JPH03100073A - Positive photosensitive electrodeposition coating resin composition - Google Patents

Positive photosensitive electrodeposition coating resin composition

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JPH03100073A
JPH03100073A JP23843289A JP23843289A JPH03100073A JP H03100073 A JPH03100073 A JP H03100073A JP 23843289 A JP23843289 A JP 23843289A JP 23843289 A JP23843289 A JP 23843289A JP H03100073 A JPH03100073 A JP H03100073A
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JP
Japan
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polymer
electrodeposition coating
weight
parts
resin composition
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JP23843289A
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Japanese (ja)
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Shigeo Tachiki
立木 繁雄
Masahiko Ko
昌彦 廣
Koshi Seya
幸志 瀬谷
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To obtain an electrodeposition coating material which can form a highly photosensitive film uniform on the surface of a conductive substance by mixing a carboxylated polymer with a polymer derived by introducing a quinonediazide into a p-vinylphenol polymer. CONSTITUTION:A positive photosensitive electrodeposition coating resin composition comprising 30-99 pts.wt. per 100 pts.wt. total of (a) and (b), carboxylated polymer (a) of an acid value of 30-250 and 1-70 pts.wt., per 100 pts.wt. total of (a) and (b), polymer (b) derived by introducing a quinonediazide into a p- vinylphenol polymer. Because of their high polymerizability, acrylic acid and methacrylic acid are particularly preferable as the carboxylated polymer used. It is desirable to use a polymer formed by copolymerizing a polymerizable monomer which can give a homopolymer of a glass transition point <=0 deg.C as the polymer (a) since it can give an electrodeposition film or a resist film which is flexible and touch.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、プリント回路板の製造等におけるレジストパ
ターンの形成に用いられるポジ型感光性電着塗料樹脂組
成物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a positive photosensitive electrodeposition coating resin composition used for forming resist patterns in the manufacture of printed circuit boards, etc.

(従来の技術) 従来、基板表面にレジストバター/を形成する方法とし
ては、基板表面に感光層を形成し、ついで活性光線を照
射後、視像する方法がよく用いられている。この工程に
おける感光層の形成には攬々の方法が採用されている。
(Prior Art) Conventionally, as a method of forming a resist butter/on a substrate surface, a method is often used in which a photosensitive layer is formed on the substrate surface, and then actinic light is irradiated, followed by visual imaging. Many methods are used to form the photosensitive layer in this step.

例えばデイツプコート、ロールコート、力・−テンコー
ト等の感光性樹脂組成物溶液(塗液)を用いる方法、あ
るいは感光層を基材フィルム上にあらかじめ形成したも
の(以下、感光性フィルムと略す)を基板表面にラミネ
ーター等を用いて積層する方法などが知られている。こ
れらの方法のうち、感光性フィルムを用いる方法は簡便
に均一な厚みの感光層が形成できることから、現在、特
にプリント回路板製造の分野では主流の方法として採用
されている。
For example, a method using a photosensitive resin composition solution (coating liquid) such as dip coating, roll coating, force-ten coating, or a method using a photosensitive layer formed on a base film (hereinafter abbreviated as photosensitive film) is used as a substrate. A method of laminating layers on the surface using a laminator or the like is known. Among these methods, the method using a photosensitive film is currently adopted as the mainstream method, particularly in the field of printed circuit board manufacturing, because it can easily form a photosensitive layer with a uniform thickness.

(発明が解決しようとする課題) 最近、プリント回路板の高密度、高精度化が進むに伴い
、レジストパターンはより高品質のものが必要となって
きている。即ち、ピンホールがなく、下地の基板表面に
よく密着したレジストパターンであることが望まれてい
る。かかる要求に対して現在主流となっている感光性フ
ィルムを積層する方法では限界のあることが知られてい
る。この方法では、基板製造時の打痕、研磨の不均一性
(Problems to be Solved by the Invention) Recently, as printed circuit boards have become denser and more precise, resist patterns of higher quality have become necessary. That is, it is desired that the resist pattern be free of pinholes and that is in close contact with the surface of the underlying substrate. It is known that the currently mainstream method of laminating photosensitive films has limitations in meeting such demands. This method eliminates dents and uneven polishing during substrate manufacturing.

基板内層のガラス布の網目2表面への銅めっきのピット
等の不均一等によって生起する基板表面の凹凸への追従
性が乏しく、十分な密着性を得ることが困難である。こ
の困難は感光性フィルム積層を減圧下で行なうこと(特
公昭59−3740号公報参照)によっである程度回避
できるが、これには特殊で高価な装置が必要となる。
It is difficult to follow irregularities on the surface of the substrate caused by non-uniform pits of copper plating on the surface of the mesh 2 of the glass cloth in the inner layer of the substrate, and it is difficult to obtain sufficient adhesion. This difficulty can be avoided to some extent by laminating photosensitive films under reduced pressure (see Japanese Patent Publication No. 59-3740), but this requires special and expensive equipment.

このようなことが理由となって、近年再びデイツプコー
ト、ロールコート、カーテンコート等の溶液塗工の方法
が見直されるようになってきた。
For these reasons, solution coating methods such as dip coating, roll coating, and curtain coating have been reconsidered in recent years.

しかし、これらの塗工方法では、膜厚の制御が困難、膜
厚の均一性が不十分、ピンホールの発生等の問題がある
However, these coating methods have problems such as difficulty in controlling the film thickness, insufficient uniformity of the film thickness, and occurrence of pinholes.

そこで最近新たな方法として電着塗装により感光膜を形
成する方法が提案されている(特開昭62−23549
6号公報参照)。この方法によると、■レジストの密着
性が向上する。■基板表面の凹凸への追従性が良好、■
短時間で膜厚の均一な感光膜を形成できる。■塗液が水
溶液のため。
Recently, a new method of forming a photoresist film by electrodeposition coating has been proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 62-23549
(See Publication No. 6). According to this method, (1) the adhesion of the resist is improved; ■Good followability to irregularities on the substrate surface,■
A photoresist film with uniform thickness can be formed in a short time. ■Because the coating liquid is an aqueous solution.

作業環境の汚染が防止でき、防災上にも問題がない等の
利点がある。
It has advantages such as preventing contamination of the working environment and causing no problems in terms of disaster prevention.

そのため特にスルーホールを有するプリント回路板の製
造に有効と考えられるポジ型の感光性電着塗料について
は、従来から幾つかの提案がなされてきた。中でもベン
ゼン環に直接結合している水酸基(いわゆるフェノール
性の水酸基)にキノンジアジドのスルホン酸クロリドを
反応させてエステル結合により導入したヤキノンジアジ
ド基及び電着塗装を可能にするためのカルボキシル基又
はアミノ基を同一ポリマ分子中に同時に有したポリマー
は合成が比較的容易なことからよく検討されてきた。
For this reason, several proposals have been made in the past regarding positive-type photosensitive electrodeposition paints that are considered to be particularly effective in manufacturing printed circuit boards having through holes. Among them, yaquinonediazide groups are introduced through ester bonds by reacting quinonediazide sulfonic acid chloride with hydroxyl groups directly bonded to benzene rings (so-called phenolic hydroxyl groups), and carboxyl groups or amino groups to enable electrodeposition coating. Polymers that simultaneously have these in the same polymer molecule have been well studied because they are relatively easy to synthesize.

この場合には、2つの方法がある(例えば特開昭61−
206293号公報)。1つはあらかじめフェノール性
の水酸基を有し九重合性モノマー例えばp−ヒドロキシ
フェノールとカルボキシル基を有した重合性モノマー、
例えばメタクリル酸を共重合したポリマーにO−す7ト
キノ/−(1゜2)−ジアジド−(2)−スルホン酸ク
ロリドを反応させて、ポリマー中にナフトキノンジアジ
ドとカルボキシル基を同時にもたせる方法を、他の1つ
はあらかじめフェノール性の水酸基を有する重合性モノ
マーにキノ/ジアジドのスルホン酸クロリドを反応させ
て、モノマーの段階でキノンジアジドを導入しておき、
このキノンジアジドを導入した重合性モノマーとカルボ
キシル基を有した重合性モノマー、例えばメタクリル酸
を共重合することによυ、ポリマー中にキノンジアジド
とカルボキシル基を同時にもたせる方法である。
In this case, there are two methods (for example, JP-A-61-
206293). One is a nonapolymerizable monomer that already has a phenolic hydroxyl group, such as p-hydroxyphenol and a polymerizable monomer that has a carboxyl group;
For example, a method in which a polymer copolymerized with methacrylic acid is reacted with O-su7toquino/-(1°2)-diazide-(2)-sulfonic acid chloride to simultaneously provide naphthoquinone diazide and carboxyl groups in the polymer is The other method is to react quinonediazide sulfonic acid chloride with a polymerizable monomer having a phenolic hydroxyl group in advance, and introduce quinonediazide at the monomer stage.
This method involves copolymerizing a polymerizable monomer into which quinonediazide has been introduced with a polymerizable monomer having a carboxyl group, such as methacrylic acid, to simultaneously provide quinonediazide and a carboxyl group in the polymer.

しかしこれらの場合には大きな問題点があった。However, there were major problems in these cases.

すなわち、前者の方法では、フェノール性の水酸基をも
つ重合性モノマーを共重合した最初のポリマーの分子量
が高くできず低いために、電着塗装膜(感光膜)や現像
後のレジスト膜の機械的強度が弱く、わずかな衝撃でも
はく離、かけといった問題が生じやすいこと、また後者
の方法では重合中にキノンジアジドが熱分解してポリマ
ー中のキノ/ジアジドの導入率が低下しやすいこと及び
前者と同様に高分子量のポリマーが得られないための電
着塗装膜やレジスト膜の機械強度不足という問題が生じ
やすかった。
In other words, in the former method, the molecular weight of the initial polymer copolymerized with a polymerizable monomer having a phenolic hydroxyl group cannot be high and is low, so the mechanical strength of the electrodeposited film (photosensitive film) and the resist film after development is low. It has low strength and tends to cause problems such as peeling and flaking even with the slightest impact, and in the latter method, quinonediazide is likely to thermally decompose during polymerization, resulting in a decrease in the rate of quinone/diazide introduction into the polymer.Same as the former method. However, because high molecular weight polymers cannot be obtained, problems such as insufficient mechanical strength of electrodeposited coating films and resist films tend to occur.

(課題を解決するための手段) そこで本発明者らは、鋭意検討した結果、電着塗装を可
能にするためのポリマーと、ポジ型の感光性を有するポ
リマーとをそれぞれを別々に合成し、それらを組み合わ
せることにより従来技術の問題点を解決し電着塗装に適
したポジ型感光性電着塗料樹脂組成物を見い出すに至っ
た。
(Means for Solving the Problems) As a result of intensive study, the present inventors separately synthesized a polymer for enabling electrodeposition coating and a polymer having positive photosensitivity. By combining these, the problems of the prior art were solved and a positive photosensitive electrodeposition coating resin composition suitable for electrodeposition coating was discovered.

すなわち1本発明は。In other words, one aspect of the present invention is.

(a)  酸価が30〜250のカルボキシル基含有ポ
リマーを(a)及び(b)の総量100重量部に対して
30〜99重量部 及び tb)p−ビニルフェノールを含むポリマーにヤノンジ
アジド類を導入せしめたポリマーを(al及び(b)の
総量100重量部に対して1〜70重量部を含有するこ
とを特徴とするポジ型感光性電着樹脂組成物に関する。
(a) 30 to 99 parts by weight of a carboxyl group-containing polymer having an acid value of 30 to 250 based on 100 parts by weight of the total amount of (a) and (b), and tb) Introducing yanone diazides into a polymer containing p-vinylphenol. The present invention relates to a positive photosensitive electrodeposition resin composition containing 1 to 70 parts by weight of the polymer (al) and (b) in an amount of 1 to 70 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of (al and (b)).

本発明になる2攬類のポリマーを併用することを特徴と
したポジ型感光性電着塗料樹脂組成物を用いることによ
り前述の電着塗装により感光膜を形成する利点を生かす
ことができ、しかもその後の露光、現像工程の際には1
本発明になるポジ型感光性電着塗料樹脂組成物の特長で
ある高感度及び良好なレジスト性能を生かして、高密度
、高精度のレジストパターンを形成できる。
By using the positive-type photosensitive electrodeposition coating resin composition characterized in that the two types of polymers of the present invention are used in combination, it is possible to take advantage of the advantages of forming a photosensitive film by electrodeposition coating as described above. 1 during the subsequent exposure and development process.
By taking advantage of the high sensitivity and good resist performance that are the features of the positive photosensitive electrodeposition coating resin composition of the present invention, a resist pattern with high density and high precision can be formed.

以下9本発明について詳述する。Below, nine aspects of the present invention will be described in detail.

fa)の成分である酸価が30〜250のカルボキシル
基含有yt! !Jママ−5分子中にカルボキシル基を
有しているポリマーであれば9例えばアルキッド樹脂、
ポリエステル樹脂など特に制限はないが。
carboxyl group-containing yt with an acid value of 30 to 250, which is a component of fa)! ! J Mama-5 If it is a polymer having a carboxyl group in the molecule, 9 For example, alkyd resin,
There are no particular restrictions on polyester resin, etc.

好ましくは、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸等のカルボキシル基含有重合性モノマーを1
種類以上共重合し*(メタ)アクリル系ポリマーを挙げ
ることができる。この中でもアクリル酸及びメタクリル
酸は重合性も高く好ましいカルボキシル基含有重合性モ
ノマーである。
Preferably acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid,
1 carboxyl group-containing polymerizable monomer such as maleic acid
Copolymerized * (meth)acrylic polymers can be mentioned. Among these, acrylic acid and methacrylic acid are preferred carboxyl group-containing polymerizable monomers because of their high polymerizability.

(メタ)アクリル系ポリマーの場合には上記のカルボキ
シル基含有重合性モノマー以外に例えば。
In the case of (meth)acrylic polymers, in addition to the above carboxyl group-containing polymerizable monomers, for example.

メチルアクリレート。メチルメタクリレート、エチルメ
タクリレート、ブチルメタクリレ・−ト、エチルアクリ
レート、ブチルアクリレート。2−エチルヘキシルアク
リレート、シクロヘキシルメタクリレート、ジアセトン
アクリルアミド、アクリロニトリル、2−ヒドロキシエ
チルアクリレート。
Methyl acrylate. Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, ethyl acrylate, butyl acrylate. 2-ethylhexyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, diacetone acrylamide, acrylonitrile, 2-hydroxyethyl acrylate.

2−ヒドロキシエチルメタクリレート、スチレン。2-hydroxyethyl methacrylate, styrene.

ビニルトルエン、2,2.2−トリフルオロエチルメタ
クリレートなど、−射的な重合性モノマーを1種類以上
併用して共重合することができる。
Copolymerization can be carried out using one or more types of radiationally polymerizable monomers such as vinyltoluene and 2,2,2-trifluoroethyl methacrylate.

電着塗装膜やレジスト膜に柔軟性がでて膜がより強靭と
なる点からホモポリマーのガラス転移点が0℃以下であ
る重合性モノマーを併用することが好ましい。その使用
量は(a)の成分である酸価が30〜250のカルボキ
シル基含有ポリマーを構成する重合性モノマーの総量1
00重量部に対して10〜70重量部が好ましい。10
重量部未満では効果が少ないことがあfi、70重量部
を越えるとべたつきやすい。
It is preferable to use a polymerizable monomer whose homopolymer has a glass transition point of 0° C. or lower in order to make the electrodeposition coating film or resist film flexible and tougher. The amount used is the total amount of polymerizable monomers constituting the carboxyl group-containing polymer having an acid value of 30 to 250, which is the component (a).
It is preferably 10 to 70 parts by weight per 00 parts by weight. 10
If it is less than 70 parts by weight, the effect may be small, and if it exceeds 70 parts by weight, it tends to become sticky.

ホモポリマーのガラス転移点が0℃以下である重合性モ
ノマーとしては、エチルアクリレート。
Ethyl acrylate is a polymerizable monomer whose homopolymer glass transition point is 0°C or lower.

n−プロピルアク】ル−ト、n−ブチルアクリレート、
2−エチルヘキシルアクリレートが好ましい。
n-propylacrylate] root, n-butyl acrylate,
2-ethylhexyl acrylate is preferred.

一方、(a)の成分である(メタ)アクリル系のカルボ
キシル基含有ポリマーを得る方法としては。
On the other hand, as a method for obtaining the (meth)acrylic carboxyl group-containing polymer which is the component (a).

有機溶媒中でアゾビスイソブチロニトリル、アゾビスジ
メチルバレロニトリルI 過酸化へ/:/’イル等の重
合開始剤を用いて一般的な溶液重合により得ることがで
きる。この場合、用いる有機溶媒は電着塗料に供するこ
とを考えて、ジオキサン、メトキシエタノール、エトキ
シエタノール、ジエチレングリコールなどの親水性の有
機溶媒を主に用いることが好ましい。もし、トルエン、
キシレン。
It can be obtained by general solution polymerization using a polymerization initiator such as azobisisobutyronitrile or azobisdimethylvaleronitrile I peroxide in an organic solvent. In this case, the organic solvent used is preferably a hydrophilic organic solvent such as dioxane, methoxyethanol, ethoxyethanol, diethylene glycol, etc., considering that the organic solvent is used for electrodeposition coating. If toluene,
xylene.

ベンゼン等の疎水性の有機溶媒を主に用いた場合には、
ポリマー合成後、溶媒を留去して前記の親水性溶媒に置
き換える必要がある。
When mainly using hydrophobic organic solvents such as benzene,
After polymer synthesis, it is necessary to distill off the solvent and replace it with the hydrophilic solvent described above.

(a)の成分であるカルボキシル基含有ポリマーの重量
平均分子量は4,000〜150,000の範囲が好ま
しい。重量平均分子量が4.000未満では電着塗装後
の塗膜(感光層)や露光、現像後のレジストパターンの
機械強度が低く、′また150,000を越えると電着
塗工性が劣り、塗膜の外観カミ劣る傾向がある。
The weight average molecular weight of the carboxyl group-containing polymer as component (a) is preferably in the range of 4,000 to 150,000. When the weight average molecular weight is less than 4.000, the mechanical strength of the coating film (photosensitive layer) after electrodeposition coating and the resist pattern after exposure and development is low; when it exceeds 150,000, the electrocoatability is poor. The appearance of the paint film tends to be poor.

(a)の成分であるカルボキシル基含有ボリマーノカル
ボキシル基濃度、すなわち酸価は30〜250の範囲と
される。酸価が30未満では本発明になるポジ型感光性
電着塗料樹脂組成物に後述するように塩基及び水を加え
て水分散させる際の水分散性や水分散安定性が悪く9組
成物が沈降する。また酸価が250を越えると電着塗装
後の塗膜の外観が劣る。したがって前述の(メタ)アク
リル系ポリマーを(a)成分のポリマーとして用いる場
合には、上記の酸価の好ましい範囲になるようアクリル
酸、メタクリル酸等のカルボキシル基含有重合性モノマ
ーとその他の重合性モノマーの使用量を調節すればよい
The carboxyl group concentration of the carboxyl group-containing polymer, which is the component (a), that is, the acid value is in the range of 30 to 250. If the acid value is less than 30, the composition will have poor water dispersibility and water dispersion stability when a base and water are added to the positive photosensitive electrodeposition coating resin composition of the present invention and dispersed in water, as described below. Sediment. Moreover, if the acid value exceeds 250, the appearance of the coating film after electrodeposition will be poor. Therefore, when using the above-mentioned (meth)acrylic polymer as the polymer for component (a), it is necessary to combine carboxyl group-containing polymerizable monomers such as acrylic acid and methacrylic acid with other polymerizable monomers so that the acid value is within the above preferred range. The amount of monomer used may be adjusted.

(a)の成分である酸価が30〜250のカルボキシル
基含有ポリマーの使用量は9本発明になる(a)及び(
b)成分の総量100重量部に対して、30〜99重量
部、好ましくは50〜90重量部の範囲とされる。使用
量が30重量部未満では電着浴の水分散性や水分散安定
性が悪く、また99重量部を越えると(b)の成分であ
るポリマーの割合が減って、すなわちキノ/ジアジド類
の含有量が低すぎて、光に対する感度が低下する。
The amount of the carboxyl group-containing polymer having an acid value of 30 to 250, which is a component of (a), is 9 in the present invention.
The amount is in the range of 30 to 99 parts by weight, preferably 50 to 90 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total amount of components b). If the amount used is less than 30 parts by weight, the water dispersibility and water dispersion stability of the electrodeposition bath will be poor, and if it exceeds 99 parts by weight, the proportion of the polymer which is the component (b) will decrease, that is, the amount of chino/diazide will decrease. If the content is too low, the sensitivity to light will decrease.

(b)の成分であるp−ビニルフェノールを含むポリマ
ーにキノンジアジド類を導入せしめたポリマーとは、あ
らかじめp−ビニルフェノールヲ単独重合もしくは他の
重合性モノマーと共重合させたポリマーに、キノンジア
ジド類を反応せしめて得たポリマーをいう。p−ビニル
フェノールハ単独重合でもよく、他の重合性モノマーと
共重合してもよいが、ここでいう他の重合性モノマーと
しては、(a)成分で前述した(メタ)アクリル系ポリ
マーの場合のカルボキシル基含有重合性モノマー以外で
、それと共重合成分として用いることができるとして例
示した一般的な重合性モノマーを指している。((b)
成分にはカルボキシル基含有重合性モノマーは、塗膜の
組成を不均一にする可能性があるため含まれない。)こ
れらは1糧類単独でもよく、2種類以上併用して共重合
することもできる。
A polymer in which quinonediazides are introduced into a polymer containing p-vinylphenol, which is the component (b), is a polymer in which p-vinylphenol is homopolymerized or copolymerized with other polymerizable monomers in advance, and quinonediazides are introduced into the polymer. A polymer obtained by reaction. p-vinylphenol may be homopolymerized or copolymerized with other polymerizable monomers, but the other polymerizable monomers mentioned here include (meth)acrylic polymers mentioned above for component (a). This refers to general polymerizable monomers other than the carboxyl group-containing polymerizable monomers listed above that can be used as copolymerization components with the carboxyl group-containing polymerizable monomers. ((b)
The components do not include carboxyl group-containing polymerizable monomers because they may cause the composition of the coating to be non-uniform. ) These may be used alone, or two or more types may be used in combination for copolymerization.

またこの重合方法は任意の方法でよく、特にその製造方
法は限定されるものではない。
Further, this polymerization method may be any method, and the manufacturing method is not particularly limited.

p−ビニルフェノールを含むポリマー中のp−ビニルフ
ェノールの含有量は単独重合体の場合は。
The content of p-vinylphenol in a polymer containing p-vinylphenol is as follows in the case of a homopolymer.

もちろん100mo#%であるが、共重合体の場合では
20mo1%以上が好ましい。含有量が20mol!チ
未満では、そのあとキノンジアジド類を導入する量が少
なくなり、結果的に活性光線照射後の現像液への溶解性
が悪くなる。
Of course, it is 100 mo#%, but in the case of a copolymer, it is preferably 20 mo#% or more. Content is 20mol! If the amount is less than 1, the amount of quinonediazide to be introduced thereafter will be reduced, resulting in poor solubility in the developer after irradiation with actinic rays.

また、p−ビニルフェノールを含むポリマーの重量平均
分子量は、特に制限はないが1通常500〜so、oo
oが好ましい範囲である。重量平均分子量が小さい分に
は特に問題はないが、so、oooを越えると(a)成
分のポリマーとの相溶性が低下する傾向がある。
In addition, the weight average molecular weight of the polymer containing p-vinylphenol is not particularly limited, but is usually 500 to so, oo.
o is a preferred range. There is no particular problem as long as the weight average molecular weight is small, but if it exceeds so or ooo, the compatibility with the polymer of component (a) tends to decrease.

以上のp−ビニルフェノールを含むポリマーに反応せし
めるキノンジアジド類としては、キノンジアジド基を有
するものであれば特に限定されるものではないが9例え
ば1.2−  ナフトキノンジアジド−4−スルホニル
クロリド、1.2−ナフトキノンジアジド−5−スルホ
ニルクロリド、1.2−ナフトキノンジアジド−6−ス
ルホニルクロリド。
The quinonediazides to be reacted with the above p-vinylphenol-containing polymer are not particularly limited as long as they have a quinonediazide group; -Naphthoquinonediazide-5-sulfonyl chloride, 1,2-naphthoquinonediazide-6-sulfonyl chloride.

1.2−ナフトキノンジアジド−4−スルホニルブロミ
)”、1.2−べ/ゾキノンジアジドー4−スルホニル
クロリド、1,2−ベンゾキノンジアジド−5−スルホ
ニルクロリド、1.2−べ/フキノンジアジド−6−ス
ルホニルクロリド、1.2−ベンゾキノンジアジド−4
−スルホニルプロミドなトラ挙げることができ、中でも
、1.2−ナフトキノンジアジド−5−スルホニルクロ
リドが好ましい。
1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonylbromi), 1,2-be/zoquinonediazide-4-sulfonyl chloride, 1,2-benzoquinonediazide-5-sulfonyl chloride, 1,2-be/fuquinonediazide- 6-sulfonyl chloride, 1,2-benzoquinonediazide-4
-sulfonyl bromide, among which 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonyl chloride is preferred.

これらのキノ/ジアジド類は単独で使用してもよく、2
種類以上を使用してもよい。
These chino/diazides may be used alone or in combination with
More than one type may be used.

また、p−ビニルフェノールを含むポリマーに上記のキ
ノ/ジアジド類を反応させる量は、p−ビニルフェノー
ルのヒドロキシル基に対して10〜100当量チが好ま
しい。導入量が10当量−未満であると、活性光線照射
後の現像液の溶解性が悪くなる傾向がある。
Further, the amount of the above chino/diazide to be reacted with the polymer containing p-vinylphenol is preferably 10 to 100 equivalents based on the hydroxyl group of p-vinylphenol. If the amount introduced is less than 10 equivalents, the solubility of the developer after irradiation with actinic rays tends to deteriorate.

p−ビニルフェノールを含むポリマーとキノンジアジド
類との反応は2通常、有機溶媒中で塩基性触媒を用いて
行なうことができる。用いられる有機溶媒としては1例
えばアセトン、ジオキサン。
The reaction between a polymer containing p-vinylphenol and a quinone diazide can usually be carried out in an organic solvent using a basic catalyst. Examples of organic solvents used include acetone and dioxane.

メチルエチルケトン、セロンルブアセテート、ブチルセ
ロソルブアセテート、アセトニトリル等が挙げられ、こ
れらは単独でも、2種類以上併用して用いることもでき
る。
Examples include methyl ethyl ketone, selonlube acetate, butyl cellosolve acetate, acetonitrile, etc., and these can be used alone or in combination of two or more types.

また塩基性触媒としては、炭酸水素ナトリウム。Also, as a basic catalyst, sodium hydrogen carbonate is used.

炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、
アンモニア、トリエチルアミン、トリエタノールアミン
、ピリジン、ジメチルアミンエタノール等が挙げられ、
これらは単独でもよく、また。
Sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide,
Examples include ammonia, triethylamine, triethanolamine, pyridine, dimethylamine ethanol, etc.
These can be used alone or.

2種類以上併用して用いることもでき、その使用量はA
常、p−ビニルフェノールのヒドロΦシル基に対して2
0〜300当量チ用いられる。
Two or more types can be used in combination, and the amount used is A.
Usually, 2 for the hydroΦ syl group of p-vinylphenol.
0 to 300 equivalents are used.

反応温度は通常10〜50℃の範囲が好ましく。The reaction temperature is generally preferably in the range of 10 to 50°C.

また反応時間は通常30分〜5時間程度行なわれる。The reaction time is usually about 30 minutes to 5 hours.

反応終了後9反応液を水、又は酸性水溶液に投入し、前
記の塩基性触媒を洗浄除去し、さらに精製を行なって本
発明における(b)成分のポリマーを得ることができる
After the reaction is completed, the reaction solution is poured into water or an acidic aqueous solution, the basic catalyst is washed away, and the polymer of component (b) in the present invention can be obtained by further purification.

(b)の成分であるポリマーの使用量は9本発明になる
(a)及び(b)成分の総量100重量部に対して。
The amount of the polymer used as component (b) is 9 parts per 100 parts by weight of the total amount of components (a) and (b) according to the present invention.

1〜70重量部、好ましくは10〜50重量部の範囲と
され・る。使用量が1重量部未満では活性光線照射後の
視像液の溶解性が悪くなり、70i4量部を越えると電
着浴の水分散性や水分散安定性が悪くなる。
The amount ranges from 1 to 70 parts by weight, preferably from 10 to 50 parts by weight. If the amount used is less than 1 part by weight, the solubility of the visual liquid after irradiation with actinic light will be poor, and if it exceeds 4 parts of 70i, the water dispersibility and water dispersion stability of the electrodeposition bath will be poor.

本発明になるポジ型感光性電着塗料樹脂組成物には前記
の(al及び(bl成分以外に9通常のポジ型感光性樹
脂組成物に用いられるキノンジアジド化合物も配合する
ことができる。
In addition to the above-mentioned (al and (bl) components, the positive-working photosensitive electrodeposition coating resin composition of the present invention may also contain quinonediazide compounds used in conventional positive-working photosensitive resin compositions.

このキノンジアジド化合物としては9例えば。Examples of this quinonediazide compound include 9.

&&4− トリヒドロキシベ/シフエノン−1,2−ナ
フドキノ/ジアジド−4−スルホン酸エステル。
&&4-trihydroxybe/siphenon-1,2-nafdoquino/diazide-4-sulfonic acid ester.

2λ4,4′−テトラヒドロキシペンシフエノン−1゜
2−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステルな
どのポリヒドロキシベンゾフェノ/の1.2−ナフトキ
ノンジアジド−4−スルホン酸エステル類、15−ジヒ
ドロキシ安息香酸ラウリル−1゜2−す7トキノンジア
ジドー4−スルホ/酸エステル、Z3.4−)リヒドロ
キシ安息香酸フェニル−1,2−ナフトキノンジアジド
−5−スルホン酸エステルなどのポリヒドロキシ安息香
酸アルキルエステルか°ポリヒドロキシ安息香酸アリー
ルエステルの1.2−ナフトキノ/ジアジドスルホン酸
エステルなどを挙げることができる。これらキノ/ジア
ジド化合物の使用量は、(a)及び[b)成分の総量1
00重量部に対して、50重量部以下とされることが好
ましい。50重量部を越えると(a)成分のポリマーと
の相溶性が低下し、水分散安定性が低下する傾向がある
2λ4,4'-tetrahydroxypensiphenone-1゜1,2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid esters of polyhydroxybenzophenol such as 2-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid ester, 15-dihydroxybenzoic acid Polyhydroxybenzoic acid alkyl esters such as lauryl-1゜2-su7toquinonediazide 4-sulfo/acid ester, Z3.4-)lyhydroxybenzoic acid phenyl-1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester, etc. Examples include 1,2-naphthoquino/diazide sulfonic acid ester of polyhydroxybenzoic acid aryl ester. The amount of these chino/diazide compounds used is the total amount of components (a) and [b) 1
The amount is preferably 50 parts by weight or less relative to 00 parts by weight. If it exceeds 50 parts by weight, the compatibility with the polymer of component (a) tends to decrease, and the water dispersion stability tends to decrease.

さらに本発明になるポジ型感光性電着塗料樹脂組成物に
は増感剤も配合することができる。
Furthermore, a sensitizer can also be blended into the positive photosensitive electrodeposition coating resin composition of the present invention.

この増感剤としては9例えばピロール、イミダゾール、
トリアゾール、インドール、ベンズイミダゾール、オキ
サゾリドン、ピペリドン、ヒダントイン、グリシン、バ
ルビッール酸及びその誘導体などの活性水素を有する含
窒素化合物を挙げることができる。これら増感剤の使用
量は、(a)及び(b)成分の総量100重量部に対し
て、30重量部以下とされることが好ましい。30重量
部を越えると、現像時にレジストの溶解性が上がり、残
膜率が低下する傾向がある。
Examples of the sensitizer include pyrrole, imidazole,
Nitrogen-containing compounds having active hydrogen such as triazole, indole, benzimidazole, oxazolidone, piperidone, hydantoin, glycine, barbylic acid and derivatives thereof can be mentioned. The amount of these sensitizers used is preferably 30 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the total amount of components (a) and (b). If it exceeds 30 parts by weight, the solubility of the resist increases during development and the residual film rate tends to decrease.

本発明になるポジ型感光性電着塗料樹脂組成物には、さ
らに、染料、顔料、可塑剤、接着促進剤。
The positive photosensitive electrodeposition coating resin composition of the present invention further contains a dye, a pigment, a plasticizer, and an adhesion promoter.

無機フィラーなども適宜使用することができる。Inorganic fillers can also be used as appropriate.

本発明になるポジ型感光性電着塗料樹脂組成物を電着塗
料化するためには、まず(a)及び(b)成分。
In order to convert the positive photosensitive electrodeposition paint resin composition of the present invention into an electrodeposition paint, components (a) and (b) are first prepared.

さらに必要に応じて用いる前記の各種成分を親水性有機
溶媒に均一に溶解せしめることが望ましいが、必ずしも
これにこだわる必要はない。ここでいう親水性有機溶媒
とは9例えばジオキサ/、メトキシエタノール、エトキ
シエタノール、ジエチレングリコールなどが挙げられる
。これら溶媒は単独でも、また2種類以上を混合しても
よく、その使用量は全固形分100重量部に対し300
重量部以下の範囲が好ましい。
Further, although it is desirable that the various components mentioned above, which are used as necessary, are uniformly dissolved in the hydrophilic organic solvent, it is not necessary to be particular about this. The hydrophilic organic solvent mentioned here includes dioxa/, methoxyethanol, ethoxyethanol, diethylene glycol, and the like. These solvents may be used alone or in combination of two or more, and the amount used is 300 parts by weight per 100 parts by weight of total solids.
It is preferably in a range of parts by weight or less.

次にこの溶液に塩基を加えて(a)の成分であるポリマ
ー中に含まれるカルボキシル基を中和することにより9
組成物の水溶化又は水分散化を容易にする。ここで用い
る塩基としては、特に制限はないが1例えばトリエチル
アミン、モノエタノールアミン、ジェタノールアミン、
ジイソプロピルアミン、ジメチルアミノエタノール、モ
ルホリン。
Next, a base is added to this solution to neutralize the carboxyl groups contained in the polymer, which is the component (a).
Facilitates water solubilization or water dispersion of the composition. The base used here is not particularly limited, but examples include triethylamine, monoethanolamine, jetanolamine,
Diisopropylamine, dimethylaminoethanol, morpholine.

アンモニア、水酸化ナト+、+ウム等が挙げられ、これ
らは単独もしくは2種以上を混合して用いることができ
る。これら塩基の使用量は(a)成分であるポリマー中
のカルボキシル基1当量に対して0.4〜1.0当量と
されることが好ましい。0.4当量未満では電着塗装浴
の水分散安定性が低下し、1.0当量を越えると電着塗
装後の塗膜(感光層)厚が薄くなり、貯蔵安定性も低下
する傾向がある。
Examples include ammonia, sodium hydroxide, sodium hydroxide, and the like, and these can be used alone or in a mixture of two or more. The amount of these bases used is preferably 0.4 to 1.0 equivalents per equivalent of carboxyl group in the polymer as component (a). If the amount is less than 0.4 equivalent, the water dispersion stability of the electrodeposition coating bath will decrease, and if it exceeds 1.0 equivalent, the thickness of the coating film (photosensitive layer) after electrodeposition will become thinner, and storage stability will tend to decrease. be.

次に水を加えてポジ壓感光性電着塗料樹脂組成物を水に
溶解もしくは分散させて電着塗装浴を作製する。電着塗
装浴の固形分は通常5〜20重量%、ま7’hpHは7
.0〜9.0の範囲が好ましい。pHが7.0未満では
分散が悪化し電気泳動しにくくなるおそれがあり、一方
pHが9.0を越えると一旦電着し蟻が再溶解し結果と
して膜が形成されないことがある。pHを上記の好まし
い範囲に合わせるために後から前記の塩基を加えて調節
してもよい。
Next, water is added to dissolve or disperse the positive photosensitive electrodeposition coating resin composition in water to prepare an electrodeposition coating bath. The solid content of the electrodeposition coating bath is usually 5 to 20% by weight, and the pH is 7.
.. A range of 0 to 9.0 is preferred. If the pH is less than 7.0, dispersion may deteriorate and electrophoresis may become difficult. On the other hand, if the pH exceeds 9.0, the ants once electrodeposited may be redissolved, resulting in no film being formed. In order to adjust the pH to the above-mentioned preferred range, the above-mentioned base may be added later to adjust the pH.

また、ポジ凰感光性電着塗料樹脂組成物の水分散性や分
散安定性を高めるために非イオン、陽イオン、隘イオン
等の界面活性剤を適宜加えることもできる。
Further, in order to improve the water dispersibility and dispersion stability of the positive photosensitive electrodeposition coating resin composition, surfactants such as nonionic, cationic, and subionic surfactants may be added as appropriate.

さらに、電着塗装時の塗布量を多くするためにトルエン
、キシレン、2−エチルヘキシルアルコール等の疎水性
溶媒も適宜加えることができる。
Furthermore, a hydrophobic solvent such as toluene, xylene, 2-ethylhexyl alcohol, etc. can be added as appropriate to increase the coating amount during electrodeposition coating.

このようにして得られた電着塗装浴を用いて基板表面(
この場合、基板表面は鉄、アルミニウム。
The electrodeposition coating bath thus obtained was used to coat the substrate surface (
In this case, the substrate surface is iron or aluminum.

銅、亜鉛、その他金属及び合金等の金属で覆われている
ことが必要)に電着塗装するには、基板を陽極として電
着塗装浴中に浸漬し9通常50〜400Vの直流電圧を
10秒〜5分間印加して行なわれる。このときの電着塗
装浴の温度を15〜30℃に管理することが望ましい。
For electrocoating (coated with metals such as copper, zinc, and other metals and alloys), the substrate is immersed in an electrocoat bath as an anode, and a DC voltage of usually 50 to 400 V is applied for 10 minutes. The application is carried out for a period of seconds to 5 minutes. At this time, it is desirable to control the temperature of the electrodeposition coating bath at 15 to 30°C.

電着塗装後、電着塗装浴から被塗物を引き上げ水洗、水
切シし九後熱風等で乾燥される。この際乾燥温度が高い
とポジ型感光性電着塗料樹脂組成物中のキノンジアジド
類が分解するおそれがあるので9通常110℃以下で乾
燥することが好ましい。
After electrodeposition coating, the object to be coated is taken out of the electrodeposition coating bath, washed with water, drained, and then dried with hot air. At this time, if the drying temperature is high, there is a risk that the quinone diazide in the positive type photosensitive electrodeposition coating resin composition will decompose, so it is usually preferable to dry at 110° C. or lower.

こうして得られた塗膜(感光層)の厚みは2〜50μm
が好ましい。膜厚が2μm未満では耐現像液性が低く、
また例えばプリント回路板の製造に用いる場合にはレジ
ストパターンを形成後、エツチング処理した際に耐エツ
チング液性やエッチファクターが劣る傾向があり、また
膜厚が50μmを越えるとレジストパターンの解像度が
低下することがある。
The thickness of the coating film (photosensitive layer) obtained in this way is 2 to 50 μm.
is preferred. If the film thickness is less than 2 μm, developer resistance is low;
Furthermore, when used in the manufacture of printed circuit boards, for example, when a resist pattern is formed and then etched, the resistance to etching liquid and etch factor tend to be poor, and if the film thickness exceeds 50 μm, the resolution of the resist pattern decreases. There are things to do.

ついで該塗膜に活性光線を画像状に照射し、露光部を光
分解させたのち、現像により露光部を除去してレジスト
パターンを得ることができる。
Next, the coating film is imagewise irradiated with actinic rays to photodecompose the exposed areas, and then the exposed areas are removed by development to obtain a resist pattern.

活性光線の光源としては、波長300〜450nmの光
線を発するもの9例えば水銀蒸気アーク。
Examples of active light sources include those that emit light with a wavelength of 300 to 450 nm9, such as a mercury vapor arc.

カーボンアーク、キセノンアーク等が好ましく用いられ
る。
Carbon arc, xenon arc, etc. are preferably used.

現像は1通常、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、水
酸化カリウムなどのアルカリ水を吹きつけるか、アルカ
リ水に浸漬するなどして行なわれる。
Development is usually carried out by spraying alkaline water such as sodium hydroxide, sodium carbonate, or potassium hydroxide, or by immersing the film in alkaline water.

(実施例) 以下、実施例により本発明を説明する。(Example) The present invention will be explained below with reference to Examples.

まず、実施例に用いた(a)成分及び(b)成分のポリ
マーの合成方法を示す。
First, a method for synthesizing the polymers of component (a) and component (b) used in the examples will be described.

(a)  成分のポリマー合成 (a−1) 攪拌機、還流冷却器、温度計2滴下ロート及び窒素ガス
導入管を備えたフラスコにジオキサン11309を加え
、攪拌して窒素ガスを吹きこみながら90℃の温度に加
温した。温度が90℃−定になったところで、メタクリ
ル酸1699. メチルメタクリレートasog、n−
ブチルアクリレート481g及びアゾビスインブチロニ
トリル5gを混合した液f、2時間かけてフラスコ内に
滴下し、その後90℃で3時間攪拌しながら保温した。
(a) Polymer synthesis of components (a-1) Dioxane 11309 was added to a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a thermometer, two dropping funnels, and a nitrogen gas introduction tube, and the mixture was heated to 90°C while stirring and blowing nitrogen gas. Warmed to temperature. When the temperature became constant at 90°C, methacrylic acid 1699. Methyl methacrylate asog, n-
Liquid f, which was a mixture of 481 g of butyl acrylate and 5 g of azobisin butyronitrile, was added dropwise into the flask over 2 hours, and then kept at 90° C. with stirring for 3 hours.

3時間後にアゾビスイソブチロニトリル2.59をジオ
キサン100gに溶解した液を10分かけてフラスコ内
に滴下し、その後再び90’Cで4時間攪拌しながら保
温した。
After 3 hours, a solution prepared by dissolving 2.59 g of azobisisobutyronitrile in 100 g of dioxane was added dropwise into the flask over 10 minutes, and then kept at 90'C for 4 hours with stirring.

このようにして得られたポリマーの重量平均分重量は8
3,000.酸価は112であった。ポリマー溶液の固
形分は45.7重量%であった。
The weight average component weight of the polymer thus obtained was 8
3,000. The acid value was 112. The solids content of the polymer solution was 45.7% by weight.

(a−2) (a−1)と同様の表置を備えたフラスコにエテルセロ
ソルブ900gを加え、攪拌しながら窒素ガスを吹きこ
み、90℃の温度に加温した。温度が90℃一定になつ
九ところでアクリル酸649、メチルメタクリレート4
189.2−エチルヘキシルアクリレート4689.2
−ヒドロキシエチルアクリレート50g及びアゾビスイ
ソブチロニトリル109を混合した液を25時間かけて
フラスコ内に滴下し、その後90℃で3時間攪拌しなが
ら保温した。3時間後にアゾビスイソブチロニトリル5
gをジオキサン100gに溶解した液を10分かけてフ
ラスコ内に滴下し、その後再び90℃で4時間攪拌しな
がら保温した。
(a-2) 900 g of etel cellosolve was added to a flask equipped with the same surface as in (a-1), nitrogen gas was blown into the flask while stirring, and the flask was heated to 90°C. At the point where the temperature is constant at 90℃, acrylic acid 649 and methyl methacrylate 4
189.2-Ethylhexyl acrylate 4689.2
A mixture of 50 g of -hydroxyethyl acrylate and 109 g of azobisisobutyronitrile was added dropwise into the flask over 25 hours, and then kept at 90° C. with stirring for 3 hours. After 3 hours, azobisisobutyronitrile 5
A solution obtained by dissolving 100 g of dioxane in 100 g of dioxane was added dropwise into the flask over 10 minutes, and then kept at 90° C. for 4 hours while stirring.

このようにして得られたポリマーの重量平均分子量は6
5,000.酸価は49.5であった。ポリマー溶液の
固形分は49.8重量−でめった。
The weight average molecular weight of the polymer thus obtained was 6.
5,000. The acid value was 49.5. The solids content of the polymer solution was 49.8 wt.

(b)  成分のポリマー合成 (b−1) ポリ(p−ビニルフェノール)!商品名ニリンカーM9
重量平均分子量1,600.丸善石油化学製)1209
,1.2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸クロ
リド160g及びジオキサンa、ooogをフラスコに
加えて溶解し、40℃に保温し九のち、攪拌しなから1
0チの炭酸ソーダ水溶液650gを1時間かけて滴下し
た。滴下後。
(b) Polymer synthesis of components (b-1) Poly(p-vinylphenol)! Product name Nilinker M9
Weight average molecular weight 1,600. Maruzen Petrochemical) 1209
, 1.160 g of 2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid chloride and dioxane a, ooog were added to a flask and dissolved, kept at 40°C, and after 9 hours, without stirring, 1
650 g of an aqueous solution of 0.0% sodium carbonate was added dropwise over 1 hour. After dripping.

攪拌しながらさらに40℃で2時間反応させた後。After further reaction at 40° C. for 2 hours while stirring.

7重量%の塩酸水溶液の中に液を注ぎ沈殿物を得九。こ
の沈殿物をジオキサンに再溶解したのち再度イオン交換
水の中に液を注ぎ、得られた沈殿物を真空乾燥し220
gの(b−1)を得た。(b−1)中のナフトキノンジ
アジドはポリマー中のヒドロキシル基に対して4s、6
Mff1%導入されてい友。
Pour the liquid into a 7% by weight aqueous hydrochloric acid solution to obtain a precipitate. After redissolving this precipitate in dioxane, the solution was poured into ion-exchanged water again, and the resulting precipitate was vacuum-dried at 220 °C.
g (b-1) was obtained. The naphthoquinonediazide in (b-1) is 4s, 6 to the hydroxyl group in the polymer.
Mff1% has been introduced to my friend.

(b−2) p−ビニルフェノール/n−ブチルアクリレ−)=36
/64 (mo!!比)の共重合体(商品名ニリンカー
CBA、重量平均分子量16,000.丸善石油化学製
)1259,1.2−ナフトキノンジアジド−5−スル
ホン酸クロリド116g及びジオキサン1.2009を
フラスコに加えて溶解し。
(b-2) p-vinylphenol/n-butyl acrylate) = 36
/64 (mo!! ratio) copolymer (trade name Nilinker CBA, weight average molecular weight 16,000, manufactured by Maruzen Petrochemical) 1259, 116 g of 1.2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid chloride and dioxane 1.2009 Add to the flask and dissolve.

40℃に保温したのち攪拌しながらトリエチルアミン4
49を1時間かけて滴下した。滴下後、攪拌し々がらさ
らに40℃で2時間反応させた後(b−1)の場合と同
様な方法で精製、乾燥し1969の(b−2)を得た。
After keeping the temperature at 40℃, add triethylamine 4 while stirring.
49 was added dropwise over 1 hour. After the dropwise addition, the reaction was continued at 40° C. for 2 hours while stirring, and then purified and dried in the same manner as in (b-1) to obtain 1969 (b-2).

(b−2)中のナフトキノンジアジドはポリマー中のヒ
ドロキシル基に対して98. OM景チ導入されていた
The naphthoquinone diazide in (b-2) has a 98% relative to the hydroxyl group in the polymer. OM Keichi had been introduced.

実施例1 (a−X)の溶液8759(ポリマー固形分400G)
、(b−1)1009をジオキサンに溶解し九溶液30
09及びトリエチルアミン48.59を混合したのち、
液を攪拌しながらイオン交換水3.780 gを徐々に
滴下しながら加えて電着塗装浴を得た。この電着塗装浴
の固形分は実測値で10.1重量%、  pHは25℃
で7.8であった。
Example 1 Solution 8759 (polymer solid content 400G) of (a-X)
, (b-1) Dissolve 1009 in dioxane and make a solution of 30
After mixing 09 and triethylamine 48.59,
While stirring the solution, 3.780 g of ion-exchanged water was gradually added dropwise to obtain an electrodeposition coating bath. The actual solid content of this electrodeposition coating bath was 10.1% by weight, and the pH was 25°C.
It was 7.8.

上記の電着塗装浴にガラスエポキシ銅張積層板(日立化
成工業製 MCL−E−61)を陽極として、ステンレ
ス板(SU8304)(形状200mmX 75mm+
X 1mm )を陰極として浸漬し、25℃の温度で1
50Vの直流電圧fr2分間印加し、上記鋼張積層板の
表面に電着塗装膜を形成した。この後、水洗、水切り後
80℃で10分間乾燥した(乾燥後の膜厚6μm)。
A stainless steel plate (SU8304) (shape 200mm x 75mm+
x 1mm) as a cathode, and immersed it at a temperature of 25°C.
A DC voltage of 50 V fr was applied for 2 minutes to form an electrodeposition coating film on the surface of the steel clad laminate. Thereafter, it was washed with water, drained, and dried at 80° C. for 10 minutes (film thickness after drying: 6 μm).

このものにマスクを介して3kW超高圧水銀灯で400
 mJ /am”の光量を画像状に露光した後、1チの
炭酸ナトリウム水溶液で視像した結果、ステップタブレ
ット5段の光感度を得、50μmの高解像度をもった良
好なレジストパターンを形成することができた。また、
このレジストパターンを形成し曳鋼張積層板を75cm
の高さから床に垂直に落下させた後、レジストパターン
の外観を検査し九が、レジストのかけ、はく離及びクラ
ック発生などの異常は認められなかった。
A 3kW ultra-high pressure mercury lamp was applied to this item through a mask for 400 minutes.
After image-wise exposure to a light intensity of "mJ/am" and visual imaging with a 1-inch sodium carbonate aqueous solution, a good resist pattern with a 5-step photosensitivity of a step tablet was obtained and a high resolution of 50 μm was formed. I was able to. Also,
After forming this resist pattern, the steel-clad laminate was made to a length of 75 cm.
After dropping the resist pattern vertically onto the floor from a height of 1, the appearance of the resist pattern was inspected and no abnormalities such as resist flaking, peeling, or cracking were observed.

実施例2 (a−2)の溶液7039(ポリマー固形分3509)
、(b−2)15ogをエチルセロソルブに溶解した溶
液300g及びトリエチルアミン26.69を混合した
のち、液を攪拌しながら。
Example 2 Solution 7039 of (a-2) (polymer solid content 3509)
, (b-2) 300 g of a solution prepared by dissolving 15 og in ethyl cellosolve and 26.69 g of triethylamine were mixed, and the solution was stirred.

イオン交換水4. OO09を徐々に滴下しながら加え
て電着塗装浴を得九。この電着塗装浴の固形分は実測値
で10.2重量%、pHは25℃で8.6であった。
Ion exchange water4. OO09 was gradually added dropwise to obtain an electrodeposition coating bath. The actual solid content of this electrodeposition coating bath was 10.2% by weight, and the pH was 8.6 at 25°C.

上記の電着塗装浴を用いて実施例1と同様の条件で銅張
積層板の表面に電着塗装膜を形成した。
An electrodeposition coating film was formed on the surface of a copper-clad laminate using the above electrodeposition coating bath under the same conditions as in Example 1.

この後、水洗、水切り後80℃で10分間乾燥した(乾
燥後の膜厚8μm)。
Thereafter, it was washed with water, drained, and dried at 80° C. for 10 minutes (film thickness after drying: 8 μm).

このものにマスクを介して、実施例1と同様の方法で露
光及び現像した結果、ステップタブレット5段の光感度
を得、50μmの高解像度をもった良好なレジストパタ
ーンを形成することができた。また、このレジストパタ
ーンを形成した銅張積層板を75cmの高さから床に垂
直に落下させた後、レジストパターンの外観を検査した
が、レジストのかけ、はく離及びクラック発生などの異
常は認められなかった。
As a result of exposing and developing this material through a mask in the same manner as in Example 1, it was possible to obtain a photosensitivity of 5 steps of a step tablet and form a good resist pattern with a high resolution of 50 μm. . In addition, after vertically dropping the copper-clad laminate on which this resist pattern was formed onto the floor from a height of 75 cm, the appearance of the resist pattern was inspected, but no abnormalities such as resist flaking, peeling, or cracking were observed. There wasn't.

実施例3 (a−1)の溶液711G(ポリマー固形分325g)
、(b−2)175gをジオキサンに溶解した溶液30
0g及びトリエチルアミン409を混合したのち、液を
攪拌しながら、イオン交換水3.9509を徐々に滴下
しながら加えて電着塗装浴を得た。この電着塗装浴の固
形分は実測値で10.1重量%、pHは25℃で7.7
であった。
Example 3 Solution 711G of (a-1) (polymer solid content 325g)
, (b-2) 175g dissolved in dioxane 30
After mixing 0 g of triethylamine and 409 g of triethylamine, 3.950 g of ion-exchanged water was gradually added dropwise while stirring the liquid to obtain an electrodeposition coating bath. The actual solid content of this electrodeposition coating bath was 10.1% by weight, and the pH was 7.7 at 25°C.
Met.

上記の電着塗装浴を用いて実施例1と同様の条件で銅張
積層板の表面に電着塗装膜を形成した。
An electrodeposition coating film was formed on the surface of a copper-clad laminate using the above electrodeposition coating bath under the same conditions as in Example 1.

この後、水洗、水切り後80℃で10分間乾燥した(乾
燥後の膜厚8μm)。
Thereafter, it was washed with water, drained, and dried at 80° C. for 10 minutes (film thickness after drying: 8 μm).

このものにマスクを介して、実施例1と同様の方法で露
光及び現像した結果、ステップタブレット6段の光感度
を得、50μmの高解像度をもった良好なレジストパタ
ーンを形成することができた。また、このレジストパタ
ーンを形成した銅張積層板を75cmの高さから床に垂
直に落下させた後、レジストパターンの外観を検査した
が、レジストのかけ、はく離及びクラック発生などの異
常は認められなかった。
As a result of exposing and developing this material through a mask in the same manner as in Example 1, it was possible to obtain a photosensitivity of 6 steps of a step tablet and form a good resist pattern with a high resolution of 50 μm. . In addition, after vertically dropping the copper-clad laminate on which this resist pattern was formed onto the floor from a height of 75 cm, the appearance of the resist pattern was inspected, but no abnormalities such as resist flaking, peeling, or cracking were observed. There wasn't.

実施例4 (a−2)の溶液904G (ポリマー固形分450g
)、(b−1)50gをジオキサンに溶解した溶液30
09及びジメチルアミンエタノール2129を混合した
のち、液を攪拌しながらイオン交換水3.7759を徐
々に滴下しながら加えて電着塗装浴を得た。この電着塗
装浴の固形分は実測値で10.3重量%、pHは25℃
で8.3であった。
Example 4 Solution 904G of (a-2) (polymer solid content 450g
), (b-1) 50g solution dissolved in dioxane 30
After mixing 09 and dimethylamine ethanol 2129, ion exchange water 3.7759 was gradually added dropwise while stirring the solution to obtain an electrodeposition coating bath. The actual solid content of this electrodeposition coating bath was 10.3% by weight, and the pH was 25°C.
It was 8.3.

上記の電着塗装浴を用いて実施例1と同様の条件で銅張
積層板の表面に電着塗装膜を形成した。
An electrodeposition coating film was formed on the surface of a copper-clad laminate using the above electrodeposition coating bath under the same conditions as in Example 1.

この後、水洗、水切り後80℃で10分間乾燥した(乾
燥後の膜厚5μm)。
Thereafter, it was washed with water, drained, and dried at 80° C. for 10 minutes (film thickness after drying: 5 μm).

このものにマスクを介して実施例1と同様の方法で露光
及び現像した結果、ステップタブレット4段の光感度を
得、50μmの高解像度をもった良好なレジストパター
ンを形成することができた。
As a result of exposing and developing this material through a mask in the same manner as in Example 1, a good resist pattern with a photosensitivity of 4 steps of a step tablet and a high resolution of 50 μm could be formed.

また、このレジストパターンを形成した銅張積層板e7
5cmの高さから床に垂直に落下させた後。
In addition, the copper clad laminate e7 on which this resist pattern was formed
After dropping vertically to the floor from a height of 5 cm.

レジストパターンの外観を検査したが、レジストのかけ
、はく離及びクラック発生などの異常は認められなかっ
た。
The appearance of the resist pattern was inspected, but no abnormalities such as resist flaking, peeling, or cracking were observed.

(発明の効果) 本発明のポジ型感光性電着塗料樹脂組成物は。(Effect of the invention) The positive photosensitive electrodeposition coating resin composition of the present invention is:

電着塗装により高感度の感光膜を導電性基体表面に均一
に形成することができ、さらに、露光、現像により高解
像度のレジストパターンを得ることができる。感光膜や
レジストの機械強度は良好で衝撃に強い優れたものであ
る。
A highly sensitive photosensitive film can be uniformly formed on the surface of a conductive substrate by electrodeposition coating, and a resist pattern with high resolution can be obtained by exposure and development. The photosensitive film and resist have good mechanical strength and are excellent in impact resistance.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、(a)酸価が30〜250のカルボキシル基含有ポ
リマーを(a)及び(b)の総量100重量部に対して
30〜99重量部 (b)p−ビニルフェノールを含むポリマーにキノンジ
アジド類を導入せしめたポリマーを(a)及び(b)の
総量100重量部に対して1〜70重量部を含有するこ
とを特徴とするポジ型感光性電着塗料樹脂組成物。 2、カルボキシル基含有ポリマーがアクリル酸及び/又
はメタアクリル酸を共重合した(メタ)アクリル系ポリ
マーである請求項1記載のポジ型感光性電着塗料樹脂組
成物。 3、カルボキシル基含有ポリマーが、ポリマー中に、ホ
モポリマーのガラス転移点が0℃以下の重合性モノマー
を、ポリマーを構成する重合性モノマーの総量100重
量部に対して10〜70重量部共重合したものである請
求項1又は2記載のポジ型感光性電着塗料樹脂組成物。 4、ホモポリマーのガラス転移点が0℃以下の重合性モ
ノマーが2−エチルヘキシルアクリレート、n−プロピ
ルアクリレート、n−ブチルアクリレート及び/又はエ
チルアクリレートである請求項3記載のポジ型感光性電
着塗料樹脂組成物。
[Claims] 1. (a) 30 to 99 parts by weight of a carboxyl group-containing polymer having an acid value of 30 to 250 based on 100 parts by weight of the total amount of (a) and (b) (b) p-vinylphenol A positive photosensitive electrodeposition coating resin composition, characterized in that it contains 1 to 70 parts by weight of a polymer in which a quinonediazide is introduced, based on 100 parts by weight of the total amount of (a) and (b). . 2. The positive-working photosensitive electrodeposition coating resin composition according to claim 1, wherein the carboxyl group-containing polymer is a (meth)acrylic polymer copolymerized with acrylic acid and/or methacrylic acid. 3. The carboxyl group-containing polymer is copolymerized with 10 to 70 parts by weight of a polymerizable monomer having a homopolymer glass transition point of 0°C or less per 100 parts by weight of the total amount of polymerizable monomers constituting the polymer. The positive photosensitive electrodeposition coating resin composition according to claim 1 or 2, which is a composition comprising: 4. The positive-working photosensitive electrodeposition paint according to claim 3, wherein the polymerizable monomer having a homopolymer glass transition point of 0° C. or lower is 2-ethylhexyl acrylate, n-propyl acrylate, n-butyl acrylate and/or ethyl acrylate. Resin composition.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5529882A (en) * 1994-04-15 1996-06-25 Kansai Paint Co., Ltd. Positive type photosensitive anionic electrocating composition
US5624781A (en) * 1993-05-28 1997-04-29 Kansai Paint Co., Ltd. Positive type anionic electrodeposition photo-resist composition and process for pattern formation using said composition
KR101015721B1 (en) * 2008-11-07 2011-02-22 하니가세이가부시키가이샤 Composition for positive tone photosensitive anion electrodeposition paint

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US5529882A (en) * 1994-04-15 1996-06-25 Kansai Paint Co., Ltd. Positive type photosensitive anionic electrocating composition
KR101015721B1 (en) * 2008-11-07 2011-02-22 하니가세이가부시키가이샤 Composition for positive tone photosensitive anion electrodeposition paint

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