JPH03104732U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の塵埃除去機構が装備された熱
処理装置の要部の斜視図、第２図は同熱処理装置
における移送手段の要部のみを断面で示した説明
図である。 １……熱処理装置、２……反応炉、３……ボー
トローダ、４……ウエーハボート、５……移送手
段、６……カバー、７……ガイドスリツト、８…
…支持台、９……回転軸、１０……ボートトラン
スフア、１１，１２……ガイドレール、１３……
スライダー、１４……ローラ１４、１５，１６…
…脚部、１７……ベース板、１８……ボールネジ
、１８ａ……ネジ軸、１８ｂ……ナツト部、１９
……駆動源、２０……チエーン、２１……フレー
ム、３０……塵埃除去手段、３１……吸引手段、
３２……濾過手段、３３……連通パイプ、３４…
…集塵パイプ、３５……排気パイプ、３６……開
口部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) クリーンルーム内に設置され、ウエーハー
   ボートを移送する移送手段と、該ウエーハーボー
   トを収納して熱処理する反応炉を備えた熱処理装
   置において、吸引手段と濾過手段とを備えた塵埃
   除去手段を設け、該吸引手段により前記移送手段
   を含む近傍の領域を負圧にし、吸引された空気を
   前記濾過手段を通過させて清浄化することを特徴
   とする熱処理装置における塵埃飛散防止機構。 (2) 吸引手段は、移送手段における塵埃を発生
   しやすい位置に開口する集塵パイプを備えた請求
   項(1)記載の熱処理装置における塵埃飛散防止機
   構。 (3) 濾過手段は、少なくとも０．０５μｍの塵
   埃が除去できるフイルターを備えた請求項(1)記
   載の熱処理装置における塵埃飛散防止機構。