JPH03110880A - Laser oscillation apparatus - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/139—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はレーザ発振装置に係り、特にそのレザ光の出
力パワー調整手段に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a laser oscillation device, and particularly to a means for adjusting the output power of laser light.
（従来の技術）
従来、レーザ発振装置は第３図及び第４図に示すように
構成され、第３図は全体を示し、第４図は可動部を示し
ている。(Prior Art) Conventionally, a laser oscillation device is configured as shown in FIGS. 3 and 4, with FIG. 3 showing the entire device and FIG. 4 showing the movable part.
図中の符号１はレーザ、２．２は固定ベース、３．３は
反射ミラー ４．４は送りねじ、５．５は可動ベース、
６．６はＸ軸可動用つまみ、７．７はＹ軸可動用つまみ
、８はビームスプリッタ、９はパワー検出器、１０はパ
ワーモニタ計、１１はＸ軸及びＹ軸可動ヒンジであり、
このヒンジ１１を支点に可動ベース５．５はＸ軸方向及
びＹ軸方向に可動自在になっている。In the figure, 1 is a laser, 2.2 is a fixed base, 3.3 is a reflective mirror, 4.4 is a feed screw, 5.5 is a movable base,
6.6 is an X-axis movable knob, 7.7 is a Y-axis movable knob, 8 is a beam splitter, 9 is a power detector, 10 is a power monitor meter, 11 is an X-axis and Y-axis movable hinge,
The movable base 5.5 is movable in the X-axis direction and the Y-axis direction using the hinge 11 as a fulcrum.
さて、このようなレーザ発振装置において、レザ出力パ
ワーの最大値の調整・設定を行なうには、一対の反射ミ
ラー３．３のうちどちらかを光軸に対して垂直に固定さ
せ、もう一方の反射ミラ３は、固定ベース２に先端が接
触した送りねじ４．４に連結されたＸ軸６■動用つまみ
６もしくはＹ軸ｎＩ動用つまみ７を手で回すことにより
、Ｘ軸及びＹ軸可動ヒンジ１１を介して可動ベース５つ
まり反射ミラー３の位置が調整される。Now, in such a laser oscillation device, in order to adjust and set the maximum value of laser output power, one of the pair of reflection mirrors 3.3 is fixed perpendicular to the optical axis, and the other one is fixed vertically to the optical axis. The reflection mirror 3 can be attached to an X-axis and Y-axis movable hinge by manually turning the X-axis 6■ movement knob 6 or the Y-axis nI movement knob 7 connected to the feed screw 4.4 whose tip is in contact with the fixed base 2. 11, the position of the movable base 5, that is, the reflecting mirror 3 is adjusted.
そして、ビームスプリッタ８から分光されるレーザ出力
のパワーをパワー検出器９で検出し、電気信号に変換し
てパワーモニタ計１０で観ＣＩ Ｌながら、Ｘ軸可動用
つまみ６によるＸ軸でのレーザ出力パワーの最大値の調
整・設定及び、Ｙ軸可動用つまみ７によるＹ軸でのレー
ザ出力パワーの最大値の調整・設定を行ない、Ｘ軸、Ｙ
軸相互調整によりレーザ出力パワーの最大値に調整する
。Then, the power of the laser output separated from the beam splitter 8 is detected by a power detector 9, converted into an electric signal, and monitored by a power monitor 10. Adjust and set the maximum value of the output power, and use the Y-axis movable knob 7 to adjust and set the maximum value of the laser output power on the Y-axis.
Adjust the laser output power to the maximum value by mutually adjusting the axes.
前述した調整の他に、両端の反射ミラー３．３をそれぞ
れ調整しても構わないが、この場合はむしろ調整が困難
になり、調整時間が掛かるので、一般には片側の反射ミ
ラー３は固定する。In addition to the above-mentioned adjustment, it is also possible to adjust the reflecting mirrors 3.3 on both ends individually, but in this case, the adjustment becomes rather difficult and takes time, so generally the reflecting mirror 3 on one side is fixed. .
このように、従来は人間系によるレーザ出力パワーの最
大値の調整・設定を行なってきた。In this way, conventionally, the maximum value of the laser output power has been adjusted and set manually.
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記の調整は、人間の肋に頼る操作のた
め、レーザ出力パワーの最大値はおおよその値にならざ
るを得ない。且つ調整時間が長く掛かり、レーザ出力パ
ワーを使用する際の本来の目的を達成する時間が短くな
る。(Problem to be Solved by the Invention) However, since the above adjustment relies on the human ribs, the maximum value of the laser output power has to be an approximate value. Moreover, the adjustment time is long, and the time to achieve the original purpose when using the laser output power is shortened.
又、レーザの変動に対し、人間系が常にパワモニタ：１
１０を監視しながら調整せざるを得ない。Also, the human system always monitors the power for laser fluctuations: 1
We have no choice but to make adjustments while monitoring 10.
つまり、従来の人間系による方法では、調整の高精度化
が望めず、且つ調整時間が長く掛かり、レザ出力パワー
を常に監視する必要がある。In other words, with the conventional human-based method, high precision adjustment cannot be expected, the adjustment time is long, and it is necessary to constantly monitor the laser output power.
この発明は、人間系に頼ることなく、レーザ出力パワー
の最大値を短時間に且つ高精度に自動設定することが出
来るレーザ発振装置を提供することを目的とする。An object of the present invention is to provide a laser oscillation device that can automatically set the maximum value of laser output power in a short time and with high precision without relying on human intervention.
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
この発明は、光軸上に垂直に配置された反射ミラーを白
°するレーザ発振装置において、反射ミラーをそのＸ軸
及びＹ軸方向にそれぞれモータにより独立に可変するＸ
軸方向ミラー可動部及びＹ軸方向ミラー可動部と、レー
ザ出力のパワー値を検出する検出部と、この検出部によ
り検出したパワ値を逐次取込み演算する演算部と、この
演算部より送出される信号により各可動部のモータの回
転方向を指示するＸ軸モータ回転指令部及びＹ軸モータ
回転指令部とを具備してなるレーザ発振装置である。[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) The present invention provides a laser oscillation device that whitens a reflecting mirror disposed perpendicularly to an optical axis, in which the reflecting mirror is aligned in the X-axis and Y-axis directions, respectively. X independently variable by motor
An axial mirror movable section and a Y-axis mirror movable section, a detection section that detects the power value of the laser output, a calculation section that sequentially takes in and calculates the power value detected by the detection section, and a power value sent from the calculation section. This is a laser oscillation device that includes an X-axis motor rotation command section and a Y-axis motor rotation command section that instruct the rotation direction of the motor of each movable part by a signal.
（作用）
この発明によれば、レーザ出力パワーの最大値を反射ミ
ラーの１つをそのＸ軸方向及びＹ軸方向に各モータによ
り可変して調整し設定する場合、人間系に頼ることなく
、レーザ出力パワーの最大値を短時間に且つ高精度に自
動設定することが出来る。(Function) According to the present invention, when adjusting and setting the maximum value of the laser output power by varying one of the reflecting mirrors in the X-axis direction and the Y-axis direction by each motor, it is possible to adjust and set the maximum value of the laser output power without relying on human systems. The maximum value of laser output power can be automatically set in a short time and with high precision.
即ち、レーザ出力パワーをビームスプリッタで分光し、
この分光されたレーザ出力パワー値を逐次検出してパワ
ー値を取込み、可動部にモータ回転指令を送出した際に
刻々変化するパワー値を演算比較しながら、可動部のモ
ータ回転方向と回転量を決定する。そして、刻々変化す
るパワー値の最大値を判断し、可動部にモータ回転停止
命令を行なう。In other words, the laser output power is separated by a beam splitter,
This separated laser output power value is sequentially detected and the power value is captured, and the motor rotation direction and rotation amount of the movable part are determined by calculating and comparing the power values that change every moment when a motor rotation command is sent to the movable part. decide. Then, the maximum value of the ever-changing power values is determined, and a command is given to the movable part to stop the motor rotation.
更に、可動部が固有する位置補正値をモータ回転方向に
加算することにより、高精度に且つ短時間でレーザ出力
パワー最大値を自動的に調整・設定する。Further, by adding a position correction value unique to the movable part in the motor rotation direction, the maximum laser output power value can be automatically adjusted and set with high precision and in a short time.
（実施例）
以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
この発明によるレーザ発振装置は第１図及び第２図に示
すように構成され、従来例（第３図及び第４図）と同一
箇所には同一符号を付すことにする。The laser oscillation device according to the present invention is constructed as shown in FIGS. 1 and 2, and the same parts as in the conventional example (FIGS. 3 and 4) are given the same reference numerals.
即ち、図中の１はガスレーザ管本体であり、このガスレ
ーザ管本体１の両側には所定間隔をおいて一対の固定ベ
ース２．２が配設され、この固定ベース２．２の外側に
は光軸上に垂直且つ互いに平行する反射面で対向する一
対の反射ミラー３．３が設けられている。この反射ミラ
ー３．３は、それぞれ可動ベース５．５に固定されてい
る。そして、一方の可動ベース５には、Ｘ軸可動用つま
み６とＹ軸可動用つまみ７に連結された送りねじ４．４
が貫通され、各送りねじ４．４の先端は固定ベース２に
接している。That is, 1 in the figure is a gas laser tube main body, and a pair of fixed bases 2.2 are provided on both sides of the gas laser tube main body 1 at a predetermined interval. A pair of reflective mirrors 3.3 are provided that face each other with reflective surfaces that are perpendicular to the axis and parallel to each other. The reflecting mirrors 3.3 are each fixed to a movable base 5.5. One movable base 5 has a feed screw 4.4 connected to an X-axis movable knob 6 and a Y-axis movable knob 7.
is penetrated, and the tip of each feed screw 4.4 is in contact with the fixed base 2.
更に、光軸上にはビームスプリッタ８が所定角度で配設
され、このビームスプリッタ８に対応してパワー検出器
９が設けられている。このパワ検出器９は比較部１２に
接続され、この比較部１２は中央演算部１３に接続され
ている。この中央演算部１３には補正値設定部１４が接
続されると共に、Ｙ軸モータ回転指令部１５とＸ軸モー
タ回転指令部１６に接続されている。これらＹ輔モータ
回転指令部１５とＸ軸モータ回転指令部１６は、他方の
反射ミラーのそれぞれＹ軸モータ１８とＸ輔モータ１７
に接続されている。Furthermore, a beam splitter 8 is arranged at a predetermined angle on the optical axis, and a power detector 9 is provided corresponding to this beam splitter 8. This power detector 9 is connected to a comparison section 12, and this comparison section 12 is connected to a central processing section 13. A correction value setting section 14 is connected to the central processing section 13, and it is also connected to a Y-axis motor rotation command section 15 and an X-axis motor rotation command section 16. The Y-axis motor rotation command unit 15 and the X-axis motor rotation command unit 16 are connected to the Y-axis motor 18 and the X-axis motor 17 of the other reflecting mirror, respectively.
It is connected to the.
又、他方の可動ベース５には、Ｘ軸モータ１７とＹ軸モ
ータ１８とに連結された送りねじ４．４が貫通され、各
送りねじ４．４の先端は固定ベス２に接している。Further, feed screws 4.4 connected to an X-axis motor 17 and a Y-axis motor 18 are passed through the other movable base 5, and the tip of each feed screw 4.4 is in contact with the fixed base 2.
これらＸ軸モータ１７、Ｙ軸モータ１８、送りねじ４．
４、可動ベース５、固定ベース２等により、反射ミラー
３をＸ軸及びＹ軸方向にそれぞれ独立に可変するＸ軸方
向ミラー可動部及びＹ軸方向ミラーロＪ動部が構成され
ている。These X-axis motor 17, Y-axis motor 18, feed screw 4.
4. The movable base 5, the fixed base 2, etc. constitute an X-axis mirror movable section and a Y-axis mirror movable section that independently vary the reflecting mirror 3 in the X-axis and Y-axis directions.
これらＸ軸方向ミラー可動部及びＹ軸方向ミラ＝Ｊ動部
の３［面図が第２図である。図中の１１はＸ輔及びＹ軸
可動ヒンジであり、このヒンジ１１を支点に可動ベース
５はＸ軸方向及びＹ軸方向に可動自在になっており、そ
れによって光軸に対する垂直角度が微調整可能となって
いる。FIG. 2 is a side view of these X-axis direction mirror movable section and Y-axis direction mirror=J movable section. 11 in the figure is an X-axis and Y-axis movable hinge, and the movable base 5 is movable in the X-axis direction and Y-axis direction using this hinge 11 as a fulcrum, thereby finely adjusting the vertical angle with respect to the optical axis. It is possible.
次に、上記構成のこの発明のレーザ発振装置において、
レーザ出力パワーの最大値の調整・設定動作について説
明する。Next, in the laser oscillation device of the present invention having the above configuration,
The operation of adjusting and setting the maximum value of laser output power will be explained.
先ず、対向する一対の反射ミラー３．３のうち、Ｘ軸可
動用つまみ６とＹ軸可動用つまみ７から構成される第１
図の右側の可動部の反射ミラー３を、Ｘ軸可動用つまみ
６とＹ軸可動用つまみ７を操作することにより、予めレ
ーザ１の光軸に垂直に調整し、固定しておく。First, of the pair of opposing reflecting mirrors 3.3, the first one is composed of an X-axis movable knob 6 and a Y-axis movable knob 7.
By operating the X-axis movable knob 6 and the Y-axis movable knob 7, the reflective mirror 3 of the movable part on the right side of the figure is adjusted in advance perpendicular to the optical axis of the laser 1 and fixed.
レーザ１から出射されたレーザ出力パワーはビムスブリ
ッタ８で分光され、常時、パワー検出器９で検出され、
逐次、比較部１２に取込まれる。The laser output power emitted from the laser 1 is separated by a beam splitter 8, and is constantly detected by a power detector 9.
The data are sequentially taken into the comparator 12.
そして、左側のｎＩ動部が固有する位置補正値、即ち、
送りねじ４と可動ベース５から発生する機械的バックラ
ッシュを補正値設定部１４で設定し、その補正値は比較
部１２より刻々送出されるパワ値を中央演算部１３で比
較演算し、可動部のモタ回転方向指令に加算される。Then, the position correction value unique to the left nI moving part, that is,
The mechanical backlash generated from the feed screw 4 and the movable base 5 is set in the correction value setting section 14, and the correction value is calculated by comparing the power value sent out every moment from the comparison section 12 in the central calculation section 13, and then is added to the motor rotation direction command.
モータ回転方向指令は、Ｘ軸モータ回転指令部１６及び
Ｙ軸モータ回転指令部１５を経由し、各々、Ｘ ｌ［ｈ
モータ１７、Ｙ軸モータ１８へ動力指令として送出され
る。Ｘ輔モータ１７、Ｙ軸モータ１８の回転出力軸には
各々送りねじ４．４が連結しており、ＸＳＹ軸可動用ヒ
ンジ１１を介してＸ軸モータ１７によるＸ軸可動、Ｙ軸
モータ１８によるＹ軸可動を行なう。尚、これらＸ軸モ
ータ１７及びＹ ｌｄｌモータ１８はパルスモータであ
る。The motor rotation direction command is sent via the X-axis motor rotation command unit 16 and the Y-axis motor rotation command unit 15, respectively, to X l[h
It is sent to the motor 17 and Y-axis motor 18 as a power command. A feed screw 4.4 is connected to the rotation output shafts of the X-axis motor 17 and the Y-axis motor 18, respectively, and the X-axis movement is performed by the X-axis motor 17 and the Y-axis movement is performed by the Y-axis motor 18 via the XSY-axis movable hinge 11. Perform Y-axis movement. Note that these X-axis motor 17 and Yldl motor 18 are pulse motors.
又、比較部１２や中央演算部１３は、マイクロコンピュ
ータ等の周知技術で構成する。Further, the comparison section 12 and the central processing section 13 are constructed using well-known technology such as a microcomputer.
既述のように可動ベース５に反射ミラー３が固着されて
おり、固定ベース２に対し反射ミラー３が移動する。As described above, the reflecting mirror 3 is fixed to the movable base 5, and the reflecting mirror 3 moves relative to the fixed base 2.
尚、他方の可動部は、Ｘ軸可動用つまみ６とＹ軸ｒｉＪ
動用つまみ７を操作するように構成されているが、両方
の可動部を各々同時にモータ駆動するように構成しても
構わない。The other movable part is the X-axis movable knob 6 and the Y-axis riJ.
Although the movable part 7 is configured to be operated, both movable parts may be configured to be driven by motors at the same time.
例えば先ず、Ｘ軸方向の調整を行なって最大値を追い求
め、最大値が求められたら、次にＹ軸方向の調整を行な
って最大値を追い求める。即ち、Ｘ軸方向のモータ回転
を時計方向に所定量回転させた際、レーザ出力パワーが
もし増加傾向であれば、その傾向と増加量を比較、演算
した結果としてモータへ同じ回転方向及び回転量の指令
を与える。これを繰返し、出力パワー値が最大値及びを
越えて逆に減少傾向を示したら、その情報出力及びねじ
のバックラッシュ（遊び）の補正値を加えてモータを反
時計方向に、所定量回転させる指令を与える。こうして
Ｘ軸方向の調整でのレーザ出力パワー最大値を追い求め
、最大値の所で停止する。For example, first, the X-axis direction is adjusted to pursue the maximum value, and once the maximum value is determined, the Y-axis direction is then adjusted to pursue the maximum value. In other words, when the motor rotation in the X-axis direction is rotated by a predetermined amount clockwise, if the laser output power tends to increase, the trend and increase amount are compared and calculated, and the motor is rotated in the same direction and amount. give instructions. Repeat this process, and when the output power value exceeds the maximum value and shows a decreasing trend, add that information output and the screw backlash (play) correction value to rotate the motor counterclockwise by a predetermined amount. Give instructions. In this way, the maximum value of the laser output power is pursued through adjustment in the X-axis direction, and the laser output power is stopped at the maximum value.
次に、Ｙ軸方向の同様の調整が行なわれる。そして、こ
のＸ軸方向及びＹ軸方向の調整をそれぞれ適当回数繰返
して、レーザ出力パワーの最大値を得る。そして、最大
値が得られたら、Ｘ軸モ−タ１７、Ｙ軸モータ１８等を
停止して、通常のレーザ発振動作を続ける。A similar adjustment in the Y-axis direction is then made. Then, the adjustment in the X-axis direction and the Y-axis direction is repeated an appropriate number of times to obtain the maximum value of the laser output power. When the maximum value is obtained, the X-axis motor 17, Y-axis motor 18, etc. are stopped, and normal laser oscillation operation is continued.
尚、上記のパワー調整に要する時間は、数秒乃至長くて
も数十秒であり、短時間での自動調整、設定が可能であ
る。又、ねじのバックラッシュが無視出来れば、補正値
設定部及びそれを加味した制御は不要である。Note that the time required for the above power adjustment is several seconds to several tens of seconds at most, and automatic adjustment and setting can be performed in a short period of time. Furthermore, if the backlash of the screw can be ignored, the correction value setting section and the control that takes this into consideration are unnecessary.
上記のような結果、この発明では、人間の操作を全く介
入することなく、高精度、短時間にレーザ出力パワーの
最大値を調整・設定することが出来る。As a result of the above, in the present invention, the maximum value of the laser output power can be adjusted and set with high precision and in a short time without any human intervention.
［発明の効果コ
この発明によれば、レーザ出力パワーの最大値を反射ミ
ラーのいずれか１つをそのＸ軸方向及びＹ軸方向に各モ
ータにより可変して調整し設定する場合、人間系に頼る
ことなく、レーザ出力パワーの最大値を短時間に且つ高
精度に自動設定することが出来る。[Effects of the Invention] According to this invention, when adjusting and setting the maximum value of the laser output power by varying one of the reflecting mirrors in the X-axis direction and the Y-axis direction by each motor, it is easy to use for human systems. The maximum value of the laser output power can be automatically set in a short time and with high precision without relying on the system.
第１図はこの発明の一実施例に係るレーザ発振装置を示
す構成図、第２図はこの発明のレーザ発振装置における
可動部を示す平面図、第３図は従来のレーザ発振装置を
示す構成図、第４図は従来のレーザ発振装置における可
動部を示す平面図である。
１・・レーザ、２・・・固定ベース、３・・・反射ミラ
４・・・送りねじ、５・・可動ベース、６・・・Ｘ軸可
動用つまみ、７・・・Ｙ軸可動用つまみ、８・・・ビー
ムスプリッタ、９・・・パワー検出器、１０・・・パワ
ーモニタ計、１１・・・Ｘ、Ｙ軸可動用ヒンジ、１２・
・・比較部、１３・・・中央演算部、１４・・・補正値
設定部、１５・・・Ｙ軸モータ回転指令部、１６・・・
Ｘ軸モータ回転指令部、１７・・・Ｘ軸モータ、１８・
・・Ｙ軸モータ。FIG. 1 is a configuration diagram showing a laser oscillation device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view showing a movable part in the laser oscillation device of the present invention, and FIG. 3 is a configuration diagram showing a conventional laser oscillation device. 4 are plan views showing movable parts in a conventional laser oscillation device. 1...Laser, 2...Fixed base, 3...Reflection mirror 4...Feed screw, 5...Movable base, 6...X-axis movable knob, 7...Y-axis movable knob , 8... Beam splitter, 9... Power detector, 10... Power monitor meter, 11... X and Y axis movable hinge, 12...
... Comparison section, 13... Central calculation section, 14... Correction value setting section, 15... Y-axis motor rotation command section, 16...
X-axis motor rotation command unit, 17...X-axis motor, 18.
...Y-axis motor.
Claims (1)
振装置において、 上記反射ミラーをそのＸ軸及びＹ軸方向にそれぞれモー
タにより独立に可変するＸ軸方向ミラー可動部及びＹ軸
方向ミラー可動部と、レーザ出力のパワー値を検出する
検出部と、この検出部により検出したパワー値を逐次取
込み演算する演算部と、この演算部より送出される信号
により上記各可動部のモータの回転方向を指示するＸ軸
モータ回転指令部及びＹ軸モータ回転指令部とを具備し
てなることを特徴とするレーザ発振装置。[Scope of Claims] A laser oscillation device having a reflecting mirror disposed perpendicularly to an optical axis, comprising: an X-axis mirror movable unit that independently moves the reflecting mirror in the X-axis and Y-axis directions by motors; A Y-axis direction mirror movable section, a detection section that detects the power value of the laser output, a calculation section that sequentially takes in and calculates the power value detected by this detection section, and a signal sent from this calculation section that controls each of the above movable sections. 1. A laser oscillation device comprising: an X-axis motor rotation command section and a Y-axis motor rotation command section for instructing the rotation direction of a motor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24892489A JPH03110880A (en) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | Laser oscillation apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24892489A JPH03110880A (en) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | Laser oscillation apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03110880A true JPH03110880A (en) | 1991-05-10 |
Family
ID=17185445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24892489A Pending JPH03110880A (en) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | Laser oscillation apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03110880A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008271270A (en) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Yokowo Co Ltd | Cable lead-out structure of antenna |
-
1989
- 1989-09-25 JP JP24892489A patent/JPH03110880A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2008271270A (en) * | 2007-04-23 | 2008-11-06 | Yokowo Co Ltd | Cable lead-out structure of antenna |
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