arrives on the observation table 104 and is loading the chip P on the table 104, when the transfer head 107 arrives on the table 104 to pick up the chip P. , sub transfer head 1
05 and the transfer head 107 collide. Therefore, the timings at which the heads 105 and 107 arrive on the table 104 must be staggered, which causes dead time and reduces work efficiency.

(3)またリードには浮きや曲りがあり、これがあると
リードを回路パターンのランドに正確に着地させること
はできないので、かかるチップは不良品として除去され
ねばならない。しかしながら上記CCDカメラでは、リ
ードの浮きや曲がりを検出することは困難若しくは不可
能であった。
(3) Also, the leads have floats and bends, which prevent the leads from landing accurately on the lands of the circuit pattern, so such chips must be removed as defective products. However, with the above CCD camera, it is difficult or impossible to detect floating or bending of the lead.

したがって本発明は、上記従来手段の問題点を解消した
電子部品実装装置を提供することを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus that solves the problems of the conventional means described above.

(課題を解決するための手段) このために本発明は、チップ供給部のチ・ノブを、位置
決め部に位置決めされた基板に移送搭載するようにした
電子部品実装装置において、上記チップ供給部と位置決
め部の間に、サブ移載ヘッドにより上記チップ供給部か
らチップが移載されるXY子テーブル、このXY子テー
ブルXY力方向の摺動により、このXY子テーブル上チ
ップのリードの先端部に押当して、このチップの位置ず
れを荒補正する位置規制部材を備えた荒補正装置を設け
、かつ荒補正がなされたチップを移載ヘッドによりティ
クアップして、上記位置決め部に位置決めされた基板へ
移送する移送路に、チップから突出するリードを微細計
測する微細計測装置を設けている。
(Means for Solving the Problems) For this purpose, the present invention provides an electronic component mounting apparatus in which a chi knob of a chip supply section is transferred and mounted on a board positioned in a positioning section. Between the positioning sections, there is an XY child table on which chips are transferred from the chip supply section by a sub-transfer head, and by the sliding of this XY child table in the XY force direction, the tip of the lead of the chip on this XY child table is A rough correction device including a position regulating member for roughly correcting the positional deviation of the chip by pressing is provided, and the rough-corrected chip is picked up by a transfer head and positioned in the positioning section. A micromeasuring device for micromeasuring the leads protruding from the chip is provided on the transfer path for transferring the chips to the substrate.

(作用) 上記構成において、チップ供給部のチップは、サブ移載
ヘッドによりXY子テーブル上移載される0次いでこの
XY子テーブルXY力方向摺動することにより、チップ
のリードの先端部は位置規制部材に押当して、そのXY
θ方向の位置ずれの荒補正がなされる。次いで荒補正が
なされたチップは、移載ヘッドにティクアップされて微
細計測装置へ移送され、リードの位置ずれや浮き等を精
密に計測した後、この位置ずれを補正して基板に搭載さ
れる。
(Function) In the above configuration, the chip in the chip supply unit is transferred onto the XY child table by the sub-transfer head.Then, by sliding this XY child table in the XY force direction, the tip of the chip lead is positioned. Press against the regulating member and
Rough correction of positional deviation in the θ direction is performed. The chip that has been roughly corrected is then picked up by a transfer head and transferred to a fine measurement device. After precisely measuring lead misalignment and floating, the chip is mounted on a board after correcting this misalignment. .

(実施例) 次に、図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。(Example) Next, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は電子部品実装装置の斜視図、第2図は同平面図
であって、本装置は、チップ供給部Aと、荒補正装置B
と、微細計測装置としてのレーザ装置Cと、基板1の位
置決め部りから成っている。チップ供給部Aにはトレイ
2が設けられており、そのポケットにはQFPのような
リードを有するチップPが収納されている。チップ供給
部としては、トレイ2以外にも、テープフィーダやチュ
ーブフィーダ等が多用される。
FIG. 1 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus, and FIG. 2 is a plan view of the same.
, a laser device C as a micromeasuring device, and a positioning section for the substrate 1. A tray 2 is provided in the chip supply section A, and a chip P having a lead such as a QFP is stored in a pocket of the tray 2. In addition to the tray 2, tape feeders, tube feeders, and the like are often used as chip supply units.

荒補正装置Bは、レーザ装置Cによるリードの精密な計
測に先立ち、リードが確実にレーザ装置Cの計測エリア
に入るように、チップPの位置ずれを荒補正するもので
あり、その詳細は後述する。3は、XY力方向移動して
、チップ供給部AのチップPをノズル4に吸着してティ
クアップし、荒補正装置Bに移送搭載するサブ移載ヘッ
ドである。
The rough correction device B roughly corrects the positional deviation of the chip P to ensure that the lead enters the measurement area of the laser device C prior to precise measurement of the lead by the laser device C, and the details will be described later. do. Reference numeral 3 denotes a sub-transfer head that moves in the XY force direction, picks up the chips P from the chip supply section A to the nozzle 4, and transfers and loads them onto the rough correction device B.

レーザ装置Cは、荒補正装置Bがら位置決め部りへのチ
ップPの移送路に配設されている。
The laser device C is disposed on a path for transporting the chip P from the rough correction device B to the positioning section.

レーザ装置Cの上面はV字形に切欠されており、その斜
面に、レーザ発光部5と受光部6が設けられている。7
は移載ヘッドであって、XY力方向移動して、荒補正装
置Bにおいて荒補正が終了したチップPをノズル8に吸
着してティクアップし、レーザ装置Cの上方に移送して
、そこでXY力方向移動することにより、レーザ発光部
5から照射されたレーザ光を、チップPの各辺から多数
突出するリードを横断する方向に照射し、その反射光を
受光部6に受光することにより、リードの位置ずれ、浮
き、有無等を精密に計測するものである。
The upper surface of the laser device C has a V-shaped notch, and a laser emitting section 5 and a light receiving section 6 are provided on the slope thereof. 7
is a transfer head that moves in the XY force direction, picks up the chip P that has been roughly corrected in the rough correction device B to the nozzle 8, transfers it to the upper part of the laser device C, and transfers it to the top of the laser device C, where it is By moving in the force direction, the laser light emitted from the laser emitting section 5 is irradiated in a direction across the leads protruding in large numbers from each side of the chip P, and the reflected light is received by the light receiving section 6. It precisely measures the positional deviation, floating, presence or absence of the lead, etc.

位置決め部りは、基板1を両側部がらクランプして固定
するクランプ部材9,9を備えている。10は基板1を
位置決め部りに搬入し、またここから搬出するコンベヤ
である。なお移載ヘッド3,7のxy方向移動手段など
の周知機構は説明を省略する。次に荒補正装置Bの詳細
な構造を説明する。
The positioning section includes clamp members 9, 9 for clamping and fixing the substrate 1 from both sides. Reference numeral 10 denotes a conveyor for carrying the substrate 1 into the positioning section and carrying it out from there. Note that a description of well-known mechanisms such as means for moving the transfer heads 3 and 7 in the x and y directions will be omitted. Next, the detailed structure of the rough correction device B will be explained.

第1図及び第2図において、1)はベース板であり、そ
の上面−側部にはシリンダ12が、また他側部にはYレ
ール13が配設されている。
In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1) is a base plate, on which a cylinder 12 is disposed on the top side and a Y rail 13 on the other side.

14はシリンダ12上に、ヒンジ15を中心に水平回転
自在に設けられた回転アーム、16はその先端部に装着
されたロール、17.18はエアチューブである。チュ
ーブ17.18からエアを出入させると、回転アーム1
4はヒンジ部15を中心に水平方向Nl、N2に回転す
る。
14 is a rotary arm provided on the cylinder 12 so as to be horizontally rotatable about a hinge 15; 16 is a roll attached to its tip; and 17 and 18 are air tubes. When air enters and exits from tubes 17 and 18, rotating arm 1
4 rotates around the hinge portion 15 in horizontal directions Nl and N2.

第1図及び第3図において、21はスライダ22を介し
て上記Yレール13上に摺動自在に配設されたYテーブ
ル、23はYテーブル21上に設けられたXレール、2
4はスライダ25を介してXレール23上に摺動自在に
配設されたXテーブルである。Xテーブル24は、コイ
ルばね材26により、シリンダ12側へ付勢されている
1 and 3, 21 is a Y table slidably disposed on the Y rail 13 via a slider 22, 23 is an X rail provided on the Y table 21, 2
Reference numeral 4 denotes an X table that is slidably disposed on the X rail 23 via a slider 25. The X table 24 is biased toward the cylinder 12 by a coil spring member 26 .

2’lYテーブル21の側面に装着されたブラケットで
あって、上記シリンダ12の上方まで延出している。こ
のブラケット27には長孔28が開孔されており、この
長孔28に上記ロール16が嵌合している。したがって
上述のように回転アーム14が水平回転して、ロール1
6がN1方向に回転すると、Yテーブル21はYレール
13に沿ってY1方向に摺動し、またロール16がN2
方向に回転すると、Yテーブル21はY2方向に摺動す
る。
This is a bracket attached to the side surface of the 2'lY table 21 and extends above the cylinder 12. A long hole 28 is formed in this bracket 27, and the roll 16 is fitted into this long hole 28. Therefore, as described above, the rotating arm 14 horizontally rotates, and the roll 1
6 rotates in the N1 direction, the Y table 21 slides in the Y1 direction along the Y rail 13, and the roll 16 rotates in the N2 direction.
When rotated in the direction, the Y table 21 slides in the Y2 direction.

31は上記ベース板1)の後縁部に設けられたブラケッ
トであり、ピン32に略り字形のレバー33が水平回転
自在に軸着されている(第4図も参照)、レバー33の
先端部にはロール34.35が軸着されている。36は
このレバー33を、第4図において反時計方向に付勢す
るコイルばね材、49はストッパーである。Yテーブル
21の先端角部には切欠部37が形成されており、後述
するように、ロール34はこの切欠部37に押当する。
31 is a bracket provided on the rear edge of the base plate 1), and a lever 33 in the shape of an abbreviation is pivoted to a pin 32 so as to be horizontally rotatable (see also FIG. 4). Rolls 34, 35 are mounted on the shaft. 36 is a coil spring member that biases the lever 33 in the counterclockwise direction in FIG. 4, and 49 is a stopper. A notch 37 is formed at the end corner of the Y table 21, and the roll 34 is pressed against this notch 37, as will be described later.

またXテーブル24の側面には、側板38が装着されて
おり、上記ロール35はこの側板38に押当する。第2
図において、39はXテーブル24に開孔された小孔、
40はXテーブル24に連結された吸引チューブであり
、その吸引力により、Xテーブル24上のチップPがが
たつかないように吸着する。
Further, a side plate 38 is attached to the side surface of the X table 24, and the roll 35 is pressed against this side plate 38. Second
In the figure, 39 is a small hole drilled in the X table 24;
A suction tube 40 is connected to the X table 24, and its suction force attracts the chip P on the X table 24 so that it does not shake.

第1図において、41.42は上記ベース材1)に立設
された支柱であり、上部にはカギ型の位置規制部材43
が設けられている。この位置規制部材43は、Xテーブ
ル24の直上にあって、その直交する内面には、X方向
押当部44とY方向押当部45が設けられている。また
押当部44.45の側面Sは、テーパ面となっている。
In FIG. 1, reference numerals 41 and 42 are pillars erected in the base material 1), and a key-shaped position regulating member 43 is attached to the upper part.
is provided. This position regulating member 43 is located directly above the X table 24, and is provided with an X-direction pressing portion 44 and a Y-direction pressing portion 45 on its orthogonal inner surface. Further, the side surface S of the pressing portion 44,45 is a tapered surface.

本装置は上記のような構成より成り、次に全体の動作を
説明する。
This device has the above-mentioned configuration, and the overall operation will be explained below.

当初、ロール16.XYテーフ゛ル21,24等は、第
1図で示す位置(第4図において、それぞれ添付符号a
で示す位置、また第2図では実線位置)にある。この状
態でサブ移載ヘッド3はチップ供給部AのチップPを吸
着し、Xテーブル24上に搭載する。なおサブ移載ヘッ
ド3は、チップPの大小にかかわらず、位置規制部材4
3に対向するエツジe(第2図参照)が同一地点に着地
するように、Xテーブル24上にチップPを搭載する。
Initially, roll 16. The XY tables 21, 24, etc. are located at the positions shown in FIG.
It is located at the position shown by (also the solid line position in FIG. 2). In this state, the sub-transfer head 3 picks up the chip P from the chip supply section A and mounts it on the X table 24. Note that the sub-transfer head 3 has a position regulating member 4 regardless of the size of the chip P.
The chip P is mounted on the X table 24 so that the edge e (see FIG. 2) facing the chip P lands on the same spot.

次いでシリンダ12が作動し、第4図において、ロール
16はN1方向に回動して、符号16aから16bで示
す位置まで回動する。このロール16の回動によりXテ
ーブル21及びこのXテーブル21上のXテーブル24
は、Yレール13に沿ってX1方向に距離y1摺動し、
符号21a、24aで示す位置から21b、24bで示
す位置まで摺動する。
Next, the cylinder 12 is actuated, and in FIG. 4, the roll 16 is rotated in the N1 direction from 16a to the position indicated by 16b. The rotation of this roll 16 causes the X table 21 and the X table 24 on this X table 21 to
slides a distance y1 in the X1 direction along the Y rail 13,
It slides from the positions 21a and 24a to the positions 21b and 24b.

この位置で、上記ロール34はXテーブル21の切欠部
37に押当するが、ロール16が16bから16Cで示
す位置へなおも回動して、Xテーブル21が21bから
21cで示す位置まで距離y2摺動することにより、ロ
ール34は切欠部37に押されて、第4図において実線
位置mから鎖線位置nへ時計方向にわずかに回動する。
In this position, the roll 34 presses against the notch 37 of the X-table 21, but the roll 16 still rotates from 16b to the position 16C, and the X-table 21 moves a distance from 21b to the position 21c. By sliding y2, the roll 34 is pushed by the notch 37 and rotates slightly clockwise from the solid line position m to the chain line position n in FIG.

するとレバー33は時計方向に若干回転して、もう一方
のロール35はXテーブル24の側板38に押当し、X
テーブル21をX1方向に距離x1摺動させる。第4図
において符号16c、21c、24c、28cは、この
ようにしてxi、yl摺動した各部材の最終位置を示し
ている。
Then, the lever 33 rotates slightly clockwise, the other roll 35 presses against the side plate 38 of the X table 24, and the
The table 21 is slid a distance x1 in the X1 direction. In FIG. 4, numerals 16c, 21c, 24c, and 28c indicate the final positions of the respective members xi and yl slid in this manner.

このようにしてXテーブル21がXY力方向距離xi、
yl摺動することにより、チップPのリードしの先端部
は、上記押当部44.45に当って、XYθ方向の位置
ずれが補正される。
In this way, the X table 21 has a distance xi in the XY force direction,
By sliding, the tip of the lead of the chip P comes into contact with the pressing portions 44 and 45, and the positional deviation in the XYθ directions is corrected.

ところでこのような補正手段によっては、要求される実
装精度を満足するように、チップPの位置ずれを精密に
補正することは困難である。
However, with such a correction means, it is difficult to accurately correct the positional deviation of the chip P so as to satisfy the required mounting accuracy.

したがってこの補正は、リードLをレーザ装置Cの計測
エリアに確実に位置させるために行われる荒補正であり
、精密な補正は、この荒補正に引き続いてレーザ装置C
により行われる。
Therefore, this correction is a rough correction performed to ensure that the lead L is located in the measurement area of the laser device C, and a precise correction is performed following this rough correction.
This is done by

このようにしてチップPの荒補正がなされたならば、移
載ヘッド7はチップPの上方に到来し、このチップPを
ティクアップして上記レーザ装Hcの直上へ移送し、そ
こで第6図に示すように、XY力方向移動して、レーザ
光をモールド体Mの4辺a、  b、  c、  dか
ら突出するリードLを横断する方向Sにスキャニングさ
せることにより、リードしの精密な位置ずれや、浮き、
有無等を計測し、チップPのXYθ方向の位置ずれを補
正したうえで、基板lに搭載する。
Once the chip P has been roughly corrected in this way, the transfer head 7 arrives above the chip P, picks up the chip P, and transfers it directly above the laser equipment Hc, where it is shown in FIG. As shown in the figure, by moving in the XY force directions and scanning the laser beam in the direction S that crosses the leads L protruding from the four sides a, b, c, and d of the mold body M, the precise position of the leads can be determined. Misalignment, lifting,
After measuring the presence or absence of the chip P and correcting the positional deviation of the chip P in the XYθ directions, the chip P is mounted on the substrate l.

この位置ずれ補正は、移載ヘッド7のXY方向ストロー
クの補正や、ノズル8のθ回転等による周知補正手段に
より行われる。レーザ装置Cのレーザ光の光束は極細で
あり、対象物に反射された反射光の受光部6への入射位
置から、対象物の位置をきわめて高精度で計測できるも
のであり、したがってレーザ装置Cを使用することによ
り、リードしの位置ずれや浮き等を精密に計測すること
ができる。
This positional deviation correction is performed by well-known correction means such as correction of the XY direction stroke of the transfer head 7 and θ rotation of the nozzle 8. The beam of the laser beam of the laser device C is extremely fine, and the position of the object can be measured with extremely high precision from the incident position of the reflected light from the object to the light receiving section 6. Therefore, the laser device C By using this, it is possible to precisely measure the positional deviation and floating of the lead.

また第2図において、Ql、Q2.Q3は、それぞれサ
ブ移載ヘッド3、XYXテーブル2124、移載ヘッド
7の軌跡であり、トレイ2から基板1までのチップPの
移送は、これらの3者3,21.24.7により分担さ
れている。
Moreover, in FIG. 2, Ql, Q2. Q3 is the trajectory of the sub transfer head 3, the XYX table 2124, and the transfer head 7, respectively, and the transfer of the chip P from the tray 2 to the substrate 1 is shared by these three parties 3, 21, 24, and 7. ing.

すなわちチップPの移送は両ヘッド3.7だけでな(、
XYXテーブル2124によっても分担されており、そ
の分担距離は、上記距離y1に略等しい。このようにX
YXテーブル2124によっても、チップPの移送を分
担することにより、両ヘッド3,7のストロークはそれ
だけ短くなり、より高速でトレイ2のチップPを基板1
に移送搭載することができる。
In other words, the chip P is transferred only by both heads 3.7 (,
It is also shared by the XYX table 2124, and the shared distance is approximately equal to the distance y1. Like this
By sharing the transfer of the chips P with the YX table 2124, the strokes of both heads 3 and 7 are correspondingly shortened, and the chips P of the tray 2 are transferred to the substrate 1 at a higher speed.
It can be transported and loaded.

なお、要求される実装精度が低く、精密な補正を必要と
しないものについては、荒補正装置Bで荒補正がなされ
たチップを、移載ヘッド7によりティクアップして、精
密な補正をすることなく、そのまま基板1に移送搭載し
て実装速度を上げるようにしてもよく、この場合、レー
ザ装置Cは不要である。また微細計測装置としては、レ
ーザ装置Cに限らず、例えばりニヤイメージセンサ−装
置でもよい。
Note that for chips that require low mounting accuracy and do not require precise correction, the chip that has been roughly corrected by the rough correction device B can be picked up by the transfer head 7 to perform precise correction. Instead, the mounting speed may be increased by transferring and mounting the laser device directly onto the substrate 1, and in this case, the laser device C is not necessary. Further, the fine measurement device is not limited to the laser device C, but may be, for example, a near image sensor device.

(実施例2) 第7図はXY子テーブル駆動手段の他の実施例を示すも
のであって、51.52はXY子テーブル53はYレー
ル、54.55はXテーブル51とXテーブル52の間
に設けられたXレールとスライダ、63はXテーブル5
1を右方に付勢するばね材である。Xテーブル52には
ナツト部56が結合されており、このナツト部56はベ
ルト57等を介してモータ58に駆動されて回転する。
(Embodiment 2) FIG. 7 shows another embodiment of the XY child table driving means, in which 51.52 is the Y rail for the XY child table 53, and 54.55 is for the X table 51 and the X table 52. The X rail and slider provided in between, 63 is the X table 5
It is a spring material that urges 1 to the right. A nut portion 56 is coupled to the X table 52, and this nut portion 56 is driven and rotated by a motor 58 via a belt 57 or the like.

59はナツト部56に螺合する送りねじであり、Y方向
に配設されている。
A feed screw 59 is screwed into the nut portion 56 and is arranged in the Y direction.

60はXテーブル51の側部に設けられたロール、61
はこのロール60を案内するガイド部材である。このガ
イド部材61はY方向に配設されており、Y方向の直線
部61aと、その先端部のテーパ部61bを有している
。62は位置規制部材である。
60 is a roll provided on the side of the X table 51, 61
is a guide member that guides this roll 60. This guide member 61 is disposed in the Y direction and has a straight portion 61a in the Y direction and a tapered portion 61b at the tip thereof. 62 is a position regulating member.

したがって本装置は、モータ58が駆動すると、XYX
テーブル5152はガイド部材61の直線部61aに沿
ってY方向に直進し、ローラ60がテーバ部61bに達
すると、XテーブルはX方向にわずかに移動し、チップ
Pのリードの先端部は位置規制部材62に押当して、位
置ずれは補正される。
Therefore, in this device, when the motor 58 is driven,
The table 5152 moves straight in the Y direction along the straight part 61a of the guide member 61, and when the roller 60 reaches the tapered part 61b, the X table moves slightly in the X direction, and the tip of the lead of the chip P is positioned. By pressing against the member 62, the positional deviation is corrected.

第8図は速度図であって、直線部61aにおいては、X
YXテーブル5152は高速でY方向に移動し、リード
の先端部が位置規制部材62に押当するテーパ部61b
では低速で移動する。このようにすれば、直線部61a
に沿っては高速移動するので作業速度が上り、またテー
バ部61bに沿っては低速移動するので、チップPに衝
撃を与えることなく、その位置ずれの補正を行える利点
がある。
FIG. 8 is a velocity diagram, and in the straight section 61a,
The YX table 5152 moves in the Y direction at high speed, and the tip of the lead presses against the position regulating member 62 at the tapered portion 61b.
Now move at low speed. In this way, the straight portion 61a
Since it moves at high speed along the tapered portion 61b, the working speed increases, and because it moves at a low speed along the tapered portion 61b, there is an advantage that the positional deviation can be corrected without giving an impact to the chip P.

(発明の効果) 以上説明したように本発明は、まず荒補正装置でチップ
の位置ずれを荒補正したうえで、このチップのリードを
微細計測装置により計測するようにしているので、リー
ドを確実に微細計測装置の計測エリアに位置させて、そ
の精密な計測を行って、位置ずれや浮き等を精密に検出
できるものであり、したがってQFPのような要求され
る実装精度の高いチップを、きわめて精度よく基板に実
装することができる。またサブ移載ヘッドと移載ヘッド
の間には、XY子テーブル介在しているので、両ヘッド
は衝突する虞れはなく、両ヘッドは互いに相手方に関係
なく自由にXY方向に移動して、高速実装することがで
きる。更には精密な補正を必要としないチップは、荒補
正装置で荒補正した後、そのまま基板に移送搭載するこ
とにより、実装速度をあげることができる。
(Effects of the Invention) As explained above, the present invention first coarsely corrects the positional deviation of the chip using a rough correction device, and then measures the lead of this chip using a fine measurement device. It can be placed in the measurement area of a micro-measuring device to perform precise measurements and accurately detect misalignment, floating, etc. Therefore, it is extremely suitable for chips such as QFP, which require high mounting accuracy. It can be mounted on the board with high precision. In addition, since an XY child table is interposed between the sub transfer head and the transfer head, there is no risk of collision between the two heads, and both heads can freely move in the X and Y directions regardless of the other. Can be implemented quickly. Furthermore, for chips that do not require precise correction, the mounting speed can be increased by performing rough correction with a rough correction device and then transferring and mounting them on the board as they are.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図は本発明の実施例を示すものであって、第1図は電子
部品実装装置の斜視図、第2図は同平面図、第3図は部
分正面図、第4図は動作を示す平面図、第5図は部分断
面図、第6図はレーザ装置でリードを計測中の斜視図、
第7図はXY子テーブル他の実施例の平面図、第8図は
速度図、第9図は従来装置の平面図である。 A・・・チップ供給部 B・・・荒補正装置 C・・・微細計測装置 D・・・位置決め部 P・・・チップ L・・・リード ト・・基板 3・・・サブ移載ヘッド 7・・・移載ヘッド 21.24,51.52・・・XY子テーブル3.62
・・・位置規制部材
The drawings show an embodiment of the present invention, in which Fig. 1 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus, Fig. 2 is a plan view thereof, Fig. 3 is a partial front view, and Fig. 4 is a plane showing the operation. Figure 5 is a partial sectional view, Figure 6 is a perspective view of the lead being measured with a laser device,
FIG. 7 is a plan view of another embodiment of the XY child table, FIG. 8 is a velocity diagram, and FIG. 9 is a plan view of a conventional device. A...Chip supply section B...Rough correction device C...Fine measurement device D...Positioning section P...Chip L...Lead...Substrate 3...Sub transfer head 7. ...Transfer head 21.24, 51.52...XY child table 3.62
...Position regulating member

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)チップ供給部のチップを、位置決め部に位置決め
された基板に移送搭載するようにした電子部品実装装置
において、 上記チップ供給部と位置決め部の間に、サブ移載ヘッド
により上記チップ供給部からチップが移載されるXYテ
ーブルと、このXYテーブルのXY方向への摺動により
、このXYテーブル上のチップのリードの先端部に押当
して、このチップの位置ずれを荒補正する位置規制部材
を備えた荒補正装置を設け、かつ荒補正がなされたチッ
プを移載ヘッドによりテイクアップして、上記位置決め
部に位置決めされた基板へ移送する移送路に、チップか
ら突出するリードを微細計測する微細計測装置を設けた
ことを特徴とする電子部品実装装置。
(1) In an electronic component mounting apparatus that transfers and mounts chips in a chip supply section onto a board positioned in a positioning section, the chip supply section is placed between the chip supply section and the positioning section by a sub-transfer head. An XY table to which the chip is transferred, and a position where the tip of the lead of the chip on the XY table is pressed to roughly correct the positional deviation of the chip by sliding this XY table in the XY direction. A rough correction device equipped with a regulating member is provided, and the chip that has been roughly corrected is taken up by a transfer head, and the leads protruding from the chip are finely inserted into the transfer path that is transferred to the substrate positioned in the positioning section. An electronic component mounting apparatus characterized by being provided with a micromeasuring device for measuring.
(2)チップ供給部のチップを、位置決め部に位置決め
された基板に移送搭載するようにした電子部品実装装置
において、 上記チップ供給部と位置決め部の間に、サブ移載ヘッド
により上記チップ供給部からチップが移載されるXYテ
ーブルと、このXYテーブルのXY方向への摺動により
、このXYテーブル上のチップのリードの先端部に押当
して、このチップの位置ずれを荒補正する位置規制部材
を備えた荒補正装置を設けたことを特徴とする電子部品
実装装置。
(2) In an electronic component mounting apparatus that transfers and mounts chips in a chip supply section onto a board positioned in a positioning section, a sub-transfer head is placed between the chip supply section and the positioning section in the chip supply section. An XY table to which the chip is transferred, and a position where the tip of the lead of the chip on the XY table is pressed to roughly correct the positional deviation of the chip by sliding this XY table in the XY direction. An electronic component mounting apparatus characterized by being provided with a roughness correction device equipped with a regulating member.
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