JPH03103734A - 振動式力センサ - Google Patents
振動式力センサInfo
- Publication number
- JPH03103734A JPH03103734A JP24256289A JP24256289A JPH03103734A JP H03103734 A JPH03103734 A JP H03103734A JP 24256289 A JP24256289 A JP 24256289A JP 24256289 A JP24256289 A JP 24256289A JP H03103734 A JPH03103734 A JP H03103734A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating
- hole
- thin
- vibrating piece
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は振動式力センサに関するものである。
従来の技術
従来の振動式力センサは第６図と第７図に示すように構
成されている〔米国特許第４．５９４，８９８号など〕
。これは起歪体１の上面に溝２を形成して応力集中部３
を起歪体１の途中に形成し、応力集中部３の両縁部４
ａ ｔ ４ ｂに水晶振動片５が貼り付けられている。
成されている〔米国特許第４．５９４，８９８号など〕
。これは起歪体１の上面に溝２を形成して応力集中部３
を起歪体１の途中に形成し、応力集中部３の両縁部４
ａ ｔ ４ ｂに水晶振動片５が貼り付けられている。
起歪体１の一端Ｐ１は固定され、他端Ｐ２に荷重Ｆが作
用する。水晶振動片５には第１，第２の長孔６ａ，６ｂ
が穿設されており、水晶振動片５を駆動すると第５図に
破線ａｌ ｂで示すように中央の梁部５ｃと両側の梁部
５ａ，５ｂとは逆位相で振動する。荷重Ｆが大きくなっ
て水晶振動片５に作用する引張力ｆが大きくなるに伴っ
て水晶振動片５の振動周波数は高くなる。そこでこの水
晶振動片５の振動周波数から荷重Ｆの大きさを測定でき
る。
用する。水晶振動片５には第１，第２の長孔６ａ，６ｂ
が穿設されており、水晶振動片５を駆動すると第５図に
破線ａｌ ｂで示すように中央の梁部５ｃと両側の梁部
５ａ，５ｂとは逆位相で振動する。荷重Ｆが大きくなっ
て水晶振動片５に作用する引張力ｆが大きくなるに伴っ
て水晶振動片５の振動周波数は高くなる。そこでこの水
晶振動片５の振動周波数から荷重Ｆの大きさを測定でき
る。
発明が解決しようとする課題
このような従来の構成では、荷重Ｆを水晶振動片５の振
動周波数として捕らえているため、ストレインゲージを
起歪体１に貼着した場合に比べて高分解能の荷重検出を
実現できる。しかし、荷重Ｆが一定であっても環境温度
が変化すると起歪体１と水晶振動片５の線膨張係数の違
いの影響を受けて水晶振動片５の振動周波数が変化し、
荷重Ｆを正確に測定できない問題がある。具体的には、
水晶振動片５が貼付されている起歪体１の前記両縁部４
ａ＋４ｂの長さが起歪体１の線膨張によって変動し、こ
れによって水晶振動片５に作用する引張力ｆが変動する
ものである。
動周波数として捕らえているため、ストレインゲージを
起歪体１に貼着した場合に比べて高分解能の荷重検出を
実現できる。しかし、荷重Ｆが一定であっても環境温度
が変化すると起歪体１と水晶振動片５の線膨張係数の違
いの影響を受けて水晶振動片５の振動周波数が変化し、
荷重Ｆを正確に測定できない問題がある。具体的には、
水晶振動片５が貼付されている起歪体１の前記両縁部４
ａ＋４ｂの長さが起歪体１の線膨張によって変動し、こ
れによって水晶振動片５に作用する引張力ｆが変動する
ものである。
本発明は起歪体１の線膨張の影響を軽減して、荷重を正
確に測定できる振動式力センサを提供することを目的と
する。
確に測定できる振動式力センサを提供することを目的と
する。
課題を解決するための手段
本発明の振動式力センサは、起歪体の薄肉の応力集中部
に、起歪体の固定端と可動端を結ぶ長手方向とは交差す
る方向に貫通孔を穿設して薄肉部を形成し、この薄肉部
の上面に、前記長手方向に突出した突部が形成されるよ
うに前記貫通孔と連通ずる切り欠き孔を穿設し、前記切
り欠き孔によって分割された前記薄肉部の間で起歪体の
固定端または可動端から等距離の第１，第２の取り付け
部の間に振動片を貼付したことを特徴とする。
に、起歪体の固定端と可動端を結ぶ長手方向とは交差す
る方向に貫通孔を穿設して薄肉部を形成し、この薄肉部
の上面に、前記長手方向に突出した突部が形成されるよ
うに前記貫通孔と連通ずる切り欠き孔を穿設し、前記切
り欠き孔によって分割された前記薄肉部の間で起歪体の
固定端または可動端から等距離の第１，第２の取り付け
部の間に振動片を貼付したことを特徴とする。
また、前記切り欠き孔によって分割された前記薄肉部の
間で起歪体の固定端または可動端からそれぞれ等距離の
取り付け部の間に一方には力が引張力として作用し他方
には圧縮力として作用するように第１の振動片と第２の
振動片を貼付したことを特徴とする。
間で起歪体の固定端または可動端からそれぞれ等距離の
取り付け部の間に一方には力が引張力として作用し他方
には圧縮力として作用するように第１の振動片と第２の
振動片を貼付したことを特徴とする。
好ましくは第１，第２の振動片を１一端が起歪体に貼付
され３本の振動エレメントの他端の相互間を連結して構
成する。
され３本の振動エレメントの他端の相互間を連結して構
成する。
作用
この構成によると、貫通孔と切り欠き孔が穿設された応
力集中部では、可動端に荷重が作用すると前記切り欠き
孔によって分割された前記薄肉部の間隔が変化する。こ
れによって貼付されている振動片に作用する引張力が変
化して、振動片の振動数が変化し、荷重を検出できる。
力集中部では、可動端に荷重が作用すると前記切り欠き
孔によって分割された前記薄肉部の間隔が変化する。こ
れによって貼付されている振動片に作用する引張力が変
化して、振動片の振動数が変化し、荷重を検出できる。
環境温度が変化して起歪体が膨張すると、振動片の起歪
体への貼付位置である第１の取り付け部と第２の取り付
け部は起歪体の長手方向にほぼ同じように移動し、この
２点間での前記長手方向での間隔の変動は非常に僅かで
ある。したがって、環境温度が変化しても振動片に作用
する引張力の変化は極めて僅かであって、荷重に応じた
正確な振動周波数信号が得られる。
体への貼付位置である第１の取り付け部と第２の取り付
け部は起歪体の長手方向にほぼ同じように移動し、この
２点間での前記長手方向での間隔の変動は非常に僅かで
ある。したがって、環境温度が変化しても振動片に作用
する引張力の変化は極めて僅かであって、荷重に応じた
正確な振動周波数信号が得られる。
また、上記のように切り欠き孔によって分割された同一
の薄肉部について、作用する力の方向が引張力と圧縮力
で異なるように貼付された第ｌ，第２の振動片は、作用
する力の大きさが同一でその方向が逆方向であるため、
検出力については振動周波数の変化の方向が逆方向であ
る。環境温度の変化などのノイズについては第１，第２
の振動片の振動周波数は同一の方向に変化するため、第
ｌ，第２の振動片の振動周波数の偏差を求めると、ノイ
ズ成分による振動周波数の変化分が打ち消される。
の薄肉部について、作用する力の方向が引張力と圧縮力
で異なるように貼付された第ｌ，第２の振動片は、作用
する力の大きさが同一でその方向が逆方向であるため、
検出力については振動周波数の変化の方向が逆方向であ
る。環境温度の変化などのノイズについては第１，第２
の振動片の振動周波数は同一の方向に変化するため、第
ｌ，第２の振動片の振動周波数の偏差を求めると、ノイ
ズ成分による振動周波数の変化分が打ち消される。
また、第１，第２の振動片の構造を３本の振動エレメン
トとすると、中央の振動エレメントとその両側の振動エ
レメントの間で振動振幅の位相を逆相にすることによっ
て、振動片の固有振動を振動片の中だけに閉じ込めるこ
とができる。
トとすると、中央の振動エレメントとその両側の振動エ
レメントの間で振動振幅の位相を逆相にすることによっ
て、振動片の固有振動を振動片の中だけに閉じ込めるこ
とができる。
実施例
以下、本発明の実施例を第１図〜第５図に基づいて説明
する。
する。
第１図と第２図は本発明の振動弐カセンサを示す。起歪
体１は恒弾性金属材料ブロックに孔８を穿設して薄肉の
応力集中部９ａ〜９ｄが形成されている。応力集中部８
ａ〜９ｄには起歪体１の長手方向とは交差する方向にそ
れぞれ貫通孔１０ａ〜１０ｄを穿設して薄肉部１ １
ａ−１ １ ｄが形成されている。薄肉部１１ａ〜Ｉｌ
ｄには切り欠き孔１２が穿設されている。具体的には、
薄肉部１１ａの上面には起歪体１の長手方向に突部ｌ３
が形成されるように、貫通孔１０ａに連通ずる切り欠き
孔ｌ２が穿設されている。薄肉部１ｌｂ−ｌｉｄにおけ
る切り欠き孔１２も同様である。ここでは応力集中部９
ａ＊９ｂに形成された薄肉部１１ａ． ｌｌｂに次のよ
うに振動片ｌ４が貼付されている。
体１は恒弾性金属材料ブロックに孔８を穿設して薄肉の
応力集中部９ａ〜９ｄが形成されている。応力集中部８
ａ〜９ｄには起歪体１の長手方向とは交差する方向にそ
れぞれ貫通孔１０ａ〜１０ｄを穿設して薄肉部１ １
ａ−１ １ ｄが形成されている。薄肉部１１ａ〜Ｉｌ
ｄには切り欠き孔１２が穿設されている。具体的には、
薄肉部１１ａの上面には起歪体１の長手方向に突部ｌ３
が形成されるように、貫通孔１０ａに連通ずる切り欠き
孔ｌ２が穿設されている。薄肉部１ｌｂ−ｌｉｄにおけ
る切り欠き孔１２も同様である。ここでは応力集中部９
ａ＊９ｂに形成された薄肉部１１ａ． ｌｌｂに次のよ
うに振動片ｌ４が貼付されている。
第３図は薄肉部１１ａの拡大図で、切り欠き孔Ｉ２によ
って分割された前記薄肉部１１ａの間で起歪体１の可動
端Ｐ２から等距ＭＬ．の第１〜第８の取り付け部１１〜
Ｊ３の間に、振動エレメン｝Ｅｌとその両側の振動しな
いエレメントＥ２，Ｅ３からなる３本脚の振動片ｌ４が
設けられている。具体的には各エレメン｝ Ｅ ｔ〜Ｅ
３の一端が第１〜第３の取り付け部Ｊ１〜Ｊ３に貼付さ
れ、エレメン｝Ｅｌ〜Ｅ３の他端の相互間を連結して構
成されている。
って分割された前記薄肉部１１ａの間で起歪体１の可動
端Ｐ２から等距ＭＬ．の第１〜第８の取り付け部１１〜
Ｊ３の間に、振動エレメン｝Ｅｌとその両側の振動しな
いエレメントＥ２，Ｅ３からなる３本脚の振動片ｌ４が
設けられている。具体的には各エレメン｝ Ｅ ｔ〜Ｅ
３の一端が第１〜第３の取り付け部Ｊ１〜Ｊ３に貼付さ
れ、エレメン｝Ｅｌ〜Ｅ３の他端の相互間を連結して構
成されている。
薄肉部１ｌｂへの振動片ｌ４の貼付も同様である。
このように構成したため、振動片ｌ４を励起すると振動
エレメントＥ，が固有振動数で振動する。
エレメントＥ，が固有振動数で振動する。
振動片１４には荷重Ｆが引張力として作用し、荷重Ｆが
大きくなる方向に変化すると振動片１４の固有振動数が
高くなる方向に変化する。したがって、この振動片１４
． １４の固有振動数を測定することによって荷重Ｆを
求めることができる。
大きくなる方向に変化すると振動片１４の固有振動数が
高くなる方向に変化する。したがって、この振動片１４
． １４の固有振動数を測定することによって荷重Ｆを
求めることができる。
さらに、環境温度が上昇して起歪体１が長手方向に膨張
しても第１〜第３の取り付け部Ｊ１〜Ｊ３は何れも起歪
体１の端部からほぼ等距離の位置になるため、振動片ｌ
４に作用する引張力はほとんど変化せず、環境温度の影
響を受けない正確な荷重測定ができる。
しても第１〜第３の取り付け部Ｊ１〜Ｊ３は何れも起歪
体１の端部からほぼ等距離の位置になるため、振動片ｌ
４に作用する引張力はほとんど変化せず、環境温度の影
響を受けない正確な荷重測定ができる。
上記の実施例では振動片１４． １４は何れも引張力を
検出するように貼着したが、第３図に仮想線で示すよう
に圧縮力を検出するよう第１〜第３の取？付け部Ｊ１〜
Ｊ３の間に貼着しても荷重Ｆを検出できる。
検出するように貼着したが、第３図に仮想線で示すよう
に圧縮力を検出するよう第１〜第３の取？付け部Ｊ１〜
Ｊ３の間に貼着しても荷重Ｆを検出できる。
上記の実施例では単一の振動エレメントＥ８とその両側
の振動しないエレメントＥ２，Ｅ３の振動片ｌ４を使用
したが、第１の取り付け部Ｊ１と第２の取り付け部Ｊ２
の間、または第１の取り付け部Ｊ■と第３の取り付け部
Ｊ３の間に単一の振動エレメントを引張力または圧縮力
を検出するように貼付しても荷重Ｆを固有振動数として
捕らえることができる。また、エレメントＥｌ，Ｅ２，
Ｅ３を振動エレメントとしたものも考えられる。
の振動しないエレメントＥ２，Ｅ３の振動片ｌ４を使用
したが、第１の取り付け部Ｊ１と第２の取り付け部Ｊ２
の間、または第１の取り付け部Ｊ■と第３の取り付け部
Ｊ３の間に単一の振動エレメントを引張力または圧縮力
を検出するように貼付しても荷重Ｆを固有振動数として
捕らえることができる。また、エレメントＥｌ，Ｅ２，
Ｅ３を振動エレメントとしたものも考えられる。
上記の実施例では各１つの振動片ｌ４を薄肉部１１ａ，
ｌｌｂに貼付したが、作用する力が一定であっても環
境温度が変化すると振動片の固有振動数が僅か変化する
。そのため、より正確に荷重Ｆを測定するためには、第
４図と第５図に示すように１つの薄肉部に２つの振動片
１４ａ，１４ｂを貼付することが好ましい。具体的には
、引張力を検出するように第１の振動片１４ａを第１〜
第３の取り付け部Ｊ８〜Ｊ３に貼付し、圧縮力を検出す
るように第２の振動片１４ｂを第４〜第６の取り付け部
１４〜Ｊ＠に貼付する。起歪体１の端部から第１〜第３
の取り付け部Ｊ１〜Ｊ３までの距離Ｌｌと第４〜第８の
取り付け部Ｊ４〜Ｊ６までの距離Ｌ２とはほぼ等しいこ
とが望ましい。
ｌｌｂに貼付したが、作用する力が一定であっても環
境温度が変化すると振動片の固有振動数が僅か変化する
。そのため、より正確に荷重Ｆを測定するためには、第
４図と第５図に示すように１つの薄肉部に２つの振動片
１４ａ，１４ｂを貼付することが好ましい。具体的には
、引張力を検出するように第１の振動片１４ａを第１〜
第３の取り付け部Ｊ８〜Ｊ３に貼付し、圧縮力を検出す
るように第２の振動片１４ｂを第４〜第６の取り付け部
１４〜Ｊ＠に貼付する。起歪体１の端部から第１〜第３
の取り付け部Ｊ１〜Ｊ３までの距離Ｌｌと第４〜第８の
取り付け部Ｊ４〜Ｊ６までの距離Ｌ２とはほぼ等しいこ
とが望ましい。
このように第１，第２の振動片１４ａ，１４ｂを使用す
ると次のようにして環境温度に伴う固有振動周波数の変
動成分を打ち消すことができる。
ると次のようにして環境温度に伴う固有振動周波数の変
動成分を打ち消すことができる。
第１，第２の振動片１４ａ． １４ｂの固有振動数をそ
れぞれｆｓ＝ｆ２とすると、 ｆｓ＝ｆｘｏ ＋ Δｆ． ｆ２ ＝ｆ Ｑｏ ＋ Δ ｆ２と表せる。ｆｌ
Ｇは第１の振動片１４ａに作用している規定の力に応じ
た振動数、ｆ２。は第２の振動片１４ｂに作用している
規定の力に応じた振動数、Δｆ２は環境温度変化に伴う
固有振動周波数の変動成分である。ここで荷重Ｆが増加
したときのｆｌ＋ｆ２は、 ｆ１ ＝（ｆｔ。−Δｆｔ）＋ Δｆ２ｆａ＝（ｆ２。
れぞれｆｓ＝ｆ２とすると、 ｆｓ＝ｆｘｏ ＋ Δｆ． ｆ２ ＝ｆ Ｑｏ ＋ Δ ｆ２と表せる。ｆｌ
Ｇは第１の振動片１４ａに作用している規定の力に応じ
た振動数、ｆ２。は第２の振動片１４ｂに作用している
規定の力に応じた振動数、Δｆ２は環境温度変化に伴う
固有振動周波数の変動成分である。ここで荷重Ｆが増加
したときのｆｌ＋ｆ２は、 ｆ１ ＝（ｆｔ。−Δｆｔ）＋ Δｆ２ｆａ＝（ｆ２。
十Δｆ２）＋ Δｆ．
と表せる。したがって、第１，第２の振動片１４ａ，１
４ｂの振動周波数の偏差（ｆ１−ｆ２）は、＝（ｆ＋ｏ
ｆ２ｏ）一Δ（ｆｔ＋ｆ２）となり、環境温度変化
に伴う固有振動周波数の変動成分Δｆ２を消去できる。
４ｂの振動周波数の偏差（ｆ１−ｆ２）は、＝（ｆ＋ｏ
ｆ２ｏ）一Δ（ｆｔ＋ｆ２）となり、環境温度変化
に伴う固有振動周波数の変動成分Δｆ２を消去できる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、起歪体の薄肉の応力集中
部に、起歪体の固定端と可動端を結ぶ長手方向とは交差
する方向に貫通孔を穿設して薄肉部を形成し、この薄肉
部の上面に、前記長手方向に突出した突部が形成される
ように前記貫通孔と連通ずる切り欠き孔を穿設し、前記
切り欠き孔によって分割された前記薄肉部の間で起歪体
の固定端または可動端から等距離の第１，第２の取り付
け部の間に振動片を貼付したため、環境温度が変動して
起歪体に線膨張が発生しても第１，第２の取り付け部の
相互間の位置にはほとんど変化が発生しないため、荷重
を正確に測定できる。
部に、起歪体の固定端と可動端を結ぶ長手方向とは交差
する方向に貫通孔を穿設して薄肉部を形成し、この薄肉
部の上面に、前記長手方向に突出した突部が形成される
ように前記貫通孔と連通ずる切り欠き孔を穿設し、前記
切り欠き孔によって分割された前記薄肉部の間で起歪体
の固定端または可動端から等距離の第１，第２の取り付
け部の間に振動片を貼付したため、環境温度が変動して
起歪体に線膨張が発生しても第１，第２の取り付け部の
相互間の位置にはほとんど変化が発生しないため、荷重
を正確に測定できる。
また、前記切り欠き孔によって分割された前記薄肉部の
間で起歪体の固定端または可動端からそれぞれ等距離の
取り付け部の間に一方には力が引張力として作用し他方
には圧縮力として作用するように第１の振動片と第２の
振動片を貼付した場合には、作用する力の方向が引張力
と圧縮力で異なるように貼付された第１，第２の振動片
は、作用する力の大きさが同一でその方向が逆方向であ
るため、検出力については振動周波数の変化の方向が逆
方向であって、環境温度の変化などのノイズについては
第１，第２の振動片の振動周波数は同一の方向に変化す
るため、第１，第２の振動片の振動周波数の偏差を求め
ると、ノイズ成分による振動周波数の変化分を打ち消す
ことができる。
間で起歪体の固定端または可動端からそれぞれ等距離の
取り付け部の間に一方には力が引張力として作用し他方
には圧縮力として作用するように第１の振動片と第２の
振動片を貼付した場合には、作用する力の方向が引張力
と圧縮力で異なるように貼付された第１，第２の振動片
は、作用する力の大きさが同一でその方向が逆方向であ
るため、検出力については振動周波数の変化の方向が逆
方向であって、環境温度の変化などのノイズについては
第１，第２の振動片の振動周波数は同一の方向に変化す
るため、第１，第２の振動片の振動周波数の偏差を求め
ると、ノイズ成分による振動周波数の変化分を打ち消す
ことができる。
また、第１，第２の振動片を、一端が起歪体に貼付され
３本の振動エレメントの他端の相互間を連結して構成し
た場合には、中央の振動エレメントとその両側の振動エ
レメントの間で振動振幅の位相を逆相にすることによっ
て、振動片の固有振動を振動片の中だけに閉じ込めるこ
とができて、僅かの振動振幅であっても荷重を正確に測
定できる。
３本の振動エレメントの他端の相互間を連結して構成し
た場合には、中央の振動エレメントとその両側の振動エ
レメントの間で振動振幅の位相を逆相にすることによっ
て、振動片の固有振動を振動片の中だけに閉じ込めるこ
とができて、僅かの振動振幅であっても荷重を正確に測
定できる。
第１図は本発明の振動式力センサの一実施例の平面図、
第２図は同装置の側面図、第３図は同装置の要部拡大図
、第４図は別の実施例の要部拡大図、第５図は第４図の
側面図、第６図は従来の振動式力センサの平面図、第７
図は同装置の側面図である。 １・・・起歪体、９ａ〜９ｂ・・・応力集中部、Ｐ１・
・・固定端ＮＰ２・・・可動端Ｎ Ｉ Ｏ ａ ” ｌ
Ｏ ｄ・・・貫通孔、ｌｌａ−１１ｄ・・・薄肉部、
１２・・・切り欠き孔、ｌ３・・・突部、ｌ４・・・振
動片、１４ａ， １４ｂ・・・第１，第２の振動片、Ｅ
１〜Ｅ３・・・振動エレメント、Ｊ１〜Ｊ３・・・第１
〜第３の取り付け部、Ｊ４〜Ｊ８・・・第４〜第６の取
り付け部。 第ｆ図 第２図
第２図は同装置の側面図、第３図は同装置の要部拡大図
、第４図は別の実施例の要部拡大図、第５図は第４図の
側面図、第６図は従来の振動式力センサの平面図、第７
図は同装置の側面図である。 １・・・起歪体、９ａ〜９ｂ・・・応力集中部、Ｐ１・
・・固定端ＮＰ２・・・可動端Ｎ Ｉ Ｏ ａ ” ｌ
Ｏ ｄ・・・貫通孔、ｌｌａ−１１ｄ・・・薄肉部、
１２・・・切り欠き孔、ｌ３・・・突部、ｌ４・・・振
動片、１４ａ， １４ｂ・・・第１，第２の振動片、Ｅ
１〜Ｅ３・・・振動エレメント、Ｊ１〜Ｊ３・・・第１
〜第３の取り付け部、Ｊ４〜Ｊ８・・・第４〜第６の取
り付け部。 第ｆ図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、起歪体の薄肉の応力集中部に、起歪体の固定端と可
動端を結ぶ長手方向とは交差する方向に貫通孔を穿設し
て薄肉部を形成し、この薄肉部の上面に、前記長手方向
に突出した突部が形成されるように前記貫通孔と連通す
る切り欠き孔を穿設し、前記切り欠き孔によって分割さ
れた前記薄肉部の間で起歪体の固定端または可動端から
等距離の第１、第２の取り付け部の間に振動片を貼付し
た振動式力センサ。 ２、起歪体の薄肉の応力集中部に、起歪体の固定端と可
動端を結ぶ長手方向と交差する方向に貫通孔を穿設して
薄肉部を形成し、この薄肉部の上面に、前記長手方向に
突出した突部が形成されるように前記貫通孔と連通する
切り欠き孔を穿設し、前記切り欠き孔によって分割され
た前記薄肉部の間で起歪体の固定端または可動端からそ
れぞれ等距離の取り付け部の間に一方には力が引張力と
して作用し他方には圧縮力として作用するように第１の
振動片と第２の振動片を貼付し、第１、第２の振動片の
振動周波数の偏差を荷重検出出力とした振動式力センサ
。 ３、第１、第２の振動片を、一端が起歪体に貼付され３
本の振動エレメントの他端の相互間を連結して構成した
請求項１、２記載の振動式力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24256289A JPH03103734A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 振動式力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24256289A JPH03103734A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 振動式力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03103734A true JPH03103734A (ja) | 1991-04-30 |
Family
ID=17090932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24256289A Pending JPH03103734A (ja) | 1989-09-19 | 1989-09-19 | 振動式力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03103734A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009162598A (ja) * | 2007-12-29 | 2009-07-23 | Brother Ind Ltd | 表示体及び表示体構造 |
-
1989
- 1989-09-19 JP JP24256289A patent/JPH03103734A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009162598A (ja) * | 2007-12-29 | 2009-07-23 | Brother Ind Ltd | 表示体及び表示体構造 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100235129B1 (ko) | 하중 셀 | |
| EP0738383B1 (en) | Load cell | |
| Su et al. | Characterization of a highly sensitive ultra-thin piezoresistive silicon cantilever probe and its application in gas flow velocity sensing | |
| JPH02189433A (ja) | 振動型の力・周波数変換器 | |
| EP2485060B1 (en) | A MEMS vibrating-beam accelerometer with piezoelectric drive | |
| JP2011141281A (ja) | 角速度のための振動マイクロ−メカニカルセンサー | |
| US6532822B1 (en) | Resonant torsion pendulum pressure sensor | |
| US6633008B2 (en) | Electronic force sensing shock resistant load cell | |
| Gehin et al. | Design and characterisation of a new force resonant sensor | |
| Barthod et al. | Resonant force sensor using a PLL electronic | |
| JPH03103734A (ja) | 振動式力センサ | |
| US6959600B2 (en) | Vibratory gyroscope | |
| KR20210137545A (ko) | 2차원 힘 센서 | |
| US8739641B2 (en) | Resonating force sensor sensitive to micro-forces | |
| Randall et al. | A pressure transducer using a metallic triple-beam tuning fork | |
| US6907785B1 (en) | Diagnostic sensor | |
| CN206695931U (zh) | 一种力传感器 | |
| JP2011064651A (ja) | 加速度検出器 | |
| Barthod et al. | New force sensor based on a double ended tuning fork | |
| JP2006300908A (ja) | 力変換器 | |
| JPS5897610A (ja) | 捩り−周波数変換器 | |
| Kumme | Dynamic force measurement in practical applications | |
| CN106932126B (zh) | 一种力传感器 | |
| JP2011064652A (ja) | 加速度検出器 | |
| US4047428A (en) | Force measuring transducer with frequency output signal |