JPH03108506A - Production of distributing substrate - Google Patents

Production of distributing substrate

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Publication number
JPH03108506A
JPH03108506A JP24525589A JP24525589A JPH03108506A JP H03108506 A JPH03108506 A JP H03108506A JP 24525589 A JP24525589 A JP 24525589A JP 24525589 A JP24525589 A JP 24525589A JP H03108506 A JPH03108506 A JP H03108506A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
positioning
green sheet
sheet
rectangular
square
Prior art date
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Pending
Application number
JP24525589A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norimi Kikuchi
菊池 紀實
Hiroyuki Kawamura
裕之 川村
Hirohisa Osoguchi
獺口 博久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba Electronics Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Material Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Material Engineering Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP24525589A priority Critical patent/JPH03108506A/en
Publication of JPH03108506A publication Critical patent/JPH03108506A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To accurately hold a calcined sheet and to form a high-precision wiring by constituting the title distribution substrate so that a rectangular positioning part has a side part extended to the outside by estimating the shrinkage amount due to calcination for the side part of the rectangular positioning part formed on the calcined sheet. CONSTITUTION:A plurality of sheets of green sheet 1 are laminated at prescribed thickness. A plurality of pieces of rectangular holes 3 are arranged on the boundaries of the respective base bodies 2, punched and formed. These rectangular holes 3 are formed by sticking a rectangular pin to a press and punching the green sheet 1 and formed into a regular tetragon. The respective sides of the rectangular hole 3 are extended to the outsides while holding the extended amount estimating the shrinkage amount due to calcination of the green sheet for the respective sides of a rectangular hole 3A having size and dimension necessary to coincidently engage the positioning pin of a positioning jig. Thereby the base bodies 2 are accurately positioned and held. A wiring can be formed at high precision.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明はセラミックス焼成体からなる基体の周縁に位置
決め用切欠部を有する配線基板を得る製造方法に関する
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial Application Field) The present invention relates to a manufacturing method for obtaining a wiring board having a positioning notch on the periphery of a base made of a fired ceramic body.

(従来の技術) 電子機器に用いられる配線基板を製造する方法の一つと
して、セラミックス粉末を用いてドクターブレード法な
どの方法により複数の配線基板の基体を並べた大きさ、
すなわち多数個取りできる大きさのグリーンシートを形
成し、このグリーンシートを焼成して複数の配線基板の
各基体が並んだ大きさの四角形の作製する方法があり、
この方法は一度に複数の配線基板の基体を作製できて生
産能率が良いという利点を有している。
(Prior Art) One of the methods for manufacturing wiring boards used in electronic devices is to arrange the substrates of multiple wiring boards using a method such as a doctor blade method using ceramic powder.
In other words, there is a method of forming a green sheet large enough to make a large number of pieces, and firing this green sheet to produce a rectangular shape with a size in which the bases of a plurality of wiring boards are lined up.
This method has the advantage of being able to fabricate a plurality of wiring board substrates at once, resulting in good production efficiency.

しかして、この製造方法においては作製した基体に配線
を形成して配線基板を製造しているが、基体に配線を精
度良く形成するために、次に述べる方法の採用が検討さ
れている。すなわち、グリーンシートに位置決め用の角
孔を打ち抜き形成し、次いで焼成後に四角形の角孔を分
割して切断し、周縁に位置決め部であるV形をなす切欠
部を有する基体を形成する。そして、この基体を位置決
め治具に載せ、基体に形成した切欠部に位置決め治具に
設けた位置決めピンを係合して基体を所定位置に位置決
めし、この状態で基体に配線を形成する方法である。こ
の方法では基体の切欠部がV形をなしているので、切欠
部が位置決めピンを安定して受入れ易く、位置決めピン
が基体を安定して保持し易いという利点がある。
According to this manufacturing method, a wiring board is manufactured by forming wiring on a manufactured base, but in order to form wiring on a base with high precision, the following method is being considered. That is, a square hole for positioning is punched out in a green sheet, and then, after firing, the square hole is divided and cut to form a base having a V-shaped notch serving as a positioning portion on the periphery. Then, this base body is placed on a positioning jig, and a positioning pin provided on the positioning jig is engaged with a notch formed in the base body to position the base body at a predetermined position, and wiring is formed on the base body in this state. be. In this method, since the notch in the base body is V-shaped, there is an advantage that the notch can easily receive the positioning pin stably, and the positioning pin can easily hold the base body stably.

(発明が解決しようとする課題) しかし、この位置決め方法を実施してみると、基体に形
成されたV形の切欠部に位置決め治具の位置決めピンが
合致して係合できず、位置決めピンによる基体の保持が
不安定でV形をなす切欠部の特性を生かすことができず
。位置決めピンにより基体を所定位置に安定して保持で
きないことがある。この場合には基体の表面に精度良く
配線を形成することができないことがある。特に蒸着法
などの薄膜法により配線を形成する場合には、配線を正
確に形成するうえで基体に対して高い位置精度が要求さ
れる。
(Problem to be Solved by the Invention) However, when this positioning method is implemented, the positioning pin of the positioning jig cannot match and engage with the V-shaped notch formed in the base, and the positioning pin cannot be used. The holding of the base was unstable and the characteristics of the V-shaped notch could not be utilized. The positioning pins may not be able to stably hold the base in a predetermined position. In this case, it may not be possible to accurately form wiring on the surface of the base. In particular, when wiring is formed by a thin film method such as vapor deposition, high positional accuracy is required with respect to the substrate in order to accurately form the wiring.

本発明は前記事情に基づいてなされたもので、基体を正
確に位置決めして保持して配線を高い精度で形成できる
配線基板の製造方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made based on the above-mentioned circumstances, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a wiring board in which wiring can be formed with high accuracy by accurately positioning and holding a base.

[発明の構成] (課題を解決するための手段と作用))本発明の発明者
は、配線基板の製造において基体を位置決めする手段に
ついて種々研究を重ねてきた。
[Structure of the Invention] (Means and Effects for Solving the Problems)) The inventor of the present invention has conducted various studies on means for positioning a substrate in manufacturing wiring boards.

先ず、発明者はグリーンシートの段階で位置決め用の角
孔を打ち抜き形成し、次いで焼成後に四角形の角孔を分
割して切断して、周縁に位置決め部であるV形をなす切
欠部を有する基体を形成する方法において、基体に形成
されたV形の切欠部に位置決め治具の位置決めピンが合
致して係合できず、位置決めピンによる基体の保持が不
安定になる原因について調べた。この結果、次のことが
わかった。すなわち、焼成により得られた焼成シートに
形成される角孔の寸法は、本来位置決め治具の位置決め
ピンが合致して係合できる大きさが必要である。ところ
が、従来グリーンシートに形成する角孔は、焼成後に焼
成シートに形成される角孔と同じ大きさの寸法で形成し
ている。このため、グリーンシートの焼成により角孔が
収縮すると、角孔の各辺部が縮小して角孔全体の開口面
積が小さくなり、角孔の寸法が位置決め治具の位置決め
ピンを合致して係合する大きさを確保できなくなること
がわかった。
First, the inventor punched out square holes for positioning at the green sheet stage, and then divided and cut the square holes after firing to create a substrate having a V-shaped notch on the periphery as a positioning part. In this method, we investigated the reason why the positioning pin of the positioning jig cannot match and engage with the V-shaped notch formed in the base, and the holding of the base by the positioning pin becomes unstable. As a result, we found the following. That is, the dimensions of the square holes formed in the fired sheet obtained by firing must be large enough to allow the positioning pins of the positioning jig to fit and engage. However, conventionally, the square holes formed in the green sheet have the same size as the square holes formed in the fired sheet after firing. For this reason, when the square hole shrinks due to firing of the green sheet, each side of the square hole shrinks and the opening area of the entire square hole becomes smaller, and the dimensions of the square hole match the positioning pin of the positioning jig. It turned out that it would be impossible to secure a size that would fit.

そこで、発明者はグリーンシートに形成する角孔の寸法
を、位置決めピンを合致して係合するために必要な大き
さに、グリーンシートの焼成による角孔の収縮分を加え
た大きさに設定することにより、グリーンシートの焼成
に伴い角孔が収縮しても焼成後の角孔の寸法を位置決め
ピンを合致して係合するために必要な大きさに確保でき
ることを見出した。これにより四角形の切断して配線基
板の基体を形成すると、基体に形成されるV形の切欠部
の寸法が位置決めピンを合致して係合するために必要と
する大きさを有し、位置決めピンを切欠部に合致して係
合して基体を所定位置に安定して保持できるようになる
ことがわかワた。
Therefore, the inventor set the size of the square hole formed in the green sheet to the size necessary to match and engage the positioning pin, plus the shrinkage of the square hole due to firing of the green sheet. It has been found that by doing this, even if the square hole shrinks as the green sheet is fired, the size of the square hole after firing can be ensured to be the size necessary for matching and engaging the positioning pin. When the substrate of the wiring board is formed by cutting the rectangular shape, the dimensions of the V-shaped notch formed in the substrate have the size required for matching and engaging the locating pin, and the locating pin It has been found that the base body can be stably held in a predetermined position by mating and engaging the notch.

本発明はこの知見に基づいてなされたものである。The present invention has been made based on this knowledge.

本発明の配線基板の製造方法は、セラミックスのグリー
ンシートに角形パンチを用いて角形をなす位置決め部を
打ち抜き形成する工程と、グリーンシートを焼成する工
程とを具備し、前記位置決め部形成工程で形成する角形
位置決め部は、前記焼成シートに形成される角形位置決
め部の辺部に対して前記焼成による収縮量を見込んで外
側に拡大した辺一部を有するものとすることを特徴とす
るものである。
The method for manufacturing a wiring board of the present invention includes a step of punching out a square positioning portion from a ceramic green sheet using a square punch, and a step of firing the green sheet, and forming the positioning portion in the positioning portion forming step. The rectangular positioning part is characterized in that it has a part of the side that is expanded outward in anticipation of the amount of shrinkage due to the firing with respect to the side part of the rectangular positioning part formed on the fired sheet. .

そして、位置決め部形成工程で形成する角形位置決め部
は、具体的には焼成シートに形成される角形位置きめ部
の辺部に対して、その−辺の長さの10〜20%の範囲
の張り出し量をもって外側に張り出した辺部を有するも
のであることが好ましい。
Specifically, the square positioning part formed in the positioning part forming step has an overhang in the range of 10 to 20% of the length of the -side with respect to the side of the square positioning part formed on the fired sheet. It is preferable to have a side portion that protrudes outward by a certain amount.

本発明の配線基板の製造方法の実施には幾つかの例が挙
げられる。例えば配線基板の基体となるグリーンシート
を夫々個別に形成するとともに、これら各グリーンシー
トに角孔や切欠部などの種々の形態の位置決め部を形成
して、グリーンシートを焼成して基体を作製する方法が
ある。この場合は各基体個別に位置決めして配線を形成
する。
Several examples can be given for implementing the method for manufacturing a wiring board of the present invention. For example, each green sheet that will become the base of a wiring board is formed individually, positioning parts of various shapes such as square holes and cutouts are formed in each of these green sheets, and the green sheets are fired to produce the base. There is a way. In this case, the wiring is formed by positioning each substrate individually.

さらに、複数の配線基板の基体を並べた大きなグリーン
シートに位置決め部としてして角孔を形成し、焼成後に
焼成シートの各基体部に配線を形成し、その後四角形の
複数の基体に切断する方法がある。また、複数の配線基
板の基体を並べた大きなグリーンシートに位置決め部と
して角孔を形成し、焼成後に四角形の角孔を分割して切
断し、周縁にV形切欠部を有する複数の基体を作製する
方法がある。この場合は各基体個別に位置決めして配線
を形成する。これらの方法の中で生産性が良く、位置決
め部を有効に活用できる好ましいものは3番目の方法で
ある。
Furthermore, there is a method in which square holes are formed as positioning parts in a large green sheet in which the bases of multiple wiring boards are lined up, wiring is formed on each base of the fired sheet after firing, and then the bases are cut into multiple rectangular bases. There is. In addition, a square hole was formed as a positioning part in a large green sheet on which multiple wiring board substrates were lined up, and after firing, the square hole was divided and cut to create multiple substrates with V-shaped notches on the periphery. There is a way to do it. In this case, the wiring is formed by positioning each substrate individually. Among these methods, the third method is preferable because it has good productivity and allows effective use of the positioning section.

本発明の配線基板の製造方法を前記の好ましい方法に即
して説明する。
The method for manufacturing a wiring board according to the present invention will be explained based on the above-mentioned preferred method.

本発明が対象とする配線基板の基体を形作るセラミック
スは窒化けい素、酸化けい素、アルミナ、ジルコニアな
ど種々のセラミックス材料とすることができる。
The ceramic forming the base of the wiring board targeted by the present invention can be various ceramic materials such as silicon nitride, silicon oxide, alumina, and zirconia.

まず、第2図に示すように所定のセラミックス材料に有
機バインダを添加してなる材料粉末を用いてドクターブ
レード法などの成形方法によりグリーンシート1を成形
する。このグリーンシート1は複数の配線基板の基体2
を並べた大きさとする。
First, as shown in FIG. 2, a green sheet 1 is formed by a forming method such as a doctor blade method using a material powder made by adding an organic binder to a predetermined ceramic material. This green sheet 1 is a base 2 of a plurality of wiring boards.
Let it be the size of the array.

次にグリーンシート1を複数枚所定厚さに積層し、第1
図に示すように各基体2の境界線上に複数個づつ並べて
角孔3を打ち抜き形成する。この角孔3の形成は角形ピ
ンをプレスに取り付けてグリーンシート1を打ち抜き形
成する。角孔3は正四角形をなすもので、第6図に示す
ように角孔3の各辺が位置決め治具の位置決めピンを合
致して係合するために必要な大きさ寸法をもった角孔3
A(仮想線で示す)の各辺に対して、グリーンシートの
焼成による収縮分を見込んだ張り出し量をもって外側に
張り出しである。すなわち、必要な大きさの寸法をもつ
角孔3Aの一辺の長さをL1グリーンシート1に形成し
た角孔3の一辺の張り出し量をgとすると、両者の関係
がII/L−0,10〜0,20となるように設定する
Next, a plurality of green sheets 1 are laminated to a predetermined thickness, and the first
As shown in the figure, a plurality of square holes 3 are punched out and arranged on the boundary line of each base 2. The square hole 3 is formed by punching out the green sheet 1 by attaching a square pin to a press. The square hole 3 is a square hole, and each side of the square hole 3 has a size necessary for matching and engaging the positioning pin of the positioning jig, as shown in Fig. 6. 3
Each side of A (indicated by imaginary lines) protrudes outward by an amount that takes into account shrinkage due to firing of the green sheet. That is, if the length of one side of the square hole 3A having the required size is g and the amount of overhang of one side of the square hole 3 formed in the L1 green sheet 1 is g, then the relationship between the two is II/L-0,10. Set it so that it becomes ~0,20.

次いで、グリーンシート1を焼成して第3図に示すよう
に焼成シートIAを得る。焼成シートIAはグリーンシ
ート1から縮小し、これに伴い角孔3は各辺の張り出し
量gだけ縮小して位置決めピンを合致して係合するため
に必要な大きさの寸法を持つ角孔3Aとなる。つまり、
この角孔3Aの一辺の長さは、隣合う一対の辺で位置決
め治具に設けた位置決めピンが合致して係合できる大き
さである。
Next, the green sheet 1 is fired to obtain a fired sheet IA as shown in FIG. The fired sheet IA is shrunk from the green sheet 1, and the square hole 3 is accordingly shrunk by the overhang amount g on each side to form a square hole 3A having dimensions necessary for matching and engaging the positioning pin. becomes. In other words,
The length of one side of this square hole 3A is large enough to allow positioning pins provided on the positioning jig to match and engage on a pair of adjacent sides.

次に、第4図に示すように鋸盤の切断ブレードで焼成シ
ートIAを各配線基板の基体2の境界線に沿って切断し
て複数の基体2を作製する、この場合、基体2の境界線
上に角孔3が位置しており、境界線の切断により角孔3
が2分割されてV形に分断される。これにより作製され
た各基体2の周縁部には複数のV形をなす切欠部4が形
成される。
Next, as shown in FIG. 4, a plurality of substrates 2 are produced by cutting the fired sheet IA along the boundaries of the substrates 2 of each wiring board with a cutting blade of a saw. Square hole 3 is located on the line, and square hole 3 is located by cutting the boundary line.
is divided into two parts into a V shape. A plurality of V-shaped notches 4 are formed at the peripheral edge of each base 2 thus produced.

このV形切欠部4は位置決めピンを合致して係合するた
めに必要な大きさの寸法を有している。
This V-shaped notch 4 has dimensions as large as necessary for matingly engaging the locating pin.

次いで、このようにして作製した基体2の表面に薄膜法
により所定パターンの配線を形成する。
Next, wiring in a predetermined pattern is formed on the surface of the base 2 thus produced by a thin film method.

この場合、第5図に示すように基体2を図示しない位置
決め治具に栽せ、この位置決め治具に設けた位置決めピ
ン5を基体2の周縁部に形成された切欠部4に係合する
。この場合、第7図に示すように基体2の切欠部5は一
辺の長さが隣合う一対の辺で位置決めピン5が合致して
係合できる大きさであるので、位置決めピン5が充分に
合致して係合する。このため、基体2は位置決めピン5
により所定位置に安定して保持され、基体2の表面に高
い精度で配線を形成することができる。
In this case, as shown in FIG. 5, the base body 2 is placed in a positioning jig (not shown), and a positioning pin 5 provided on the positioning jig is engaged with a notch 4 formed in the peripheral portion of the base body 2. In this case, as shown in FIG. 7, the notch 5 of the base body 2 has a size that allows the positioning pin 5 to match and engage with a pair of adjacent sides, so that the positioning pin 5 is Match and engage. For this reason, the base body 2 is attached to the positioning pin 5.
This allows the wiring to be stably held in a predetermined position and to form wiring on the surface of the base 2 with high precision.

なお、第1図ないし第5図、第7図に示すように焼成シ
ートIAを基体境界に沿って切断する場合に、境界線上
に位置する角孔3Aの中央部を鋸盤の切断用ブレードが
切断するので、角孔3Aの大きさはこの切断用ブレード
による切断代Sを含めて設定する。この場合、切断代S
は所用範囲の加工誤差および切断時における切断ブレー
ドの位置合せ誤差を吸収できる大きさに設定する。
In addition, when cutting the fired sheet IA along the substrate boundary as shown in FIGS. 1 to 5 and 7, the cutting blade of the saw machine cuts the center of the square hole 3A located on the boundary line. Since cutting is performed, the size of the square hole 3A is set including the cutting allowance S by this cutting blade. In this case, the cutting distance S
is set to a size that can absorb processing errors within the required range and alignment errors of the cutting blade during cutting.

また、薄膜法により配線を高い精度で形成するためには
、配線基板の基体2における外形寸法と位置決め用の切
欠部4との位置関係を高い精度にしておくことが必要で
ある。そこで、焼成シートIAから切断した基体2の周
縁部を研摩加工して外形を高い寸法精度で仕上げる。こ
のため、焼成シートIAから切断する時の基体2の外形
寸法は研摩代Tを含んだ大きさに設定する。これに合わ
せて角孔2の大きさは研摩代Tx2も含めて設定する。
In addition, in order to form wiring with high accuracy using the thin film method, it is necessary to maintain a high accuracy in the positional relationship between the external dimensions of the base 2 of the wiring board and the positioning notch 4. Therefore, the peripheral edge of the base body 2 cut from the fired sheet IA is polished to finish the outer shape with high dimensional accuracy. Therefore, the external dimensions of the base body 2 when cut from the fired sheet IA are set to include the polishing allowance T. In accordance with this, the size of the square hole 2 is set including the polishing allowance Tx2.

この場合、研摩代Tは所用範囲の加工誤差を吸収できる
大きさに設定する。
In this case, the polishing allowance T is set to a size that can absorb processing errors within the required range.

従って、焼成シートに形成される焼成後の角孔3Aの寸
法の大きさは位置決め治具の位置決めピンが合致して係
合し、さらに前記した切断代Sおよび研摩代TX2を含
めて設定する。すなわち、グリーンシート1に形成する
焼成前の角孔3の大きさは前記のような焼成後の角孔3
Aの寸法の大きさを考えて設定する。
Therefore, the size of the square hole 3A after firing formed in the fired sheet is set so that the positioning pin of the positioning jig matches and engages with the square hole 3A, and also includes the cutting allowance S and the polishing allowance TX2 described above. That is, the size of the square holes 3 formed in the green sheet 1 before firing is the same as that of the square holes 3 after firing as described above.
Set this by considering the size of A.

(実施例) 以下本発明のは配線基板の製造方法の一実施例について
説明する。
(Example) An example of the method for manufacturing a wiring board according to the present invention will be described below.

まず、第2図に示すようにAINに有機バインダを添加
してなる材料粉末を用いてドクターブレード法により1
50■X150II11の大きさのグリーンシート1を
成形する。このグリーンシート1は4個の配線基板の基
体2を並べた大きさとする。
First, as shown in FIG.
A green sheet 1 having a size of 50 mm x 150 mm is formed. This green sheet 1 has the size of four wiring board bases 2 arranged side by side.

次にグリーンシート1を複数枚所定厚さに積層し、第1
図に示すように各基体2の境界線上に2個づつ正四角形
をなす角孔3を打ち抜き形成する。
Next, a plurality of green sheets 1 are laminated to a predetermined thickness, and the first
As shown in the figure, two square holes 3 each having a square shape are punched out on the boundary line of each base body 2.

この角孔3の形成は角形ピンをプレスに取り付けてグリ
ーンシート1を打ち抜き形成する。角孔3は第6図に示
すように各辺がグリーンシート焼成後の角孔3A(仮想
線で示す)の各辺に対してグリーンシートの焼成による
収縮分を見込んだ張り出し量をもって外側に張り出しで
ある。
The square hole 3 is formed by punching out the green sheet 1 by attaching a square pin to a press. As shown in Fig. 6, each side of the square hole 3 extends outward by an amount that takes into account shrinkage due to the firing of the green sheet relative to each side of the square hole 3A (indicated by imaginary lines) after firing the green sheet. It is.

ここで、焼成後の角孔3Aは一辺の長さしを1Hの大き
さに設定する。グリーンシート1の焼成による角孔3の
一辺の収縮量を見込んで、角孔3の一辺を角孔3Aに一
辺に対して張り出し量gを0.11とじて外側に張り出
した大きさに設定する。すなわち、II/L−0,1と
する。
Here, the length of one side of the square hole 3A after firing is set to be 1H. Taking into consideration the amount of shrinkage of one side of the square hole 3 due to firing of the green sheet 1, one side of the square hole 3 is set to a size that projects outward from the square hole 3A by setting the overhang amount g to 0.11. . That is, it is set as II/L-0,1.

次いで、グリーンシート1を焼成して第3図に示すよう
に焼成シートIAを得る。焼成シートIAはグリーンシ
ート1から縮小し、これに伴い角孔3は各辺の張り出し
量gだけ縮小して位置決めピンを合致して係合できる大
きさの寸法を有する角孔3Aとなる。
Next, the green sheet 1 is fired to obtain a fired sheet IA as shown in FIG. The fired sheet IA is shrunk from the green sheet 1, and accordingly, the square hole 3 is shrunk by the amount g of protrusion on each side, becoming a square hole 3A having dimensions large enough to match and engage the positioning pin.

次に、第4図に示すように鋸盤の切断ブレードで焼成シ
ートIAを各配線基板の基体2の境界線に沿って切断し
て複数の基体2を作製した。
Next, as shown in FIG. 4, the fired sheet IA was cut along the boundaries of the base bodies 2 of each wiring board using a cutting blade of a saw to produce a plurality of base bodies 2.

そして、この切断により基体2の境界線上に位置する各
角孔3AがV形に分割される。これにより作製された各
基体2の2個の周縁には夫々2個の複数のV形をなす切
欠部4が形成される。
By this cutting, each square hole 3A located on the boundary line of the base body 2 is divided into V-shapes. Two plurality of V-shaped notches 4 are formed on two peripheral edges of each base body 2 thus produced.

次いで、作製した基体2の周縁を研摩加工した。Next, the periphery of the fabricated base 2 was polished.

次いで、各基体2の表面に薄膜法により所定パターンの
配線を形成した。この場合、第5図に示すように基体2
を図示しない位置決め治具に載せ、この位置決め治具に
設けた位置決めピン5を基体2の周縁部に形成された切
欠部4に係合する。この場合、第7図に示すように基体
2の切欠部5は一辺の長さが隣合う一対の辺で位置決め
ピン5が合致して係合できる大きさであるので、位置決
めピン5が充分に合致して係合する。このため、基体2
は位置決めピン5により所定位置に安定して保持され、
基体2の表面に高い精度で配線を形成することができた
Next, a predetermined pattern of wiring was formed on the surface of each substrate 2 by a thin film method. In this case, as shown in FIG.
is placed on a positioning jig (not shown), and a positioning pin 5 provided on the positioning jig is engaged with a notch 4 formed on the peripheral edge of the base body 2. In this case, as shown in FIG. 7, the notch 5 of the base body 2 has a size that allows the positioning pin 5 to match and engage with a pair of adjacent sides, so that the positioning pin 5 is Match and engage. For this reason, the base 2
is stably held in a predetermined position by the positioning pin 5,
Wiring could be formed on the surface of the base 2 with high precision.

なお、これまでの説明でグリーンシートに形成した位置
決め部例えば角孔を利用して切断および配線の形成を行
なっているが、この他に例えばグリーンシートから切断
すべき基体2の各角部に角孔を形成し、これら各角孔を
結んで切断することにより、第8図に示すように各角部
が斜めに切欠された基体2を作成できる。このように角
部がいわゆる0面となっていると、基体2における角部
の応力集中などによる破損を防止できる。
In addition, in the explanation so far, the positioning parts formed on the green sheet, such as square holes, are used to cut and form wiring, but in addition to this, for example, corners are placed on each corner of the base 2 to be cut from the green sheet. By forming holes, connecting and cutting these square holes, it is possible to create a base body 2 in which each corner is diagonally cut out, as shown in FIG. When the corner portions are in the so-called zero plane in this manner, damage due to stress concentration at the corner portions of the base body 2 can be prevented.

しかして本発明の配線基板を製造するに際して次に説明
する方法を採用するといっそう高い生産性をもって製造
することができる。
Therefore, when manufacturing the wiring board of the present invention, it is possible to manufacture the wiring board with even higher productivity by employing the method described below.

グリーンシートに対してブランク打抜き、スルーホール
形成および外形切断を行なう場合に、従来は夫々各工程
で金型ブレス、打ち抜き装置およびナイフカッタという
専門の装置を用いて加工を行なうので、加工に多くの設
備を必要とするとともに加工に要する工数が大であり、
また各工程毎に専用の治具を用いて加工を行なっている
ので、治具相互間の寸法のずれによりグリーンシートの
外形とスルーホールとの位置関係にずれを生じることが
ある。
Conventionally, when punching blanks, forming through-holes, and cutting external shapes on green sheets, specialized equipment such as a mold press, punching device, and knife cutter is used in each process, which requires a lot of processing time. It requires equipment and a large number of man-hours for processing.
Further, since processing is carried out using dedicated jigs for each step, dimensional deviations between the jigs may cause deviations in the positional relationship between the outer shape of the green sheet and the through holes.

そこで、ピン付き金型を用意し、この金型のピンでグリ
ーンシートを一定位置に保持して、ブランク打抜き、ス
ルーホール形成および外形切断の各加工を一度の工程で
行なうことができる。
Therefore, by preparing a mold with pins and holding the green sheet in a fixed position with the pins of this mold, blank punching, through-hole formation, and outline cutting can be performed in one process.

例えば、厚さ2mm、 150ma+X 150mmの
グリーンシートに対して直径0.10+u+のスルーホ
ールを間隔1.0+gmで形成し、外形寸法50.0a
uiX50.Oで切断する加工を本方法と従来方法で夫
々実施した。その結果、スルーホールの精度は本方法で
は直径0.10±0.02mm、間隔1.0±0.05
tsであったが、従来方法では直径0.10±0 、 
0411%間隔1.0±0.10■であった。外形寸法
は本方法による結果では50.0±0.1mmであった
が、従来方法では50.0±0.5IImであった。本
方法による一枚のグリーンシートを加工する時間は従来
方法の115〜1/6であった。
For example, through holes with a diameter of 0.10+u+ are formed at intervals of 1.0+gm in a green sheet with a thickness of 2 mm and a size of 150 ma + x 150 mm, and the external dimension is 50.0 a.
uiX50. Cutting with O was carried out using the present method and the conventional method. As a result, the accuracy of the through holes was 0.10±0.02mm in diameter and 1.0±0.05mm in pitch using this method.
ts, but in the conventional method the diameter was 0.10±0,
The 0411% interval was 1.0±0.10■. The external dimensions were 50.0±0.1 mm according to the present method, whereas they were 50.0±0.5 IIm according to the conventional method. The time required to process one green sheet using this method was 115 to 1/6 of that of the conventional method.

[発明の効果] 以上−説明したように本発明の配線基板の製造方法によ
れば、グリーンシートの段階で焼成による収縮分を見込
んだ大きさで位置決め部を形成するので、グリーンシー
トを焼成して四角形の形成した段階で位置決め部を必要
とする大きさに維持でき、従って焼成シートの表面に配
線を形成する場合に、焼成シートの位置決め部に位置決
め治具の位置決めピンを合致させて係合して四角形の諸
定位置に正確に保持し、焼成シートの表面に高い精度で
配線を形成することができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the method for manufacturing a wiring board of the present invention, the positioning portion is formed at the green sheet stage with a size that takes into account shrinkage due to firing, so the green sheet is not fired. The positioning part can be maintained at the required size at the stage where the square is formed. Therefore, when forming wiring on the surface of the fired sheet, the positioning pin of the positioning jig can be aligned and engaged with the positioning part of the fired sheet. It is possible to accurately hold the sheet in various square positions and form wiring on the surface of the fired sheet with high precision.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図ないし第4図は本発明の配線基板の製造方法の工
程を説明する図、第5図および第6図は配線基板の基体
に形成する位置決め部を説明する図、第7図および第8
図は配線基板の基体を示す図である。 1・・・グリーンシート、IA・・・焼成シート、2・
・・基体、3.3A・・・角孔(位置決め部)、4・・
・切欠部(位置決め部)、5・・・位置決めピン。 第5図
1 to 4 are diagrams for explaining the steps of the wiring board manufacturing method of the present invention, FIGS. 5 and 6 are diagrams for explaining the positioning portion formed on the base of the wiring board, and FIGS. 8
The figure shows the base of the wiring board. 1...green sheet, IA...fired sheet, 2.
...Base, 3.3A...Square hole (positioning part), 4...
- Notch part (positioning part), 5... positioning pin. Figure 5

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)セラミックスのグリーンシートに角形パンチを用
いて角形をなす位置決め部を打ち抜き形成する工程と、
グリーンシートを焼成して焼成シートを得る工程とを具
備し、前記位置決め部形成工程で形成する角形位置決め
部は、前記焼成シートに形成される角形位置決め部の辺
部に対して前記焼成による収縮量を見込んで外側に拡大
した辺部を有するものとすることを特徴とする配線基板
の製造方法。
(1) A step of punching and forming a square positioning part on a ceramic green sheet using a square punch,
and a step of firing a green sheet to obtain a fired sheet, and the square positioning part formed in the positioning part forming step has a shrinkage amount due to the firing with respect to the side part of the square positioning part formed on the fired sheet. 1. A method of manufacturing a wiring board, characterized in that the wiring board has a side portion enlarged outwardly in consideration of the above.
(2)位置決め部形成工程で形成する角形位置決め部は
、最終的に得る角形位置決め部の辺部に対してその一辺
の長さの10〜20%の範囲で外側に拡大した辺部を有
するものである請求項1記載の配線基板の製造方法。
(2) The rectangular positioning part formed in the positioning part forming step has a side that extends outward by 10 to 20% of the length of one side of the side of the finally obtained rectangular positioning part. The method for manufacturing a wiring board according to claim 1.
(3)位置決め部形成工程でグリーンシートに四角形の
角孔を形成し、焼成工程後に焼成シートを角孔を分割し
て切断し、周縁にV形位置決め部を有する焼成体を形成
する請求項1記載の配線基板の製造方法。
(3) Rectangular square holes are formed in the green sheet in the positioning portion forming step, and after the firing step, the fired sheet is cut by dividing the square holes to form a fired body having a V-shaped positioning portion on the periphery. A method of manufacturing the wiring board described above.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5894900A (en) * 1993-06-18 1999-04-20 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Motor vehicle with rear crawler belts
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